JP5624347B2 - 赤外線センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
以下、図1〜図9に基づいて本実施形態の赤外線センサAを説明する。
本実施形態の赤外線センサAの基本構成は実施形態1と略同じであって、図14に示すように、半導体基板1における空洞部11が、半導体基板1の厚み方向に貫設されている点のみが相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
図15に示す本実施形態の赤外線センサAの基本構成は実施形態1と略同じであり、応力緩和構造部3cの配置および形状などが相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
図18および図19に示す本実施形態の赤外線センサAの基本構成は実施形態3と略同じであり、応力緩和構造部3cの配置および形状が相違する。なお、実施形態3と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
図20に示す本実施形態の赤外線センサAの基本構成は実施形態4と略同じであり、応力緩和構造部3cの積層構造が相違する。なお、実施形態4と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
図21に示す本実施形態の赤外線センサAの基本構成は実施形態4と略同じであり、応力緩和構造部3cの形状が相違する。なお、実施形態4と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
1 半導体基板
3 熱型赤外線検出部
3a 第1の薄膜構造部
3aa 第2の薄膜構造部
3ac 第3の薄膜構造部
3c 応力緩和構造部
3d 支持部
3g 孔
11 空洞部
30a サーモパイル
Claims (10)
- 半導体基板と、前記半導体基板の一表面側に形成されてなりサーモパイルを有する熱型赤外線検出部とを備え、前記半導体基板の前記一表面側において前記熱型赤外線検出部の一部の直下に空洞部が形成されてなる赤外線センサであって、
前記熱型赤外線検出部は、前記半導体基板の前記一表面側で前記空洞部の周部に形成された支持部と、前記半導体基板の前記一表面側で平面視において前記空洞部を覆う第1の薄膜構造部とを備え、
前記第1の薄膜構造部は、前記空洞部の周方向に沿って並設され前記支持部に支持された複数の第2の薄膜構造部と、互いに対向する前記第2の薄膜構造部間に配置されたスリットと、前記互いに対向する前記第2の薄膜構造部同士を連結し前記第2の薄膜構造部にかかる応力を緩和する応力緩和構造部とを有し、
前記応力緩和構造部に位置する前記スリットの幅は、前記応力緩和構造部以外の場所に位置する前記スリットの幅よりも広いことを特徴とする赤外線センサ。 - 前記応力緩和構造部は、前記第2の薄膜構造部よりも、ばね定数が小さいことを特徴とする請求項1記載の赤外線センサ。
- 前記ばね定数は、前記応力緩和構造部と前記応力緩和構造部に連結された前記第2の薄膜構造部との並ぶ方向のばね定数であることを特徴とする請求項2記載の赤外線センサ。
- 前記空洞部の内周形状が矩形状であり、前記応力緩和構造部は、前記第2の薄膜構造部の延長方向において並んだ前記第2の薄膜構造部同士を連結していることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の赤外線センサ。
- 前記空洞部の内周形状が矩形状であり、前記応力緩和構造部は、前記第2の薄膜構造部の延長方向に直交する方向において並んだ前記第2の薄膜構造部同士を連結していることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の赤外線センサ。
- 前記応力緩和構造部に位置する前記スリットにおける幅広部は、前記第2の薄膜構造部同士を連結する第3の薄膜構造部に孔を設けることで形成されてなることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の赤外線センサ。
- 前記応力緩和構造部は、コルゲート板状に形成されてなることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の赤外線センサ。
- 前記応力緩和構造部のヤング率が、前記第2の薄膜構造部のヤング率よりも小さいことを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の赤外線センサ。
- 請求項6記載の赤外線センサの製造方法であって、前記半導体基板の前記一表面側に前記熱型赤外線検出部を形成した後で、前記応力緩和構造部の前記孔を通して前記半導体基板の一部を前記一表面側から結晶異方性エッチングすることにより前記空洞部を形成することを特徴とする赤外線センサの製造方法。
- 前記各第2の薄膜構造部ごとに前記第2の薄膜構造部と前記支持部とに跨って前記サーモパイルが設けられるとともに、前記各サーモパイルごとに出力を取り出す場合に比べて温度変化に対する出力変化が大きくなる接続関係で全ての前記サーモパイルが電気的に接続されてなることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の赤外線センサ。
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