JP2011013038A - 赤外線センサの製造方法 - Google Patents
赤外線センサの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011013038A JP2011013038A JP2009156104A JP2009156104A JP2011013038A JP 2011013038 A JP2011013038 A JP 2011013038A JP 2009156104 A JP2009156104 A JP 2009156104A JP 2009156104 A JP2009156104 A JP 2009156104A JP 2011013038 A JP2011013038 A JP 2011013038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon substrate
- layer
- cavity
- forming
- infrared
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
【課題】信頼性の向上を図れるだけでなく感度の向上を図れる赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】サーモパイル30aが、n形ポリシリコン層34とp形ポリシリコン層35とを、空洞部11に重なる領域で第1の接続金属部36により接合することで形成された複数の温接点T1、空洞部11に重ならない領域で第2の接続金属部37により接合することで形成された複数の冷接点T2を有する赤外線センサの製造方法であって、シリコン基板1aにおける空洞部11の形成予定領域のみにSiO2層からなる犠牲層12を形成してから、熱型赤外線検出部3の基礎となる積層構造部を形成し、積層構造部をパターニングすることにより熱型赤外線検出部3を形成するとともに犠牲層12の一部を露出させ、その後、犠牲層12を選択的にエッチングすることにより空洞部11を形成する。
【選択図】図1
【解決手段】サーモパイル30aが、n形ポリシリコン層34とp形ポリシリコン層35とを、空洞部11に重なる領域で第1の接続金属部36により接合することで形成された複数の温接点T1、空洞部11に重ならない領域で第2の接続金属部37により接合することで形成された複数の冷接点T2を有する赤外線センサの製造方法であって、シリコン基板1aにおける空洞部11の形成予定領域のみにSiO2層からなる犠牲層12を形成してから、熱型赤外線検出部3の基礎となる積層構造部を形成し、積層構造部をパターニングすることにより熱型赤外線検出部3を形成するとともに犠牲層12の一部を露出させ、その後、犠牲層12を選択的にエッチングすることにより空洞部11を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、赤外線センサの製造方法に関するものである。
従来から、シリコン基板と、当該シリコン基板の一表面側に形成された熱型赤外線検出部とを備えた赤外線センサが提案されている(例えば、特許文献1,2参照)。
ここで、上記特許文献1に開示された赤外線センサは、図21に示すように、一表面が(100)面のシリコン基板1a’と、当該シリコン基板1a’の上記一表面側に形成された熱型赤外線検出部3’とを備えている。図21に示した構成の赤外線センサは、熱型赤外線検出部3’が、シリコン基板1a’の上記一表面側に形成されシリコン基板1a’に支持されたメンブレン部113’と、メンブレン部113’におけるシリコン基板1a’側とは反対側に形成された感温部30’とを備え、シリコン基板1’の上記一表面側に、メンブレン部113’におけるシリコン基板1’側の表面を露出させる逆四角錘状の空洞部11’が形成されている。ここにおいて、図21に示した構成の赤外線センサは、空洞部11’が、エッチング速度の結晶方位依存性を利用した湿式の異方性エッチングにより形成されたものであり、メンブレン部113’に、空洞部11’に連通する複数のエッチングホール117’が形成されている。
また、上述の熱型赤外線検出部3’では、感温部30’が、シリコン窒化膜からなるメンブレン部113’において空洞部11’に重なる領域とシリコン基板1の空洞部11’の周部に重なる領域とに跨って形成された細長のp形ポリシリコン層(p形のポリシリコンエレメント)35’および細長のn形ポリシリコン層(n形のポリシリコンエレメント)34’と、p形ポリシリコン層35’とn形ポリシリコン層34’との一端部同士をメンブレン部113’においてシリコン基板1’の空洞部11’の投影領域で電気的に接合した第1の接続金属部36’とで構成される複数の熱電対が直列接続されたサーモパイルにより構成されている。ここで、感温部30’を構成するサーモパイルは、p形ポリシリコン層35’の上記一端部およびn形ポリシリコン層34’の上記一端部と、対をなすp形ポリシリコン層35’とn形ポリシリコン層34’との上記一端部同士を接合した第1の接続金属部36’とで温接点T1’を構成し、互いに異なる熱電対のp形ポリシリコン層35’の他端部およびn形ポリシリコン層34’の他端部と、これら他端部同士を接合した第2の接続金属部37’とで冷接点T2’を構成している。
また、上述の熱型赤外線検出部3’では、シリコン基板1a’の上記一表面側に感温部30’およびメンブレン部113’において感温部30’が形成されていない部位を覆うBPSG膜からなる層間絶縁膜50’が形成され、層間絶縁膜50’および各接続金属部36’,37’を覆うようにシリコン窒化膜からなるパッシベーション膜60’が形成され、パッシベーション膜60’上において感温部30’の各温接点T1’を含む所定領域を覆う金黒膜からなる赤外線吸収膜118’が形成されている。ここで、各接続金属部36’,37’は、上述の層間絶縁膜50’により絶縁分離されている。また、図21に示した構成の赤外線センサは、シリコン基板1a’の上記一表面に空洞部11’を全周に亘って囲む矩形枠状のボロンドープのポリシリコン層112b’が形成されており、メンブレン部113’のうち空洞部11’の投影領域上に温接点T1’が形成され、メンブレン部113’のうちボロンドープのポリシリコン層112b’に重なる領域上に冷接点T2’が形成されている。
ところで、図21に示す構成の赤外線センサの製造にあたっては、まず、シリコン基板1a’の上記一表面における空洞部形成予定領域および当該空洞部形成予定領域の周部にノンドープのポリシリコン層を形成し、その後、当該ノンドープのポリシリコン層のうちボロンドープのポリシリコン層112b’に対応する領域にボロンをドーピングすることによりボロンドープのポリシリコン層112b’を形成し、その後、シリコン基板1a’の上記一表面側にシリコン基板1a’の上記一表面の露出部位およびノンドープのポリシリコン層からなる犠牲層およびボロンドープのポリシリコン層112b’を覆うようにメンブレン部113’を形成する。続いて、メンブレン部113’上にp形ポリシリコン層35’およびn形ポリシリコン層34’を形成し、その後で、メンブレン部113’の露出部位、p形ポリシリコン層35’およびn形ポリシリコン層34’を覆う層間絶縁膜50’を形成する。次に、層間絶縁膜50’にコンタクトホールを形成してから各接続金属部36’,37’を形成することで複数の温接点T1’および複数の冷接点T2’を有する感温部30’を完成させ、その後、層間絶縁膜50’、各温接点T1’および各冷接点T2’を覆うパッシベーション膜60’を形成し、その後、パッシベーション膜60’上に赤外線吸収部118’を形成する。続いて、メンブレン部113’とパッシベーション膜60’との積層構造部に4つの正方形状のエッチングホール117’を形成してから、各エッチングホール117’を通してアルカリ系溶液を導入して上記犠牲層をエッチングするとともにシリコン基板1’を異方性エッチングすることによりシリコン基板1a’の上記一表面側に空洞部11’を形成している。
また、上記特許文献2に開示された赤外線センサは、図22に示すように、シリコン基板101a”と、当該シリコン基板101a”の上記一表面側に形成された熱型赤外線検出部3”とを備えている。図22に示した構成の赤外線センサは、熱型赤外線検出部3”が、シリコン基板101a”の上記一表面側に形成されシリコン基板101a”に支持されたメンブレン部113”と、メンブレン部113”におけるシリコン基板1a’側とは反対側に形成された感温部30”とを備え、シリコン基板101a”の上記一表面とメンブレン部113”との間に空洞部11”が形成されている。ここにおいて、図22に示した構成の赤外線センサは、図23(a)に示すようにシリコン基板101a”上の埋込酸化膜層101b”上にシリコン層101c”を有するSOI基板を用いて形成されており、埋込酸化膜層101b”とメンブレン部113”と両者の間に介在する枠状の絶縁層111”とで囲まれた空間が空洞部11”を構成しており、熱型赤外線検出部3”に、空洞部11”に連通する複数のエッチングホール117”が形成されている。
図22に示した構成の赤外線センサの製造にあたっては、図23(a)に示すSOI基板の一表面側のシリコン層101c”をパターニングすることでシリコン層101c”の一部からなる犠牲層112”を形成してから、SOI基板の上記一表面側に埋込酸化膜層101b”および犠牲層112”を覆うようにSiO2層からなる絶縁層111”を形成し(図23(b)参照)、続いて、犠牲層112”上の絶縁層111”を研磨して平坦化し(図23(c)参照)、その後、SOI基板の上記一表面側にメンブレン部113”を形成し、その後、n形ポリシリコン層34”とp形ポリシリコン層35”とで構成される複数の熱電対を有するサーモパイルからなる感温部30”をメンブレン部113”上に形成し、その後、SOI基板の上記一表面側にポリイミド樹脂からなるパッシベーション膜60”を形成し、続いて、パッシベーション膜60”上に、赤外線吸収色素を含有する樹脂からなる赤外線吸収膜118”を形成している。
なお、図21および図22に示した構成の赤外線センサでは、シリコン基板1a’,101a”の上記一表面側に熱型赤外線検出部3’,3”が1つだけ設けられているが、熱型赤外線検出部3’,3”と熱型赤外線検出部3’,3”の感温部30’,30”の出力を読み出すためのMOSトランジスタとを有する画素部が2次元アレイ状に配列されたものも考えられる。
ところで、図22に示した構成の赤外線センサでは、空洞部11”が冷接点(図示せず)の下方まで広がるのを防止することができるので、センサ特性(感度、S/N比など)のばらつきを低減できて製造歩留まりの向上を図れる。
しかしながら、図22に示した構成の赤外線センサでは、上記冷接点の下方においてメンブレン部113”とシリコン基板101a”との間に絶縁層111’と埋込酸化膜層101b”との積層膜が存在するので、温接点T1”と冷接点(図示せず)との温度差が小さくなってしまい、感度およびS/N比が低下してしまう。
また、図21に示した構成の赤外線センサでは、空洞部11’を形成するために、エッチングホール117’を通してノンドープのポリシリコン層からなる犠牲層とシリコン基板1a’の一部とを、アルカリ系溶液からなるエッチャントによりエッチングする必要があるので、例えば、温接点T1’や冷接点T2’での段差などに起因して、パッシベーション膜60’および層間絶縁膜50’にパッシベーション膜60’の表面から深さ方向へ走るクラックやピンホールなどが発生すると、空洞部11’を形成する際のエッチャントにより、サーモパイルからなる感温部30’が浸食されて信頼性や製造歩留まりが低下してしまう恐れがある。
また、図22に示した構成の赤外線センサにおいても、空洞部11”を形成するために、エッチングホール117’を通してシリコン層101c”(図23(a)参照)の一部からなる犠牲層112”(図23(b),(c)参照)をエッチングする必要があるので、例えば、温接点T1”や上記冷接点での段差などに起因して、パッシベーション膜60”および層間絶縁膜50”にパッシベーション膜60”の表面から深さ方向へ走るクラックやピンホールなどが発生すると、空洞部11”を形成する際のエッチャントにより、サーモパイルからなる感温部30”が浸食されて信頼性や製造歩留まりが低下してしまう恐れがある。
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、信頼性の向上を図れるだけでなく感度の向上を図れる赤外線センサの製造方法を提供することにある。
請求項1の発明は、シリコン基板と、赤外線を吸収して熱に変換する赤外線吸収部および当該赤外線吸収部の温度変化を検出するサーモパイルおよび当該サーモパイルを覆う最表層側のパッシベーション膜を有しシリコン基板の一表面側に形成されてシリコン基板に支持された熱型赤外線検出部とを備え、シリコン基板において熱型赤外線検出部の一部の直下に空洞部が形成されてなり、サーモパイルが、異種導電形の2つのポリシリコンエレメントを熱型赤外線検出部においてシリコン基板の空洞部に重なる領域で第1の接続金属部により接合することで形成された複数の温接点を有するとともに、異種導電形の2つのポリシリコンエレメントを熱型赤外線検出部において空洞部に重ならない領域で第2の接続金属部により接合することで形成された複数の冷接点を有する赤外線センサの製造方法であって、シリコン基板における空洞部の形成予定領域のみにシリコンに対して選択エッチングが可能な材料よりなる犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、犠牲層形成工程の後でシリコン基板の前記一表面側に熱型赤外線検出部の基礎となる積層構造部を形成する積層構造部形成工程と、積層構造部形成工程の後で積層構造部をパターニングすることにより熱型赤外線検出部を形成するとともに犠牲層の一部を露出させる積層構造部パターニング工程と、積層構造部パターニング工程の後で犠牲層を選択的にエッチングすることにより空洞部を形成する空洞部形成工程とを備えることを特徴とする。
この発明によれば、シリコン基板における空洞部の形成予定領域のみにシリコンに対して選択エッチングが可能な材料からなる犠牲層を形成する犠牲層形成工程を行った後、シリコン基板の一表面側に熱型赤外線検出部の基礎となる積層構造部を形成する積層構造部形成工程を行い、その後、積層構造部をパターニングすることにより熱型赤外線検出部を形成するとともに犠牲層の一部を露出させる積層構造部パターニング工程を行い、その後、犠牲層を選択的にエッチングすることにより空洞部を形成する空洞部形成工程を行うので、空洞部形成工程において、シリコンに対して選択エッチングが可能な材料からなる犠牲層を選択的にエッチングすることにより空洞部を形成することによって、空洞部を形成する際にサーモパイルが浸食されるのを防止することができて信頼性の向上を図れるとともに、温接点と冷接点との温度差を大きくできて感度の向上を図れる。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記犠牲層形成工程では、前記犠牲層としてSiO2層若しくはSiGe層を形成することを特徴とする。
この発明によれば、前記犠牲層の耐熱温度が高く且つ熱酸化により前記シリコン基板の前記一表面側の全面にシリコン酸化膜を形成することが可能となるので、前記シリコン基板の前記一表面側に熱型赤外線検出部と協働するMOSトランジスタを形成するような場合に、MOSトランジスタを一般的な製造プロセスにより形成することができる。
請求項1の発明は、信頼性の向上を図れるだけでなく感度の向上を図れる赤外線センサを提供することができるという効果がある。
(実施形態1)
以下、本実施形態の赤外線センサAの構成について図5〜図16に基づいて説明してから、製造方法について図1〜図4に基づいて説明する。
以下、本実施形態の赤外線センサAの構成について図5〜図16に基づいて説明してから、製造方法について図1〜図4に基づいて説明する。
本実施形態の赤外線センサAは、赤外線アレイセンサであって、熱型赤外線検出部3と画素選択用スイッチング素子であるMOSトランジスタ4とを有する複数の画素部2(図5参照)がベース基板1の一表面側においてアレイ状(ここでは、2次元アレイ状)に配列されている。ここで、ベース基板1は、シリコン基板1aを用いて形成されている。本実施形態では、1つのベース基板1の上記一表面側にm×n個(図5および図6に示した例では、8×8個)の画素部2が形成されているが、画素部2の数や配列は特に限定するものではない。また、本実施形態では、熱型赤外線検出部3の感温部30が、複数個(ここでは、6個)のサーモパイル30a(図7参照)を直列接続することにより構成されており、図6では、熱型赤外線検出部3における感温部30の等価回路を、当該感温部30の熱起電力に対応する電圧源Vsで表してある。
また、本実施形態の赤外線センサAは、図6〜図8に示すように、各列の複数の熱型赤外線検出部3の感温部30の一端が上述のMOSトランジスタ4を介して各列ごとに共通接続された複数の垂直読み出し線7と、各行の熱型赤外線検出部3の感温部30に対応するMOSトランジスタ4のゲート電極46が各行ごとに共通接続された複数の水平信号線6と、各列のMOSトランジスタ4のp+形ウェル領域41が各列ごとに共通接続された複数のグラウンド線8と、各グラウンド線8が共通接続された共通グラウンド線9と、各列の複数個の熱型赤外線検出部3の感温部30の他端が各列ごとに共通接続された複数の基準バイアス線5とを備えており、全ての熱型赤外線検出部3の感温部30の出力を時系列的に読み出すことができるようになっている。要するに、本実施形態の赤外線センサAは、ベース基板1の上記一表面側に熱型赤外線検出部3と当該熱型赤外線検出部3に並設され当該熱型赤外線検出部3の出力を読み出すためのMOSトランジスタ4とを有する複数の画素部2が形成されている。
ここで、MOSトランジスタ4は、ゲート電極46が水平信号線6に接続され、ソース電極48が感温部30を介して基準バイアス線5に接続され、各基準バイアス線5が共通基準バイアス線5aに共通接続され、ドレイン電極47が垂直読み出し線7に接続されており、各水平信号線6それぞれが各別の画素選択用パッドVselに電気的に接続され、各垂直読み出し線7それぞれが各別の出力用パッドVoutに電気的に接続され、共通グラウンド線9がグラウンド用パッドGndに電気的に接続され、共通基準バイアス線5aが基準バイアス用パッドVrefと電気的に接続され、シリコン基板1aが基板用パッドVddに電気的に接続されている。
しかして、MOSトランジスタ4が順次オン状態になるように各画素選択用パッドVselの電位を制御することで各画素2の出力電圧を順次読み出すことができる。例えば、基準バイアス用パッドVrefの電位を1.65、グラウンド用パッドGndの電位を0V、基板用パッドVddの電位を5Vとしておき、画素選択用パッドVselの電位を5Vとすれば、MOSトランジスタ4がオンとなり、出力用パッドVoutから画素2の出力電圧(1.65V+感温部30の出力電圧)が読み出され、画素選択用パッドVselの電位を0Vとすれば、MOSトランジスタ4がオフとなり、出力用パッドVoutから画素2の出力電圧は読み出されない。なお、図5では、画素選択用パッドVsel、基準バイアス用パッドVref、グラウンド用パッドGnd、出力用パッドVoutなどを区別せずに全てパッド80として図示してある。
以下、熱型赤外線検出部3およびMOSトランジスタ4それぞれの構造について説明する。なお、本実施形態では、上述のシリコン基板1aとして、導電形がn形で上記一表面が(100)面の単結晶シリコン基板を用いている。
熱型赤外線検出部3は、シリコン基板1aの上記一表面側の各画素部2それぞれにおける熱型赤外線検出部3の形成用領域A1に形成されており、MOSトランジスタ4は、シリコン基板1aの上記一表面側の各画素部2それぞれにおけるMOSトランジスタ4の形成用領域A2に形成されている。
ところで、各画素部2は、赤外線を吸収する赤外線吸収部33(図8(b)参照)を備えており、各画素部2では、シリコン基板1aに赤外線吸収部33を当該シリコン基板1aから熱絶縁するための空洞部11が形成され、シリコン基板1aの上記一表面側で平面視において空洞部11の内側に赤外線吸収部33を有し空洞部11を覆う薄膜構造部3aが形成されている。また、各画素部2では、薄膜構造部3aが複数の線状のスリット13により空洞部11の周方向に沿って並設されそれぞれベース基板1における空洞部11の周部から内方へ延長された複数(図7に示した例では、6つ)の小薄膜構造部3aaに分離され、各小薄膜構造部3aaごとにサーモパイル30aが設けられるとともに、各サーモパイル30aごとに出力を取り出す場合に比べて温度変化に対する出力変化が大きくなるように全てのサーモパイル30aが直列接続されており、隣接する小薄膜構造部3aa,3aa同士を連結する連結片3cが形成されている。以下では、赤外線吸収部33のうち各小薄膜構造部3aaそれぞれに対応して分割された各部位を分割赤外線吸収部33aと称する。
なお、必ずしも、薄膜構造部3aに形成された複数のサーモパイル30aの全て、上述の例では、6つ全てのサーモパイル30aを直列接続する必要はなく、例えば、それぞれ3個のサーモパイル30aの直列回路を並列接続するようにしてもよく、この場合には、6つ全てのサーモパイル30aが並列接続されている場合や各サーモパイル30aごとに出力を取り出す場合に比べて感度を高めることができ、また、6つ全てのサーモパイル30aが直列接続されている場合に比べて、感温部30の電気抵抗を低くできて熱雑音が低減されるから、S/N比が向上する。
ここで、画素部2では、小薄膜構造部3aaごとに、ベース基板1と分割赤外線吸収部33aとを連結する2つの平面視短冊状のブリッジ部3bb,3bbが空洞部11の周方向に離間して形成されており、当該2つのブリッジ部3bb,3bbと分割赤外線吸収部33aとを空間的に分離し空洞部11に連通する平面視コ字状のスリット14が形成されている。ここにおいて、ベース基板1のうち平面視において薄膜構造部3aを囲む部位は矩形枠状の形状となっている。なお、ブリッジ部3bbは、赤外線吸収部33およびベース基板1それぞれとの連結部位以外の部分が上述の各スリット13,14により分割赤外線吸収部33aおよびベース基板1と空間的に分離されている。ここで、小薄膜構造部3aaのベース基板1からの延長方向の寸法を93μm、小薄膜構造部3aaの延長方向に直交する幅方向の寸法を75μm、各ブリッジ部3bbの幅寸法を23μm、各スリット13,14の幅を5μmに設定してあるが、これらの値は一例であって特に限定するものではない。
上述の熱型赤外線検出部3の薄膜構造部3aは、シリコン基板1aの上記一表面側に形成されたシリコン酸化膜1bと、当該シリコン酸化膜1b上に形成されたシリコン窒化膜32と、当該シリコン窒化膜32上に形成された感温部30と、シリコン窒化膜32の表面側で感温部30を覆うように形成されたBPSG膜からなる層間絶縁膜50と、層間絶縁膜50上に形成されたPSG膜と当該PSG膜上のNSG膜と当該NSG膜上のシリコン窒化膜との積層膜からなるパッシベーション膜60との積層構造部をパターニングすることにより形成されている。
本実施形態では、シリコン窒化膜32のうち薄膜構造部3aのブリッジ部3bb,3bb以外の部位が上述の赤外線吸収部33を構成し、シリコン基板1aとシリコン酸化膜1bとシリコン窒化膜32と層間絶縁膜50とパッシベーション膜60とでベース基板1を構成している。また、本実施形態では、層間絶縁膜50とパッシベーション膜60との積層膜が、熱型赤外線検出部3の形成用領域A1とMOSトランジスタ4の形成用領域A2とに跨って形成されているが、熱型赤外線検出部3の形成用領域A1に形成された部分が赤外線吸収膜70(図8(b)参照)を兼ねている。ここで、赤外線吸収膜70の屈折率をn2、検出対象の赤外線の中心波長をλとするとき、赤外線吸収膜70の厚さt2をλ/4n2に設定するようにしているので、検出対象の波長(例えば、8〜12μm)の赤外線の吸収効率を高めることができ、高感度化を図れる。
また、各画素部2では、空洞部11の内周形状が矩形状であり、連結片3cは、平面視十字状に形成されており、小薄膜構造部3aaの延長方向に交差する斜め方向において隣接する小薄膜構造部3aa,3aa同士、小薄膜構造部3aaの延長方向において隣接する小薄膜構造部3aa,3aa同士、小薄膜構造部3aaの延長方向に直交する方向において隣接する小薄膜構造部3aa,3aa同士を連結している。
サーモパイル30aは、シリコン窒化膜32上に形成され小薄膜構造部3aaとベース基板1とに跨って形成された細長のn形ポリシリコン層(n形のポリシリコンエレメント)34と細長のp形ポリシリコン層(p形のポリシリコンエレメント)35との一端部同士を分割赤外線吸収部33aの赤外線入射面側で金属材料(例えば、Al−Siなど)からなる第1の接続金属部36により電気的に接続した複数個(図3に示した例では、9個)の熱電対を有しており、ベース基板1の上記一表面側で互いに隣り合う熱電対のn形ポリシリコン層34の他端部とp形ポリシリコン層35の他端部とが金属材料(例えば、Al−Siなど)からなる第2の接続金属部37により接合され電気的に接続されている。ここで、サーモパイル30aは、n形ポリシリコン層34の上記一端部とp形ポリシリコン層35の上記一端部と第1の接続金属部36とで分割赤外線吸収部33a側の温接点T1を構成し、n形ポリシリコン層34の上記他端部とp形ポリシリコン層35の上記他端部と第2の接続金属部37とでベース基板1側の冷接点T2を構成している。なお、本実施形態の赤外線センサAでは、サーモパイル30aの各n形ポリシリコン層34および各p形ポリシリコン層35それぞれにおいて上述のブリッジ部3bb,3bbに形成されている部位およびベース基板1のシリコン窒化膜32上に形成されている部位でも赤外線を吸収することができる。
ここにおいて、本実施形態の赤外線センサAでは、薄膜構造部3aの中央部に温接点T1が集まるように各画素部2におけるサーモパイル30aの平面レイアウトを設計してある。すなわち、図3の上下方向における真ん中の2つの小薄膜構造部3aaでは、図7および図9に示すように、3つの小薄膜構造部3aaの並設方向に沿って接続部36を並べて配置してあるのに対し、当該上下方向における上側の2つの小薄膜構造部3aaでは、図7および図10に示すように、3つの小薄膜構造部3aaの並設方向において真ん中の小薄膜構造部3aaに近い側に温接点T1を集中して配置してあり、当該上下方向における下側の2つの小薄膜構造部3aaでは、図7に示すように、3つの小薄膜構造部3aaの並設方向において真ん中の小薄膜構造部3aaに近い側に温接点T1を集中して配置してある。しかして、本実施形態の赤外線センサAでは、図7の上下方向における上側、下側の小薄膜構造部3aaの複数の温接点T1の配置が、真ん中の小薄膜構造部3aaの複数の温接点T1の配置と同じである場合に比べて、温接点T1の温度変化を大きくできるので、感度を向上できる。
また、小薄膜構造部3aaは、シリコン窒化膜32の赤外線入射面側においてサーモパイル30aを形成していない領域に、小薄膜構造部3aaの反りを抑制するとともに赤外線を吸収するn形ポリシリコン層からなる赤外線吸収層39(図7、図8および図14参照)が形成されている。また、隣接する小薄膜構造部3aa,3aa同士を連結する連結片3cには、当該連結片3cを補強するn形ポリシリコン層からなる補強層39b(図11参照)が設けられている。ここで、補強層39bは、赤外線吸収層39と連続一体に形成されている。しかして、本実施形態の赤外線センサAでは、連結片3cが補強層39bにより補強されているので、使用中の外部の温度変化や衝撃に起因して発生する応力による破損を防止でき、また、製造時の破損を低減でき、製造歩留まりの向上を図れる。なお、本実施形態では、図11に示す連結片3cの連結片3cの長さ寸法L1を24μm、幅寸法L2を5μm、補強層39bの幅寸法L3を1μmに設定してあるが、これらの数値は一例であり、特に限定するものではない。
また、本実施形態の赤外線センサAは、図11および図16(b)に示すように、連結片3cの両側縁と小薄膜構造部3aaの側縁との間にそれぞれ面取り部3d,3dが形成され、十字状の連結片3cの略直交する側縁間にも面取り部3eが形成されている。しかして、本実施形態の赤外線センサAでは、図16(a)に示すように面取り部が形成されていない場合に比べて連結片3cと小薄膜構造部3aaとの連結部位での応力集中を緩和でき、製造時に発生する残留応力を低減できるとともに製造時の破損を低減でき、製造歩留まりの向上を図れる。また、使用中の外部の温度変化や衝撃に起因して発生する応力による破損を防止できる。なお、図11に示した例では、各面取り部3d,3eをRが3μmのR面取り部としてあるが、R面取り部に限らず、例えば、C面取り部としてもよい。
また、本実施形態の赤外線センサAは、各画素部2に、ベース基板1と一方のブリッジ部3bbと分割赤外線吸収部33aと他方のブリッジ部3bbとベース基板1とに跨るように引き回されたn形ポリシリコン層からなる故障診断用配線139を設けて、全ての故障診断用配線139を直列接続してある。しかして、m×n個の故障診断用配線139の直列回路へ通電することで、ブリッジ部3bbの折れなどの破損の有無を検出することができる。
上述の赤外線吸収層39、補強層39bおよび故障診断用配線139は、n形ポリシリコン層34と同じn形不純物(例えば、リンなど)を同じ不純物濃度(例えば、1018〜1020cm−3)で含んでおり、n形ポリシリコン層34に同時に形成されている。また、p形ポリシリコン層35のp形不純物として例えばボロンを採用すればよく、不純物濃度を例えば1018〜1020cm−3程度の範囲で適宜設定すればよい。本実施形態では、n形ポリシリコン層34およびp形ポリシリコン層35それぞれの不純物濃度が1018〜1020cm−3であり、熱電対の抵抗値を低減でき、S/N比の向上を図れる。なお、赤外線吸収層39、補強層39bおよび故障診断用配線139は、n形ポリシリコン層34と同じn形不純物を同じ不純物濃度でドーピングしてあるが、これに限らず、例えば、p形ポリシリコン層35と同じ不純物を同じ不純物濃度でドーピングするようにしてもよい。
ところで、本実施形態では、n形ポリシリコン層34、p形ポリシリコン層35、赤外線吸収層39、補強層39bおよび故障診断用配線139の屈折率をn1、検出対象の赤外線の中心波長をλとするとき、n形ポリシリコン層34、p形ポリシリコン層35、赤外線吸収層39、補強層39bおよび故障診断用配線139それぞれの厚さt1をλ/4n1に設定するようにしているので、検出対象の波長(例えば、8〜12μm)の赤外線の吸収効率を高めることができ、高感度化を図れる。例えば、n1=3.6、λ=10μmの場合には、t1≒0.69μmとすればよい。
また、本実施形態では、n形ポリシリコン層24、p形ポリシリコン層35、赤外線吸収層39、補強層39bおよび故障診断用配線139それぞれの不純物濃度が1018〜1020cm−3であるので、赤外線の吸収率を高くしつつ赤外線の反射を抑制することができて、感温部30の出力のS/N比を高めることができ、また、赤外線吸収層39、補強層39bおよび故障診断用配線139をn形ポリシリコン層34と同一工程で形成できるから、低コスト化を図れる。
ここで、感温部30の第1の接続金属部36と第2の接続金属部37とは、ベース基板1の上記一表面側において上述の層間絶縁膜50により絶縁分離されている(図12および図13参照)。すなわち、温接点T1側の第1の接続金属部36は、層間絶縁膜50に形成したコンタクトホール50a1,50a2を通して両ポリシリコン層34,35の上記各一端部と電気的に接続され、冷接点T2側の第2の接続金属部37は、層間絶縁膜50に形成されたコンタクトホール50a3,50a4を通して両ポリシリコン層34,35の上記各他端部と電気的に接続されている。
上述の説明から分かるように、本実施形態の赤外線センサAは、薄膜構造部3aおよびベース基板1の最表層側に薄膜構造部3aとベース基板1との両者に跨ってパッシベーション膜60が形成されており、サーモパイル30aが、異種導電形であるn形ポリシリコン層(n形のポリシリコンエレメント)34とp形ポリシリコン層(p形のポリシリコンエレメント)35とを薄膜構造部3aにおいて第1の接続金属部36により接合することで形成された複数の温接点T1を有するとともに、異種導電形であるn形ポリシリコン層(n形のポリシリコンエレメント)34とp形ポリシリコン層(p形のポリシリコンエレメント)35をベース基板1における空洞部11の周部において第2の接続金属部37により接合することで形成された複数の冷接点T2を有している。
また、MOSトランジスタ4は、上述のように、シリコン基板1aの上記一表面側における各画素部2それぞれにおけるMOSトランジスタ4の形成用領域A2に形成されている。ここで、MOSトランジスタ4は、図8および図15に示すように、シリコン基板1aの上記一表面側にp+形ウェル領域41が形成され、p+形ウェル領域41内に、n+形ドレイン領域43とn+形ソース領域44とが離間して形成されている。また、p+形ウェル領域41内には、n+形ドレイン領域43とn+形ソース領域44とを囲むp++形チャネルストッパ領域42が形成されている。また、p+形ウェル領域41においてn+形ドレイン領域43とn+形ソース領域44との間に位置する部位の上には、シリコン酸化膜(熱酸化膜)からなるゲート絶縁膜45を介してn形ポリシリコン層からなるゲート電極46が形成されている。また、n+形ドレイン領域43上には金属材料(例えば、Al−Siなど)からなるドレイン電極47が形成され、n+形ソース領域44上には金属材料(例えば、Al−Siなど)からなるソース電極48が形成されている。ここで、ゲート電極46、ドレイン電極47およびソース電極48は、上述の層間絶縁膜50により絶縁分離されている。すなわち、ドレイン電極47は、層間絶縁膜50に形成したコンタクトホール50dを通してn+形ドレイン領域43と電気的に接続され、ソース電極48は、層間絶縁膜50に形成したコンタクトホール50eを通してn+形ソース領域44と電気的に接続されている。
ところで、本実施形態の赤外線センサAの各画素部2では、MOSトランジスタ4のソース電極48と感温部30の一端とが電気的に接続され、感温部30の他端が基準バイアス線5に電気的に接続されている。また、本実施形態の赤外線センサAの各画素部2では、MOSトランジスタ4のドレイン電極47が垂直読み出し線7と電気的に接続され、ゲート電極46が当該ゲート電極46と連続一体に形成されたn形ポリシリコン配線からなる水平信号線6と電気的に接続されている。また、各画素部2では、MOSトランジスタ4のp++形チャネルストッパ領域42上に金属材料(例えば、Al−Siなど)からなるグラウンド用電極49が形成されており、当該グラウンド用電極49が、当該p++形チャネルストッパ領域42をn+形ドレイン領域43およびn+形ソース領域44よりも低電位にバイアスして素子分離するための共通グラウンド線8と電気的に接続されている。なお、グラウンド用電極49は、層間絶縁膜50に形成したコンタクトホール50fを通してp++形チャネルストッパ領域42と電気的に接続されている。
以下、本実施形態の赤外線センサAの製造方法について図1〜図4を参照しながら説明する。
まず、シリコン基板1aにおける空洞部11の形成予定領域のみにSiO2層からなる犠牲層12を形成する犠牲層形成工程を行ってから、シリコン基板1aの上記一表面側に第1の所定膜厚(例えば、0.3μm)の第1のシリコン酸化膜31と第2の所定膜厚(例えば、0.1μm)のシリコン窒化膜32との積層膜からなる絶縁層を形成する絶縁層形成工程を行い、その後、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して当該絶縁層のうち熱型赤外線検出部3の形成用領域A1に対応する部分の一部を残してMOSトランジスタ4の形成用領域A2に対応する部分をエッチング除去する絶縁層パターニング工程を行うことによって、図2(a)に示す構造を得る。ここにおいて、SiO2層からなる犠牲層12は、シリコン基板1aにおける空洞部11の形成予定領域に酸素イオンを注入してから所定温度(1300℃以上)で熱処理を行うことにより形成している。また、犠牲層形成工程では、犠牲層12を形成した後でシリコン基板1aの一表面側をCMP法により研磨することでシリコン基板1aの上記一表面側の平坦化も行っている。また、第1のシリコン酸化膜31は、シリコン基板1aを所定温度(例えば、1100℃)で熱酸化することにより形成し、シリコン窒化膜32は、LPCVD法により形成している。
上述の絶縁層パターニング工程の後、シリコン基板1aの上記一表面側にp+形ウェル領域41を形成するウェル領域形成工程を行い、続いて、シリコン基板1の上記一表面側におけるp+形ウェル領域41内にp++形チャネルストッパ領域42を形成するチャネルストッパ領域形成工程を行うことによって、図2(b)に示す構造を得る。ここで、ウェル領域形成工程では、シリコン基板1aの上記一表面側の露出部位を所定温度で熱酸化することにより第2のシリコン酸化膜(熱酸化膜)51を選択的に形成し、その後、p+形ウェル領域41を形成するためのマスクを利用したフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用してシリコン酸化膜51をパターニングし、続いて、p形不純物(例えば、ボロンなど)のイオン注入を行ってから、ドライブインを行うことにより、p+形ウェル領域41を形成する。また、チャネルストッパ領域形成工程では、シリコン基板1aの上記一表面側を所定温度で熱酸化することにより第3のシリコン酸化膜(熱酸化膜)52を選択的に形成し、その後、p++形チャネルストッパ領域42を形成するためのマスクを利用したフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して第3のシリコン酸化膜52をパターニングし、続いて、p形不純物(例えば、ボロンなど)のイオン注入を行ってから、ドライブインを行うことにより、p++形チャネルストッパ領域42を形成する。なお、第1のシリコン酸化膜31と第2のシリコン酸化膜51と第3のシリコン酸化膜52とでシリコン基板1aの上記一表面側のシリコン酸化膜1bを構成している。
上述のチャネルストッパ領域形成工程の後、p+形ウェル領域41におけるn+形ドレイン領域43およびn+形ソース領域44それぞれの形成予定領域にn形不純物(例えば、リンなど)のイオン注入を行ってからドライブを行うことによりn+形ドレイン領域43およびn+形ソース領域44を形成するソース・ドレイン形成工程を行い、当該ソース・ドレイン形成工程の後、シリコン基板1aの上記一表面側に熱酸化により所定膜厚(例えば、600Å)のシリコン酸化膜(熱酸化膜)からなるゲート絶縁膜45を形成するゲート絶縁膜形成工程を行い、続いて、シリコン基板1aの上記一表面側の全面にゲート電極46、水平信号線6(図7参照)、n形ポリシリコン層34、p形ポリシリコン層35、赤外線吸収層39、補強層39bおよび故障診断用配線139の基礎となる所定膜厚(例えば、0.69μm)のノンドープポリシリコン層をLPCVD法により形成するポリシリコン層形成工程を行い、その後、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して上記ノンドープポリシリコン層のうちゲート電極46、水平信号線6、n形ポリシリコン層34、p形ポリシリコン層35、赤外線吸収層39、補強層39bおよび故障診断用配線139それぞれに対応する部分が残るようにパターニングするポリシリコン層パターニング工程を行い、続いて、上記ノンドープポリシリコン層のうちp形ポリシリコン層35に対応する部分にp形不純物(例えば、ボロンなど)のイオン注入を行ってからドライブを行うことによりp形ポリシリコン層35を形成するp形ポリシリコン層形成工程を行い、その後、上記ノンドープポリシリコン層のうちn形ポリシリコン層34、赤外線吸収層39、補強層39b、故障診断用配線139、ゲート電極46および水平信号線6に対応する部分にn形不純物(例えば、リンなど)のイオン注入を行ってからドライブを行うことによりn形ポリシリコン層34、赤外線吸収層39、補強層39b、故障診断用配線139、ゲート電極46および水平信号線6を形成するn形ポリシリコン層形成工程を行うことによって、図3(a)に示す構造を得る。なお、p形ポリシリコン層形成工程とn形ポリシリコン層形成工程との順序は逆でもよい。
上述のp形ポリシリコン層形成工程およびn形ポリシリコン層形成工程が終了した後、シリコン基板1aの上記一表面側に層間絶縁膜50を形成する層間絶縁膜形成工程を行い、続いて、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して層間絶縁膜50に上記各コンタクトホール50a1,50a2,50a3,50a4,50d,50e,50f(図12、図13および図15参照)を形成するコンタクトホール形成工程を行うことによって、図3(b)に示す構造を得る。ここで、層間絶縁膜形成工程では、シリコン基板1aの上記一表面側に所定膜厚(例えば、0.8μm)のBPSG膜をCVD法により堆積させてから、所定温度(例えば、800℃)でリフローすることにより平坦化された層間絶縁膜50を形成する。
上述のコンタクトホール形成工程の後、シリコン基板1aの上記一表面側の全面に第1の接続金属部36、第2の接続金属部37、ドレイン電極47、ソース電極48、基準バイアス線5、垂直読み出し線7、グラウンド線8、共通グラウンド線9および各パッドVout,Vsel,Vref,Vdd,Gndなど(図6参照)の基礎となる所定膜厚(例えば、2μm)の金属膜(例えば、Al−Si膜)をスパッタ法などにより形成する金属膜形成工程を行い、続いて、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して金属膜をパターニングすることで第1の接続金属部36、第2の接続金属部37、ドレイン電極47、ソース電極48、基準バイアス線5、垂直読み出し線7、グラウンド線8、共通グラウンド線9および各パッドVout,Vsel,Vref,Vdd,Gndなどを形成する金属膜パターニング工程を行うことによって、図4(a)に示す構造を得る。なお、金属膜パターニング工程におけるエッチングはRIEにより行っている。また、この金属膜パターニング工程を行うことにより、温接点T1および冷接点T2が形成される。
上述の金属膜パターニング工程の後、シリコン基板1aの上記一表面側(つまり、層間絶縁膜50の表面側)に所定膜厚(例えば、0.2μm)のPSG膜と所定膜厚(例えば、0.2μm)のNSG膜と所定膜厚(例えば、0.1μm)のシリコン窒化膜の積層膜からなるパッシベーション膜60をCVD法により形成するパッシベーション膜形成工程を行うことによって、図4(b)に示す構造を得る。
上述のパッシベーション膜形成工程の後、シリコン基板1aの一部(シリコン基板1aにおいて犠牲層12よりも上記一表面側の部分)とシリコン酸化膜31とシリコン窒化膜32との積層膜からなる熱絶縁層と、当該熱絶縁層上に形成された感温部30と、熱絶縁層の表面側で感温部30を覆うように形成された層間絶縁膜50と、層間絶縁膜50上に形成されたパッシベーション膜60との積層構造部をパターニングすることにより上述の小薄膜構造部3aaを形成する積層構造部パターニング工程を行うことによって、図1(a)に示す構造を得る。なお、積層構造部パターニング工程において、上述の各スリット13,14を形成している。また、本実施形態では、上述の、絶縁層形成工程と、絶縁層パターニング工程と、ポリシリコン層形成工程と、ポリシリコン層パターニング工程と、p形ポリシリコン層形成工程と、n形ポリシリコン層形成工程と、層間絶縁膜形成工程と、コンタクトホール形成工程と、金属膜形成工程と、金属膜パターニング工程と、パッシベーション膜形成工程とで、シリコン基板1aの上記一表面側に熱型赤外線検出部3の基礎となる積層構造部を形成する積層構造部形成工程を構成している。
上述の積層構造部パターニング工程の後、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して各パッドVout,Vsel,Vref,Vdd,Gndを露出させるパッド用開口部(図示せず)を形成するパッド用開口部形成工程を行い、続いて、上述の各スリット13,14を通して犠牲層12を選択的にエッチングすることによりシリコン基板1aに空洞部11を形成する空洞部形成工程を行うことによって、図1(b)に示す構造の画素部2が2次元アレイ状に配列された赤外線センサAを得る。ここで、パッド用開口部形成工程におけるエッチングはRIEにより行っている。また、空洞部形成工程では、エッチングガスとして、シリコンに対してSiO2を選択的にエッチングできるHFガスを用いている。ここで、積層構造部のパッシベーション膜60は、最表層がシリコン窒化膜により構成されているので、HFガスに対する耐性を有している。また、サーモパイル30aなどの形成位置は、HFガスによるNSG膜やPSG膜などのサイドエッチング量を考慮して設計してある。なお、空洞部形成工程が終了するまでの全工程はウェハレベルで行うので、空洞部形成工程が終了した後、個々の赤外線センサAに分離する分離工程を行えばよい。また、上述の説明から分かるように、MOSトランジスタ4の製造方法に関してみれば、周知の一般的なMOSトランジスタの製造方法を採用しており、熱酸化による熱酸化膜の形成、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術による熱酸化膜のパターニング、不純物のイオン注入、ドライブイン(不純物の拡散)の基本工程を繰り返すことにより、p+形ウェル領域41、p++形チャネルストッパ領域42、n+形ドレイン領域43とn+形ソース領域44を形成している。
以上説明した本実施形態の赤外線センサAの製造方法によれば、シリコン基板1aにおける空洞部11の形成予定領域のみにシリコンに対して選択エッチングが可能な材料からなる犠牲層12を形成する犠牲層形成工程を行った後、シリコン基板1aの上記一表面側に熱型赤外線検出部3の基礎となる積層構造部を形成する積層構造部形成工程を行い、その後、当該積層構造部をパターニングすることにより熱型赤外線検出部3を形成するとともに犠牲層12の一部を露出させる積層構造部パターニング工程を行い、その後、犠牲層12を選択的にエッチングすることにより空洞部11を形成する空洞部形成工程を行うので、空洞部形成工程において、シリコンに対して選択エッチングが可能な材料からなる犠牲層12を選択的にエッチングすることにより空洞部11を形成することによって、空洞部11を形成する際にサーモパイル30aが浸食されるのを防止することができて信頼性の向上を図れるとともに、温接点T1と冷接点T2との温度差を大きくできて感度の向上を図れる。
ところで、図21に示した構成の赤外線センサでは、シリコン基板1a’の上記一表面上に矩形枠状のポリシリコン層112b’が形成されているので、ポリシリコン層112b’に起因して、メンブレン部113’に感温部30’を囲むように段差が形成されてしまい、感温部30’から引き出された金属配線37b’,37b’が段差に起因して断線して信頼性が低下する恐れがあり、特に、感温部30’と感温部30’の出力を読み出すためのMOSトランジスタとを有する画素部が2次元アレイ状に配列した赤外線センサを構成する場合には、断線の起こる可能の高い箇所が増えてしまう。
これに対して、本実施形態の赤外線センサAの製造方法によれば、犠牲層形成工程において犠牲層12の形成後にシリコン基板1aの上記一表面側の平坦化を行っているので、積層構造部形成工程において熱型赤外線検出部3の基礎となる積層構造部を平坦化されたシリコン基板1aの上記一表面側に形成することによって、サーモパイル30aなどの断線を防止することができて信頼性を向上できる。
また、本実施形態の赤外線センサAの製造方法によれば、犠牲層形成工程において、犠牲層12としてSiO2層を形成するので、犠牲層12の耐熱温度が高く且つ熱酸化によりシリコン基板1aの上記一表面側の全面にシリコン酸化膜を形成することが可能となるから、上述のように、シリコン基板1aの上記一表面側に熱型赤外線検出部3と協働するMOSトランジスタ4を形成するような場合に、MOSトランジスタ4を一般的な製造プロセスにより形成することができる。
また、本実施形態の赤外線センサAによれば、各画素部2では、薄膜構造部3aが複数の線状のスリット13により空洞部11の周方向に沿って並設されそれぞれベース基板1における空洞部11の周部から内方へ延長された複数の小薄膜構造部3aaに分離され、各小薄膜構造部3aaごとにサーモパイル30aが設けられるとともに、各サーモパイル30aごとに出力を取り出す場合に比べて温度変化に対する出力変化が大きくなる接続関係で全てのサーモパイル30aが電気的に接続されていることにより、応答速度および感度の向上を図れ、しかも、隣接する小薄膜構造部3aa,3aa同士を連結する連結片3cが形成されていることにより、各小薄膜構造部3aaの反りを低減でき、構造安定性の向上を図れ、感度が安定する。
また、本実施形態の赤外線センサAでは、シリコン窒化膜32の赤外線入射面側に、n形ポリシリコン層34およびp形ポリシリコン層35の他に、赤外線吸収層39、補強層39b、故障診断用配線139が形成されているので、n形ポリシリコン層34およびp形ポリシリコン層35の形成時にシリコン窒化膜32がエッチングされて薄くなるのを抑制する(ここでは、上述のポリシリコン層パターニング工程でn形ポリシリコン層34およびp形ポリシリコン層35の基礎となるノンドープポリシリコン層をエッチングする際のオーバーエッチング時にシリコン窒化膜32がエッチングされて薄くなるのを抑制する)ことができるとともに薄膜構造部3aの応力バランスの均一性を高めることができ、赤外線吸収部33の薄膜化を図りながらも小薄膜構造部3aaの反りを防止することが可能となり、感度の向上を図れる。
また、本実施形態の赤外線センサAでは、n形ポリシリコン層34とp形ポリシリコン層35と赤外線吸収層39と補強層39bと故障診断用配線139とが同一の厚さに設定されているので、小薄膜構造部3aaの応力バランスの均一性が向上し、小薄膜構造部3aaの反りを抑制することができる。
また、本実施形態の赤外線センサAは、各画素部2ごとに感温部30の出力を読み出すためのMOSトランジスタ4を有しているので、出力用パッドVoutの数を少なくでき、小型化および低コスト化を図れる。
ところで、上記各実施形態の赤外線センサAは、各画素部2にMOSトランジスタ4を設けてあるが、MOSトランジスタ4は必ずしも設ける必要はない。また、赤外線センサAは、必ずしも画素部2をアレイ状に備えた赤外線アレイセンサである必要はなく、少なくとも1つのサーモパイル30aを備えたものであればよい。
(実施形態2)
本実施形態の赤外線センサAの基本構成は実施形態1と略同じであって、図20(b)に示すように、空洞部11が、シリコン基板1aの上記一表面側の第1のシリコン酸化膜31の直下に形成されている点が相違するだけである。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の赤外線センサAの基本構成は実施形態1と略同じであって、図20(b)に示すように、空洞部11が、シリコン基板1aの上記一表面側の第1のシリコン酸化膜31の直下に形成されている点が相違するだけである。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
しかして、本実施形態の赤外線センサAでは、熱型赤外線検出部3の薄膜構造部3aの厚みを実施形態1に比べて薄くすることができ、薄膜構造部3aの熱容量を低減して応答速度の高速化を図ることができる。
以下、本実施形態の赤外線センサの製造方法について図17〜図20に基づいて説明するが、実施形態1と同様の工程については説明を適宜省略する。
まず、シリコン基板1aにおける空洞部11の形成予定領域のみにSiGe層からなる犠牲層12を形成する犠牲層形成工程を行ってから、シリコン基板1aの上記一表面側に第1の所定膜厚(例えば、0.3μm)の第1のシリコン酸化膜31と第2の所定膜厚(例えば、0.1μm)のシリコン窒化膜32との積層膜からなる絶縁層を形成する絶縁層形成工程を行い、その後、絶縁層パターニング工程を行うことによって、図17(a)に示す構造を得る。ここにおいて、犠牲層形成工程では、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用してシリコン基板1aにおける空洞部11の形成予定領域に開口部を形成してから、シリコン基板1aの上記一表面側にSiGe層からなる犠牲層12を成膜し、その後、シリコン基板1aの一表面側をCMP法により研磨することで平坦化している。
上述の絶縁層パターニング工程の後、シリコン基板1aの上記一表面側にp+形ウェル領域41を形成するウェル領域形成工程を行い、続いて、シリコン基板1の上記一表面側におけるp+形ウェル領域41内にp++形チャネルストッパ領域42を形成するチャネルストッパ領域形成工程を行うことによって、図17(b)に示す構造を得る。
上述のチャネルストッパ領域形成工程の後、p+形ウェル領域41におけるn+形ドレイン領域43およびn+形ソース領域44それぞれの形成予定領域にn形不純物(例えば、リンなど)のイオン注入を行ってからドライブを行うことによりn+形ドレイン領域43およびn+形ソース領域44を形成するソース・ドレイン形成工程を行い、当該ソース・ドレイン形成工程の後、シリコン基板1aの上記一表面側に熱酸化により所定膜厚(例えば、600Å)のシリコン酸化膜(熱酸化膜)からなるゲート絶縁膜45を形成するゲート絶縁膜形成工程を行い、続いて、シリコン基板1aの上記一表面側の全面にゲート電極46、水平信号線6(図7参照)、n形ポリシリコン層34、p形ポリシリコン層35、赤外線吸収層39、補強層39bおよび故障診断用配線139の基礎となる所定膜厚(例えば、0.69μm)のノンドープポリシリコン層をLPCVD法により形成するポリシリコン層形成工程を行い、その後、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して上記ノンドープポリシリコン層のうちゲート電極46、水平信号線6、n形ポリシリコン層34、p形ポリシリコン層35、赤外線吸収層39、補強層39bおよび故障診断用配線139それぞれに対応する部分が残るようにパターニングするポリシリコン層パターニング工程を行い、続いて、上記ノンドープポリシリコン層のうちp形ポリシリコン層35に対応する部分にp形不純物(例えば、ボロンなど)のイオン注入を行ってからドライブを行うことによりp形ポリシリコン層35を形成するp形ポリシリコン層形成工程を行い、その後、上記ノンドープポリシリコン層のうちn形ポリシリコン層34、赤外線吸収層39、補強層39b、故障診断用配線139、ゲート電極46および水平信号線6に対応する部分にn形不純物(例えば、リンなど)のイオン注入を行ってからドライブを行うことによりn形ポリシリコン層34、赤外線吸収層39、補強層39b、故障診断用配線139、ゲート電極46および水平信号線6を形成するn形ポリシリコン層形成工程を行うことによって、図18(a)に示す構造を得る。なお、p形ポリシリコン層形成工程とn形ポリシリコン層形成工程との順序は逆でもよい。
上述のp形ポリシリコン層形成工程およびn形ポリシリコン層形成工程が終了した後、シリコン基板1aの上記一表面側に層間絶縁膜50を形成する層間絶縁膜形成工程を行い、続いて、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して層間絶縁膜50に上記各コンタクトホール50a1,50a2,50a3,50a4,50d,50e,50f(図12、図13および図15参照)を形成するコンタクトホール形成工程を行うことによって、図18(b)に示す構造を得る。
上述のコンタクトホール形成工程の後、シリコン基板1aの上記一表面側の全面に第1の接続金属部36、第2の接続金属部37、ドレイン電極47、ソース電極48、基準バイアス線5、垂直読み出し線7、グラウンド線8、共通グラウンド線9および各パッドVout,Vsel,Vref,Vdd,Gndなど(図6参照)の基礎となる所定膜厚(例えば、2μm)の金属膜(例えば、Al−Si膜)をスパッタ法などにより形成する金属膜形成工程を行い、続いて、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して金属膜をパターニングすることで第1の接続金属部36、第2の接続金属部37、ドレイン電極47、ソース電極48、基準バイアス線5、垂直読み出し線7、グラウンド線8、共通グラウンド線9および各パッドVout,Vsel,Vref,Vdd,Gndなどを形成する金属膜パターニング工程を行うことによって、図19(a)に示す構造を得る。
上述の金属膜パターニング工程の後、シリコン基板1aの上記一表面側(つまり、層間絶縁膜50の表面側)にパッシベーション膜60をCVD法により形成するパッシベーション膜形成工程を行うことによって、図19(b)に示す構造を得る。
上述のパッシベーション膜形成工程の後、シリコン酸化膜31とシリコン窒化膜32との積層膜からなる熱絶縁層と、当該熱絶縁層上に形成された感温部30と、熱絶縁層の表面側で感温部30を覆うように形成された層間絶縁膜50と、層間絶縁膜50上に形成されたパッシベーション膜60との積層構造部をパターニングすることにより上述の小薄膜構造部3aaを形成する積層構造部パターニング工程を行うことによって、図20(a)に示す構造を得る。なお、積層構造部パターニング工程において、上述の各スリット13,14を形成している。また、本実施形態においても、上述の、絶縁層形成工程と、絶縁層パターニング工程と、ポリシリコン層形成工程と、ポリシリコン層パターニング工程と、p形ポリシリコン層形成工程と、n形ポリシリコン層形成工程と、層間絶縁膜形成工程と、コンタクトホール形成工程と、金属膜形成工程と、金属膜パターニング工程と、パッシベーション膜形成工程とで、シリコン基板1aの上記一表面側に熱型赤外線検出部3の基礎となる積層構造部を形成する積層構造部形成工程を構成している。
上述の積層構造部パターニング工程の後、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して各パッドVout,Vsel,Vref,Vdd,Gndを露出させるパッド用開口部(図示せず)を形成するパッド用開口部形成工程を行い、続いて、上述の各スリット13,14を通して犠牲層12を選択的にエッチングすることによりシリコン基板1aに空洞部11を形成する空洞部形成工程を行うことによって、図20(b)に示す構造の画素部2が2次元アレイ状に配列された赤外線センサAを得る。ここで、パッド用開口部形成工程におけるエッチングはRIEにより行っている。また、空洞部形成工程では、エッチングガスとして、シリコンに対してSiGeを選択的にエッチングできるガス(例えば、ClF3ガス、CF4ガスなど)を用いる。
以上説明した本実施形態の赤外線センサAの製造方法によれば、実施形態1と同様、シリコン基板1aにおける空洞部11の形成予定領域のみにシリコンに対して選択エッチングが可能な材料からなる犠牲層12を形成する犠牲層形成工程を行った後、シリコン基板1aの上記一表面側に熱型赤外線検出部3の基礎となる積層構造部を形成する積層構造部形成工程を行い、その後、当該積層構造部をパターニングすることにより熱型赤外線検出部3を形成するとともに犠牲層12の一部を露出させる積層構造部パターニング工程を行い、その後、犠牲層12を選択的にエッチングすることにより空洞部11を形成する空洞部形成工程を行うので、積層構造部形成工程において熱型赤外線検出部3の基礎となる積層構造部を平坦化されたシリコン基板1aの上記一表面側に形成することによって、サーモパイル30aなどの断線を防止することができて信頼性を向上でき、空洞部形成工程において、シリコンに対して選択エッチングが可能な材料からなる犠牲層12を選択的にエッチングすることにより空洞部11を形成することによって、空洞部11を形成する際にサーモパイル30aが浸食されるのを防止することができて信頼性の向上を図れるとともに、温接点T1と冷接点T2との温度差を大きくできて感度の向上を図れる。
また、本実施形態の赤外線センサAの製造方法によれば、犠牲層形成工程において、犠牲層12としてSiGe層を形成するので、犠牲層12の耐熱温度が高く且つ熱酸化によりシリコン基板1aの上記一表面側の全面にシリコン酸化膜を形成することが可能となるので、上述のように、シリコン基板1aの上記一表面側に熱型赤外線検出部3と協働するMOSトランジスタ4を形成するような場合に、MOSトランジスタ4を一般的な製造プロセスにより形成することができる。
A 赤外線センサ
1 ベース基板
1a シリコン基板
3 熱型赤外線検出部
11 空洞部
12 犠牲層
30a サーモパイル
33 赤外線吸収部
34 n形ポリシリコン層(n形のポリシリコンエレメント)
35 p形ポリシリコン層(p形のポリシリコンエレメント)
36 第1の接続金属部
37 第2の接続金属部
60 パッシベーション膜
T1 温接点
T2 冷接点
1 ベース基板
1a シリコン基板
3 熱型赤外線検出部
11 空洞部
12 犠牲層
30a サーモパイル
33 赤外線吸収部
34 n形ポリシリコン層(n形のポリシリコンエレメント)
35 p形ポリシリコン層(p形のポリシリコンエレメント)
36 第1の接続金属部
37 第2の接続金属部
60 パッシベーション膜
T1 温接点
T2 冷接点
Claims (2)
- シリコン基板と、赤外線を吸収して熱に変換する赤外線吸収部および当該赤外線吸収部の温度変化を検出するサーモパイルおよび当該サーモパイルを覆う最表層側のパッシベーション膜を有しシリコン基板の一表面側に形成されてシリコン基板に支持された熱型赤外線検出部とを備え、シリコン基板において熱型赤外線検出部の一部の直下に空洞部が形成されてなり、サーモパイルが、異種導電形の2つのポリシリコンエレメントを熱型赤外線検出部においてシリコン基板の空洞部に重なる領域で第1の接続金属部により接合することで形成された複数の温接点を有するとともに、異種導電形の2つのポリシリコンエレメントを熱型赤外線検出部において空洞部に重ならない領域で第2の接続金属部により接合することで形成された複数の冷接点を有する赤外線センサの製造方法であって、シリコン基板における空洞部の形成予定領域のみにシリコンに対して選択エッチングが可能な材料よりなる犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、犠牲層形成工程の後でシリコン基板の前記一表面側に熱型赤外線検出部の基礎となる積層構造部を形成する積層構造部形成工程と、積層構造部形成工程の後で積層構造部をパターニングすることにより熱型赤外線検出部を形成するとともに犠牲層の一部を露出させる積層構造部パターニング工程と、積層構造部パターニング工程の後で犠牲層を選択的にエッチングすることにより空洞部を形成する空洞部形成工程とを備えることを特徴とする赤外線センサの製造方法。
- 前記犠牲層形成工程では、前記犠牲層としてSiO2層若しくはSiGe層を形成することを特徴とする請求項1記載の赤外線センサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009156104A JP2011013038A (ja) | 2009-06-30 | 2009-06-30 | 赤外線センサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009156104A JP2011013038A (ja) | 2009-06-30 | 2009-06-30 | 赤外線センサの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011013038A true JP2011013038A (ja) | 2011-01-20 |
Family
ID=43592106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009156104A Withdrawn JP2011013038A (ja) | 2009-06-30 | 2009-06-30 | 赤外線センサの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011013038A (ja) |
-
2009
- 2009-06-30 JP JP2009156104A patent/JP2011013038A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5645240B2 (ja) | 赤外線アレイセンサ | |
US8426864B2 (en) | Infrared sensor | |
US20110175145A1 (en) | Infrared Sensor | |
WO2010114001A1 (ja) | 赤外線アレイセンサ | |
JP2010048803A (ja) | 赤外線センサの製造方法、赤外線センサ | |
JP5261102B2 (ja) | 赤外線センサおよび赤外線センサモジュール | |
JP2012215531A (ja) | 赤外線センサ | |
JP2011027652A (ja) | 赤外線センサ | |
JP2013003017A (ja) | 赤外線センサの製造方法 | |
JP2011013038A (ja) | 赤外線センサの製造方法 | |
JP2011027650A (ja) | 赤外線センサ | |
JP2010249779A (ja) | 赤外線センサ | |
JP5624347B2 (ja) | 赤外線センサおよびその製造方法 | |
JP2012063221A (ja) | 赤外線センサ | |
JP5081116B2 (ja) | 赤外線センサおよび赤外線センサモジュール | |
JP2012063222A (ja) | 赤外線センサおよびその製造方法 | |
JP2012037395A (ja) | 赤外線センサ | |
JP2011151215A (ja) | 異方性ウェットエッチング方法およびmemsデバイスの製造方法 | |
JP2011203221A (ja) | 赤外線センサモジュール | |
JP2012112666A (ja) | 赤外線センサの製造方法 | |
JP2011149823A (ja) | 赤外線センサの製造方法 | |
JP5261447B2 (ja) | 赤外線センサ | |
JP2011149824A (ja) | 赤外線センサの製造方法 | |
JP2010256181A (ja) | 赤外線センサの製造方法 | |
JP2012151420A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20120118 |
|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20120904 |