JP5614130B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
76500/x0.81<y<53800/x0.63
となるAlN層を成長する工程であり、前記AlN層の(002)面ロッキングカーブの半値幅は1500sec以下であり、前記AlN層を成長する工程の前記基板のシート抵抗は、前記AlN層を成長する工程の前の前記基板のシート抵抗から低下しない半導体装置の製造方法である。本発明によれば、好適なAlN層を成長することが可能となる。また、リーク電流の発生、及び反りを抑制することが可能となる。
Al原料:TMA(トリメチルアルミニウム)
N原料:NH3(アンモニア)
温度:1050℃
圧力:100Torr(13.3MPa)
y=76500/x0.81
の式で表される曲線でフィッティングされた。
y=53800/x0.83
の式で表される曲線でフィッティングされた。
76500/x0.81<y<53800/x0.83
となるように、AlN層を成長させる。これにより、結晶性の良好なAlN層12を成長させ、クラックの発生を抑制することが可能となる。またTMA先流しによるシート抵抗への影響も抑制することが可能となる。つまりSiCよりも安価で、大口径化が可能であり、かつ低結晶欠陥であるSiからなる基板を用いた場合でも、好適なAlN層12を成長することが可能となる。
76500/x0.81<y<53800/x0.83
となるように、AlN層12を成長する。これにより、FETの製造方法において、結晶性の良好なAlN層12を成長し、クラックの発生を抑制すること、及びTMA先流しによるシート抵抗への影響も抑制することが可能となる。特にFETにおいては、クラックや低抵抗層の成長により、高周波特性が悪化する恐れがある。実施例2によれば、高周波特性の悪化を抑制したFETの製造方法が実現できる。
AlN層 12
AlGaN層 14
un−GaN層 16
n−AlGaN層 18
n−GaN層 20
GaN系半導体層 21
ソース電極 22
ドレイン電極 24
ゲート電極 26
Claims (5)
- N原料を供給せずに、Al原料を供給するステップと、前記Al原料を供給するステップの後に前記Al原料と前記N原料とを供給するステップとを行って、Siからなる基板表面に、膜厚が200nmより大きく、かつ400nmより小さいAlN層を成長する工程と、
前記AlN層を成長する工程の後に、前記AlN層上にGaN系半導体層を成長する工程と、を有し、
前記AlN層を成長する工程は、前記AlN層の膜厚(nm)をx、前記AlN層の(002)面ロッキングカーブの半値幅(sec)をyとすると、
76500/x0.81<y<53800/x0.63
となるAlN層を成長する工程であり、
前記AlN層の(002)面ロッキングカーブの半値幅は1500sec以下であり、前記AlN層を成長する工程の前記基板のシート抵抗は、前記AlN層を成長する工程の前の前記基板のシート抵抗から低下しないことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記AlN層を成長する工程は、前記Al原料としてトリメチルアルミニウム又はトリエチルアルミニウムを用いて、MOCVD法を実施する工程であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記AlN層を成長する工程は、前記N原料としてアンモニア、ジメチルヒドラジン、及び窒素ラジカルの少なくとも1つを用いる工程であることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板のシート抵抗は100kΩ/□以上であることを特徴とする請求項1から3いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体装置はFETであることを特徴とする請求項1から4いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
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