JP5612873B2 - 光半導体素子および光半導体装置 - Google Patents
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Description
(光半導体素子の構成)
図2は、本発明の実施例に係る光半導体素子1の構成を示す断面図である。光半導体素子1は、導電性支持体30と、導電性支持体30上に金属下地層20を介して設けられた半導体膜10と、を含んでいる。
図3および図4は、それぞれ、上記した光半導体素子1を搭載した光半導体装置2の構成を示す断面図および斜視図である。光半導体装置2は、互いに電気的に分離されたp側端子50aおよびn側端子50bからなる基台50と、p側端子50aおよびn側端子50bの周囲に延在する樹脂54と、p型端子50a上に搭載された半導体発光素子1と、光半導体素子1のn側電極15とn側端子50bとを電気的に接続するAuワイヤ56と、光半導体素子1およびAuワイヤ56を封止する封止樹脂60と、を含んでいる。
以下に、本発明の実施例に係る光半導体素子1の製造方法について図6を参照しつつ説明する。
半導体膜10の結晶成長に用いる成長用基板を用意する。本実施例では、MOCVD法(有機金属気相成長法)によりAlxInyGazN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)からなる半導体膜を形成することができるC面サファイア基板80を成長用基板として用いた。
次に、p型半導体層13上に導電性支持体30を形成する。本実施例では、熱伝導性(放熱性)、電気伝導性、製造容易性(歩留まり)の観点から導電性支持体30をCuめっき膜により構成した。導電性支持体30をCuめっき膜で構成することにより、後の工程において伝熱性高抵抗膜31を比較的容易に形成することができる利点もある。
半導体膜10の結晶成長に使用したサファイア基板80を半導体膜10から剥離する。サファイア基板80の剥離には、例えば波長266nmのエキシマレーザを用いたLLO(レーザリフトオフ)法等の公知の手法を用いることができる。LLO法においては、サファイア基板80側からレーザを照射し、サファイア基板80との界面近傍における半導体膜10(n型半導体層11)を金属GaとN2ガスに分解する。サファイア基板80を剥離することにより、n型半導体層11が表出する。尚、サファイア基板80の除去方法としてLLO法以外にも研削・研磨やRIE等の物理的な手法を用いることができる。また、成長用基板としてSiやSiC等の特定の溶液に溶解するものを用いた場合、化学的な処理により成長用基板を除去することができる(図6(c))。
フォトリソグラフィおよび電子ビーム蒸着法などにより、サファイア基板80を剥離することによって表出したn型半導体層11の表面にTi(1nm)/Pt(100nm)/Au(1500nm)を順次堆積させn側電極15を形成する(図6(d))。
ウエハ面内に形成された複数の光半導体素子を個々の光半導体素子ごとに分割(チップ化)する。具体的には所定の素子分割ラインに沿って半導体膜10を除去することにより、半導体膜10に光半導体素子の個片領域を画定する素子分割溝(ストリート)90を形成する。素子分割溝90の形成には、KOHやNaOH等のアルカリ溶液を用いたウェットエッチング又はRIE(反応性イオンエッチング)等のドライエッチングのいずれか又は両方を組み合わせて用いることができる。次に、素子分割溝90を形成することにより露出した金属下地層20または導電性支持体30の表面にYAGレーザを照射して導電性支持体30を切断し、個々の光半導体素子に分割する。尚、レーザスクライブの条件は、例えば以下のように設定する。レーザ波長355nm、パルス幅30nsec、周波数50kHz、走査速度10〜40mm/sec、レーザ出力3Wに設定する(図6(e))。
個片化された光半導体素子1の導電性支持体30の側面に伝熱性高抵抗膜31を熱酸化処理により形成する。具体的には、光半導体素子1を300℃の大気中に曝し、導電性支持体30を構成するCuめっき膜の側面に厚さ20〜100nmの酸化銅(II)(CuO)を形成する。導電性支持体30を構成するCuめっき膜は、大気中の酸素と結合することによって側部表面が酸化銅(II)となり、伝熱性高抵抗膜31が形成される。伝熱性高抵抗膜31は、20〜100nmの薄膜として形成されているために、銅由来の熱伝導性が大きく失われることはない。つまり、導電性支持体30の側面は、電気的に絶縁であるが、熱的には良好な伝導性を有する。導電性支持体30の裏面は金めっき膜で覆われているため、本工程における熱酸化処理によってほとんど酸化されず、導電性支持体30の底面側からは電流が流入できるようになっている。このように、導電性支持体30の材料としてCuを用いることにより、容易に導電性支持体30の側面にのみ伝熱性高抵抗膜31を形成することができる。尚、伝熱性高抵抗膜31を形成する他の方法としては、反応性スパッタリングや反応性イオンプレーティング又は酸化性アルカリ溶液を用いる手法も適用できる。しかしながら、これらの手法によれば、導電性支持体30の側面を除く光半導体素子の表面をマスクで保護をするなどの処置が必要となり、工数が増加し、製造コストの増加を招くため好ましくない。
以下に、上記各工程を経て製造された光半導体素子1を搭載した本発明の実施例に係る光半導体装置2の製造方法について図7を参照しつつ説明する。
光半導体素子1を基台50のp側端子50a上に固定する。凹部51の内壁面にはんだ52を構成するAuSnペーストをディスペンサー等で塗布する。尚、凹部51の内壁面にAu膜を形成してもよい。これにより、はんだ濡れ性が向上し、導電性支持体30と凹部51との間隙に、はんだ52を均一に広げることが可能となる。AuSnペーストは、Au組成が80wt%のものを使用し、塗布量は支持体30と凹部51との間隙の容量に応じて適宜塗布量を調整する。
光半導体素子1を基台50に搭載した後、ワイヤボンダを用いて基台50のn側端子50bと光半導体素子1のn側電極15とをAuワイヤ56で接続する(図7(b))。
Auワイヤ56、光半導体素子1および基台50の一部を封止樹脂60で封止する。具体的には樹脂封止用の金型にAuワイヤ56、光半導体素子1が搭載された基台50をセットして、金型のキャビティ内に封止樹脂60を構成するエポキシ樹脂の前駆体を充填する。その後、150℃に設定された電気炉にて35分間の熱処理を行って、エポキシ樹脂を熱硬化させる(図7(c))。尚、封止樹脂60としてエポキシ樹脂以外にアクリル樹脂、シリコーン樹脂などを用いてもよい。
図8は、本発明の実施例2に係る光半導体装置2aの構成を示す断面図である。実施例2に係る光半導体装置2aは、導電性支持体30の底面に導電性および断熱性を兼ね備えた断熱性導電膜32が設けられている点が実施例1に係る光半導体装置2と異なる。他の構成部分は、実施例1に係る光半導体装置2と同様である。断熱性導電膜32の材料としては、例えば炭素が含有されたポリテトラフルオロエチレン、銀等の金属フィラーが含有されたエポキシ樹脂、中空構造のシリカ球を含有した樹脂といった断熱効果を有する材料を含有する導電性ペースト等を用いることができる。断熱性導電膜32の形成方法としては、例えば、導電性支持体30の裏面に銀フィラーが含有されたエポキシ樹脂を塗布・ポッティングし、120〜150℃の高温炉にて硬化する。
図9は、本発明の実施例3に係る光半導体装置2bの構成を示す断面図である。第3実施例に係る光半導体装置2bは、導電性支持体30の側面ではなく、p側端子50aの凹部51の内側の側面に伝熱性高抵抗膜58が形成されている点が実施例1に係る光半導体装置2と異なる。他の構成部分は実施例1に係る光半導体装置2と同様である。伝熱性高抵抗膜58は、実施例1に係る伝熱性高抵抗膜31と同様の機能を有する。すなわち、伝熱性高抵抗膜58は、導電性支持体30の側方への熱拡散を許容しつつ導電性支持体30の側面からの電流の流入を阻止する。
図10は、本発明の実施例4に係る光半導体装置2cの構成を示す断面図である。実施例4に係る光半導体装置2cは、基台50のp側端子50aが熱伝導率の異なる2種類以上の部材から構成されている点が実施例1に係る光半導体装置2と異なる。すなわち、p側端子50aは、凹部51の側方に延在する部分が熱伝導率が高く且つ高抵抗の伝熱性高抵抗材59aによって構成され、凹部51の底面よりも下方に延在する部分が電気伝導率が高い導電材59bにより構成される。伝熱性絶縁材59aとしては、例えばBN(窒化ホウ素)粉末にCu、Ag、Al等の高熱伝導材料の粉末を含有させた焼結体を用いることができる。また、このような複合材に限らず、ダイヤモンドを用いることも可能である。導電材59bとしては、一般的なリードフレームに用いられるCuなどの金属を用いることができる。
図11は、本発明の実施例5に係る光半導体装置2dの構成を示す断面図である。実施例5に係る光半導体装置2dは、基台50上において光半導体素子1の周囲を囲む光反射面を有する環状のランプハウス70を含んでいる点が実施例1に係る光半導体装置2と異なる。
11 n型半導体層
12 発光層
13 p型半導体層
30 導電性支持基板
31 伝熱性高抵抗膜
32 断熱性導電膜
50 基台
50a p側端子
50b n側端子
51 凹部
52 はんだ
54 樹脂
58 伝熱性高抵抗膜
59a 伝熱性高抵抗材
59b 導電材
60 封止樹脂
70 ランプハウス
Claims (10)
- n型半導体層、p型半導体層及び前記n型半導体層と前記p型半導体層の間に設けられた発光層を含む半導体膜と、前記半導体膜の前記p型半導体層の側に設けられた電子をキャリアとする導電性支持体と、を含む光半導体素子と、
前記光半導体素子と電気的および熱的に接続された基台と、
を含む光半導体装置であって、
前記導電性支持体は、前記基台に設けられた凹部内に収容され、前記凹部の底面および側面と前記導電性支持体の底面および側面との間を充たす導電性接合材によって前記基台に接合され、
前記光半導体装置は、
前記導電性支持体の側面から前記基台への熱拡散を許容しつつ前記導電性支持体の側面からの前記光半導体素子への電流の流入を制限する伝熱性高抵抗部と、
前記導電性支持体の底面からの前記光半導体素子への電流の流入を許容する導電部と、を有することを特徴とする光半導体装置。 - 前記伝熱性高抵抗部は、前記導電性支持体の側面に設けられて且つ前記導電性支持体の電気抵抗よりも高い電気抵抗を有する伝熱性高抵抗膜であることを特徴とする請求項1に記載の光半導体装置。
- 前記導電性支持体は金属からなり、前記伝熱性高抵抗膜は前記導電性支持体を構成する金属の酸化物であることを特徴とする請求項2に記載の光半導体装置。
- 前記導電性支持体は銅からなり、前記伝熱性高抵抗膜は酸化銅からなることを特徴とする請求項3に記載の光半導体装置。
- 前記導電性支持体と前記伝熱性高抵抗膜との界面は、前記半導体膜の側面の内側に位置していることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1つに記載の光半導体装置。
- 前記伝熱性高抵抗部は、前記基台の前記凹部の内側の側面に設けられた伝熱性高抵抗膜であることを特徴とする請求項1に記載の光半導体装置。
- 前記基台は、前記凹部の側方に延在する部分が伝熱性高抵抗材で構成され、前記凹部の底面よりも下方に延在する部分が導電材により構成されていることを特徴とする請求項1に記載の光半導体装置。
- 前記基台の前記凹部の底面直下における板厚は、前記凹部の深さよりも薄いことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1つに記載の光半導体装置。
- 前記基台の前記凹部の下方は樹脂で覆われており、前記樹脂の下面は、前記基台の最下面よりも上方に位置していることを特徴とする請求項8に記載の光半導体装置。
- 前記導電性支持体は、側面において複数の凹凸を有していることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1つに記載の光半導体装置。
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