JP5612240B2 - 距離計および距離計測方法 - Google Patents
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L=nλ/2 ・・・(1)
式(1)において、nは整数である。この現象は、測定対象104からの散乱光が極めて微弱であっても、半導体レーザの共振器101内の見かけの反射率が増加することにより、増幅作用が生じ、十分観測できる。
また、本発明の距離計は、測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させるレーザドライバと、前記半導体レーザの光出力を電気信号に変換する受光器と、この受光器の出力信号に含まれる、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形の数を数える計数手段と、前記干渉波形の数を数える計数期間における前記干渉波形の数の時間変化に基づいて前記計数手段の計数結果の有効性を判定する判定手段と、前記判定手段によって有効と判定された前記計数手段の計数結果から前記測定対象との距離を求める演算手段とを有するものである。
また、本発明の距離計の1構成例において、前記判定手段は、前記計数期間の途中で前記干渉波形が発生又は消失した場合に、前記計数期間における前記計数手段の計数結果を無効と判定するものである。
また、本発明の距離計の1構成例において、前記判定手段は、前記計数期間における前半期間と後半期間で前記干渉波形の数が変化した場合に、前記計数期間における前記計数手段の計数結果を無効と判定し、前記後半期間の干渉波形の数が前記前半期間の干渉波形の数よりも多く、前記前半期間の干渉波形の数が略0でない場合は、前記後半期間の計数結果を有効と判定し、前記後半期間の干渉波形の数が前記前半期間の干渉波形の数よりも多く、前記前半期間の干渉波形の数が略0の場合は、前記前半期間の計数結果および前記後半期間の計数結果共に無効と判定し、前記前半期間の干渉波形の数が前記後半期間の干渉波形の数よりも多く、前記後半期間の干渉波形の数が略0でない場合は、前記前半期間の計数結果を有効と判定し、前記前半期間の干渉波形の数が前記後半期間の干渉波形の数よりも多く、前記後半期間の干渉波形の数が略0の場合は、前記前半期間の計数結果および前記後半期間の計数結果共に無効と判定し、前記演算手段は、前記前半期間の計数結果が無効で前記後半期間の計数結果が有効と判定された場合は、前記後半期間の計数結果から前記測定対象との距離を求め、前記後半期間の計数結果が無効で前記前半期間の計数結果が有効と判定された場合は、前記前半期間の計数結果から前記測定対象との距離を求めるものである。
また、本発明の距離計測方法は、発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振手順と、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光とを電気信号に変換する受光器の出力信号に含まれる、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光とによって生じる干渉波形の数を数える計数手順と、前記干渉波形の数を数える計数期間における前記干渉波形の数の時間変化に基づいて前記計数手順の計数結果の有効性を判定する判定手順と、前記判定手順によって有効と判定された前記計数手順の計数結果から前記測定対象との距離を求める演算手順とを備えるものである。
また、本発明の距離計測方法は、発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振手順と、前記半導体レーザの光出力を電気信号に変換する受光器の出力信号に含まれる、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形の数を数える計数手順と、前記干渉波形の数を数える計数期間における前記干渉波形の数の時間変化に基づいて前記計数手順の計数結果の有効性を判定する判定手順と、前記判定手順によって有効と判定された前記計数手順の計数結果から前記測定対象との距離を求める演算手順とを備えるものである。
本発明は、波長変調を用いたセンシングにおいて出射した波と対象物で反射した波の干渉信号をもとに距離を計測する手法である。したがって、自己結合型以外の光学式の干渉計、光以外の干渉計にも適用できる。半導体レーザの自己結合を用いる場合について、より具体的に説明すると、半導体レーザから測定対象にレーザ光を照射しつつ、レーザの発振波長を変化させると、発振波長が最小発振波長から最大発振波長まで変化する間(あるいは最大発振波長から最小発振波長まで変化する間)における測定対象の変位は、MHPの数に反映される。したがって、発振波長を変化させたときのMHPの数を調べることで測定対象の状態を検出することができる。以上が、本発明の基本的な原理である。
一方、カウンタ82は、信号抽出回路11の出力電圧に含まれるMHPの数を第1の発振期間t−1,t+1,t+3毎及び第2の発振期間t,t+2,t+4毎に数える。
一方、図5(B)の例では、第1の発振期間t−1の前半期間でMHPの数が少ないのに対して、後半期間でMHPの数が多くなっており、これにより前半期間のMHPの数と後半期間のMHPの数との比が所定の数値範囲より小さくなる。このため、判定部83は、第1の発振期間t−1におけるカウンタ82の計数結果を無効と判定する。
判定部83は、カウンタ82の計数結果を有効と判定した場合は、この計数結果を演算装置9に通知し、カウンタ82の計数結果を無効と判定した場合は、計数結果が無効である旨を演算装置9に通知する。
表示装置10は、演算装置9によって算出された測定対象12との距離(変位)をリアルタイムで表示する。また、表示装置10は、測定対象検知信号/非検知信号に基づく、測定対象12の検知/非検知結果を表示する。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。本実施の形態においても、距離計全体の構成は第1の実施の形態と同様であるので、図1の符号を用いて説明する。図6は本実施の形態の計数装置8の構成の1例を示すブロック図である。本実施の形態の計数装置8は、カウンタ84と、判定部85とから構成される。
判定部85は、ある発振期間中の全ての区間でMHPを検出できた場合、同発振期間におけるカウンタ84の計数結果を有効と判定し、発振期間の少なくとも一部でMHPを検出できなかった場合、同発振期間におけるカウンタ82の計数結果を無効と判定する。
一方、図5(B)の例では、第1の発振期間t−1の途中までMHPを検出することができない。このため、判定部85は、第1の発振期間t−1におけるカウンタ84の計数結果を無効と判定する。同様に、図5(B)の第2の発振期間t+2では途中でMHPが消失するので、判定部85は、第2の発振期間t+2におけるカウンタ84の計数結果を無効と判定する。
判定部85は、カウンタ84の計数結果を有効と判定した場合は、この計数結果を演算装置9に通知し、カウンタ84の計数結果を無効と判定した場合は、計数結果が無効である旨を演算装置9に通知する。
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。本実施の形態においても、距離計全体の構成は第1の実施の形態と同様であるので、図1の符号を用いて説明する。また、計数装置8の構成も第1の実施の形態と同様であるので、図4の符号を用いて説明する。
演算装置9は、カウンタ82の計数結果が有効と判定された場合は、第1の実施の形態と同様にして、この計数結果から測定対象12との距離を求める。
N=Nβ×(Tα+Tβ)/Tβ ・・・(2)
N=Nα×(Tα+Tβ)/Tα ・・・(3)
式(2)又は式(3)によりMHPの数を計算した後は、このMHPの数から第1の実施の形態と同様にして測定対象12との距離を求めることができる。
Claims (11)
- 測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、
発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させるレーザドライバと、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光とを電気信号に変換する受光器と、
この受光器の出力信号に含まれる、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光とによって生じる干渉波形の数を数える計数手段と、
前記干渉波形の数を数える計数期間における前記干渉波形の数の時間変化に基づいて前記計数手段の計数結果の有効性を判定する判定手段と、
前記判定手段によって有効と判定された前記計数手段の計数結果から前記測定対象との距離を求める演算手段とを有することを特徴とする距離計。 - 測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、
発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させるレーザドライバと、
前記半導体レーザの光出力を電気信号に変換する受光器と、
この受光器の出力信号に含まれる、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形の数を数える計数手段と、
前記干渉波形の数を数える計数期間における前記干渉波形の数の時間変化に基づいて前記計数手段の計数結果の有効性を判定する判定手段と、
前記判定手段によって有効と判定された前記計数手段の計数結果から前記測定対象との距離を求める演算手段とを有することを特徴とする距離計。 - 請求項1又は2記載の距離計において、
前記判定手段は、前記計数期間における前半期間と後半期間で前記干渉波形の数が変化した場合に、前記計数期間における前記計数手段の計数結果を無効と判定することを特徴とする距離計。 - 請求項1又は2記載の距離計において、
前記判定手段は、前記計数期間の途中で前記干渉波形が発生又は消失した場合に、前記計数期間における前記計数手段の計数結果を無効と判定することを特徴とする距離計。 - 請求項1又は2記載の距離計において、
前記判定手段は、前記計数期間における前半期間と後半期間で前記干渉波形の数が変化した場合に、前記計数期間における前記計数手段の計数結果を無効と判定し、前記後半期間の干渉波形の数が前記前半期間の干渉波形の数よりも多く、前記前半期間の干渉波形の数が略0でない場合は、前記後半期間の計数結果を有効と判定し、前記後半期間の干渉波形の数が前記前半期間の干渉波形の数よりも多く、前記前半期間の干渉波形の数が略0の場合は、前記前半期間の計数結果および前記後半期間の計数結果共に無効と判定し、前記前半期間の干渉波形の数が前記後半期間の干渉波形の数よりも多く、前記後半期間の干渉波形の数が略0でない場合は、前記前半期間の計数結果を有効と判定し、前記前半期間の干渉波形の数が前記後半期間の干渉波形の数よりも多く、前記後半期間の干渉波形の数が略0の場合は、前記前半期間の計数結果および前記後半期間の計数結果共に無効と判定し、
前記演算手段は、前記前半期間の計数結果が無効で前記後半期間の計数結果が有効と判定された場合は、前記後半期間の計数結果から前記測定対象との距離を求め、前記後半期間の計数結果が無効で前記前半期間の計数結果が有効と判定された場合は、前記前半期間の計数結果から前記測定対象との距離を求めることを特徴とする距離計。 - 波長変調した波を測定対象に放射し、測定対象に反射して戻る波と前記放射した波との間で発生する干渉を検出し、この干渉に関する情報に基づいて前記測定対象との距離を求める距離計測方法において、
前記干渉に関する情報の検出期間における前記情報の時間変化に基づいて前記検出結果の有効性を判定する判定手順と、
前記判定手順によって有効と判定された前記干渉に関する情報から前記測定対象との距離を求める演算手順とを備えることを特徴とする距離計測方法。 - 半導体レーザを用いて測定対象にレーザ光を放射する距離計測方法において、
発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振手順と、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光とを電気信号に変換する受光器の出力信号に含まれる、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光とによって生じる干渉波形の数を数える計数手順と、
前記干渉波形の数を数える計数期間における前記干渉波形の数の時間変化に基づいて前記計数手順の計数結果の有効性を判定する判定手順と、
前記判定手順によって有効と判定された前記計数手順の計数結果から前記測定対象との距離を求める演算手順とを備えることを特徴とする距離計測方法。 - 半導体レーザを用いて測定対象にレーザ光を放射する距離計測方法において、
発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振手順と、
前記半導体レーザの光出力を電気信号に変換する受光器の出力信号に含まれる、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形の数を数える計数手順と、
前記干渉波形の数を数える計数期間における前記干渉波形の数の時間変化に基づいて前記計数手順の計数結果の有効性を判定する判定手順と、
前記判定手順によって有効と判定された前記計数手順の計数結果から前記測定対象との距離を求める演算手順とを備えることを特徴とする距離計測方法。 - 請求項7又は8記載の距離計測方法において、
前記判定手順は、前記計数期間における前半期間と後半期間で前記干渉波形の数が変化した場合に、前記計数期間における前記計数手順の計数結果を無効と判定することを特徴とする距離計測方法。 - 請求項7又は8記載の距離計測方法において、
前記判定手順は、前記計数期間の途中で前記干渉波形が発生又は消失した場合に、前記計数期間における前記計数手順の計数結果を無効と判定することを特徴とする距離計測方法。 - 請求項7又は8記載の距離計測方法において、
前記判定手順は、前記計数期間における前半期間と後半期間で前記干渉波形の数が変化した場合に、前記計数期間における前記計数手順の計数結果を無効と判定し、前記後半期間の干渉波形の数が前記前半期間の干渉波形の数よりも多く、前記前半期間の干渉波形の数が略0でない場合は、前記後半期間の計数結果を有効と判定し、前記後半期間の干渉波形の数が前記前半期間の干渉波形の数よりも多く、前記前半期間の干渉波形の数が略0の場合は、前記前半期間の計数結果および前記後半期間の計数結果共に無効と判定し、前記前半期間の干渉波形の数が前記後半期間の干渉波形の数よりも多く、前記後半期間の干渉波形の数が略0でない場合は、前記前半期間の計数結果を有効と判定し、前記前半期間の干渉波形の数が前記後半期間の干渉波形の数よりも多く、前記後半期間の干渉波形の数が略0の場合は、前記前半期間の計数結果および前記後半期間の計数結果共に無効と判定し、
前記演算手順は、前記前半期間の計数結果が無効で前記後半期間の計数結果が有効と判定された場合は、前記後半期間の計数結果から前記測定対象との距離を求め、前記後半期間の計数結果が無効で前記前半期間の計数結果が有効と判定された場合は、前記前半期間の計数結果から前記測定対象との距離を求めることを特徴とする距離計測方法。
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