JP5484660B2 - 距離・振動計および距離・速度計測方法 - Google Patents
距離・振動計および距離・速度計測方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5484660B2 JP5484660B2 JP2007180861A JP2007180861A JP5484660B2 JP 5484660 B2 JP5484660 B2 JP 5484660B2 JP 2007180861 A JP2007180861 A JP 2007180861A JP 2007180861 A JP2007180861 A JP 2007180861A JP 5484660 B2 JP5484660 B2 JP 5484660B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- distance
- semiconductor laser
- measurement
- priority mode
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
L=qλ/2 ・・・(1)
式(1)において、qは整数である。この現象は、測定対象104からの散乱光が極めて微弱であっても、半導体レーザの共振器101内の見かけの反射率が増加することにより、増幅作用が生じ、十分観測できる。
ただし、自己結合型を含め従来の干渉型計測器では、静止した測定対象との距離を計測することはできても、速度を持つ測定対象の距離を計測することはできないという問題点があった。
しかしながら、速度計測を主目的にする場合、半導体レーザの波長変化が大きいほど、レーザ駆動電流の振幅(波長変化量)のばらつきが大きな計測誤差成分になるという問題点があった。
また、本発明の距離・振動計の1構成例において、前記モード設定手段は、前記距離計測優先モードにおける半導体レーザの最小発振波長をλa1、最大発振波長をλb1、前記速度計測優先モードにおける半導体レーザの最小発振波長をλa2、最大発振波長をλb2、前記距離計測優先モードにおける半導体レーザの波長変化率をΔλ1=(λb1−λa1)/λb1、前記速度計測優先モードにおける半導体レーザの波長変化率をΔλ2=(λb2−λa2)/λb2、前記速度計測優先モードにおける物理量算出周期あたりの測定対象の最大速度をVmax、前記測定対象との距離をLとしたとき、関係式(|Vmax|/L)<Δλ2<Δλ1が成立するように、前記半導体レーザの波長変化率を設定するものである。
また、本発明の距離・振動計の1構成例において、前記モード設定手段は、前記演算手段の算出結果から前記関係式が成立するように、前記速度計測優先モードにおいて前記半導体レーザの波長変化率を随時調整するものである。
本実施の形態では、モード設定装置10がレーザドライバ4と演算装置8を制御することにより、距離・振動計の動作モードを、距離計測を優先する距離計測優先モードと速度計測を優先する速度計測優先モードのいずれかに切り替えられるようになっている。ここでは、まず初めに距離計測優先モードが選択されているものとする。
Lα(t)=λa×λb×(MHP(t−1)+MHP(t))
/{4×(λb−λa)} ・・・(2)
Lβ(t)=λa×λb×(|MHP(t−1)−MHP(t)|)
/{4×(λb−λa)} ・・・(3)
Vα(t)=(MHP(t−1)−MHP(t))×λb/4 ・・・(4)
Vβ(t)=(MHP(t−1)+MHP(t))×λb/4 ・・・(5)
Vcalα(t)=Lα(t)−Lα(t−1) ・・・(6)
Vcalβ(t)=Lβ(t)−Lβ(t−1) ・・・(7)
次に、演算装置8の状態判定部83は、記憶部82に格納された式(2)〜式(7)の算出結果を用いて、測定対象12の状態を判定する(図5ステップS3)。
すなわち、距離・速度確定部84は、測定対象12が微小変位状態で等速度運動していると判定された場合、速度の候補値Vα(t)を測定対象12の速度とし、距離の候補値Lα(t)を測定対象12との距離とし、測定対象12が変位状態で等速度運動していると判定された場合、速度の候補値Vβ(t)を測定対象12の速度とし、距離の候補値Lβ(t)を測定対象12との距離とする。
表示装置9は、演算装置8によって算出された測定対象12との距離及び測定対象12の速度をリアルタイムで表示する。
図6は速度計測優先モードにおける半導体レーザ1の発振波長の時間変化を示す図である。半導体レーザ1の発振波長の時間変化は図10と同様であるが、ここでは速度計測優先モードにおける発振波長の最大値をλb2、発振波長の最小値をλa2とする。発振波長の最大値λb2及び発振波長の最小値λa2はそれぞれ常に一定になされており、それらの差λb2−λa2も常に一定になされている。
演算装置8は、距離計測優先モードの場合と同様に動作するが、λb=λb2、λa=λa2として動作する。
Δλ1=(λb1−λa1)/λb1 ・・・(8)
Δλ2=(λb2−λa2)/λb2 ・・・(9)
(|Vmax|/L)<Δλ2<Δλ1 ・・・(10)
式(10)において、Vmaxは速度計測優先モードにおいて演算装置8が算出した、物理量算出周期あたりの測定対象12の最大速度、Lは演算装置8が算出した、最大速度Vmaxのときの測定対象12との距離である。
なお、波長変化率Δλ2の自動調整を行わずに、予め想定する最大速度Vmax及び距離Lに対して式(10)が成立するように、波長λb2,λa2を予め設定しておくようにしてもよい。
Claims (8)
- 測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、
発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させるレーザドライバと、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光とを電気信号に変換する受光器と、
この受光器の出力信号に含まれる、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光とによって生じる干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手段と、
この計数手段によって干渉波形の数を数える期間における最小発振波長と最大発振波長と前記計数手段の計数結果とから前記測定対象との距離及び前記測定対象の速度を算出する演算手段と、
前記最大発振波長と前記最小発振波長との差を前記最大発振波長で割った比率である、前記半導体レーザの波長変化率を、距離の分解能を確保するための距離計測優先モードと速度の計測誤差を低減するための速度計測優先モードで切り替えるモード設定手段とを有することを特徴とする距離・振動計。 - 請求項1記載の距離・振動計において、
前記モード設定手段は、前記レーザドライバと前記演算手段を制御して、前記速度計測優先モードにおける半導体レーザの波長変化率を前記距離計測優先モードにおける半導体レーザの波長変化率よりも小さくすることを特徴とする距離・振動計。 - 請求項2記載の距離・振動計において、
前記モード設定手段は、前記距離計測優先モードにおける半導体レーザの最小発振波長をλa1、最大発振波長をλb1、前記速度計測優先モードにおける半導体レーザの最小発振波長をλa2、最大発振波長をλb2、前記距離計測優先モードにおける半導体レーザの波長変化率をΔλ1=(λb1−λa1)/λb1、前記速度計測優先モードにおける半導体レーザの波長変化率をΔλ2=(λb2−λa2)/λb2、前記速度計測優先モードにおける物理量算出周期あたりの測定対象の最大速度をVmax、前記測定対象との距離をLとしたとき、関係式(|Vmax|/L)<Δλ2<Δλ1が成立するように、前記半導体レーザの波長変化率を設定することを特徴とする距離・振動計。 - 請求項3記載の距離・振動計において、
前記モード設定手段は、前記演算手段の算出結果から前記関係式が成立するように、前記速度計測優先モードにおいて前記半導体レーザの波長変化率を随時調整することを特徴とする距離・振動計。 - 半導体レーザを用いて測定対象にレーザ光を放射する距離・速度計測方法において、
発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振手順と、
前記半導体レーザの光出力を電気信号に変換する受光器の出力信号に含まれる、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手順と、
この計数手順によって干渉波形の数を数える期間における最小発振波長と最大発振波長と前記計数手順の計数結果とから前記測定対象との距離及び前記測定対象の速度を算出する演算手順と、
前記最大発振波長と前記最小発振波長との差を前記最大発振波長で割った比率である、前記半導体レーザの波長変化率を、距離の分解能を確保するための距離計測優先モードと速度の計測誤差を低減するための速度計測優先モードで切り替えるモード設定手順とを備えることを特徴とする距離・速度計測方法。 - 請求項5記載の距離・速度計測方法において、
前記モード設定手順は、前記速度計測優先モードにおける半導体レーザの波長変化率を前記距離計測優先モードにおける半導体レーザの波長変化率よりも小さくすることを特徴とする距離・速度計測方法。 - 請求項6記載の距離・速度計測方法において、
前記モード設定手順は、前記距離計測優先モードにおける半導体レーザの最小発振波長をλa1、最大発振波長をλb1、前記速度計測優先モードにおける半導体レーザの最小発振波長をλa2、最大発振波長をλb2、前記距離計測優先モードにおける半導体レーザの波長変化率をΔλ1=(λb1−λa1)/λb1、前記速度計測優先モードにおける半導体レーザの波長変化率をΔλ2=(λb2−λa2)/λb2、前記速度計測優先モードにおける物理量算出周期あたりの測定対象の最大速度をVmax、前記測定対象との距離をLとしたとき、関係式(|Vmax|/L)<Δλ2<Δλ1が成立するように、前記半導体レーザの波長変化率を設定することを特徴とする距離・速度計測方法。 - 請求項7記載の距離・速度計測方法において、
前記モード設定手順は、前記演算手順の算出結果から前記関係式が成立するように、前記速度計測優先モードにおいて前記半導体レーザの波長変化率を随時調整する手順を含むことを特徴とする距離・速度計測方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007180861A JP5484660B2 (ja) | 2007-07-10 | 2007-07-10 | 距離・振動計および距離・速度計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007180861A JP5484660B2 (ja) | 2007-07-10 | 2007-07-10 | 距離・振動計および距離・速度計測方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009019895A JP2009019895A (ja) | 2009-01-29 |
JP5484660B2 true JP5484660B2 (ja) | 2014-05-07 |
Family
ID=40359676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007180861A Expired - Fee Related JP5484660B2 (ja) | 2007-07-10 | 2007-07-10 | 距離・振動計および距離・速度計測方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5484660B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5426345B2 (ja) * | 2009-12-04 | 2014-02-26 | アズビル株式会社 | 振動振幅計測装置および振動振幅計測方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2885807B2 (ja) * | 1988-10-21 | 1999-04-26 | 東京航空計器株式会社 | 距離検出装置 |
JPH085733A (ja) * | 1994-06-22 | 1996-01-12 | Hitachi Ltd | レーダ装置 |
JP4071688B2 (ja) * | 2003-05-12 | 2008-04-02 | ローム株式会社 | 振動計測方法および装置 |
-
2007
- 2007-07-10 JP JP2007180861A patent/JP5484660B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009019895A (ja) | 2009-01-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5172077B2 (ja) | 距離・速度計および距離・速度計測方法 | |
JP5545916B2 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
JP5530069B2 (ja) | 距離・速度計および距離・速度計測方法 | |
JP5530070B2 (ja) | 距離・速度計および距離・速度計測方法 | |
JP5545914B2 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
EP1978377A2 (en) | Distance/speed meter and distance/speed measuring method | |
US8537341B2 (en) | Physical quantity sensor and physical quantity measuring method | |
JP5461761B2 (ja) | 距離・速度計および距離・速度計測方法 | |
JP5184785B2 (ja) | 距離計および距離計測方法 | |
JP5461762B2 (ja) | 距離計および距離計測方法 | |
JP5081778B2 (ja) | 振動振幅計測装置および振動振幅計測方法 | |
JP5421568B2 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
JP5596915B2 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
JP5484660B2 (ja) | 距離・振動計および距離・速度計測方法 | |
JP5096123B2 (ja) | 距離・速度計および距離・速度計測方法 | |
JP2008275593A (ja) | 距離・速度計および距離・速度計測方法 | |
JP5503842B2 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
JP5612240B2 (ja) | 距離計および距離計測方法 | |
JP5484661B2 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
JP5667337B2 (ja) | 反射型光電スイッチおよび物体検出方法 | |
WO2011111180A1 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
JP2008175547A (ja) | 距離計および距離計測方法 | |
JP2009085910A (ja) | 計数装置、距離計、計数方法および距離計測方法 | |
JP2010117144A (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130226 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130405 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5484660 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |