JP5545915B2 - 計数装置、距離計、計数方法および距離計測方法 - Google Patents
計数装置、距離計、計数方法および距離計測方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5545915B2 JP5545915B2 JP2007319447A JP2007319447A JP5545915B2 JP 5545915 B2 JP5545915 B2 JP 5545915B2 JP 2007319447 A JP2007319447 A JP 2007319447A JP 2007319447 A JP2007319447 A JP 2007319447A JP 5545915 B2 JP5545915 B2 JP 5545915B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- period
- counting
- procedure
- frequency distribution
- representative value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 80
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 122
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 97
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 87
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 76
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 54
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 18
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 13
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 12
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 9
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000013208 measuring procedure Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 4
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 208000008312 Tooth Loss Diseases 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
Images
Description
L=nλ/2 ・・・(1)
式(1)において、nは整数である。この現象は、測定対象104からの散乱光が極めて微弱であっても、半導体レーザの共振器101内の見かけの反射率が増加することにより、増幅作用が生じ、十分観測できる。
しかし、FFTを用いる距離計では、レーザの発振波長の変化が時間に対して線形でない場合、FFTで算出されるピーク周波数と本来求められるべきMHPの平均周波数とに差が生じ、測定した距離に誤差が生じるという問題点があった。
なお、このような計数誤差は距離計に限らず、他の計数装置でも同様に発生することがある。
また、本発明の計数装置の1構成例において、前記代表値は、中央値、最頻値、平均値のうちのいずれか1つである。
また、本発明の計数装置の1構成例において、前記補正値算出手段は、前記計数手段の計数結果をNとしたとき、補正後の計数結果N’を、N’=N+Nw−Nsにより求めるものである。
また、本発明の計数装置の1構成例において、前記第1の所定数は0.5であり、前記第2の所定数は1.5である。
また、本発明の距離計の1構成例において、前記検出手段は、前記半導体レーザの光出力を電気信号に変換する受光器である。
また、本発明の距離計の1構成例において、前記検出手段は、前記半導体レーザの端子間電圧を検出する電圧検出手段である。
また、本発明の距離計の1構成例において、前記代表値は、中央値、最頻値、平均値のうちのいずれか1つである。
また、本発明の距離計の1構成例において、前記補正値算出手段は、前記計数手段の計数結果をNとしたとき、補正後の計数結果N’を、N’=N+Nw−Nsにより求めるものである。
また、本発明の距離計の1構成例において、前記第1の所定数は0.5であり、前記第2の所定数は1.5である。
本発明は、波長変調を用いたセンシングにおいて出射した波と対象物で反射した波の干渉信号をもとに距離を計測する手法である。したがって、自己結合型以外の光学式の干渉計、光以外の干渉計にも適用できる。半導体レーザの自己結合を用いる場合について、より具体的に説明すると、半導体レーザから測定対象にレーザ光を照射しつつ、レーザの発振波長を変化させると、発振波長が最小発振波長から最大発振波長まで変化する間(あるいは最大発振波長から最小発振波長まで変化する間)における測定対象の変位は、MHPの数に反映される。したがって、発振波長を変化させたときのMHPの数を調べることで測定対象の状態を検出することができる。以上が、干渉計の基本的な原理である。
記憶部85は、カウンタ83の計数結果と周期測定部840の測定結果を記憶する。
続いて、計数結果補正部84の代表値算出部842は、度数分布作成部841が作成した度数分布から、MHPの周期の中央値(メジアン)T0を算出する。
N’=N+Nw−Ns ・・・(2)
式(2)において、Nはカウンタ83の計数結果であるMHPの数、N’は補正後の計数結果である。
本来、MHPの周期は測定対象12との距離によって異なるが、測定対象12との距離が不変であれば、MHPは同じ周期で出現する。しかし、ノイズのために、MHPの波形には欠落が生じたり、信号として数えるべきでない波形が生じたりして、MHPの数に誤差が生じる。
表示装置10は、演算装置9によって算出された測定対象12との距離(変位)をリアルタイムで表示する。
最初に、誤ってノイズを数えてしまったために、MHPの周期が2分割された場合の計数結果の補正について説明する。半導体レーザの発振波長変化が線形である場合、MHPの周期Tは計測期間TcをMHPの数Nで除算したT0を中心にして正規分布する(図9)。
全ての周期の和は常に計測期間Tcであり、変化はないが、MHPのn%がノイズによって周期が2分割されると、度数の積分値は(1+n[%])Nになるため、MHPの周期の平均値は(1/(1+n[%]))T0になる。
(1−(1−NORMSDIST((中央値−T0)/σ))*2)
*(100−n)/2=n[%] ・・・(3)
T0’=(1/(1+0.1))T0=0.91T0 ・・・(4)
T0’=0.995T0 ・・・(5)
なお、ここでは平均値、中央値共にT0’で表すものとする。カウンタ値(度数の積分値)は、1.1Nとなり、カウント誤差は10%となる。
また、図13に示すように、T1のとり得る確率の度数分布は平均値が0.5T0、標準偏差0.5σの正規分布の累積度数分布と平均値がT0、標準偏差σの正規分布の累積度数分布を重ねたような形状になる。ここで、T1、T2それぞれの数は、周期が2分割されたMHPの数n[%]・Nに等しい。
N=N’−n[%]・N ・・・(6)
図14に示すように、Tb以下の周期を持つMHPの数Nsが2分割されたMHPの数n[%]・Nと等しくなるようにTbを設定することができれば、Tb以下の周期を持つMHPの数Nsを数えることで、周期が2分割されたMHPの数n[%]・Nを間接的に数えることができる。
N=N’−n[%]・N=N’−Ns ・・・(7)
T1およびT2の度数形状は、0.5Taで対称の形状であるため、0.5Taをしきい値にして判断すると、周期が2分割されたMHPの度数Ns(=n[%]・N)を正確に数えることができる。
Nt=N’−Ns’=(1+n[%])N−yn[%]N
=(1+(1−y)n[%])N=N+(1−y)n[%]N ・・・(8)
なお、補正後の誤差である(1−y)n[%]Nは、図16のeの部分の度数である。
標準偏差をσ=0.02T0とし、MHPの10%がノイズによって周期が2分割されたとすると(計数結果は10%の誤差)、MHPの周期の平均値T0’は0.91T0、中央値T0’は0.9949T0であるから、平均値T0’を用いる場合のyは0.91、中央値T0’を用いる場合のyは0.9949であり、補正後の計数結果N’は以下のように算出される。
N’=(1+0.1(1−0.91))N=1.009N ・・・(9)
N’=(1+0.1(1−0.995))N=1.0005N ・・・(10)
N’=(1+0.2(1−0.83))N=1.034N ・・・(11)
N’=(1+0.2(1−0.968))N=1.0064N ・・・(12)
以上のことから、MHPの周期の中央値を使用して計数結果Nを補正すれば、補正後の計数結果N’の誤差を小さくできることが分かる。
N’=N+m[%]=N+Nw ・・・(13)
N=(N’−2Nw)+(Nw−Nw’)+2Nw’=N’−Nw+Nw’
・・・(14)
N−0.5Nw’+(0.5Nw’+(Nw−Nw’))
=(N−Nw+Nw’)+(0.5Nw’+(Nw−Nw’))
=N’ ・・・(15)
N=(N’−2Nw−Ns)+(Nw−Nw’)+2Nw’+2Ns
=N’−Nw+Nw’+Ns ・・・(16)
N−{0.5Nw’+Ns}+{0.5Nw’+(Nw−Nw’)}
={N−Nw+Nw’+Ns}−{0.5Nw’+Ns}
+{0.5Nw’+(Nw−Nw’)}
=N’ ・・・(17)
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。第1の実施の形態では、MHPの周期の代表値として中央値を用いて計数結果を補正したが、周期の代表値として最頻値を用いてもよい。
また、信号が単一周波数でなくても、計数対象となる特定の物理量が計数期間と比較して十分低い周波数で、例えば1/10以下の周波数で振動している対象物の速度のように周期分布の広がりが小さい場合も略単一周波数として本発明の計数装置は有効である。
N’=N+Nw1+Nw2+Nw3+・・・・−Ns ・・・(18)
Nw1は周期の中央値の1.5倍以上である階級の度数の総和、Nw2は周期の中央値の2.5倍以上である階級の度数の総和、Nw3は周期の中央値のおよそ3.5倍以上である階級の度数の総和である。
第1、第2の実施の形態では、受光器であるフォトダイオードの出力信号からMHP波形を抽出していたが、フォトダイオードを使用することなくMHP波形を抽出することも可能である。図22は本発明の第3の実施の形態となる距離計の構成を示すブロック図であり、図1と同様の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の距離計は、第1の実施の形態のフォトダイオード2と電流−電圧変換増幅器5の代わりに、電圧検出回路13を用いるものである。
半導体レーザ1、レーザドライバ4、計数装置8、演算装置9および表示装置10の動作は、第1の実施の形態と同じである。
なお、第1、第2の実施の形態の場合、自己結合型のみならず、自己結合型以外の距離計にも適用することができるが、本実施の形態が適用対象とするのは自己結合型のみである。
Claims (22)
- 特定の物理量と信号の数とが線形の関係を有し、前記物理量が一定の場合は略単一周波数となる前記信号を数える計数装置において、
一定の計数期間における入力信号の数を数える計数手段と、
前記計数期間中の前記入力信号の周期を信号が入力される度に測定する周期測定手段と、
この周期測定手段の測定結果から前記計数期間中の信号周期の度数分布を作成する度数分布作成手段と、
前記度数分布から前記入力信号の周期の分布の代表値を算出する代表値算出手段と、
前記度数分布から、前記代表値の第1の所定数倍以下である階級の度数の総和Nsと、前記代表値の第2の所定数倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて前記計数手段の計数結果を補正する補正値算出手段とを有することを特徴とする計数装置。 - 請求項1記載の計数装置において、
前記代表値は、中央値、最頻値、平均値のうちのいずれか1つであることを特徴とする計数装置。 - 請求項1又は2記載の計数装置において、
前記補正値算出手段は、前記計数手段の計数結果をNとしたとき、補正後の計数結果N’を、N’=N+Nw−Nsにより求めることを特徴とする計数装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の計数装置において、
前記第1の所定数は0.5であり、前記第2の所定数は1.5であることを特徴とする計数装置。 - 測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、
発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させるレーザドライバと、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との干渉光を電気信号に変換する受光器と、
この受光器の出力信号に含まれる、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光とによって生じる干渉波形の数を数える計数手段と、
前記干渉波形の数を数える計数期間中の前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に測定する周期測定手段と、
この周期測定手段の測定結果から前記計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成する度数分布作成手段と、
前記度数分布から前記干渉波形の周期の分布の代表値を算出する代表値算出手段と、
前記度数分布から、前記代表値の第1の所定数倍以下である階級の度数の総和Nsと、前記代表値の第2の所定数倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて前記計数手段の計数結果を補正する補正値算出手段と、
この補正値算出手段で補正された計数結果から前記測定対象との距離を求める演算手段とを有することを特徴とする距離計。 - 測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、
発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させるレーザドライバと、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、
この検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を数える計数手段と、
前記干渉波形の数を数える計数期間中の前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に測定する周期測定手段と、
この周期測定手段の測定結果から前記計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成する度数分布作成手段と、
前記度数分布から前記干渉波形の周期の分布の代表値を算出する代表値算出手段と、
前記度数分布から、前記代表値の第1の所定数倍以下である階級の度数の総和Nsと、前記代表値の第2の所定数倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて前記計数手段の計数結果を補正する補正値算出手段と、
この補正値算出手段で補正された計数結果から前記測定対象との距離を求める演算手段とを有することを特徴とする距離計。 - 請求項6記載の距離計において、
前記検出手段は、前記半導体レーザの光出力を電気信号に変換する受光器であることを特徴とする距離計。 - 請求項6記載の距離計において、
前記検出手段は、前記半導体レーザの端子間電圧を検出する電圧検出手段であることを特徴とする距離計。 - 請求項5又は6記載の距離計において、
前記代表値は、中央値、最頻値、平均値のうちのいずれか1つであることを特徴とする距離計。 - 請求項5乃至9のいずれか1項に記載の距離計において、
前記補正値算出手段は、前記計数手段の計数結果をNとしたとき、補正後の計数結果N’を、N’=N+Nw−Nsにより求めることを特徴とする距離計。 - 請求項5乃至10のいずれか1項に記載の距離計において、
前記第1の所定数は0.5であり、前記第2の所定数は1.5であることを特徴とする距離計。 - 特定の物理量と信号の数とが線形の関係を有し、前記物理量が一定の場合は略単一周波数となる前記信号を数える計数方法において、
一定の計数期間における入力信号の数を数える計数手順と、
前記計数期間中の前記入力信号の周期を信号が入力される度に測定する周期測定手順と、
この周期測定手順の測定結果から前記計数期間中の信号周期の度数分布を作成する度数分布作成手順と、
前記度数分布から前記入力信号の周期の分布の代表値を算出する代表値算出手順と、
前記度数分布から、前記代表値の第1の所定数倍以下である階級の度数の総和Nsと、前記代表値の第2の所定数倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて前記計数手順の計数結果を補正する補正値算出手順とを備えることを特徴とする計数方法。 - 請求項12記載の計数方法において、
前記代表値は、中央値、最頻値、平均値のうちのいずれか1つであることを特徴とする計数方法。 - 請求項12又は13記載の計数方法において、
前記補正値算出手順は、前記計数手順の計数結果をNとしたとき、補正後の計数結果N’を、N’=N+Nw−Nsにより求めることを特徴とする計数方法。 - 請求項12乃至14のいずれか1項に記載の計数方法において、
前記第1の所定数は0.5であり、前記第2の所定数は1.5であることを特徴とする計数方法。 - 半導体レーザを用いて測定対象にレーザ光を放射する距離計測方法において、
発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振手順と、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との干渉光を受光器によって電気信号に変換する検出手順と、
前記受光器の出力信号に含まれる、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光とによって生じる干渉波形の数を数える計数手順と、
前記干渉波形の数を数える計数期間中の前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に測定する周期測定手順と、
この周期測定手順の測定結果から前記計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成する度数分布作成手順と、
前記度数分布から前記干渉波形の周期の分布の代表値を算出する代表値算出手順と、
前記度数分布から、前記代表値の第1の所定数倍以下である階級の度数の総和Nsと、前記代表値の第2の所定数倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて前記計数手順の計数結果を補正する補正値算出手順と、
この補正値算出手順で補正された計数結果から前記測定対象との距離を求める演算手順とを備えることを特徴とする距離計測方法。 - 半導体レーザを用いて測定対象にレーザ光を放射する距離計測方法において、
発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第2の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振手順と、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手順と、
この検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を数える計数手順と、
前記干渉波形の数を数える計数期間中の前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に測定する周期測定手順と、
この周期測定手順の測定結果から前記計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成する度数分布作成手順と、
前記度数分布から前記干渉波形の周期の分布の代表値を算出する代表値算出手順と、
前記度数分布から、前記代表値の第1の所定数倍以下である階級の度数の総和Nsと、前記代表値の第2の所定数倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて前記計数手順の計数結果を補正する補正値算出手順と、
この補正値算出手順で補正された計数結果から前記測定対象との距離を求める演算手順とを備えることを特徴とする距離計測方法。 - 請求項17記載の距離計測方法において、
前記検出手順は、受光器によって前記半導体レーザの光出力を電気信号に変換する手順であることを特徴とする距離計測方法。 - 請求項17記載の距離計測方法において、
前記検出手順は、電圧検出手段によって前記半導体レーザの端子間電圧を検出する手順であることを特徴とする距離計測方法。 - 請求項16又は17記載の距離計測方法において、
前記代表値は、中央値、最頻値、平均値のうちのいずれか1つであることを特徴とする距離計測方法。 - 請求項16乃至20のいずれか1項に記載の距離計測方法において、
前記補正値算出手順は、前記計数手順の計数結果をNとしたとき、補正後の計数結果N’を、N’=N+Nw−Nsにより求めることを特徴とする距離計測方法。 - 請求項16乃至21のいずれか1項に記載の距離計測方法において、
前記第1の所定数は0.5であり、前記第2の所定数は1.5であることを特徴とする距離計測方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007319447A JP5545915B2 (ja) | 2007-01-25 | 2007-12-11 | 計数装置、距離計、計数方法および距離計測方法 |
EP08001079A EP1953567A3 (en) | 2007-01-25 | 2008-01-22 | Counting device, distance meter, counting method, and distance measuring method |
US12/011,152 US7684957B2 (en) | 2007-01-25 | 2008-01-24 | Counting device, distance meter, counting method, and distance measuring method |
KR1020080007335A KR100945209B1 (ko) | 2007-01-25 | 2008-01-24 | 계수장치, 거리계, 계수방법 및 거리측정방법 |
CN2008100038484A CN101231165B (zh) | 2007-01-25 | 2008-01-24 | 计数设备、测距计、计数方法及距离测量方法 |
TW97118757A TW200914799A (en) | 2007-07-26 | 2008-05-21 | Counting device, distance meter, counting method, and distance measuring method |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007015020 | 2007-01-25 | ||
JP2007015020 | 2007-01-25 | ||
JP2007194367 | 2007-07-26 | ||
JP2007194367 | 2007-07-26 | ||
JP2007319447A JP5545915B2 (ja) | 2007-01-25 | 2007-12-11 | 計数装置、距離計、計数方法および距離計測方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009047676A JP2009047676A (ja) | 2009-03-05 |
JP5545915B2 true JP5545915B2 (ja) | 2014-07-09 |
Family
ID=40500019
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007319447A Expired - Fee Related JP5545915B2 (ja) | 2007-01-25 | 2007-12-11 | 計数装置、距離計、計数方法および距離計測方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5545915B2 (ja) |
CN (1) | CN101231165B (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5545913B2 (ja) * | 2007-10-03 | 2014-07-09 | アズビル株式会社 | 計数装置、距離計、計数方法および距離計測方法 |
JP5616009B2 (ja) * | 2008-09-22 | 2014-10-29 | アズビル株式会社 | 反射型光電センサおよび物体検出方法 |
CN101888232B (zh) * | 2009-05-11 | 2014-10-29 | 阿自倍尔株式会社 | 反射型光电开关以及物体检测方法 |
JP5663148B2 (ja) | 2009-06-29 | 2015-02-04 | アズビル株式会社 | 計数装置、物理量センサ、計数方法および物理量計測方法 |
JP2011033525A (ja) | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Yamatake Corp | 計数装置、物理量センサ、計数方法および物理量計測方法 |
KR101851732B1 (ko) * | 2009-08-17 | 2018-04-24 | 코닌클리케 필립스 엔.브이. | Smi 센서 및 대응하는 센서 디바이스를 동작시키는 방법 |
JP2011058833A (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-24 | Yamatake Corp | 計数装置、物理量センサ、計数方法および物理量計測方法 |
JP5541773B2 (ja) * | 2009-11-12 | 2014-07-09 | アズビル株式会社 | 物理量センサおよび物理量計測方法 |
JP5426344B2 (ja) * | 2009-12-04 | 2014-02-26 | アズビル株式会社 | 物体検出センサおよび物体検出方法 |
JP5426345B2 (ja) * | 2009-12-04 | 2014-02-26 | アズビル株式会社 | 振動振幅計測装置および振動振幅計測方法 |
JP5702536B2 (ja) | 2010-01-05 | 2015-04-15 | アズビル株式会社 | 速度計測装置および方法 |
US8982336B2 (en) | 2010-03-10 | 2015-03-17 | Azbil Corporation | Physical quantity sensor and physical quantity measuring method |
JP5639922B2 (ja) * | 2011-02-23 | 2014-12-10 | アズビル株式会社 | 速度計測装置および方法 |
JP5818485B2 (ja) | 2011-04-05 | 2015-11-18 | アズビル株式会社 | 計数装置および計数方法 |
JP5718410B2 (ja) * | 2013-06-24 | 2015-05-13 | アズビル株式会社 | 計数装置、物理量センサ、計数方法および物理量計測方法 |
JP5798668B2 (ja) * | 2014-05-19 | 2015-10-21 | アズビル株式会社 | 計数装置、物理量センサ、計数方法および物理量計測方法 |
JP6018662B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-02 | アズビル株式会社 | 計数装置、物理量センサ、計数方法および物理量計測方法 |
JP6569312B2 (ja) * | 2015-06-05 | 2019-09-04 | 富士通株式会社 | 処理装置、処理方法及び処理プログラム |
CN106303926A (zh) * | 2016-08-23 | 2017-01-04 | Tcl移动通信科技(宁波)有限公司 | 一种基于移动终端的接近传感器数据处理方法及系统 |
JP7208052B2 (ja) * | 2019-02-15 | 2023-01-18 | 株式会社豊田中央研究所 | 光学的測距装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5915411B2 (ja) * | 1975-11-10 | 1984-04-09 | 株式会社山武 | ケイスウカイロ |
JPS55166344A (en) * | 1979-06-14 | 1980-12-25 | Toshiba Corp | Pulse fall-out correcting system by scanning of pulse counter |
JPS62101123A (ja) * | 1985-10-28 | 1987-05-11 | Mitsubishi Electric Corp | パルス式回転数計測装置 |
JP2885807B2 (ja) * | 1988-10-21 | 1999-04-26 | 東京航空計器株式会社 | 距離検出装置 |
JPH08274627A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-18 | Omron Corp | カウンタ |
JPH10186039A (ja) * | 1996-12-20 | 1998-07-14 | Shimadzu Corp | 核医学イメージング装置 |
JP2980576B2 (ja) * | 1997-09-12 | 1999-11-22 | 株式会社東芝 | 物理乱数発生装置及び方法並びに物理乱数記録媒体 |
JP2006322932A (ja) * | 2006-04-25 | 2006-11-30 | Yamatake Corp | 信号検出回路 |
-
2007
- 2007-12-11 JP JP2007319447A patent/JP5545915B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-01-24 CN CN2008100038484A patent/CN101231165B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101231165A (zh) | 2008-07-30 |
CN101231165B (zh) | 2010-07-28 |
JP2009047676A (ja) | 2009-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5545915B2 (ja) | 計数装置、距離計、計数方法および距離計測方法 | |
KR100945209B1 (ko) | 계수장치, 거리계, 계수방법 및 거리측정방법 | |
JP5545916B2 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
US7649631B2 (en) | Distance/speed meter and distance/speed measuring method | |
JP2009014701A (ja) | 距離・速度計および距離・速度計測方法 | |
JP5545914B2 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
JP5461762B2 (ja) | 距離計および距離計測方法 | |
JP5184785B2 (ja) | 距離計および距離計測方法 | |
JP5596915B2 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
JP5545913B2 (ja) | 計数装置、距離計、計数方法および距離計測方法 | |
JP5530068B2 (ja) | 距離・速度計および距離・速度計測方法 | |
JP5461761B2 (ja) | 距離・速度計および距離・速度計測方法 | |
JP5421568B2 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
JP5612240B2 (ja) | 距離計および距離計測方法 | |
JP2009244218A (ja) | 反射型光電スイッチおよび物体検出方法 | |
JP2008175547A (ja) | 距離計および距離計測方法 | |
TWI359943B (ja) | ||
JP5663130B2 (ja) | 反射型光電スイッチおよび物体検出方法 | |
WO2011111180A1 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
JP5545920B2 (ja) | 反射型光電スイッチおよび物体検出方法 | |
JP2008111847A (ja) | 距離・速度計および距離・速度計測方法 | |
EP2251707A1 (en) | Reflective photoelectric switch and object detection method | |
JP5484661B2 (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
JP2010160138A (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 | |
JP2009063346A (ja) | 物理量センサおよび物理量計測方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130514 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140512 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5545915 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |