JP5606087B2 - 流量制御弁 - Google Patents
流量制御弁 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5606087B2 JP5606087B2 JP2010022186A JP2010022186A JP5606087B2 JP 5606087 B2 JP5606087 B2 JP 5606087B2 JP 2010022186 A JP2010022186 A JP 2010022186A JP 2010022186 A JP2010022186 A JP 2010022186A JP 5606087 B2 JP5606087 B2 JP 5606087B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve seat
- inflow
- outflow
- flow
- inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 39
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 230000037237 body shape Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
- F16K31/007—Piezo-electric stacks
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K25/00—Details relating to contact between valve members and seat
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
- F16K31/0644—One-way valve
- F16K31/0655—Lift valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87249—Multiple inlet with multiple outlet
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87265—Dividing into parallel flow paths with recombining
- Y10T137/87507—Electrical actuator
Description
ここで、前記流入口が形成された複数の凹溝において、内側の凹溝から外側の凹溝に行くに従って、前記凹溝に形成された複数の前記流入口の開口面積の合計が徐々に大きくなることが望ましい。
本実施形態のマスフローコントローラ100は、図1に示すように、流量センサ2及び流量制御弁3を一体的に有するものであり、流量センサ2の出力する測定流量値と、目標流量である設定流量値に基づいて流量制御弁3の弁開度を制御する制御部(図示しない)と、を具備する。
次に、このように構成した流量制御弁3の動作について説明する。
このように構成した本実施形態に係るマスフローコントローラ100によれば、流量制御弁3が小型でありながらも、流入口401A及び流出口401B間の圧力損失を低減することができ、低差圧でも大流量の流体を流すことができるので、マスフローコントローラ100においても小型でありながら大流量の流体を制御することができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。以下の説明において前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付すこととする。
2 ・・・流量センサ
3 ・・・流量制御弁
4 ・・・弁座部材
41 ・・・内部流入路
42 ・・・内部流出路
401 ・・・弁座面
401A・・・流入口
401B・・・流出口
401M・・・凹溝(凹部)
51 ・・・流入路
52 ・・・流出路
6 ・・・弁体部材
601 ・・・着座面
Claims (8)
- 流体が流れる流路に設けられ、上流側流路である流入路からの流体の流量を制御して下流側流路である流出路に流出させる流量制御弁であって、
弁座面を有する弁座部材と、
前記弁座面に着座する着座面を有する弁体部材と、を具備し、
前記弁座面又は前記着座面の一方に複数の流入口及び複数の流出口が形成されており、それら流入口及び流出口が、着座状態において重ならないように形成され、
前記流入口が形成された部材の内部に、前記流入路及び前記流入口に連通する内部流入路が形成され、前記流出口が形成された部材の内部に、前記流出路及び前記流出口に連通する内部流出路が形成され、
前記流入口が、前記弁座面又は前記着座面の一方に形成された複数の環状の凹溝に形成されており、
前記流出口が、前記弁座面又は前記着座面の一方に形成され、前記流入口が形成された凹溝とは異なる複数の環状の凹溝に形成されており、
前記流入口が形成された複数の凹溝において、最外側の凹溝に形成された複数の前記流入口の開口面積の合計が、その他の前記各凹溝に形成された複数の前記流入口の開口面積の合計よりも一番大きい流量制御弁。 - 前記流入口が形成された複数の凹溝において、内側の凹溝から外側の凹溝に行くに従って、前記凹溝に形成された複数の前記流入口の開口面積の合計が徐々に大きくなる請求項1記載の流量制御弁。
- 前記流入口及び流出口が弁座面に形成され、前記弁座部材に前記内部流入路及び内部流出路が形成されたものであり、
前記流入口及び流出口が前記弁座面に形成された凹溝の底面に形成されている請求項1又は2記載の流量制御弁。 - 前記流入口が形成された複数の凹溝及び前記流出口が形成された複数の凹溝が略同心円状に形成されており、
前記流入口が形成された凹溝及び前記流出口が形成された凹溝が交互に形成されている請求項3記載の流量制御弁。 - 前記流入口及び流出口が放射状に設けられている請求項1、2、3又は4記載の流量制御弁。
- 流体が流れる流路に設けられ、上流側流路である流入路からの流体の流量を制御して下流側流路である流出路に流出させる流量制御弁であって、
弁座面を有する弁座部材と、
前記弁座面に着座する着座面を有する弁体部材と、を具備し、
前記弁座面又は前記着座面の一方又は他方に流入口が形成され、前記弁座面又は前記着座面の一方又は他方に流出口が形成されており、それら流入口及び流出口が、着座状態において重ならないように形成され、
前記流入口が形成された部材の内部に、前記流入路及び前記流入口に連通する内部流入路が形成され、前記流出口が形成された部材の内部に、前記流出路及び前記流出口に連通する内部流出路が形成され、
前記流入口及び流出口が弁座面又は着座面に形成された複数の環状の凹溝に形成されており、
前記流入口が形成された複数の凹溝において、最外側の凹溝に形成された複数の前記流入口の開口面積の合計が、その他の前記各凹溝に形成された複数の前記流入口の開口面積の合計よりも一番大きい流量制御弁。 - 前記流入口が形成された複数の凹溝及び前記流出口が形成された複数の凹溝が略同心円状に形成されており、
前記流入口が形成された凹溝及び前記流出口が形成された凹溝が交互に形成されている請求項6記載の流量制御弁。 - 流量センサと、
請求項1乃至7のいずれか記載の流量制御弁と、
前記流量センサの出力する測定流量値と、目標流量である設定流量値に基づいて前記流量制御弁の弁開度を制御する制御部と、を具備するマスフローコントローラ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/413,328 US8844901B2 (en) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | Flow control valve |
US12/413,328 | 2009-03-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010230159A JP2010230159A (ja) | 2010-10-14 |
JP5606087B2 true JP5606087B2 (ja) | 2014-10-15 |
Family
ID=42782650
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010022186A Active JP5606087B2 (ja) | 2009-03-27 | 2010-02-03 | 流量制御弁 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8844901B2 (ja) |
JP (1) | JP5606087B2 (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI435196B (zh) | 2009-10-15 | 2014-04-21 | Pivotal Systems Corp | 氣體流量控制方法及裝置 |
US9400004B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-07-26 | Pivotal Systems Corporation | Transient measurements of mass flow controllers |
JP5735331B2 (ja) * | 2011-04-08 | 2015-06-17 | 株式会社堀場エステック | 流体制御弁 |
CN102777300B (zh) | 2011-05-12 | 2015-04-01 | 株式会社电装 | 阀装置及使用其的高压泵 |
JP5370792B2 (ja) * | 2011-05-12 | 2013-12-18 | 株式会社デンソー | 弁装置、及びこの弁装置を用いた高圧ポンプ |
JP5947505B2 (ja) | 2011-08-30 | 2016-07-06 | 株式会社堀場エステック | 流体制御弁 |
JP6081800B2 (ja) | 2013-01-07 | 2017-02-15 | 株式会社堀場エステック | 流体制御弁及びマスフローコントローラ |
DE202014011333U1 (de) * | 2013-01-08 | 2019-06-07 | Illinois Tool Works Inc. | Kraftgesteuertes Steuerventil |
US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
WO2015089202A1 (en) | 2013-12-10 | 2015-06-18 | Semba Biosciences, Inc. | High-flow fluid valve block |
CN106461090B (zh) * | 2014-06-13 | 2019-09-03 | 株式会社堀场Stec | 用于流体及气体的高传导性阀 |
US10401202B2 (en) | 2015-07-10 | 2019-09-03 | Pivotal Systems Corporation | Method and apparatus for gas flow control |
US11067187B2 (en) | 2016-01-27 | 2021-07-20 | Regents Of The University Of Minnesota | Fluidic control valve with small displacement actuators |
US10330212B2 (en) * | 2016-01-27 | 2019-06-25 | Regents Of The University Of Minnesota | Fluidic control valve with small displacement actuators |
US10983537B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
US11248708B2 (en) * | 2017-06-05 | 2022-02-15 | Illinois Tool Works Inc. | Control plate for a high conductance valve |
CN110741191A (zh) * | 2017-06-23 | 2020-01-31 | 伊格尔工业股份有限公司 | 止回阀 |
US10852752B2 (en) | 2018-02-26 | 2020-12-01 | Hitachi Metals, Ltd. | High flow low pressure control valve |
JP7099518B2 (ja) | 2018-03-26 | 2022-07-12 | 日立金属株式会社 | 流量制御装置 |
IL268254A (en) * | 2019-07-24 | 2021-01-31 | Ham Let Israel Canada Ltd | Flow control accessory |
KR20220058536A (ko) * | 2019-09-05 | 2022-05-09 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 유량 제어 밸브 또는 유량 제어 장치 |
WO2023119828A1 (ja) * | 2021-12-24 | 2023-06-29 | 株式会社堀場エステック | 流量制御弁、流量制御弁の製造方法および流量制御装置 |
US11761547B1 (en) * | 2022-04-07 | 2023-09-19 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Valve orifice insert |
WO2023233934A1 (ja) * | 2022-05-31 | 2023-12-07 | 株式会社堀場エステック | 流体制御弁、流体制御装置、及び、オリフィスの製造方法 |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2838068A (en) * | 1951-02-10 | 1958-06-10 | Gen Controls Co | Electromagnetic valve |
US4958773A (en) * | 1980-06-21 | 1990-09-25 | General Motors Corporation | Fuel injection |
US4515129A (en) * | 1983-06-10 | 1985-05-07 | General Motors Corporation | Edge discharge pulse fuel injector |
US4638974A (en) * | 1984-01-06 | 1987-01-27 | Zeuner Kenneth W | Electrohydraulic valve assemblies and method |
JPS6116460U (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-30 | 株式会社 エステツク | 制御弁 |
US4572436A (en) * | 1984-12-24 | 1986-02-25 | General Motors Corporation | Electromagnetic fuel injector with tapered armature/valve |
US4872481A (en) * | 1985-03-12 | 1989-10-10 | Cooper Industries, Inc. | Poppet valve flow seat |
US4570598A (en) * | 1985-04-15 | 1986-02-18 | Ford Motor Company | Air assist fuel distributor type fuel injection system |
DE3518978A1 (de) * | 1985-05-25 | 1986-11-27 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Elektromagnetventil |
JPS6224088A (ja) * | 1985-07-23 | 1987-02-02 | Esutetsuku:Kk | 制御弁 |
EP0328277B1 (en) * | 1988-02-05 | 1993-03-24 | Lucas Industries Public Limited Company | Fuel injector |
JP2516824Y2 (ja) | 1988-08-27 | 1996-11-13 | 株式会社エステック | 制御弁 |
GB8828160D0 (en) * | 1988-12-02 | 1989-01-05 | Lucas Ind Plc | Fluid control valve |
US4941447A (en) * | 1989-02-21 | 1990-07-17 | Colt Industries Inc. | Metering valve |
JPH0755414Y2 (ja) | 1989-03-06 | 1995-12-20 | 大倉電気株式会社 | 流量制御弁 |
US4958774A (en) * | 1989-06-21 | 1990-09-25 | General Motors Corporation | Fuel injection |
US4987923A (en) * | 1989-06-22 | 1991-01-29 | Allied-Signal Inc. | Solenoid valve |
US5054691A (en) * | 1989-11-03 | 1991-10-08 | Industrial Technology Research Institute | Fuel oil injector with a floating ball as its valve unit |
US5251871A (en) * | 1989-11-14 | 1993-10-12 | Isao Suzuki | Fluid flow control valve and valve disk |
IT1240173B (it) * | 1990-04-06 | 1993-11-27 | Weber Srl | Dispositivo di iniezione del carburante ad azionamento elettromagnetico per un motore a combustione interna |
IT1250845B (it) * | 1991-10-11 | 1995-04-21 | Weber Srl | Valvola dosatrice e polverizzatrice di carburante ad azionamento elettromagnetico per un dispositivo di alimentazione di un motore endotermico |
GB9217281D0 (en) * | 1992-08-14 | 1992-09-30 | Lucas Ind Plc | Fuel injector |
US5381965A (en) * | 1993-02-16 | 1995-01-17 | Siemens Automotive L.P. | Fuel injector |
JP3280119B2 (ja) * | 1993-06-02 | 2002-04-30 | 清原 まさ子 | ダイヤフラム弁 |
JP3305515B2 (ja) * | 1994-10-06 | 2002-07-22 | 日本エム・ケー・エス株式会社 | 流量制御弁 |
US5979866A (en) * | 1995-06-06 | 1999-11-09 | Sagem, Inc. | Electromagnetically actuated disc-type valve |
JP2793982B2 (ja) | 1995-09-05 | 1998-09-03 | シーケーディ株式会社 | 開閉弁 |
US5944048A (en) * | 1996-10-04 | 1999-08-31 | Emerson Electric Co. | Method and apparatus for detecting and controlling mass flow |
JPH10318401A (ja) | 1997-05-15 | 1998-12-04 | Hitachi Metals Ltd | 流量制御装置用バルブ |
US5909747A (en) * | 1998-04-03 | 1999-06-08 | American Meter Company | Radial flow diaphragm valve |
JP2000197374A (ja) | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Stec Inc | ピエゾアクチュエ―タ並びにこれを用いた制御弁 |
US20010002680A1 (en) * | 1999-01-19 | 2001-06-07 | Philip A. Kummer | Modular two part fuel injector |
US6766969B2 (en) * | 2000-09-13 | 2004-07-27 | Delphi Technologies, Inc. | Integral valve seat and director for fuel injector |
US6926032B2 (en) * | 2002-09-13 | 2005-08-09 | Saudi Arabian Oil Company | Pressure-reducing control valve for severe service conditions |
-
2009
- 2009-03-27 US US12/413,328 patent/US8844901B2/en active Active
-
2010
- 2010-02-03 JP JP2010022186A patent/JP5606087B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100243076A1 (en) | 2010-09-30 |
US8844901B2 (en) | 2014-09-30 |
JP2010230159A (ja) | 2010-10-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5606087B2 (ja) | 流量制御弁 | |
JP6778251B2 (ja) | 弁における制御板 | |
JP5735331B2 (ja) | 流体制御弁 | |
KR102497957B1 (ko) | 큰 전도도 밸브를 위한 제어 플레이트 | |
US11885420B2 (en) | Control plate for a high conductance valve | |
JP5702168B2 (ja) | 比例圧力制御装置 | |
US20150008348A1 (en) | Bullet valve for controlled fluid flows | |
US10364897B2 (en) | Control plate for a high conductance valve | |
EP2317189B1 (en) | Constant flow rate control device | |
US10458553B1 (en) | Control plate for a high conductive valve | |
JP5575590B2 (ja) | 減圧弁 | |
US20210033208A1 (en) | Check valve | |
JP7299630B2 (ja) | バルブ装置およびガス供給システム | |
US20160123498A1 (en) | Micro-electric mechanical system control valve and method for controlling a sensitive fluid | |
KR102639971B1 (ko) | 하이 컨덕턴스 밸브용 제어 플레이트 | |
JP5611658B2 (ja) | 多方切換弁 | |
CN108431474B (zh) | 用于阀的胶囊以及阀 | |
JP7308542B2 (ja) | バルブ装置およびガス供給システム | |
JP7389625B2 (ja) | 一方向絞り弁 | |
KR102643448B1 (ko) | 밸브 | |
KR20240021858A (ko) | 마이크로 전자 기계 시스템 유체 제어 | |
KR20230077649A (ko) | 유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치 | |
JP2007293779A (ja) | 減圧弁 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131008 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140515 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140714 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140805 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140826 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5606087 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |