JP5604876B2 - 電子装置及びその製造方法 - Google Patents

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Description

[関連出願の記載]
本発明は、日本国特許出願:特願2008−036084号(2008年 2月18日出願)及び特願2008−170908号(2008年 6月30日出願)の優先権主張に基づくものであり、同出願の全記載内容は引用をもって本書に組み込み記載されているものとする。
本発明は、電子素子パッケージを実装基板に実装した電子装置及びその製造方法に関し、特にLGA(Land Grid Array)型電極を有する電子素子パッケージを実装基板に実装した電子装置及びその製造方法に関する
近年のパーソナルコンピュータや携帯型通信機器の小型・薄型化、高性能化の要求を受け、それらに実装される電子装置(例えば、半導体装置)の小型・薄型化、高集積化の要求が高まっている。これに伴い、電子素子パッケージ(例えば、半導体素子パッケージ)の主流は、接続端子をパッケージの周囲に配置するQFP(Quad Flat Package)から、パッケージ裏面のインターポーザ基板上に接続端子であるはんだボールを格子状に配置することで、より小さな面積で多端子の接続を可能にするBGA(Ball Grid Array)と称するパッケージに移りつつある。
BGAを実装するにあたっては、実装基板の電極に対して、メタルマスクを用いてペースト状のクリームはんだを印刷した上で、BGAを搭載する。その後、BGAが搭載された実装基板をリフロー炉に通すことにより、クリームはんだとBGAのはんだボールが加熱され溶融し、BGAと実装基板が物理的、電気的に接続される。
BGAに対して、はんだボールを有さない電子素子パッケージとして、接続端子として格子状に配置された平面電極を有するLGA(Land Grid Array)も知られている。LGAによれば、BGAよりはんだボールの高さ相当分実装高さを低減することができる。
BGAの実装方法は、例えば特許文献1及び特許文献2に開示されている。
特許文献1に記載のBGA実装方法においては、プリント板の各スルーホールの位置にあるプリント板の各パッドの間の所定位置に、はんだの融点よりも高い温度で硬化し始める熱硬化性の接着剤を塗布した後に、プリント板のスルーホールとBGAのパッドに接続されたBGAのはんだボールとが重なるように装着し、BGAとプリント板とを加熱することにより、はんだボールがスルーホールに流れ込み、BGAのパッドとプリント板のパッドとがはんだ接合され、かつBGAのボディとプリント板の基材とが接着剤で接合される。
特許文献2に記載の積層部品内蔵フレキシブル回路基板の製造方法においては、シート状絶縁基板に電極部を有した配線層を導電体で形成する工程と、配線層の一部および電極部の所定位置にビアホールやスルーホールを設ける工程と、配線層に接続して一つ以上の受動素子または能動素子を載置する工程と、ビアホールまたはスルーホールの内部に半田を充填してシート状絶縁基板を部品内蔵フレキシブル回路基板に形成する工程と、部品内蔵フレキシブル回路基板を隙間充填絶縁シートを介して複数枚を重ねて一体形成する工程と、によってBGA型の能動素子が実装されている。
また、パッケージが薄くても十分な強度を有する半導体装置を得るために、特許文献3に記載の半導体装置においては、複数の配線膜が一つの面上に形成され、該配線膜上に一つの補強リングが固定され、上記補強リングにより囲繞された領域に、半導体チップが、その各電極が対応する上記配線膜の内側部分と接続された状態でフェイスボンディングされている。
特開2001−168511号公報 特開2005−45111号公報 特開2003−142634号公報
以上の特許文献1から3の全開示内容は、本書に引用をもって繰り込み記載されているものとする。
以下の分析は、本発明の観点から与えられる。
特許文献1及び特許文献2に記載のようなBGAの実装においては、はんだボールと実装基板のクリームはんだを溶融して接続しているため、BGAと実装基板の接続部が厚くなってしまうという問題がある。近年の薄型化が強く求められる携帯型通信機器等においては、厚さが0.5mm程度の薄型BGA(例えばCSP(Chip Size Package))が使用されることも多くなってきているが、はんだボールとクリームはんだを溶融して接続することで構成されるBGAと実装基板を接続するはんだの厚さは0.25mm程度あり、薄型BGAを使用したにも関わらず、BGAを実装基板へ搭載後のBGAの実装高さは0.75mm程度となってしまい、携帯型通信機器の薄型化を実現する上での課題となっている。
特許文献1に記載のBGAの実装方法では、プリント板に接着剤を塗布することにより信頼性を向上させるという効果があるものの、リフロー工程での加熱により接着剤がスルーホールにまで濡れ広がり、はんだ接続を阻害する恐れがある。また、特許文献1に記載の実装方法では、はんだの融点よりも高い温度で硬化し始める熱硬化性の接着剤を使用しているが、加熱によりプリント板やBGAに反りが発生した場合、はんだボールとプリント板が接触せず、接続不良が発生する可能性がある。
また、特許文献2に記載の積層部品内蔵フレキシブル回路基板の製造方法においても、加熱によりプリント板やBGAに反りが発生した場合、シート状絶縁基板の電極部と能動素子の電極部とが接触せず、接続不良が発生する可能性がある。
特許文献3に記載の半導体装置においては、半導体チップと配線膜との電気的接続に通常のバンプ接続を用いており、半導体装置は全体として薄型化されていない。
本発明の目的は、薄型であり、かつ接続信頼性の高い、LGA型電子素子パッケージを実装した電子装置及びその製造方法を提供することである
本発明の第1視点によれば、電子素子パッケージと、第1実装基板と、第2実装基板と、を備える電子装置が提供される。電子素子パッケージは第1実装基板に実装されている。電子素子パッケージは、LGA(Land Grid Array)型のLGA電極を備える。第1実装基板は、内壁を被覆する導電体を有する第1スルーホール及び第2スルーホールを備える。電子素子パッケージと第1実装基板とは第1スルーホールの開口の少なくとも一部がLGA電極と重なるように実装される。LGA電極と第1スルーホールの導電体とは、第1スルーホール内に配された導電材によって電気的に接続される。LGA電極のうち第1スルーホールの開口と重なっていない領域の少なくとも一部は、第1実装基板と接着剤を介して接合されている。第2実装基板は、第2スルーホールの導電体と電気的に接続される基板電極を有する。第1実装基板と第2実装基板とは第2スルーホールの開口の少なくとも一部が基板電極と重なるように実装される。基板電極と第2スルーホールの導電体とは、第2スルーホール内に配された導電材によって電気的に接続される。基板電極のうち第2スルーホールの開口と重なっていない領域の少なくとも一部は、第1実装基板と接着剤を介して接合されている。電子素子パッケージのLGA電極と第2実装基板の基板電極とは同一平面上に配列されている。電子素子パッケージと第2基板とは第1基板を介して電気的に接続されている。
上記第1視点の好ましい形態によれば、LGA電極の面積は、LGA電極と対向する側の第1スルーホールの開口面積より大きい。
上記第1視点の好ましい形態によれば、LGA電極及び基板電極の面積は、LGA電極及び基板電極と対向する側の第1スルーホール及び第2スルーホールの開口面積より大きい。
上記第1視点の好ましい形態によれば、第2実装基板は、貫通孔又は切り欠きを有する。電子素子パッケージは、貫通孔又は切り欠き内に配置されている。
上記第1視点の好ましい形態によれば、電子素子パッケージと第2実装基板とは樹脂で接合されている。
上記第1視点の好ましい形態によれば、第2実装基板には少なくとも1つの電子素子が実装されている。
上記第1視点の好ましい形態によれば、第1実装基板は、電子素子パッケージと対向する第1実装基板面上に、LGA電極と対向する第1スルーホールの導電体と連設された導電体を有する。LGA電極のうち第1スルーホールの開口と重なっていない領域の少なくとも一部は、第1実装基板面上の導電体と接着剤を介して接合されている。
上記第1視点の好ましい形態によれば、第1実装基板は、電子素子パッケージ及び第2実装基板と対向する第1実装基板面上に、LGA電極及び基板電極と対向する第1スルーホール及び第2スルーホールの導電体と連設された導電体を有する。LGA電極及び基板電極のうち第1スルーホール及び第2スルーホールの開口と重なっていない領域の少なくとも一部は、第1実装基板面上の導電体と接着剤を介して接合されている。
上記第1視点の好ましい形態によれば、第1実装基板は、電子素子パッケージと対向する第1実装基板面上に、LGA電極と対向する第1スルーホールの導電体と連設された導電体を有しない。
上記第1視点の好ましい形態によれば、第1実装基板は、電子素子パッケージ及び第2実装基板と対向する第1実装基板面上に、LGA電極及び基板電極と対向する第1スルーホール及び第2スルーホールの導電体と連設された導電体を有しない。
上記第1視点の好ましい形態によれば、電子素子パッケージと第1実装基板とが対向する領域のうち、第1スルーホールの開口以外の領域には接着剤が介在している。
上記第1視点の好ましい形態によれば、電子素子パッケージ及び第2実装基板と第1実装基板とが対向する領域のうち、第1スルーホール及び第2スルーホールの開口以外の領域には接着剤が介在している。
上記第1視点の好ましい形態によれば、接着剤は感光性樹脂である。
上記第1視点の好ましい形態によれば、第1実装基板は、第1スルーホール以外は電子素子パッケージ又は電子素子パッケージ及び第2実装基板に対して光透過性を有しない。
上記第1視点の好ましい形態によれば、第1実装基板は、第1スルーホール及び第2スルーホール以外は電子素子パッケージ及び第2実装基板に対して光透過性を有しない。
上記第1視点の好ましい形態によれば、第1実装基板は、電子素子パッケージ又は電子素子パッケージ及び第2実装基板に対する光を遮光する光非透過層を少なくとも一部に有する。
上記第1視点の好ましい形態によれば、導電材は、第1スルーホールから、電子素子パッケージと対向する第1実装基板面とは反対側の第1実装基板面上へ連続して形成されている。
上記第1視点の好ましい形態によれば、導電材は、第1スルーホール及び第2スルーホールから、電子素子パッケージ及び第2実装基板と対向する第1実装基板面とは反対側の第1実装基板面上へ連続して形成されている。
本発明の第視点によれば、電子装置の製造方法が提供される。LGA(Land Grid Array)型のLGA電極を有する電子素子パッケージと、少なくとも1つの電子素子が実装されていると共に平面電極を有する第2実装基板とを、LGA電極及び平面電極が粘着プレートと対向するように、粘着プレートに接着して位置決めする位置決め工程が含まれる。電子素子パッケージと第2実装基板とを樹脂で接合する接合工程が含まれる。電子素子パッケージ及び第2実装基板を粘着プレートから取り外す取外し工程が含まれる。LGA電極が形成された電子素子パッケージ面上及び平面電極が形成された第2実装基板上の少なくとも一部に接着剤を配置する接着剤配置工程が含まれる。内壁に導電体を有する第1スルーホール及び第2スルーホールを備える第1実装基板と、電子素子パッケージ及び第2実装基板とを、スルーホールの開口の少なくとも一部がLGA電極と重なるように、及び第2スルーホールの開口の少なくとも一部が平面電極と重なるように積層する接合工程が含まれる。第1スルーホール及び第2スルーホールの開口においてLGA電極及び平面電極の少なくとも一部が露出するように第1スルーホール及び第2スルーホール内に存在する接着剤を除去する接着剤除去工程が含まれる。LGA電極及び平面電極と対向している第1スルーホール及び第2スルーホールの開口とは反対側の開口から第1スルーホール及び第2スルーホールに導電材を供給する導電材供給工程が含まれる。導電材をLGA電極及び平面電極の露出面へ移動させ、LGA電極及び平面電極と第1スルーホール及び第2スルーホールの導電体とを導電材によって電気的に接続する電気的接続工程とが含まれる。LGA電極の面積は、LGA電極と対向する側の第1スルーホールの開口面積より大きい。接合工程において、少なくとも、LGA電極のうち第1スルーホールの開口と重なっていない領域の少なくとも一部と第1実装基板とを接着剤を介して接合する。
本発明の第3視点によれば、電子装置の製造方法が提供される。LGA(Land Grid Array)型のLGA電極を有する電子素子パッケージと、少なくとも1つの電子素子が実装されていると共に平面電極を有する第2実装基板とを、LGA電極及び平面電極が粘着プレートと対向するように、粘着プレートに接着して位置決めする位置決め工程が含まれる。電子素子パッケージと第2実装基板とを樹脂で接合する接合工程が含まれる。電子素子パッケージ及び第2実装基板を粘着プレートから取り外す取外し工程が含まれる。LGA電極が形成された電子素子パッケージ面上及び平面電極が形成された第2実装基板上の少なくとも一部に接着剤を配置する接着剤配置工程が含まれる。内壁に導電体を有する第1スルーホール及び第2スルーホールを備える第1実装基板と、電子素子パッケージ及び第2実装基板とを、スルーホールの開口の少なくとも一部がLGA電極と重なるように、及び第2スルーホールの開口の少なくとも一部が平面電極と重なるように積層する接合工程が含まれる。第1スルーホール及び第2スルーホールの開口においてLGA電極及び平面電極の少なくとも一部が露出するように第1スルーホール及び第2スルーホール内に存在する接着剤を除去する接着剤除去工程が含まれる。LGA電極及び平面電極と対向している第1スルーホール及び第2スルーホールの開口とは反対側の開口から第1スルーホール及び第2スルーホールに導電材を供給する導電材供給工程が含まれる。導電材をLGA電極及び平面電極の露出面へ移動させ、LGA電極及び平面電極と第1スルーホール及び第2スルーホールの導電体とを導電材によって電気的に接続する電気的接続工程とが含まれる。LGA電極及び平面電極の面積は、LGA電極及び平面電極と対向する側の第1スルーホール及び第2スルーホールの開口面積より大きい。接合工程において、少なくとも、LGA電極及び平面電極のうち第1スルーホール及び第2スルーホールの開口と重なっていない領域の少なくとも一部と第1実装基板とを接着剤を介して接合する。
上記第視点及び第視点の好ましい形態によれば、接着剤は感光性樹脂である。接着剤除去工程は、第1スルーホール及び第2スルーホール内の接着剤を露光する露光工程が含まれる。露光工程後、現像剤によって第1スルーホール及び第2スルーホール内の接着剤を除去する現像工程が含まれる。
上記第視点及び第視点の好ましい形態によれば、第1実装基板は、第1スルーホール以外は電子素子パッケージに対して光透過性を有さない。露光工程において、第1実装基板をマスクとして、第1スルーホールの開口から第1スルーホール内の接着剤を露光する。
上記第2視点及び第3視点の好ましい形態によれば、第1実装基板は、第1スルーホール及び第2スルーホール以外は電子素子パッケージ及び第2実装基板に対して光透過性を有さない。露光工程において、第1実装基板をマスクとして、第1スルーホール及び第2スルーホールの開口から第1スルーホール及び第2スルーホール内の接着剤を露光する。
上記第視点及び第視点の好ましい形態によれば、導電材はクリームはんだである。電気的接続工程において、導電材を加熱溶融することによりLGA電極と第1スルーホールの導電体とを電気的に接続する。
上記第2視点及び第3視点の好ましい形態によれば、導電材はクリームはんだである。電気的接続工程において、導電材を加熱溶融することによりLGA電極及び平面電極と第1スルーホール及び第2スルーホールの導電体とを電気的に接続する。
本発明は、以下の効果のうち少なくとも1つを有する。
本発明によれば、電子素子パッケージのLGA電極及び第2実装基板の第2基板電極と第1実装基板の第1基板電極との間に導電材を介在させる必要がないので、電子素子パッケージ及び第2実装基板と第1実装基板との距離を短くすることができ、これにより電子装置を薄型化することができる。また、スルーホールの開口面積に対するLGA電極及び第2基板電極の面積を小さくすること、又は第1実装基板の第1基板電極(ランド)を形成しないことにより、さらに電子装置を薄型化することができる。
また、スルーホールの開口面積に対するLGA電極及び第2基板電極の面積を小さくした場合には、導電材によりLGA電極及び第2基板電極を覆う構造となるため、外部から衝撃等が加わった際においても導電材とLGA電極の接続部は破壊されにくく、接続信頼性をより高めることができる。
本発明によれば、導電材による電気的接続の前に電子素子パッケージ及び第2実装基板と第1実装基板とを予め接着剤によって接合しているので、加熱処理中の第1実装基板の反りの発生を抑制することができる。これにより、電子素子パッケージ及び第2実装基板と第1実装基板との電気的接続の信頼性を高めることができる。
本発明によれば、スルーホール内の接着剤のみを除去しているので、スルーホール開口以外(例えばスルーホール開口周囲も含む)は接着剤によって接合されることになるので、電子素子パッケージ及び第2実装基板と第1実装基板との接合性をより高いものにすることができる。
本発明によれば、LGA電極及び第2基板電極とスルーホール内壁の導電体とを電気的に接続する導電材を、電子素子パッケージ及び第2実装基板との接合面とは反対側の面上にも連接して形成することにより、該反対側の面上の導電材がストッパのように機能し、第1実装基板に曲げが発生したり、落下による応力が加えられたりした場合にもLGA電極及び第2基板電極とスルーホールの導電体との電気的接続を確保する(例えば導電材の抜けを防止する)ことができる。
本発明によれば、複数のスルーホールへの導電材の供給量が一定でなくてもLGA電極及び第2基板電極とスルーホールの導電体とを電気的に接続することができる。
本発明によれば、第2実装基板に複数の電子素子が実装され、配線回路の引き回しに複数層が必要な場合であっても、電子素子パッケージと第2実装基板とを積層せずに、同一平面を形成するように配列し、電子素子パッケージと第2実装基板とを第1実装基板により接続することにより、第2実装基板において配線を引き回すことができ、第1実装基板を厚くする必要がない。これにより、電子装置を薄型化することができる。
本発明によれば、電子素子パッケージと第2実装基板とを樹脂で接合することにより、第1実装基板と電子素子パッケージ及び第2実装基板との電気的接続部に加わる衝撃や応力を緩和することができ、接続信頼性を高めることができる。
また、本発明によれば、実装基板積層体も薄型化することができる。
本発明の第1実施形態に係る電子装置の概略断面図。 本発明の第1実施形態に係る電子装置の製造方法を説明するための概略工程図。 本発明の第2実施形態に係る電子装置の概略断面図。 本発明の第3実施形態に係る電子装置の概略断面図。 本発明の第4実施形態に係る電子装置の概略断面図。 本発明の第5実施形態に係る電子装置の概略断面図。 本発明の第6実施形態に係る電子装置の概略断面図。 本発明の第7実施形態に係る電子装置の概略断面図。 本発明の第8実施形態に係る電子装置の概略断面図。 本発明の第9実施形態に係る実装基板積層体の概略断面図。 本発明の第10実施形態に係る電子装置の概略断面図。 図11に示す電子素子パッケージ、第2実装基板及び電子素子の概略平面図。 本発明の第10実施形態に係る電子装置の製造方法を説明するための概略工程図。 本発明の第11実施形態に係る電子装置の概略断面図。 電子素子パッケージ、第2実装基板及び電子素子の概略平面図。
1,11,21,31,41,51,61,71,81,91 電子装置
2,22 電子素子パッケージ
3,23 LGA電極
4,14,44,64,74 (第1)実装基板
5,15,45,65,75 (第1)基板電極
6,16,46,66,76 スルーホール
7,67,77 光非透過層
8 接着剤
9 導電材
82,102,111,112,113 第2実装基板
82a,113a,113b 貫通孔
111a 切り欠き
83,103 第2基板電極
84 電子素子
85,95 樹脂
86 粘着プレート
101 実装基板積層体
本発明の第1実施形態に係る電子装置について説明する。図1に、本発明の第1実施形態に係る電子装置の概略断面図を示す。電子装置1は、電子素子をパッケージした電子素子パッケージ2、及び電子素子パッケージ2を実装する実装基板4を備える。
電子素子パッケージ2は、平板状のLGA電極3を有するLGA型のパッケージである。電子素子パッケージ2における電子素子(不図示)としては、種々の電子素子を使用することができ、例えば、半導体素子等の能動素子、チップコンデンサ等の受動素子を適用することができる。実装基板4と対向する面のLGA電極3の表面面積は、実装基板4のスルーホール6の開口面積以上となっている。
実装基板4は、基板表面に形成された基板電極(ランド)5、及び基板電極5を貫通し、基板電極5と電気的に接続され(連設され)、内壁を被覆する導電体(例えば、5μm〜30μmの金属めっき(例えばCuめっき))を有するスルーホール6を有する。実装基板4としては、例えばフレキシブル基板を使用することができる。実装基板4の基板電極5の大きさは、例えば電子素子パッケージ2のLGA電極3の電極径が0.25mmの場合、φ0.15mm〜0.3mmが好ましい。基板電極5の大きさが大きすぎると隣接する電極間のショートが発生しやすく、他方基板電極5の大きさが小さすぎると、位置ずれなどにより接続不良を起こしやすくなるためである。
また、実装基板4は、スルーホール6以外の領域は電子素子パッケージ2に対して光透過性を有しない。実装基板4が例えばフレキシブル基板のように光透過性を有する場合には、実装基板4に光非透過性を付与するために、実装基板4の少なくとも光透過性を有する部分に、電子素子パッケージに対する光を遮光する光非透過層7を設ける。図1に示す形態においては、基板電極5及びスルーホール以外の領域であって、電子素子パッケージ2と対向しない面上に光非透過層7は形成されている。光非透過層7は、例えば、銀ペーストを実装基板4上に塗布することによって形成することができるが、材料や形成方法はこれに限定されることなく、実装基板4に光非透過性を付与することができれば種々の材料及び形成方法を選択することができる。
電子素子パッケージ2は、電子素子パッケージ2のLGA電極3と実装基板4の基板電極5とが対向するように、特に、スルーホール6の開口の少なくとも一部がLGA電極3上に掛かるように、実装基板2に実装されている。スルーホール6には導電材9が充填されており、電子素子パッケージ2のLGA電極3とスルーホール6の内壁とは導電材9によって電気的かつ物理的に接続されている。導電材9としては、例えば、はんだ(例えばSnAgCu系の鉛フリーはんだ)や導電性フィラーを含有する導電性接着剤等を使用することができる。本実施形態においては、導電材9は、スルーホール6(LGA電極3)から、電子素子パッケージ2と対向する面とは反対側の実装基板4面上に連続して形成されている。
電子素子パッケージ2と実装基板4との間にはスルーホール6の開口領域を除いて接着剤8が配され、電子素子パッケージ2と実装基板4とは接着剤8によって接合されている。本実施形態においては、LGA電極3はスルーホール6の開口面積よりも大きく、スルーホール6の開口と重なっていないLGA電極3面は基板電極5と接着剤によって接合されている。接着剤8としては、例えばポジ型の感光性樹脂を使用することができる。電子素子パッケージ2のLGA電極3と実装基板4の基板電極5間の距離は、1μm〜20μmが好ましい。
次に、第1実施形態に係る電子装置1の一例について説明する。実装基板4として厚さ50μmのフレキシブル基板を使用し、光非透過層7として厚さ12μmの銀ペーストをフレキシブル基板上に被覆することができる。電子素子パッケージ2としては、半導体素子をパッケージした半導体パッケージを使用することができる。半導体パッケージのLGA電極3の径はφ0.25mm、フレキシブル基板の基板電極5の径はφ0.25mm、スルーホール6の径はφ0.15mmとすることができる。
次に、本発明の第1実施形態に係る電子装置の製造方法について説明する。図2に、本発明の第1実施形態に係る電子装置の製造方法を説明するための概略工程図を示す。まず、LGA型電子素子パッケージ2上(LGA電極3上含む)に、ポジ型感光性樹脂の接着剤8を配置する(図2(a);接着剤配置工程)。接着剤8の厚さは10μm〜50μmが好ましい。接着剤8としては液状タイプであっても、フィルム状タイプであってもよい。
次に、スルーホール6の開口の少なくとも一部がLGA電極3と重なるように、実装基板4と電子素子パッケージ2とを積層した後、加熱して接着させる(図2(b);接合工程)。このとき、スルーホール6の内部にも接着剤8が存在することになる。加熱条件(時間、温度等)は、使用する接着剤の種類に応じて適宜最適な条件を設定すればよい。例えば、ポジ型感光性樹脂の場合、130℃、10分の条件で加熱する。LGA電極3の面積がスルーホール6の開口面積より大きい場合、LGA電極3のうちスルーホール6の開口と重なっていない領域は実装基板4(図2においては基板電極5)と接着剤8によって接合される。
接合工程において、後述の第3実施形態のようにLGA電極3の面積がスルーホール6の開口面積より小さい場合には、LGA電極3の少なくとも一部をスルーホール6に挿入するように実装基板4と電子素子パッケージ2とを積層する。
次に、露光機を用いて、光透過性を有さない実装基板4、又は実装基板4自体が光透過性を有する場合には実装基板4及び光非透過層7をマスクとして、実装基板4のスルーホール6の内部にある接着剤8である感光性樹脂を露光する(露光工程)。次に、スルーホール6の内部にある露光した感光性樹脂を現像剤により溶解除去し(現像工程)、電子素子パッケージ2のLGA電極3を露出させる(図2(c);接着剤除去工程)。露光条件(照射波長、露光エネルギー量等)は、使用する感光性樹脂の種類に応じて適宜最適な条件を設定すればよい。例えば、波長350nm〜420nmの紫外線を250J/cm〜1000J/cm照射する。現像液も特に制限されることはなく、使用する感光性樹脂に応じて適宜選択することができる。
なお、本実施形態においては接着剤として感光性樹脂を使用しているが、接着剤及び接着剤の除去方法は上記形態に限定されることなく、接着剤除去工程においてスルーホール6内の接着剤を除去できるものであれば、いずれの接着剤及びその除去方法であってもよい。
次に、実装基板4のスルーホール6に導電材9を供給する(図2(d);導電材供給工程)。導電材9の供給方法は、導電材9として例えばクリームはんだを使用する場合、メタルマスクを用いる印刷方法を選択することができる。この場合、メタルマスクの厚さは、スルーホール6の開口面積(径)によって適宜設定する。例えば、スルーホールの径が0.1mmの場合、メタルマスクの厚さは0.05mmが好ましい。
次に、導電材9を溶融して、スルーホール6内部に充填すると共に、電子素子パッケージ2のLGA電極3上まで移動させ、電子素子パッケージ2のLGA電極3とスルーホール6の内壁の導電体とを導電材9によって電気的かつ物理的に接続する(図2(e);電気的接続工程)。導電材9の溶融方法は、例えば、電子素子パッケージ2を実装した実装基板4をリフロー炉に通すことによって導電材9を加熱してもよい。以上の工程により、電子装置1を製造することができる。
本実施形態に係る電子装置及びその製造方法によれば、電子素子パッケージのLGA電極と基板電極との間に導電材を介在させる必要がないので、電子素子パッケージと実装基板との距離を短くすることができ(例えば10μm)、これにより電子装置を薄型化することができる。また、スルーホールの開口面積に対するLGA電極の面積を小さくすること、実装基板の基板電極(ランド)を形成しないこと等により、さらに電子装置を薄型化することができる。
また、電子素子パッケージと実装基板とを予め接着剤によって接合した後に、導電材による電気的接続のための加熱処理を実施するので、該加熱処理中の実装基板の反りの発生を抑制することができる。これにより、電子素子パッケージと実装基板との電気的接続の信頼性を高めることができる。
また、図2(e)に示すように、LGA電極とスルーホール内壁の導電体とを電気的に接続する導電材を、電子素子パッケージとの接合面とは反対側の面上にも連接して形成することにより、該反対側の面上の導電材がストッパのように機能し、実装基板に曲げが発生したり、落下による応力が加えられたりした場合にもLGA電極とスルーホールの導電体との電気的接続を確保する(例えば導電材の抜けを防止する)ことができる。
次に、本発明の第2実施形態に係る電子装置について説明する。図3に、本発明の第2実施形態に係る電子装置の概略断面図を示す。第1実施形態においては、実装基板4が、電子素子パッケージ2と対向する実装基板面上に、スルーホール6の開口周囲に形成されると共にスルーホール6の導電体と連設された基板電極5(いわゆるランド)を有していたが、第2実施形態においては、実装基板14は、第1実施形態における基板電極5に相当する導電体を有していない。
第2実施形態に係る電子装置11は、電子素子パッケージ2と、電子素子パッケージ2が実装された実装基板14とを有する。電子素子パッケージ2と対向する実装基板14面上には基板電極が形成されていないので、電子素子パッケージ2のLGA電極3は、スルーホール(開口及び導電体)16以外は、接着剤8を介して実装基板14の基板(樹脂)と接合されることになる。LGA電極3とスルーホール6の導電体とはスルーホール6の開口を通じて導電材9によって電気的に接続されている(すなわち、スルーホール6の導電体が実質的に電極となっている)ので、実装基板14面上にいわゆるランドが形成されていなくても電子素子パッケージ2と実装基板14間の電気的接続を確保することができる。
それ以外の形態は、第1実施形態における電子装置と同様とすることができる。
実装基板14面上に基板電極を形成しない方法は、適宜好適な方法を選択することができる。例えば、実装基板14の配線層をエッチングする際に、スルーホール6開口周囲の配線層(基板電極)をエッチング除去してもよいし、または実装基板14を作製した後、基板電極に相当する部分を機械的に除去(例えば研削除去)してもよい。
第2実施形態に係る電子装置によれば、電子素子パッケージと対向する実装基板面上に実装電極が形成されていないので、電子装置の厚さを実装電極の厚さに相当する分だけさらに薄くすることができる。
次に、本発明の第3実施形態に係る電子装置について説明する。図4に、本発明の第3実施形態に係る電子装置の概略断面図を示す。第1実施形態においては、電子素子パッケージ2のLGA電極3は、実装基板4のスルーホール6の開口面積以上の表面面積を有していたが、第3実施形態においては、電子素子パッケージ22のLGA電極23は、実装基板4のスルーホール6の開口面積より小さい表面面積を有している。
第3実施形態に係る電子装置21は、電子素子パッケージ22と、電子素子パッケージ22が実装された実装基板4とを有する。電子素子パッケージ22のLGA電極23は、スルーホール6の開口に包含され、電子素子パッケージ22と対向するLGA電極23の上面はスルーホール6内に存在している。これに伴い、LGA電極23の上面及び側面は導電材9によって覆われ、スルーホール6の導電体と電気的に接続されている。
実装基板4の基板電極5は、電子素子パッケージ22のLGA電極23以外の領域と対向し、接着剤8を介して接合されている。
それ以外の形態は、第1実施形態における電子装置と同様とすることができる。
第3実施形態に係る電子装置21の一例について説明する。例えば、実装基板4の基板電極5の径をφ0.25mm、スルーホール6の開口径をφ0.15mmとした場合、電子素子パッケージ22のLGA電極23の径はφ0.1mmとすることができる。
第3実施形態に係る電子装置によれば、電子素子パッケージのLGA電極をスルーホール内に挿入した厚さ分だけ電子装置の厚さをさらに薄くすることができる。また、LGA電極は導電材で覆われることになるので、熱応力に対する信頼性を向上させることもできる。
次に、本発明の第4実施形態に係る電子装置について説明する。図5に、本発明の第4実施形態に係る電子装置の概略断面図を示す。第4実施形態は、第2実施形態と第3実施形態とを組み合わせた形態である。
第4実施形態に係る電子装置31は、電子素子パッケージ22と、電子素子パッケージ22が実装された実装基板14とを有する。電子素子パッケージ22のLGA電極23における実装基板14に対向する面の面積は、第3実施形態と同様にして、スルーホール16の開口面積より小さく、LGA電極23の上側の一部がスルーホール16内に挿入されている。LGA電極23は、導電材9によって覆われ、スルーホール16の導電体と電気的に接続されている。
実装基板14は、第2実施形態と同様にして、電子素子パッケージ22と対向する面上に基板電極に相当する導電体を有しておらず、スルーホール16の開口以外の実装基板14の領域は、LGA電極23以外の電子素子パッケージ22の領域と接着剤8を介して接合されている。
それ以外の形態は、第1実施形態における電子装置と同様とすることができる。
第4実施形態に係る電子装置によれば、LGA電極をスルーホール内に挿入した厚さ分及び実装基板面上の基板電極の厚さ分だけ電子装置の厚さをさらに薄くすることができる。
次に、本発明の第5実施形態に係る電子装置について説明する。図6に、本発明の第5実施形態に係る電子装置の概略断面図を示す。第5実施形態においては、実装基板44のスルーホール46がテーパ状に形成されている。
第5実施形態に係る電子装置41は、電子素子パッケージ22と、電子素子パッケージ22が実装された実装基板44とを有する。実装基板44のスルーホール46は、電子素子パッケージ22に向かって縮径するような円錐台状の形状を有している。
第5実施形態に係る電子装置41の一例について説明する。スルーホール46において、例えば、電子素子パッケージ22に面する開口の径をφ0.15mm、その反対側の面(導電材9供給側面)の開口の径をφ0.2mmとすることができる。
第5実施形態に係る電子装置によれば、スルーホールの導電材供給側の開口径が大きいので、スルーホール内部への導電材の充填性を高めることができる。
なお、図6においては、第3実施形態における電子素子パッケージを図示したが、第1実施形態に係る電子素子パッケージを適用可能であることはいうまでもない。また、図6においては、実装基板面上に基板電極を有する実装基板を図示したが、第2実施形態のように実装基板面上に基板電極(いわゆるランド)を有さない実装基板を適用可能であることもいうまでもない。第5実施形態において、他の形態は、第1実施形態における電子装置と同様とすることができる。
次に、本発明の第6実施形態に係る電子装置について説明する。図7に、本発明の第6実施形態に係る電子装置の概略断面図を示す。図1〜図6に示す第1実施形態〜第5実施形態においては、導電材9はスルーホール6,16,46全体に充填されていたが、図7に示す第6実施形態のように、電子素子パッケージ2のLGA電極3とスルーホール6の導電体とが電気的に接続することができるのであれば、導電材9はスルーホール6の一部にのみに充填されていればよい。
したがって、第1実施形態〜第5実施形態に係る1つの電子装置において、図1〜図6に示すようにスルーホールを完全に満たすように導電材が供給されたスルーホールと、図7に示すようにスルーホール6の一部を満たす導電材9が供給されたスルーホールとが、同一の実装基板内に混在してあってもかまわない。すなわち、1つの電子装置における複数のスルーホールにおいて、導電材の量は均一でなくてもかまわない。例えば、ペースト状の導電材を印刷によって供給する場合に、LGA電極とスルーホールの導電体とが電気的に接続されるのであれば、印刷量のばらついたとしてもかまわない。
次に、本発明の第7実施形態及び第8実施形態に係る電子装置について説明する。図8に、本発明の第7実施形態に係る電子装置の概略断面図を示し、図9に、本発明の第8実施形態に係る電子装置の概略断面図を示す。第1実施形態〜第6実施形態においては、実装基板が光透過性を有する場合に具備する光非透過層7は、電子素子パッケージと対向する面と反対側の実装基板面上に形成されていたが、第7実施形態及び第8実施形態においては、光非透過層は、それ以外の箇所に形成されている。
図8に示す第7実施形態に係る電子装置61においては、光非透過層67は、実装基板64の電子素子パッケージ2と対向する面上に形成され、電子素子パッケージ2と接着剤8によって接合されている。
図9に示す第8実施形態に係る電子装置71においては、光非透過層77は、実装基板74内に形成されている。
すなわち、光非透過層は、実装基板が光透過性を有する場合、図1〜図9に示すように、実装基板のいずれかの部分に形成されていればよい。また、実装基板が光透過性を部分的に有するのであれば、その光透過性を有する部分にのみ光非透過層を形成してもよい。
図8及び図9に示す第7実施形態及び第8実施形態は、図1に示す第1実施形態を基に説明したが、第2実施形態〜第6実施形態にも適用可能であることはいうまでもない。
次に、本発明の第9実施形態に係る実装基板積層体について説明する。図10に、本発明の第9実施形態に係る実装基板積層体の概略断面図を示す。第1実施形態〜第8実施形態においては、電子素子パッケージと実装基板との電気的接続について説明したが、上記形態は、実装基板と実装基板との積層実装にも適用することができる。
実装基板積層体101は、第1実装基板4と、第2実装基板102と、を備える。第1実装基板4の形態は、上記第1実施形態における実装基板4の形態と同様である。第2実装基板102は、第1実装基板4の導電体(スルーホール6)と電気的に接続するための平面電極である第2基板電極103を有する。
実装基板積層体101における第1実装基板4と第2実装基板102との接続形態及び製造方法は、電子素子パッケージを第2実装基板に置き換えた以外は上記第1実施形態における第1実装基板4と電子素子パッケージ2の接続形態及び製造方法と同様であり、第1実施形態の説明を援用して、ここでの説明は省略する。これにより、実装基板積層体101を薄くすることができる。
なお、図10に示す第9実施形態に係る実装基板積層体は、第1実施形態を基にして説明したが、第2実施形態〜第8実施形態における接続形態や実装基板の形態等も第9実施形態に係る実装基板積層体に適用することができる。
次に、本発明の第10実施形態に係る電子装置について説明する。図11に、本発明の第10実施形態に係る電子装置の概略断面図を示す。第10実施形態に係る電子装置81においては、第1実装基板と電子素子パッケージ及び第2実装基板とが接続されている。電子装置81は、電子素子パッケージ2と、第1実装基板4と、第2実装基板82とを有する。電子素子パッケージ2及び第1実装基板4の各形態は、第1実施形態における電子素子パッケージ2及び実装基板4の各形態と同様である。
第2実装基板82は、第1実装基板4の第1基板電極5と電気的に接続するための平板状の第2基板電極83を有する。また、第2実装基板82には、少なくとも1つの電子素子84が実装されている。図11に示す形態においては、電子素子84は、第1基板電極83が形成された面の反対側の面に実装されている。
1つの第1実装基板4は、電子素子パッケージ2と第2実装基板82を架橋するように両者と電気的に接続されている。したがって、電子素子パッケージ2のLGA電極3及び第2実装基板82の第2基板電極83と電気的に接続される第1実装基板4の第1基板電極5が同一平面上にある場合、電子素子パッケージ2のLGA電極3と第2実装基板82の第2基板電極83とが同一平面上に存在するように、電子素子パッケージ2及び第2実装基板82を配置する。電子素子パッケージ2及び第2実装基板82とは、樹脂85で接合する(固定する)と好ましい。樹脂85としては、例えばエポキシ系の樹脂を使用することができる。
第1実装基板4と、電子素子パッケージ2及び第2実装基板82との電気的接続の形態は、第1実装基板4が両者を電気的に接続されている以外は、第1実施形態と同様である。
図12に、図11に示す電子素子パッケージ2、第2実装基板82及び電子素子84の概略平面図を示す。図12においては、実装基板4、樹脂85等の図示は省略してある。第10実施形態においては、第2実装基板82には、電子素子パッケージ2を挿入配置するための貫通孔82aが形成されている。例えば、電子素子パッケージ2の外形が12mm×12mmの矩形である場合、貫通孔82aの形状及び大きさは、それよりも大きい形状、例えば14mm×14mmの矩形とすることができる。電子素子パッケージ2は、貫通孔82aに挿入され、樹脂85は、少なくとも電子素子パッケージ2と第2実装基板82の間隙に配されている。また、樹脂85は、第1実装基板4に対して、電子素子パッケージ2と第2実装基板82と同一平面を形成するように配すると好ましい。
第10実施形態においては、第2実装基板82の貫通孔82a内には電子素子パッケージ2が配置されているが、電子素子パッケージ2の代わりに電子素子84を配置することもできる。例えば、電子素子パッケージ2及び電子素子84のうち、より厚い方を貫通孔82a内に配置すると、薄型に寄与することになり好ましい。
第10実施形態は、第1実施形態における実装基板及び電子素子パッケージを用いて説明したが、第2実施形態〜第8実施形態における実装基板及び電子素子パッケージも第10実施形態に適用できる。また、各実施形態を組み合わせて第10実施形態に適用してもよい。
第10実施形態に係る電子装置によれば、第2実装基板と電子素子パッケージとを第1実装基板を介して電気的に接続しているので、第2実装基板に電子素子が複数搭載されており、配線回路の引き回しに複数層が必要な場合においても、第1実装基板を厚くすることなく、第2実装基板にて配線を引き回せるため電子装置を薄型化することができる。また、電子素子パッケージ又は電子素子を第2実装基板の貫通孔に挿入することにより、電子装置をさらに薄型化することができる。
次に、本発明の第10実施形態に係る電子装置の製造方法について説明する。図13に、本発明の第10実施形態に係る電子装置の製造方法を説明するための概略工程図を示す。
まず、第2基板電極83が粘着プレート86と対向するように、少なくとも1つの電子素子84が実装された第2実装基板82を粘着プレート86上に接着する(図13(a);位置決め工程)。粘着プレート86としては例えば、珪樹シートとアルミプレートを積層した構造のものが使用できる。粘着プレート86に接着した第2実装基板82及び電子パッケージ2は容易に取り外すことができる。
次に、LGA電極3が粘着プレート86と対向するように、電子素子パッケージ2を粘着プレート86に接着する(図13(b);位置決め工程)。このとき、第2実装基板82又は粘着プレート86には、電子素子パッケージ2等の配置位置を示すマークを形成しておくと好ましい。なお、最初に電子素子パッケージ2を粘着プレート86に接着した後に、第2実装基板82を接着してもよい。
次に粘着プレート86に接着した電子素子パッケージ2と第2実装基板82との間に、樹脂85を供給し、加熱により樹脂85を硬化させ、電子素子パッケージ2と第2実装基板82とを一体化させる(図13(c);接合工程)。樹脂85の供給方法としてはポッティング工法を使用することができ、以下に示す第11実施形態に係る電子装置の場合には、トランスファーモールド工法にて電子素子パッケージと第2実装基板上の全面を樹脂で封止する方法を使用することができる。
次に、樹脂85により一体化した電子素子パッケージ2と第2実装基板82を粘着プレート86から取り外す(図13(d);取外し工程)。電子素子パッケージ2と第2実装基板82を粘着プレート86から取り外すことにより、電子素子パッケージ2のLGA電極3と第2実装基板82の第2基板電極83を同一面ないしほぼ同一平面上に配置することができると共に、同一方向に向けることができる。
次に、第1実施形態における電子装置の製造方法と同様の方法により、第1実装基板4と電子素子パッケージ2及び第2実装基板82とを電気的に接続する(図13(e))。なお、実装基板4は、図13(e)に示すように、電子素子パッケージ2を横断するような形態であってもよい。
第10実施形態に係る電子装置の製造方法によれば、粘着プレートを用いることによって、第1実装基板を電子素子パッケージと第2実装基板に同時に実装可能な構成を容易に形成することができる。また、第1実装基板によって、電子素子パッケージと第2実装基板の電極とを容易に電気的に接続することができる。
次に、本発明の第11実施形態に係る電子装置について説明する。図14に、本発明の第11実施形態に係る電子装置の概略断面図を示す。第10実施形態においては、主として電子素子パッケージと第2実装基板間のみを樹脂で接合したが、第11実施形態に係る電子装置91においては、電子素子84及び電子素子パッケージ2を封止するように、電子素子パッケージ2及び第2実装基板82の片面全面が樹脂95で覆われている。
第11実施形態に係る電子装置によれば、第1実装基板4を接続する面の反対側の面を平坦にすることができるので、実装基板4を接続する工程(例えば導電材供給工程)を容易に実施することができる。これにより、例えば、接着剤を均一な厚さにすることができ、また導電材の供給量のバラツキを抑えることができる。
第10実施形態及び第11実施形態における第2実装基板の他の形態について説明する。図12に示す形態においては、電子素子パッケージ2を第2実装基板82の中央よりに配置するため貫通孔82aを形成したが、第2実装基板の形状は、電子素子パッケージ及び電子素子の配置位置に応じて、適宜変更することができる。例えば、図15(a)に示すように、電子素子パッケージ2を第2実装基板111の端部よりに配置する場合には、第2実装基板111の端部に切り欠き111aを形成することができる。電子素子パッケージ2を配置する場合や電子素子を配置するスペースが必要ない場合には、図15(b)に示すように、第2実装基板112に貫通孔や切り欠きを設けずに、電子素子パッケージ2を第2実装基板112の横に配置するだけでもよい。また、電子素子パッケージ2を複数配置する場合には、図15(c)に示すように、第2実装基板113に複数の切り欠き又は貫通孔113a,113bを形成することもできる。
なお、図1〜図15において、説明に使用しない配線層やスルーホール等の要素の図示は省略してある。
本発明の電子装置及びその製造方法は、上記実施形態に基づいて説明されているが、上記実施形態に限定されることなく、本発明の範囲内において、かつ本発明の基本的技術思想に基づいて、上記実施形態に対し種々の変形、変更及び改良を含むことができることはいうまでもない。また、本発明の請求の範囲の枠内において、種々の開示要素の多様な組み合わせ・置換ないし選択が可能である。
本発明のさらなる課題、目的及び展開形態は、請求の範囲を含む本発明の全開示事項からも明らかにされる。

Claims (25)

  1. 電子素子パッケージと、
    第1実装基板と、
    第2実装基板と、を備え、
    電子素子パッケージは第1実装基板に実装され、
    前記電子素子パッケージは、LGA(Land Grid Array)型のLGA電極を備え、
    前記第1実装基板は、内壁を被覆する導電体を有する第1スルーホール及び第2スルーホールを備え、
    前記電子素子パッケージと前記第1実装基板とは前記第1スルーホールの開口の少なくとも一部が前記LGA電極と重なるように実装され、
    前記LGA電極と前記第1スルーホールの前記導電体とは、前記第1スルーホール内に配された導電材によって電気的に接続され、
    前記LGA電極のうち前記第1スルーホールの前記開口と重なっていない領域の少なくとも一部は、前記第1実装基板と接着剤を介して接合され、
    前記第2実装基板は、前記第2スルーホールの前記導電体と電気的に接続される基板電極を有し、
    前記第1実装基板と前記第2実装基板とは前記第2スルーホールの開口の少なくとも一部が前記基板電極と重なるように実装され、
    前記基板電極と前記第2スルーホールの前記導電体とは、前記第2スルーホール内に配された導電材によって電気的に接続され、
    前記基板電極のうち前記第2スルーホールの前記開口と重なっていない領域の少なくとも一部は、前記第1実装基板と接着剤を介して接合され、
    前記電子素子パッケージの前記LGA電極と前記第2実装基板の前記基板電極とは同一平面上に配列され、
    前記電子素子パッケージと前記第2基板とは前記第1基板を介して電気的に接続されていることを特徴とする電子装置。
  2. 前記LGA電極の面積は、前記LGA電極と対向する側の前記第1スルーホールの開口面積より大きいことを特徴とする請求項に記載の電子装置。
  3. 前記LGA電極及び前記基板電極の面積は、前記LGA電極及び前記基板電極と対向する側の前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの開口面積より大きいことを特徴とする請求項1に記載の電子装置。
  4. 前記第2実装基板は、貫通孔又は切り欠きを有し、
    前記電子素子パッケージは、前記貫通孔又は切り欠き内に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の電子装置。
  5. 前記電子素子パッケージと前記第2実装基板とは樹脂で接合されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の電子装置。
  6. 前記第2実装基板には少なくとも1つの電子素子が実装されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の電子装置。
  7. 前記第1実装基板は、前記電子素子パッケージと対向する前記第1実装基板面上に、前記LGA電極と対向する前記第1スルーホールの導電体と連設された導電体を有し、
    前記LGA電極のうち前記第1スルーホールの前記開口と重なっていない領域の少なくとも一部は、前記第1実装基板面上の前記導電体と接着剤を介して接合されていることを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載の電子装置。
  8. 前記第1実装基板は、前記電子素子パッケージ及び前記第2実装基板と対向する前記第1実装基板面上に、前記LGA電極及び前記基板電極と対向する前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの導電体と連設された導電体を有し、
    前記LGA電極及び前記基板電極のうち前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの前記開口と重なっていない領域の少なくとも一部は、前記第1実装基板面上の前記導電体と接着剤を介して接合されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の電子装置。
  9. 前記第1実装基板は、前記電子素子パッケージと対向する前記第1実装基板面上に、前記LGA電極と対向する前記第1スルーホールの導電体と連設された導電体を有しないことを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載の電子装置。
  10. 前記第1実装基板は、前記電子素子パッケージ及び前記第2実装基板と対向する前記第1実装基板面上に、前記LGA電極及び前記基板電極と対向する前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの導電体と連設された導電体を有しないことを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の電子装置。
  11. 前記電子素子パッケージと前記第1実装基板とが対向する領域のうち、前記第1スルーホールの前記開口以外の領域には接着剤が介在していることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の電子装置。
  12. 前記電子素子パッケージ及び前記第2実装基板と前記第1実装基板とが対向する領域のうち、前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの前記開口以外の領域には接着剤が介在していることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の電子装置。
  13. 前記接着剤は感光性樹脂であることを特徴とする請求項1〜12のいずれか一項に記載の電子装置。
  14. 前記第1実装基板は、前記第1スルーホール以外は前記電子素子パッケージに対して光透過性を有しないことを特徴とする請求項1〜13のいずれか一項に記載の電子装置。
  15. 前記第1実装基板は、前記第1スルーホール及び前記第2スルーホール以外は前記電子素子パッケージ及び前記第2実装基板に対して光透過性を有しないことを特徴とする請求項1〜13のいずれか一項に記載の電子装置。
  16. 前記第1実装基板は、前記電子素子パッケージ又は前記電子素子パッケージ及び前記第2実装基板に対する光を遮光する光非透過層を少なくとも一部に有することを特徴とする請求項15に記載の電子装置。
  17. 前記導電材は、前記第1スルーホールから、前記電子素子パッケージと対向する前記第1実装基板面とは反対側の第1実装基板面上へ連続して形成されていることを特徴とする請求項1〜16のいずれか一項に記載の電子装置。
  18. 前記導電材は、前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールから、前記電子素子パッケージ及び前記第2実装基板と対向する前記第1実装基板面とは反対側の第1実装基板面上へ連続して形成されていることを特徴とする請求項1〜16のいずれか一項に記載の電子装置。
  19. LGA(Land Grid Array)型のLGA電極を有する電子素子パッケージと、少なくとも1つの電子素子が実装されていると共に平面電極を有する第2実装基板とを、前記LGA電極及び前記平面電極が粘着プレートと対向するように、前記粘着プレートに接着して位置決めする位置決め工程と、
    前記電子素子パッケージと前記第2実装基板とを樹脂で接合する接合工程と、
    前記電子素子パッケージ及び前記第2実装基板を粘着プレートから取り外す取外し工程と、
    前記LGA電極が形成された前記電子素子パッケージ面上及び前記平面電極が形成された第2実装基板上の少なくとも一部に接着剤を配置する接着剤配置工程と、
    内壁に導電体を有する第1スルーホール及び第2スルーホールを備える第1実装基板と、前記電子素子パッケージ及び第2実装基板とを、前記第1スルーホールの開口の少なくとも一部が前記LGA電極と重なるように、及び前記第2スルーホールの開口の少なくとも一部が前記平面電極と重なるように積層する接合工程と、
    前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの前記開口において前記LGA電極及び前記平面電極の少なくとも一部が露出するように前記第1スルーホール及び前記第2スルーホール内に存在する接着剤を除去する接着剤除去工程と、
    前記LGA電極及び前記平面電極と対向している前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの開口とは反対側の開口から前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールに導電材を供給する導電材供給工程と、
    前記導電材を前記LGA電極及び前記平面電極の露出面へ移動させ、前記LGA電極及び前記平面電極と前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの導電体とを前記導電材によって電気的に接続する電気的接続工程と、を含み、
    前記LGA電極の面積は、前記LGA電極と対向する側の前記第1スルーホールの開口面積より大きく、
    前記接合工程において、少なくとも、前記LGA電極のうち前記第1スルーホールの前記開口と重なっていない領域の少なくとも一部と前記第1実装基板とを接着剤を介して接合することを特徴とする電子装置の製造方法。
  20. LGA(Land Grid Array)型のLGA電極を有する電子素子パッケージと、少なくとも1つの電子素子が実装されていると共に平面電極を有する第2実装基板とを、前記LGA電極及び前記平面電極が粘着プレートと対向するように、前記粘着プレートに接着して位置決めする位置決め工程と、
    前記電子素子パッケージと前記第2実装基板とを樹脂で接合する接合工程と、
    前記電子素子パッケージ及び前記第2実装基板を粘着プレートから取り外す取外し工程と、
    前記LGA電極が形成された前記電子素子パッケージ面上及び前記平面電極が形成された第2実装基板上の少なくとも一部に接着剤を配置する接着剤配置工程と、
    内壁に導電体を有する第1スルーホール及び第2スルーホールを備える第1実装基板と、前記電子素子パッケージ及び第2実装基板とを、前記第1スルーホールの開口の少なくとも一部が前記LGA電極と重なるように、及び前記第2スルーホールの開口の少なくとも一部が前記平面電極と重なるように積層する接合工程と、
    前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの前記開口において前記LGA電極及び前記平面電極の少なくとも一部が露出するように前記第1スルーホール及び前記第2スルーホール内に存在する接着剤を除去する接着剤除去工程と、
    前記LGA電極及び前記平面電極と対向している前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの開口とは反対側の開口から前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールに導電材を供給する導電材供給工程と、
    前記導電材を前記LGA電極及び前記平面電極の露出面へ移動させ、前記LGA電極及び前記平面電極と前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの導電体とを前記導電材によって電気的に接続する電気的接続工程と、を含み、
    前記LGA電極及び前記平面電極の面積は、前記LGA電極及び前記平面電極と対向する側の前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの開口面積より大きく、
    前記接合工程において、少なくとも、前記LGA電極及び前記平面電極のうち前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの前記開口と重なっていない領域の少なくとも一部と前記第1実装基板とを接着剤を介して接合することを特徴とする電子装置の製造方法。
  21. 前記接着剤は感光性樹脂であり、
    前記接着剤除去工程は、前記第1スルーホール及び前記第2スルーホール内の前記接着剤を露光する露光工程と、
    前記露光工程後、現像剤によって前記第1スルーホール及び前記第2スルーホール内の前記接着剤を除去する現像工程と、を含むことを特徴とする請求項19又は20に記載の電子装置の製造方法。
  22. 前記第1実装基板は、前記第1スルーホール以外は前記電子素子パッケージに対して光透過性を有さず、
    前記露光工程において、前記第1実装基板をマスクとして、前記第1スルーホールの開口から前記第1スルーホール内の前記接着剤を露光することを特徴とする請求項21に記載の電子装置の製造方法。
  23. 前記第1実装基板は、前記第1スルーホール及び前記第2スルーホール以外は前記電子素子パッケージ及び前記第2実装基板に対して光透過性を有さず、
    前記露光工程において、前記第1実装基板をマスクとして、前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの開口から前記第1スルーホール及び前記第2スルーホール内の前記接着剤を露光することを特徴とする請求項21に記載の電子装置の製造方法。
  24. 前記導電材はクリームはんだであり、
    前記電気的接続工程において、前記導電材を加熱溶融することにより前記LGA電極と前記第1スルーホールの導電体とを電気的に接続することを特徴とする請求項1923のいずれか一項に記載の電子装置の製造方法。
  25. 前記導電材はクリームはんだであり、
    前記電気的接続工程において、前記導電材を加熱溶融することにより前記LGA電極及び前記平面電極と前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの導電体とを電気的に接続することを特徴とする請求項19〜23のいずれか一項に記載の電子装置の製造方法。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2960378B1 (fr) * 2010-05-21 2014-11-21 Valeo Vision Assemblage d'au moins deux cartes electriques
JPWO2013027718A1 (ja) * 2011-08-23 2015-03-19 株式会社フジクラ 部品実装プリント基板及びその製造方法
JP5800778B2 (ja) * 2011-11-25 2015-10-28 三菱電機株式会社 接合方法および半導体装置の製造方法
JP6221132B2 (ja) * 2013-03-07 2017-11-01 矢崎総業株式会社 プリント配線板
JP2015177004A (ja) * 2014-03-14 2015-10-05 ミネベア株式会社 フレキシブルプリント基板
WO2015184635A1 (zh) * 2014-06-06 2015-12-10 华为技术有限公司 栅格阵列封装模块
JP6721329B2 (ja) * 2015-12-21 2020-07-15 三菱電機株式会社 パワー半導体装置およびその製造方法
CN111629519B (zh) * 2020-05-18 2021-04-09 微智医疗器械有限公司 芯片与电路板的连接方法、电路板组件及电子设备
CN114505629B (zh) * 2022-03-15 2022-12-06 哈尔滨工业大学 一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS631094A (ja) * 1986-06-20 1988-01-06 富士通株式会社 フレキシブル及びリジツド印刷配線複合基板
JPH04269894A (ja) * 1991-02-26 1992-09-25 Tokyo Electric Co Ltd プリント回路基板への面実装部品の半田付け方法
JPH05267360A (ja) * 1992-03-18 1993-10-15 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体装置
JPH06216492A (ja) * 1993-01-21 1994-08-05 Hitachi Ltd 電子装置
JP2002237673A (ja) * 2001-02-08 2002-08-23 Murata Mfg Co Ltd 回路基板装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2838048B1 (fr) * 2002-04-03 2005-05-27 Prod Dentaires Pierre Rolland Produit dentaire reticulable/dereticulable
US6954984B2 (en) * 2002-07-25 2005-10-18 International Business Machines Corporation Land grid array structure
TWI225701B (en) * 2003-09-17 2004-12-21 Advanced Semiconductor Eng Process for forming bumps in adhesive layer in wafer level package
US20070045812A1 (en) * 2005-08-31 2007-03-01 Micron Technology, Inc. Microfeature assemblies including interconnect structures and methods for forming such interconnect structures
US7629541B2 (en) * 2006-06-19 2009-12-08 Endicott Interconnect Technologies, Inc. High speed interposer

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS631094A (ja) * 1986-06-20 1988-01-06 富士通株式会社 フレキシブル及びリジツド印刷配線複合基板
JPH04269894A (ja) * 1991-02-26 1992-09-25 Tokyo Electric Co Ltd プリント回路基板への面実装部品の半田付け方法
JPH05267360A (ja) * 1992-03-18 1993-10-15 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体装置
JPH06216492A (ja) * 1993-01-21 1994-08-05 Hitachi Ltd 電子装置
JP2002237673A (ja) * 2001-02-08 2002-08-23 Murata Mfg Co Ltd 回路基板装置

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