JP5603454B2 - 被覆切削工具インサート - Google Patents

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Description

本発明は、旋削加工、フライス加工、及び穿孔加工によって、または同様の切屑形成機械加工方法によって、金属を機械加工するために適切なCVDで被覆した切削工具インサートに関する。この被覆切削工具インサートは、断続切削作業に使用するときに、改良された靭性挙動を示す。
最近の高生産性の切屑を形成する金属の機械加工は、高い耐磨耗性と、良好な靭性特性と、塑性変形に対する卓越した抵抗と、を備える信頼性のある工具インサートを必要とする。
このことは、耐摩耗性の被膜で被覆した超硬合金インサートを用いることによって、今までは達成されてきた。この超硬合金インサートは、一般的に工具ホルダーに締結される割り出し可能な形状であったが、また一体型の超硬合金ドリルまたはフライスカッタの形状にすることができた。TiC、TiC、TiN、TiC及びAlのような種々の形式の硬質層で被覆した超硬合金切削工具インサートが何年間も市販入手可能であった。多層構造のうちで数種の硬質層は、通常は被膜のように積み重ねられる。
この被膜は、ほとんどが化学蒸着(CVD)または物理蒸着(PVD)の技術によって堆積される。また、幾つかの稀の場合に、プラズマ補助化学蒸着(PACVD)が実施されてきた。
このCVD技術は、幾つかの利点を有するとしてPVDよりも好まれていた。これは、大きな被覆容器が可能となり、複雑な形状のインサート上に良好な被膜厚み分布を有する被膜を製造でき、高均一電着性を有し、Al及びZrのような非導電性層を堆積するために使用することができる。多くの異なる材料が、例えば、Al、TiC、TiC、TiN、TiC、ZrCxNy及びZrO2のようなものを、同じ被覆工程において堆積することができる。
このCVD技術は、950〜1050度のかなり高温領域で実施される。この高堆積温度と、堆積される被服材料と超硬合金工具インサートとの間の熱膨張係数の不釣合いとのために、CVDは、冷却割れと引張応力とが備わる被膜を作る。
PVD処理法は、450〜650℃の著しく低い温度で操作され、且つ強いイオン輻射の下で実施されて、高圧縮応力を有して割れの無い層をもたらす。この高圧縮応力と冷却割れの無いことが、CVD被覆工具インサートより強靭なPVD被覆工具インサートを作り、したがって、フライス加工におけるような断続切削作業にほとんど選ばれる。
CVD被覆工具インサートの性能についての顕著な改良は、MTCVD(中温化学蒸着)技術が、約5〜10年前に工具工業界に入り始めたのときに起きた。切削工具インサートの靭性特性の改良が達成された。今日、大多数の工具製造者はこの技術を用いる。残念ながら、このMTCVD技術は、約0.5<x<0.7及び0.3<y<0.5及びx+y=1または1に近いTiC層の製造だけに限定されている。この堆積工程は、ここでは700〜930℃の範囲の温度で行われる。CHCN、TiCl及びHのガス混合物を使用する。今日最新の被膜は、クレータ摩耗耐性を達成するために、Alの少なくとも1層を含む。
さらに、αAl工程に対する堆積温度が、欧州特許出願A−1464727号に開示するように可能になるときに、靭性特性の改良は得ることができる。
ブラシ掛けまたは湿潤ブラスト処理による被覆切削インサートの後処理は、幾つかの特許に開示される。この目的は、例えば、米国特許第5,851,687号及び欧州特許第603144号に開示されるように平滑な切削切刃を達成すること及び/または切刃線に沿ってAlを露出することであり、或いは、米国特許第5,861,210号に開示するようにTiNが逃げ面で摩耗検出層として使用される場合において、すくい面上の頂部層として、このAlを得ることである。例えば、湿潤または乾燥ブラスト処理または超音波衝撃被覆法で行うような表面を露出させる全ての処理技術は、被膜の応力状態(シグマ)に幾つかの影響を及ぼすであろう。しかしながら、CVD被覆構造中の全ての層の引張応力をかなり和らげるために、激しい表面処理を必要とする。しかしながら、このような処理は、このような応力状態にあまりにも大きな変化をもたらし、例えば、乾燥ブラスト処理技術を使用している欧州特許出願A−1311712号に開示されるように、極めて高い引張りから極めて高い圧縮まで変化する。
この湿潤ブラスト処理技術に対して、このブラスト処理媒体、通常Al粒と水を高衝撃で被膜表面に打ち付ける必要がある。この衝撃力は、例えば、ブラスト処理パルス圧力、ブラスト処理ノズルと被膜表面の間の距離、ブラスト処理媒体の粒子径、ブラスト処理媒体の集中力、及びブラスト処理噴流の衝撃角よって制御することができる。
これらの向上にもかかわらず、CVD被覆インサートのさらにその上の改良が非常に望ましい。
欧州特許出願A−1464727号 米国特許第5,851,687号 欧州特許第603144号 米国特許第5,861,210号 欧州特許出願A−1311712号
本発明の目的は、改良された靭性特性を有するCVD被覆工具インサートを提供することである。
さらに、本発明の目的は、改良された靭性特性を有するCVD被覆工具インサートを製造する方法を提供することである。
図1は、X線測定法によって残留応力を評価するために設定されたゴニオメータを示す。
E:オイラー角1/4クレドール
S:試料
I:入射X線ビーム
D:回折X線ビーム
θ:回折角度
ω:θ
Ψ:オイラー角1/4クレドールに沿った傾斜角
Φ:試料の軸周りの回転角
本発明は、少なくとも一つのすくい面及び少なくとも一つの逃げ面を有する多角形または円形の形状のボディより成り、被膜と基材を含む被覆切削工具インサートに関する。前記被覆は、少なくとも1層のTiC層、及び100%のαAlからなる充分に結晶化した層を含む。このようなαAl層の一つは、少なくともすくい面上の頂部で且つ切刃線に沿う目視可能層であり、この層は、Al及びTiCの層の双方において引張応力の緩和を作り出すために、集中的な湿潤ブラスト処理或いは、充分に高いエネルギで表面を衝撃可能である他の同様の技術によって処理される。Al頂部層は非常に平滑な表面を有する。
著しく改良された靭性特性は、一般的に多角形または丸型の形状を有する被覆切削工具インサートが少なくとも一つのすくい面及び少なくとも一つの逃げ面を備えるとき、次の性質を備えるために、前記インサートは少なくとも部分的に被覆して作られる:
− 1〜8μm好ましくは2〜5μmの厚みを有する最後から2番目のTiC層は、x≧0、y≧0及びx+y=1、好ましくはMTCVDによって作成し、且つ0.01〜300MPa好ましくは0.01〜200MPaの引張応力を有すること、及び
− 1〜5μm好ましくは2〜4ミクロンの厚みを有する外側Al層が、すくい面上で且つ切刃線に沿う頂部層であり、且つ原子間力顕微鏡(AFM)によって10μmの長さに渡って測定された平均粗さ度Ra<0.1μmと、X線輻射回折(XRD)強度(ピーク高さマイナスバックグランド)比I(012)/I(024)≧1.5と、を有すること
好ましくは、x≧0、z>0及びy≧0であるTiCの接合層が、TiCとAlとの間に存在する。この二つの相の合計厚みは、10μm以下(≦10μm)好ましくは6μm以下(≦6μm)である。
Ti、Nb、Hf、V、Ta、Mo、Zr、Cr、W及びAlから選ばれた金属元素を有する金属の窒化物、炭化物及び酸化物の少なくとも1種からなる本発明の層と、この構造との間に、付加層が、20μm未満(<20μm)の合計被膜厚みまで、被覆構造に組み込まれる。
圧縮応力がブラスト処理によって誘起されることになるならば、非常に大きなブラスト処理衝撃力が必要となり、且つこのような条件の下では被膜の剥離が切刃に沿って生じるために、TiCxNy層中に低引張応力が存在することが好まれる。また、この被膜にまだ少しの引張応力が存在する場合に比較して、このような誘起圧縮応力は、切削作業中に起こる温度上昇に関して安定でないことが判明した。
この内側のTiCxNy層の残留応力σは、既知のsinΨ方法を用いるXRD装置によって評価され、このsinΨ方法は、I.C. Noyan, J.B. CohenによってResidual Stress Measurement by Diffraction and Interpretationと題してSpringer-Verlag, New York, 1987 (pp 117 - 130)に記載される。この測定は、図1に示されたように準備されたゴニオメータでTiCxNyの(422)反射のCuκα輻射を用いて実施する必要がある。この測定は可能な限り平坦な表面で実施する必要がある。6〜7のΨ角度と0〜0.5のsinΨ範囲内(Ψ=45°)の等距離と有するサイド傾斜技術(Ψ幾何学)を使用することを推奨する。また、90°のΦ扇形内でΦ角度の等距離分布が実施された。2軸方向応力状態を確認するため、試料は、Φ=0°及び90°回転させてΨ傾斜させた。せん断応力の存在可能性を調査すること、したがって、マイナスとプラスのΨ角度の双方を測定する必要があることを推奨する。オイラー角1/4クレドールの場合、これは、種々のΨ角度に対してΦ=180°及び270°で試料を測定することによって成し遂げられる。MTCVDのTi(C、N)の場合一定のヤング率E=480Gpa及びポアソン比ν=0.20でもって好ましくはBruker−AXSから市販入手できるソフトウェアDIFFRACPlusStress32v1.04を使用して、且つPseudo−Voigt−Fit関数を使用して反射を位置決めして、残留応力を評価するためにsin2Ψ法が用いられた。この場合次の因子が、ヤング率=48GPa及びポアソン比ν=0.20が用いられた。2軸応力状態の場合、この平均値は得られた2軸応力の平均値として計算された。
このαAlに対しては、必要とする高い2θ角度のXRD反射がほとんどがあまりにも低いので、sinΨ技術を使用することは一般的に不可能である。しかしながら、発明者は、有効な代わりの測定方法を見つけ、それは切削性能に対するαAlの状態に関する。
Alの粉末に対して、I(012)/I(024)回折強度比は、1.5付近であった。粉末回折集JCPDS第3−1484号は、I(012)=72、I(024)=48を示す。本発明者は、超硬合金上で引張応力が付加されたCVDのAl層に対しては、I(012)/I(024)回折強度比は、予想された値1.5より驚くほど低くて、ほとんどが1以下であった。これは、引張応力によって生じる結晶格子の不規則性によると考えられる。このような層は、強烈なブラスト処理を施されたときに(応力の開放)或いはこの層がこの基材から完全に除去されて且つ粉末にされた場合(無応力化)、この比I(012)/I(024)は、付加されたブラスト処理応力に依存して1.5に等しいかもっと高くなることが判明した。すなわち、この強度比は、Al層の重要な状態関数として用いることができる。高ブラスト処理力が、薄い層のXRDの解析に対して、この低い2θ角度が(012)反射に適合されるという事実と混用されるならば、1.5より大きな比率は、いわゆる「薄いフィルム修正」の計算がなされない場合、ピーク強度比I(012)がより高い角度反射例えば(024)反射に比較して過剰見積もりされることを生じさせる。
本発明の方法にしたがう切削工具インサートは、最後から2番目のTiC層と外側のAl層とからなるCVD被膜を備える。高い表面平滑度と低い引っ張り応力レベルを得るために、この被膜は、第1の激しい湿潤ブラスト処理工程で、すくい面上を、水とF80(FEPA標準)のAl粒のスラリーでもって、1.8〜2.8barの空気圧で、2〜8sec/インサートの間処理され、引き続いて第2のプラスと処理によって、水にF320(FEPA標準)のAl粒のスラリーでもって、約2barの空気圧で、約4〜10sec/インサートの間処理される。製造されたインサートに使用する前に、F80の粒と水で新しく作られたスラリーは、粒をわずかに丸めるために、ダミーのインサートに先ず使用した。
また、平滑な被膜表面を逃げ面に望むならば、ブラスト処理はそこに充分に行うことが必要である。この場合、TiCxNy層はすくい面とクリアランス側面の双方に低い引張応力を有する。これは、ステンレス鋼またはノジュラー鋳鉄のような付着する材料を切削する場合、好ましい実施態様である。
黒色のすくい面よりもクリアランス側面に種々の色を有するインサートが望まれる場合、TiN(黄色)、TiC(灰色またはブロンズ色)またはTiC(灰色)の薄い0.1〜2μmの着色層の最外層が堆積される。このインサートは、その後90°吹き付け角度でブラスト処理されて、黒色のAl2O3層を現すために頂部層を除去する。この場合、すくい面上の被膜は、低い所望の引張応力を有し、一方クリアランス側面は、被膜と、使用する超硬合金インサートの熱膨張係数(CTE)との選択に依存して、600〜1000MPaの範囲の高い引張応力を有する。
図1は、X線測定法によって残留応力を評価するために設定されたゴニオメータを示す。
実施例1
A)12.6wt%のCoと、1.25wt%のTaCと、0.32wt%のNbCと、残部WCとを含んでいる(熱膨張係数、CTE=6×10−6)型式R390−11T308M−PMの超硬合金切削インサートは、0.5μmの厚みのTiN層を従来のCVd技法を用いて930℃で被覆して、引き続いてMTCVD技法を使用して885℃の温度で処理ガスとしてTiCl、H、N及びCHCNを用いて2μmのTiC層を被覆した。その後の処理工程における同一被覆サイクルの際に、約0.5μmの厚みのTiCの層が、1000℃でTiCl、CO及びHを用いて堆積させ、且つその後反応器が、2.2μmの厚みのαAlの層が堆積される前に、2%のCO、5%のHCl及び93%のHの混合物で2分間洗浄された。この堆積工程の際の処理条件は以下の表1のようであった。
表1
工程 TiN TiC TiC 洗浄 Al
TiCl 1.5% 1.4% 2%
38% 38%
CO 2% 4%
CO 6%
AlCl 3.2%
S − 0.3%
HCl 1% 5% 3.2%
: 残部 残部 残部 残部 残部
CHCN − 0.6%
圧力 160mbar 60mbar 60mbar 60mbar 70mbar
温度 930℃ 885℃ 1000℃ 1000℃ 1000℃
継続時間 30分 1時間 20分 2分 2時間
堆積されたAl層のXRD−分析は、α相だけから成ることを示した。
実施例2
実施例1が繰り返されたが、TiC−工程の処理時間は1.5時間であり、Al工程の処理時間は4時間であった。
約3μmのTiC及び4.5μmのAlの被膜が得られた。
実施例3
実施例1が繰り返されたが、Al−工程の処理時間は6時間であり、Al工程の処理時間は4時間であった。
約2μmのTiC及び6.5μmのAlの被膜が得られた。
実施例4
実施例1,2及び3の被覆インサートが、種々の条件の下で湿潤ブラスト処理及び切刃ブラシ掛けによって後処理された。このブラスト処理は二つの工程で実施された。最初の工程は水とAlグリット(グリットサイズF80、FEPA標準)を含むスラリーで実施され、その後の第二の工程はAlグリット(グリットサイズF320、FEPA標準)で実施された。これらの工程の目的は、引張応力レベルを減少すること、及び高被膜平滑度を作り出すことであった。4つの異なるブラスト処理圧力1.8、2.0、2.2及び2.4bar、及び二つの異なる吹き付け角度45°及び90°が工程1で用いられた。工程2においては、2barの圧力と90°の吹き付け角度だけが使用された。また、幾つかのインサートは、切刃に沿って及びその近くで被膜表面を平滑にするために、SiC粒子を含むナイロンブラシでブラシ掛けがされた。種々の後処理されたインサートの被膜は走査型電子顕微鏡(SEM)で高倍率の検査がなされた。2.4barでブラスト処理された実施例一の幾つかのインサートだけが、切削切刃に散発的に剥離を示したことが検査の証拠であった。90°の角度でブラスト処理されたインサートは、45°の角度でブラスト処理されたものよりも僅かに優れた表面平滑度を示した。
良く知られている粗さ度の値Raとして表される被膜表面の平滑度は、ブラシ掛けされ且つブラスト処理されていないものを除いて、全てのインサートについて、装置の表面イメージシステムAG(SIS)からのAFMによって測定された。粗さ度は、10箇所の無作為に選択した平らな表面領域(10μm×10μm)上で測定された。これらの10箇所のRa値の平均値は、以下の表1の平均Ra(MRa)と命名した粗さ度として用いられた。
ブラッグ−ベレントナ(Bragg−brentrano)のデフラクトメータ、シーメンスD5000を使用したX線回折の解析が、CuのKα輻射を用いてI(012)/I(024)比を決定するために、使用された。この残留応力は、X線デフラクトメータ、バルカーD8デスカバーGADDS上のψ幾何学を用いて評価し、これはレーザビデオ位置合わせ、オイラー角1/4クレドール、X線源(CuのKα輻射)としての回転する陽極、及び領域デテクター(Hi−star)を装備する。大きさが0.5mmのコリメータが、ビームの焦点を合わすために使用された。この解析は、2θ=126°、ω=63°及びΦ=0°、90°、180°270°にセットしたゴニオメータを用いてTiCxNyの(422)反射で実施された。0°と70°の間の8個のΨ傾斜は、各Φ角度に対して実施された。一定のヤング率E=480Gpa及びポアソン比ν=0.20を有する(Bruker AXS)からのソフトウェアDIFFRACPlusStress32v1.04を使用して、且つ(Pseudo−Voigt−Fit function)を使用して反射を位置決めして、残留応力を評価するために、sin2Ψ法が用いられた。2軸応力状態が確認され、且つこの平均値は残留応力値として用いられた。
実施例5
種々の後処理をしたインサートは、二つの異なるフライス切削加工作業において試験され、双方は靭性特性が非常に要求された。次の条件が使用された。
切削試験1
合金鋼SS2541におけるフライス加工作業が実施された。加工物は長方形角材であった。フライス加工カッターが、加工物の長さ方向側部から数回切込みを入れた。条件は「困難な切り込み」として分類した。
乾燥条件
切削速度 V=200m/分
一歯当たりの送り Fz=0.17mm/z
軸方向の切り込み深さ Ap=3mm
半径方向の切り込み深さ Ae=16mm
歯の個数=1
3個のインサート(一切刃/インサート)を加工物で実施した。この寿命は、切刃に生じた破損が以下の表1に示される前の、完全である切り込み回数として表した。
切削試験2
合金鋼SS2541におけるフライス加工作業が実施された。加工物の形状は、このフライスカッタの直径より小さな厚みの細長い丸棒であった。フライスカッタを、この棒の長さ方向へと通過させ、条件は「困難な終了」として分類した。
乾燥条件
切削速度 V=150m/分
一歯当たりの送り Fz=0.15mm/z
軸方向の切り込み深さ Ap=3mm
半径方向の切り込み深さ Ae=7mm
歯の個数=2
3×2個のインサート(一切刃/インサート)を加工物で実施した。この寿命は、切刃に生じた破損が以下の表に示される前の、完全である棒の本数として表した。
表2
改良 圧力/ブラス 平均Ra値 試験1 試験2 I(012)/ TiCxNy
型 ト角、工程1 MRa 平均寿命 平均寿命 1(024) 層の応力
A 無し >>0.09 2 <1 0.8 700MPa
B ブラシ掛け --- 6 5 0.9 610MPa
C 1.8棒/45° 0.11 11 5 1.2 450MPa
D 2.0棒/45° 0.10 14 11 1.3 410MPa
E 1.8棒/90° 0.09 24 17 1.5 265MPa
F 2.0棒/90° 0.09 24 19 1.8 160MPa
G 2.2棒/90° 0.06 27 22 1.9 50MPa
H 2.4棒/90° 0.07 27 23 2.2 10MPa
I 2.2棒/90° 0.09 18 13 1.8 280MPa
J 2.4棒/90° 0.08 10 7 2.0 390MPa
A〜H:2.5μm(TiN+TiC)+0.5μmTiC+2.2μmαAl
I:3.5μm(TiN+TiC)+0.5μmTiC+4.5μmαAl
J:2.5μm(TiN+TiC)+0.5μmTiC+6.6μmαAl
最も優れた靭性性能は、TiCの層において最も低い引張応力と、αAl層の最も高いI(012)/I(024)比と、低い平均Ra値と、を有する改良型E、F、G及びHで達成されることを、切削試験の結果が明確に示した。8.5μmの合計被膜厚みを有する改良型Iは、対応する薄い厚みの5.2μmの改良型Gと同様の優れた性能(しかし、まだ満足できる)を示さなかった。また、厚いAl層を有する改良型Jは低い性能を示した。ここではTiC層における応力はかなり高く390MPaである。これらの事実が、切削工具インサートの寿命に直接関連する特性には所定の因子範囲が存在することを示す。結果として、この切削工具インサートの高性能を達成するために、多くの条件及び特徴が一緒に存在する必要がある。
E オイラー角1/4クレドール
S 試料
I 入射X線ビーム
D 回折X線ビーム
θ 回折角度
ω θ
Ψ オイラー角1/4クレドールに沿った傾斜角
Φ 試料の軸周りの回転角

Claims (3)

  1. 超硬合金、サーメットまたはセラミックの被覆切削工具インサートが、少なくとも一つのすくい面及び少なくとも一つの逃げ面を有する多角形または円形の形状のボディより成り、且つ前記被覆切削工具インサートが、TiCの少なくとも1層と、少なくともすくい面では外側層であるαAl層を含む2〜10μmの厚みの被膜で少なくとも部分的に被覆された切削工具インサートであって、
    少なくとも一つの前記すくい面上だけにおいて、
    −前記TiC層が、1〜8μmの厚み、及び10〜300MPaの引張応力レベルを有し、
    −1〜5μmの厚みを有する前記αAl層が、すくい面上で切刃線に沿う頂部層であり、I(012)/I(024)≧1.5のX線回折強度比と、原子間力顕微鏡技術によって10×10μmの領域を10箇所無作為に選択して測定したときの粗さ度Raの平均値がMRa<0.1μmとを有する最外層であり、
    少なくとも一つの逃げ面上において、
    −前記TiC層が、600〜1000MPaの範囲の引張応力レベルを有し、且つ
    −前記αAl層が、I(012)/I(024)<1.5のX線回折強度比を有することを特徴とする被覆切削工具インサート。
  2. 厚み0.1〜1μmのTiCの結合層を前記TiC層の頂部に有することを特徴とする請求項1に記載の被覆切削工具インサート。
  3. ≧5.5×10 /Kの熱膨張係数を有する超硬合金であることを特徴とする請求項1または2に記載の被覆切削工具インサート。
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