SE528696C2 - CVD-belagt skär av hårdmetall, cermet eller keramik och sätt att tillverka detsamma - Google Patents

CVD-belagt skär av hårdmetall, cermet eller keramik och sätt att tillverka detsamma

Info

Publication number
SE528696C2
SE528696C2 SE0500435A SE0500435A SE528696C2 SE 528696 C2 SE528696 C2 SE 528696C2 SE 0500435 A SE0500435 A SE 0500435A SE 0500435 A SE0500435 A SE 0500435A SE 528696 C2 SE528696 C2 SE 528696C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
layer
ticxny
al2o3
cvd
mpa
Prior art date
Application number
SE0500435A
Other languages
English (en)
Other versions
SE0500435L (sv
Inventor
Bjoern Ljungberg
Original Assignee
Sandvik Intellectual Property
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=36423600&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=SE528696(C2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Priority to SE0500435A priority Critical patent/SE528696C2/sv
Application filed by Sandvik Intellectual Property filed Critical Sandvik Intellectual Property
Priority to DE602006001762T priority patent/DE602006001762D1/de
Priority to AT06445001T priority patent/ATE401431T1/de
Priority to EP06445001A priority patent/EP1696051B1/en
Priority to IL173741A priority patent/IL173741A0/en
Priority to KR1020060017689A priority patent/KR100669878B1/ko
Priority to US11/359,748 priority patent/US7655293B2/en
Priority to JP2006048454A priority patent/JP4624940B2/ja
Priority to CNB2006100549724A priority patent/CN100484672C/zh
Publication of SE0500435L publication Critical patent/SE0500435L/sv
Publication of SE528696C2 publication Critical patent/SE528696C2/sv
Priority to JP2010190093A priority patent/JP5650466B2/ja
Priority to JP2013113427A priority patent/JP5603454B2/ja

Links

Classifications

    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04H—BUILDINGS OR LIKE STRUCTURES FOR PARTICULAR PURPOSES; SWIMMING OR SPLASH BATHS OR POOLS; MASTS; FENCING; TENTS OR CANOPIES, IN GENERAL
    • E04H3/00—Buildings or groups of buildings for public or similar purposes; Institutions, e.g. infirmaries or prisons
    • E04H3/10—Buildings or groups of buildings for public or similar purposes; Institutions, e.g. infirmaries or prisons for meetings, entertainments, or sports
    • E04H3/14—Gymnasiums; Other sporting buildings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/403—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C1/00—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
    • B24C1/08—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods for polishing surfaces, e.g. smoothing a surface by making use of liquid-borne abrasives
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/34—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/36—Carbonitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/56—After-treatment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00—Cutters, for shaping
    • Y10T407/27—Cutters, for shaping comprising tool of specific chemical composition
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/30—Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Turning (AREA)
  • Manufacturing Of Electric Cables (AREA)

Description

25 30 35 40 ax en ch 2 än CVD-belagda skär och föredras därför ofta i intermittenta skäroperationer såsom i fräsning.
En märkbar förbättring i prestanda av CVD-belagda skär kom till när MTCVD(mediumtemperatur-CVD)-tekniken började komma in i verktygsindustrin omkring 5~10 år sedan. En förbättring av SkäretS seghetsegenskaper erhölls. I dag använder en majoritet av verktygsproducenterna denna teknik. Tyvärr är MTCVD-tekniken begränsad endast till framställning av TiCXNY-skikt med omkring 0,5 processen äger här rum vid temperaturer i området 700-930 °C. Den använder en gasblandning av CH3CN, TiCl4 och H2. Dagens moderna beläggningar omfattar även åtminstone ett skikt av Al2O3 för att åstadkomma högt gropförslitningsmotstånd.
En ytterligare förbättring i seghetsegenskaper kunde erhållas när även beläggningstemperaturen för a-Al2O3-processen blev möjlig såsom visat i patentansökan EP-A-1464727.
Efterbehandling av belagda skär genom borstning eller genom vátblästring visas i åtskilliga patent. Avsikten är att åstadkomma en jämn skäregg och/eller att exponera Al2O3 längs egglinjen som t.ex. visat i US 5,85l,687 och i EP 603 144 eller för att erhålla Al2O3 som toppskiktet även på spånsidan i de fall när TiN används som ett skikt för förslitningsdetektering på släppningssidan såsom visat i US 5,86l,210. Varje behandlingsteknik som exponerar en yta såsom t.ex. en beläggningsyta, för en kraftig impuls såsom t.ex. våt- eller torrblästring eller ultraljudsvágor gör, kommer att ha inverkan på beläggningens spänningstillstánd (0). För att i betydande grad minska dragspänningarna i alla skikt i en CVD- beläggningsstruktur krävs dock en intensiv ytbehandling. En sådan behandling kan dock till och med leda till en för stor förändring i spänningstillståndet, t.ex. från en hög dragspänning till hög tryckspänning såsom visas i EP-A-1311712, vari en torrblästrings- teknik används. ' För våtblästringstekniken måste blästringsmediet, vanligtvis Al2O3-korn och vatten, träffa beläggningsytan med en hög impuls; Impulsen kan kontrolleras genom t.ex. blåstringspulpens tryck, avståndet mellan blästermunstycke och beläggningsyta, kornstorleken hos blästringsmediet, koncentrationen hos blästringsmediet och anslagsvinkeln för blästringsstrålen.
Trots dessa framsteg är ytterligare förbättringar i seghets- egenskaper för CVD-belagda skär mycket önskvärda. l2087swe_ny beskrivning.doc 10 15 20 25 30 35 528 6%) 3 Det är ett ändamål med föreliggande uppfinning att förse CVD- belagda verktygsskär med förbättrade seghetsegenskaper.
Det är ett ytterligare ändamål med föreliggande uppfinning att tillhandahålla ett sätt att tillverka CVD-belagda verktygsskär med förbättrade seghetsegenskaper.
Fig. 1 visar en goniometeruppsättning för bestämning av rest- spänning med röntgenmätningar vari E = Euler %-vagga S = prov I = inkommande röntgenstråle D = diffrakterad röntgenstråle 9 = diffraktionsvinkel w = 9 w = lutningsvinkel längs Euler %-vaggan ® = rotationsvinkel runt provaxeln Föreliggande uppfinning avser alltså belagda skär omfattande en kropp av vanligen månghörnig eller rund form med åtminstone en spånsida och åtminstone en släppningssida omfattande en beläggning och ett substrat. Beläggningen omfattar åtminstone ett TiCxNy-skikt och ett väl-kristallint skikt bestående av 100 % a-Al2O3. Ett sådant a-Al2O3-skikt är det synliga toppskiktet åtminstone på spånsidan och längs egglinjen och det har våtblästrats intensivt eller behandlat med någon annan liknande teknik kapabel att bombardera beläggningsytan med en tillräckligt hög energi för att skapa dragspänningsrelaxering i både Al2O3- och TiCXNy-skikten.
Al2O3-toppskiktet har en mycket slät yta.
Det har överraskande funnits att en signifikant, förbättrad seghetsprestanda kan erhållas om ett belagt skär med en vanligen månghörnig eller rund form med åtminstone en spånsida och åtminstone en släppningssida där skäret åtminstone delvis är belagt, framställt att ha följande egenskaper: - ett nästyttersta TiCxNy-skikt med en tjocklek av 1-8 pm, företrädesvis 2-5 pm, där x¿0, y¿0 och x+y=1, företrädesvis framställt med MTCVD, med dragspänningar 10-300 MPa, företrädesvis 10-200 MPa och - ett yttre d-Al2O3-skikt med en tjocklek av 1-5 um, företrädesvis 2-4 pm, varande toppskiktet på spånsidan och längs egglinjen med en medelytfinhet Ra <0,1 pm mätt över en längd av 10 um med ”Atomic Force Microscopy” (AFM) och ett förhållande i 12087swe_ny beskrivning.doc 10 15 20 25 30 35 40 528 essä 4 röntgendiffraktionsintensitet (topphöjd minus bakgrund) av I(o12)/I(024)_>_ 1,5.
Företrädesvis finns ett bindeskikt av TiCXNyOZ, X¿0, Z>0 0Ch y¿0 mellan TiCxNy-skiktet och a-Al2O3-skiktet. Den totala tjockleken för de två skikten är 510 pm, företrädesvis 56 Hm- Ytterligare skikt kan vara inkorporerade i beläggningsstruk- turen mellan substratet och skikten enligt föreliggande uppfinning bestående av metallnitrider och/eller metallkarbider och/eller metalloxider med metallelementet valt från Ti, Nb, Hf, V, Ta, Mo, Zr, Cr, W och Al till en total beläggningstjocklek av <20 pm.
Det är föredraget att ha låga dragspänningar i TiCxNy-skiktet eftersom det visade sig att om tryckspänningar skulle induceras med blästring, krävdes mycket hög impuls för blästringen och under sådana betingelser uppstod flagning av beläggningen längs skäreggen. Det visade sig även att sådana inducerade tryck- spänningar inte var stabila med avseende på temperaturökningar, vilka uppstår i en skäroperation, jämfört med om beläggningen har kvar viss tryckspänning.
Den kvarvarande spänningen, o, av det inre TiCXNy-skiktet är bestämd med XRD-mätningar med användning av den välkända sin?w- metoden såsom beskrivs av I.C. Noyan, J.B. Cohen, Residual Stress Measurement by Diffraction och Interpretation, Springer-Verlag, New York, 1987 (pp 117-130). Mätningarna ska utföras med användning av CuKu-strålning på TiCXNY(422)-reflexen med en goniometeruppsättning såsom visas i Fig. 1. Mätningarna ska utföras på en så plan yta som möjligt. Det rekommenderas att använda W-geometri med sex till elva W-vinklar, ekvidistant inom ett sin?w-område av 0 till 0,5 (w=45°).
En ekvidistant fördelning av ®-vinklar inom en Q-sektor av 90° föredras även. För att verifiera ett biaxiellt spänningstillstánd ska provet roteras för ®=O° och 90° samtidigt lutat i w. Det rekommenderas att undersöka den eventuella närvaron av skjuvspänningar och därför ska både negativa och positiva w-vinklar mätas. I fall av en Euler 1/4-vagga åstadkoms detta genom att mäta provet även vid ®=l80° och 270° för de olika w-vinklarna. Sinïh- metoden används för att bestämma restspänningen företrädesvis med användning av någon kommersiellt tillgänglig programvara såsom DIFFRACPh“ Stress32 v. 1.04 från Bruker AXS med den konstanta E- m0dUlen, v=0,20 i fall av ett MTCVD Ti(C,N)-skikt och lokalisering av reflexen med användning av Pseudo-Voigt-Fit-funtionen. I det fallet används följande parame- E=480 GPa och Poissons förhållande, 12087swe_ny beskrivning.doc 10 15 20 25 30 35 40 528 69613 5 E-modul=480 GPa och Poissons förhållande v=0,20. I fall av ett biaxiellt spänningstillstånd beräknas dragspänningen som genomsnittet av de erhållna biaxiella spänningarna.
För a-Al2O3 är det vanligen inte möjligt att använda sinzw- tekniken eftersom de nödvändiga höga 26-vinkelreflexerna ofta är alltför svaga. Emellertid har uppfinnaren funnit en användbar trar: alternativ mätning som relaterar tillståndet av a-Al2O3 till skärprestanda.
För ett a~Al203-pulver är förhållandet av diffraktions- intensiteterna I(012)/I(024) nära 1,5. Pulverdiffraktionskort JCPDS nr 43-1484 visar intensiteterna I0(0l2)=72 och I°(024)=48.
Uppfinnaren har observerat att för CVD-a-Al2O3-skikt på hårdmetall med dragspänning (6 omkring > 350 MPa) är intensitetsförhållandet I(Ol2)/I(024) signifikant lägre än det förväntade värdet 1,5, oftast < 1. Detta kan bero på någon oordning i kristallgittret orsakat av dragspänningarna. Det har visat sig att när ett sådant skikt utsätts för en intensiv blästring (befriat från spänningar) eller om det fullständigt avlägsnats från substratet och pulvriserats (ej under spänning) blir förhållandet I(012)/I(024) närmare, lika eller även högre än 1,5 beroende på den använda blästringskraften. Detta intensitetsförhållande kan alltså användas som en viktig tillståndsegenskap för ett a-Al2O3-skikt. Ett förhållande högre än 1,5 kan uppträda om en hög blästringskraft används tillsammans med det faktum att för XRD-analyser av tunna skikt kommer den låga 26-vinkeln såsom (012)-reflexen toppinten- siteten I(012) att vara för högt skattad i jämförelse med högre vinkelreflexer t.ex. (024)-reflexen om inte en så kallad beräkning för "tunnfilmkorrigering" utförs.
Enligt metoden för föreliggande uppfinning förses ett skär med en CVD-beläggning omfattande ett nästyttersta TiCxNy-skikt och ett yttre a-Al2O3-skikt. För att erhålla en hög släthet på ytan och låg dragspänningsnivà utsätts beläggningen för en första intensiv våtblästringsoperation på spånsidan med en slurry bestående av F80- korn (FEPA-standard) av Al203 i vatten vid ett lufttryck av 1,8-2,4 bar i omkring 2-8 sek/skär följt av en andra blästringsbehandling med en slurry av F320-korn (FEPA-standard) av Al2O3 i vatten med ett lufttryck av omkring 2 bar i omkring 4-10 sek/skär. En nyblandad slurry av F80-korn och vatten skulle före användning på produktionsskär först användas på dummyskär för att runda av kornen något. l2087swe_ny beskrivning.doc 10 15 20 25 30 35 40 Om en slät beläggningsyta önskas även pà släppningssidan kan blästring utföras även där. I detta fall kommer TiCXNy-skikt att ha låga dragspänningar både pà spånsidan och på släppningssidan. Detta är den föredragna utföringsformen vid bearbetning av smetande material såsom rostfritt stål eller nodulärt gjutjärn.
Om skär önskas med en annan färg pà släppningssidan än pá den svarta spånsidan deponeras ett tunt yttersta 0,1-2 pm färgskikt av TiN (gult), TiCXNy (grått eller brons) eller TiC (grått). Skären blästras sedan med 90° sprutvinkel vilket avlägsnar toppskiktet och exponerar det svarta Al2O3-skiktet. I detta fall kommer beläggningen pà spånsidan att ha den låga önskade dragspänningen medan släppningssidan kommer att ha höga dragspänningar i området 600-1000 MPa beroende valet av beläggning och längdutvidgnings- koefficienten (CTE) för det använda härdmetallskäret.
Exempel 1 A) Hàrdmetallskår av typ R390-11T308M-PM med sammansättningen 12,6 vikt-% co, 1,25 vikt-% Tac, o-32 vikt-% Nbc och rest wc (CTE = omkring 6*10*) belades med ett 0,5 um tjockt skikt av TiN med användning av konventionell CVD-teknik vid 930 °C följt av ett 2 pm TiCxNY-skikt med användning av MTCVD-tekniken med användning av TiC14, H2, N2 och CH3CN som processgaser vid en temperatur av 885 °C. I efterföljande processteg under samma beläggningscykel, utfälldes ett skikt av TiCXOz omkring 0,5 pm tjockt vid 1000 °C med användning av TiCl4, CO och H2, och sedan flödades reaktorn med en blandning av 2 % C02, 5 % HCL och 93 % H2 i 2 min före ett 2,2 pm tjockt skikt av a-Al2O3 utfälldes. Processbetingelser under deponeringsstegen var enligt nedan: Steg TiN TiCxNy TiCxOz Flödning Al2O3 Tic14 1,s% 1,4% 2% N2 38 ä' 38 å; co2= 2 % 4% CO 6 % AlCl3: N 3,2% Hzs _ 0,3 % Hcl 1 % 5 % 3,2% H2: rest rest rest rest rest CH3CN _ 0,6 % 12087swe_ny beskrivning.doc 10 15 20 25 30 35 40 523 696 7 Tryck: 160 mbar 60 mbar 60 mbar ,60 mbar 70 mbar Temperatur: 930°C 885°C l0O0°C 1000°C l00O°C Varaktighet: 30 min 1 h 20 min 2 min 2 h Röntgendiffraktionsanalys av det deponerade A1203-skiktet visade att det bestod endast av a-fasen.
Exempel 2 Exempel 1 upprepades men processtiden för TiCxNy-steget var 1,5 h och processtiden för Al2O3-steget var 4 timmar.
En beläggning av omkring 3 pm TiCxNy och 4,5 um a-Al2O3 erhölls.
Exempel 3 Exempel 1 upprepades men processtiden för Al2O3-steget var 6 timmar. En beläggning av omkring 2 pm TiCxNY och 6,5 pm a-Al2O3 erhölls.
Exempel 4 Belagda skär från Exempel 1, 2 och 3 efterbehandlades med våt- blästring (båda sidor) och eggborstning under olika betingelser.
Blästring utfördes i två steg. Först med en slurry innehållande Al2O3-korn (kornstorlek F80, FEPA-standard) och vatten och sedan i ett andra steg med Al2O3-korn (kornstorlek F320, FEPA-standard).
Avsikten med dessa steg var att reducera dragspänningsnivån och att ge beläggningen stor släthet. Fyra olika blästringstryck 1,8, 2,0, 2,2 och 2,4 bar och tvà olika sprutningsvinklar 45° och 90° användes i steg 1. I steg 2 användes endast 2 bars tryck och 90° sprutvinkel. Några skär borstades även med ett nylonborste innehållande SiC-korn för att göra en slät beläggningsyta längs och nära skäreggen. Beläggningarna för de olika efterbehandlade skären undersöktes i ett svepelektronmikroskop (SEM) vid hög förstoring.
Det var tydligt fràn undersökningen att endast några skär från Exempel 1 blästrade vid 2,4 bar visade sporadisk flagning av beläggningen vid skäreggarna. Skären blästrade vid 90° vinkel visade en något bättre ytsläthet än de blästrade vid 45° vinkel.
Slätheten av beläggningsytan uttryckt som ett välkänt ytfinhetsvärde Ra mättes med AFM pà en utrustning från Surface Imaging System AG (SIS) på alla skär utom för de borstade och de icke blästrade. Ytfinheten mättes på tio slumpvis valda plana ytor 12087swe_ny beskrivning.doc 10 15 20 25 30 35 523 o. r 6 fo 8 (10umx10um). Medelvärdet från dessa tio Ra-värden användes som ytfinhetsvärde, benämnt medel-Ra (MRA) i tabell 1 nedan' V Röntgendiffraktionsanalys med användning av en Bra99'Brentan°' diffraktometer, Siemens D5000, användes för att fastställa förhållandet I(0l2)/I(O24) med användning av CuKa-strålning. Rest- spänningen bestämdes med användning av W-geometri på en röntgendiffraktometer Bruker D8 Discover-GADDS utrustad med laser- video positionering, Euler 1/4-vagga, roterande anod som röntgenkälla (Cuku-strålning) och en areadetektor (Hi-star). En kollimator av storlek 0,5 mm användes för att fokusera strålen.
Analysen utfördes på TiCA%(422)-reflexen med användning av goniometersättningarna 2G=l26°, w=63° och ®=0°, 90°, l80°,.270°. Åtta W-lutningar mellan 0° och 70° utfördes för vardera 0-vinkel.
Sin?w-metoden användes för att uppskatta den restspänningen med användning av programvaran DIFFRAC““s Stress32 v. 1.04 från Bruker AXS med den konstanta E-modulen, E=480 GPa och Poissons förhållande, v=0,20 och lokalisering av reflexen med användning av Pseudo-Voigt-Fit-funktionen. Ett biaxiellt spänningstillstånd bekräftades och det genomsnittliga värdet användes som kvarvarande spänningsvärde.
Exempel 5 Skär med olika efterbehandlingar provades i två olika fräsoperationer, båda med mycket krävande med avseende på seghets- egenskaper. Följande betingelser användes: Skärprov 1: En fräsoperation i ett legerat stàl SS2541 utfördes.
Arbetsstycket var ett rektangulärt block. Fräsen gick in i arbetsstycket ett antal gånger från dess lángsida, betingelser klassade som en ”svår ingång".
Torra betingelser Skärhastighet V = 200 m/min Matning per tand Fz = 0,17 mm/Z Axiellt skärdjup Ap = 3 mm Radiellt skärdjup Ae= 16 mm Antal tänder = 1 l2087swe_ny beskrivning.doc 10 15 Tre skär (en egg/skär) kördes över arbetsstycket. Livslângden uttryckt som antal ingångar som kunde slutföras innan eggbrott ges i tabell 1 nedan.
Skärprov 2: En fråsoperation i ett legerat stål SS2244 utfördes. Formen av arbetsstycket var en tunn lång stång med en tjocklek mycket mindre än diametern av fräsen. Fräsen passerade stången longitudinellt, betingelser klassades som en "svär utgång". våta betingelser Skärhastighet Matning per tand Axial skàrdjup Radiell skärdjup Antal tänder 3x2 skär (en egg/skär) kördes V = 150 m/min Fz = 0,15 mm/Z Ap = 3 mm Ae = 7 mm = 2 uttrycktes som antal stänger som kunde slutföras innan i tabellen nedan. över arbetsstycket. Livslängden eggbrott ges Variant Tryck/ Medel- Prov 1 Prov 2 I(O12)/ Spänning Blästrings- Ra- medel medel I(024) i vinkel steg värde, livs- livs- Al2O3- TiCxNy- 1 MRA längd längd skikt skikt A ICke >>0,09 2 < 1 0,8 700 MPa B Borstat --- 6 0,9 610 MPa C 1,8 0,11 11 1,2 450 MP8 stång/45° D 2,0 0,10 14 ll 1,3 410 MPa stång/45° E 1,8 0,09 24 17 1,5 265 MPa stång/90° F 2,0 0,09 24 19 1,8 160 MPa stång/90° G 2,2 0,06 27 22 1,9 50 MPa stång/90° H 2,4 0,07 27 23 2,2 10 MPA stång/90° I 2,2 0,09 18 13 1,8 280 MPa stäng/90° J 2,4 0,08 10 7 2,0 390 MPa stång/90° l2087swe_ny beskrivning.doc 10 15 5228 10 A-H 2,5 pm (TiNwricxNynms pm 'ricxoy + 2,2 um fl-Al203 I) 3,5 um (TiN+TiCXNy)+0,5 pm TiCxOy + 4,5 pm a-Al203 J) 2,5 pm (TiN+TiCxNy)+0,5 pm TiCxOy + 6,6 pm a-Al2O3 Resultaten från skärprov visar klart att den bästa seghet- prestandan àstadkoms med varianterna E, F, G och H som har de lägsta dragspänningarna i TiCxNy-skiktet, de högsta I(012)/I(024)- förhållandena för Al2O3-skiktet och låga medel-Ra-värden. Variant I med en total beläggningstjocklek av 8,5 pm visar inte så bra prestanda (men fortfarande tillfredsställande) som den motsvarande tunnare, 5,2 um, variant G. Även variant J med ett tjockt Al2O3- skikt visar en lägre prestanda. Här är spänningarna i TiCxNy- skiktet högre 390 MPa. Dessa fakta visar att det finns en viss parameterrymd av egenskaper, som är direkt kopplade till livslängden för skär. Följaktligen måste ett antal betingelser och egenskaper vara uppfyllda samtidigt för att åstadkomma den höga prestandan för skäret. 12087swe_ny beskrivning.doc

Claims (4)

10 15 20 25 30 35 695 528 U Krav l. Ett CVD-belagt skär av hàrdmetall, cermet eller keramik omfattande en kropp av vanligen mànghörnig eller rund f0Im med åtminstone en spànsida och åtminstone en släppningssida, skäret åtminstone delvis belagt med en 2-10 pm tjock beläggning omfattande åtminstone ett skikt av TiCxNy, där x¿0, y¿0 0Ch X+Y=l, företrädesvis TiCXNy deponerat med MTCVD, och ett d-Al2O3-skikt varande det yttre skiktet àtminstone pà spànsidan k ä n n e t e c k n a t av att pà den åtminstone ena spànsidan och den åtminstone ena släppningssidan - har TiCXNy-skiktet har en tjocklek av
1. l-8 um, företrädesvis
2. -5 um, och en dragspänningsnivá av 10-300 MPa och - a-Al2O
3. -skiktet med en tjocklek av 1-5, företrädesvis 2-4 pm är det yttersta skiktet med ett förhållande i XRD- diffraktionsintensitet I(0l2)/I(024) ¿l,5 och med ett medel-Ra- värde MRa AFM-teknik - eller - pá endast den åtminstone ena spànsidan V - har TiCxNy-skiktet en tjocklek av 1-8 um, företrädesvis 2-5 pm, och en dragspänningsnivà av 10-300 MPa och - u-Al2O3-skiktet med en tjocklek av 1-5, företrädesvis 2-4, pm är det yttersta skiktet med ett förhållande i XRD- diffraktionsintensitet I(0l2)/I(O24) ¿l,5 och med ett medel-Ra- värde MRa <0,l pm uppmätt på tio slumpvis valda ytor, 10x10 pm?, med AFM-teknik och pà den àtminstone ena släppningssidan - har TiCxNy-skiktet en dragspänning i området 600-1000 MPa och att och - Q-Al2O3-skiktet har ett förhållande i XRD- diffraktionsintensitet I(0l2)/I(O24)<1,5, företrädesvis täckt med ett tunt 0,1-2 pm TiN-, TiCxNy- eller TiC-skikt vilket ger skäret en annan färg pà den ytan. 2. Ett skär enligt nàgot av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att ha ett tunt 0,1-1 pm TiCXNy0z- bindeskikt, x¿0, z>O och y¿O, ovanpå TiCXNytskiktet. 3. Ett skär enligt nágot av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att vara av hàrdmetall med en termisk iängautviagningskoefficienc ¿ s,5*1o'“ m/K. 523 65323 l2
4. Sätt att tillverkning ett CVD-belagt skär enligt krav 1 med ett TiCXNy-skikt och ett a-Al2O3-skikt med en hög ytsläthet och med làg dragspänningsnivà k ä n n e t e c k n a t av att beläggningen utsätts för en första intensiv vàtblästringsoperation med en slurry bestående av F80-korn av Al2O3 i vatten vid ett lufttryck av 1,8- 2,4 bar, följt av en andra blästringsbehandling med en slurry av F320~korn av Al2O3 i vatten med ett lufttryck av omkring 2 bar.
SE0500435A 2005-02-25 2005-02-25 CVD-belagt skär av hårdmetall, cermet eller keramik och sätt att tillverka detsamma SE528696C2 (sv)

Priority Applications (11)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0500435A SE528696C2 (sv) 2005-02-25 2005-02-25 CVD-belagt skär av hårdmetall, cermet eller keramik och sätt att tillverka detsamma
DE602006001762T DE602006001762D1 (de) 2005-02-25 2006-02-08 Beschichteter Schneidwerkzeugeinsatz und Verfahren zur Herstellung
AT06445001T ATE401431T1 (de) 2005-02-25 2006-02-08 Beschichteter schneidwerkzeugeinsatz und verfahren zur herstellung
EP06445001A EP1696051B1 (en) 2005-02-25 2006-02-08 Coated cutting tool insert and fabrication method
IL173741A IL173741A0 (en) 2005-02-25 2006-02-15 A coated cutting tool insert of cemented carbide and a method for the production thereof
KR1020060017689A KR100669878B1 (ko) 2005-02-25 2006-02-23 코팅된 절삭 공구 인서트
US11/359,748 US7655293B2 (en) 2005-02-25 2006-02-23 Coated cutting tool insert
JP2006048454A JP4624940B2 (ja) 2005-02-25 2006-02-24 切削工具インサートを製造する方法
CNB2006100549724A CN100484672C (zh) 2005-02-25 2006-02-27 涂覆切削刀片
JP2010190093A JP5650466B2 (ja) 2005-02-25 2010-08-26 被覆切削工具インサート
JP2013113427A JP5603454B2 (ja) 2005-02-25 2013-05-29 被覆切削工具インサート

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0500435A SE528696C2 (sv) 2005-02-25 2005-02-25 CVD-belagt skär av hårdmetall, cermet eller keramik och sätt att tillverka detsamma

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE0500435L SE0500435L (sv) 2006-08-26
SE528696C2 true SE528696C2 (sv) 2007-01-23

Family

ID=36423600

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0500435A SE528696C2 (sv) 2005-02-25 2005-02-25 CVD-belagt skär av hårdmetall, cermet eller keramik och sätt att tillverka detsamma

Country Status (9)

Country Link
US (1) US7655293B2 (sv)
EP (1) EP1696051B1 (sv)
JP (3) JP4624940B2 (sv)
KR (1) KR100669878B1 (sv)
CN (1) CN100484672C (sv)
AT (1) ATE401431T1 (sv)
DE (1) DE602006001762D1 (sv)
IL (1) IL173741A0 (sv)
SE (1) SE528696C2 (sv)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008031768A1 (en) 2006-09-15 2008-03-20 Sandvik Intellectual Property Ab Coated cutting tool

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100817658B1 (ko) * 2004-10-29 2008-03-27 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 표면 피복 절삭 공구
SE528696C2 (sv) 2005-02-25 2007-01-23 Sandvik Intellectual Property CVD-belagt skär av hårdmetall, cermet eller keramik och sätt att tillverka detsamma
US7799413B2 (en) * 2005-06-17 2010-09-21 Sandvik Intellectual Property Ab Coated cutting tool insert
SE529023C2 (sv) * 2005-06-17 2007-04-10 Sandvik Intellectual Property Belagt skär av hårdmetall
SE529856C2 (sv) * 2005-12-16 2007-12-11 Sandvik Intellectual Property Belagt hårdmetallskär, sätt att tillverka detta samt dess användning för fräsning
SE530735C2 (sv) * 2006-10-18 2008-08-26 Sandvik Intellectual Property Ett belagt skär av hårdmetall, speciellt användbart för svarvning av stål
JP2010524710A (ja) * 2007-04-27 2010-07-22 デグテック エルティーディー コーティングされた超硬合金切削工具とその製造のための前処理及びコーティング方法
SE0701321L (sv) 2007-06-01 2008-12-02 Sandvik Intellectual Property Belagt skär
US8475944B2 (en) 2007-06-28 2013-07-02 Kennametal Inc. Coated ceramic cutting insert and method for making the same
US8080323B2 (en) * 2007-06-28 2011-12-20 Kennametal Inc. Cutting insert with a wear-resistant coating scheme exhibiting wear indication and method of making the same
US20090004449A1 (en) * 2007-06-28 2009-01-01 Zhigang Ban Cutting insert with a wear-resistant coating scheme exhibiting wear indication and method of making the same
US8557406B2 (en) * 2007-06-28 2013-10-15 Kennametal Inc. Coated PCBN cutting insert, coated PCBN cutting tool using such coated PCBN cutting insert, and method for making the same
SE0702232L (sv) * 2007-10-05 2009-04-06 Sandvik Intellectual Property Skär för avstickning eller spårstickning och tillverkningssätt
WO2009070107A1 (en) * 2007-11-28 2009-06-04 Sandvik Intellectual Property Ab Coated cutting tool insert
KR101057106B1 (ko) * 2008-10-21 2011-08-16 대구텍 유한회사 절삭 공구 및 이의 표면 처리방법
EP2287359B1 (en) 2009-07-03 2012-05-23 Sandvik Intellectual Property AB Coated cutting tool insert
US9150950B2 (en) * 2009-07-14 2015-10-06 Msm Krystall Gbr Method for producing indexable inserts
AT12293U1 (de) 2009-10-05 2012-03-15 Ceratizit Austria Gmbh Schneidwerkzeug zur bearbeitung metallischer werkstoffe
US8507082B2 (en) 2011-03-25 2013-08-13 Kennametal Inc. CVD coated polycrystalline c-BN cutting tools
US20130084190A1 (en) * 2011-09-30 2013-04-04 General Electric Company Titanium aluminide articles with improved surface finish and methods for their manufacture
US9011205B2 (en) * 2012-02-15 2015-04-21 General Electric Company Titanium aluminide article with improved surface finish
US9028953B2 (en) 2013-01-11 2015-05-12 Kennametal Inc. CVD coated polycrystalline c-BN cutting tools
KR20150001680A (ko) 2013-06-27 2015-01-06 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비 코팅된 절삭 공구
IN2013CH04500A (sv) 2013-10-04 2015-04-10 Kennametal India Ltd
JP6250470B2 (ja) * 2014-04-25 2017-12-20 株式会社神戸製鋼所 切削工具
US9764986B2 (en) * 2015-01-22 2017-09-19 Kennametal Inc. Low temperature CVD coatings and applications thereof
US10744568B2 (en) * 2015-01-28 2020-08-18 Kyocera Corporation Coated tool
EP3263743A1 (en) * 2016-06-29 2018-01-03 Sandvik Intellectual Property AB Cvd coated cutting tool
JP6973026B2 (ja) * 2017-02-20 2021-11-24 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP7463772B2 (ja) * 2020-03-12 2024-04-09 三菱マテリアル株式会社 切削工具

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60184627A (ja) 1984-03-02 1985-09-20 Toyota Motor Corp 金属部材へのシヨツトピ−ニング処理方法
JP3021742B2 (ja) * 1991-03-28 2000-03-15 三菱マテリアル株式会社 表面被覆超硬合金製切削工具
JP3236899B2 (ja) * 1992-08-11 2001-12-10 三菱マテリアル株式会社 耐摩耗性および耐欠損性のすぐれた表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具の製造法
JP2603177B2 (ja) * 1992-09-29 1997-04-23 東芝タンガロイ株式会社 耐欠損性に優れる被覆焼結合金
SE501527C2 (sv) 1992-12-18 1995-03-06 Sandvik Ab Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt
JP3424263B2 (ja) * 1993-05-27 2003-07-07 住友電気工業株式会社 被覆硬質合金部材
SE502174C2 (sv) * 1993-12-23 1995-09-04 Sandvik Ab Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt
SE509201C2 (sv) * 1994-07-20 1998-12-14 Sandvik Ab Aluminiumoxidbelagt verktyg
SE504968C2 (sv) 1994-11-15 1997-06-02 Sandvik Ab Metod att belägga ett skärverktyg med ett skikt av alfa-Al2O3
SE514181C2 (sv) 1995-04-05 2001-01-15 Sandvik Ab Belagt hårmetallskär för fräsning av gjutjärn
SE514177C2 (sv) * 1995-07-14 2001-01-15 Sandvik Ab Belagt hårdmetallskär för intermittent bearbetning i låglegerat stål
SE509560C2 (sv) 1996-09-06 1999-02-08 Sandvik Ab Belagt hårdmetallskär för bearbetning av gjutjärn
SE511211C2 (sv) 1996-12-20 1999-08-23 Sandvik Ab Ett multiskiktbelagt skärverktyg av polykristallin kubisk bornitrid
SE510527C2 (sv) 1997-09-17 1999-05-31 Alfa Laval Agri Ab Linlåsanordning för att lösbart gripa en lina samt ett avtagningsorgan för avtagning av ett mjölkningsorgan innefattande en sådan linlåsanordning
US6015614A (en) * 1997-11-03 2000-01-18 Seco Tools Ab Cemented carbide body with high wear resistance and extra tough behavior
JP3658949B2 (ja) * 1997-11-04 2005-06-15 住友電気工業株式会社 被覆超硬合金
JP4029529B2 (ja) * 1999-07-23 2008-01-09 三菱マテリアル株式会社 断続重切削で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
US6884496B2 (en) 2001-03-27 2005-04-26 Widia Gmbh Method for increasing compression stress or reducing internal tension stress of a CVD, PCVD or PVD layer and cutting insert for machining
JP2002370105A (ja) * 2001-06-19 2002-12-24 Toshiba Tungaloy Co Ltd 酸化アルミニウム被覆工具
JP3622846B2 (ja) * 2001-09-21 2005-02-23 住友電気工業株式会社 粘質材用ミーリング工具
JP2003266212A (ja) * 2002-03-19 2003-09-24 Hitachi Tool Engineering Ltd クロム含有膜被覆工具
SE525581C2 (sv) * 2002-05-08 2005-03-15 Seco Tools Ab Skär belagt med aluminiumoxid framställt med CVD
SE526526C3 (sv) 2003-04-01 2005-10-26 Sandvik Intellectual Property Sätt att belägga skär med A1203 samt ett med A1203 belagt skärverktyg
SE528107C2 (sv) * 2004-10-04 2006-09-05 Sandvik Intellectual Property Belagt hårdmetallskär, speciellt användbart för höghastighetsbearbetning av metalliska arbetsstycken
SE528696C2 (sv) 2005-02-25 2007-01-23 Sandvik Intellectual Property CVD-belagt skär av hårdmetall, cermet eller keramik och sätt att tillverka detsamma
SE529023C2 (sv) 2005-06-17 2007-04-10 Sandvik Intellectual Property Belagt skär av hårdmetall

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008031768A1 (en) 2006-09-15 2008-03-20 Sandvik Intellectual Property Ab Coated cutting tool
US8409733B2 (en) 2006-09-15 2013-04-02 Sandvik Intellectual Property Ab Coated cutting tool

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006231512A (ja) 2006-09-07
KR20060094895A (ko) 2006-08-30
EP1696051B1 (en) 2008-07-16
JP2010269446A (ja) 2010-12-02
SE0500435L (sv) 2006-08-26
CN100484672C (zh) 2009-05-06
US20060204757A1 (en) 2006-09-14
JP5650466B2 (ja) 2015-01-07
JP5603454B2 (ja) 2014-10-08
CN1824440A (zh) 2006-08-30
ATE401431T1 (de) 2008-08-15
EP1696051A1 (en) 2006-08-30
US7655293B2 (en) 2010-02-02
JP4624940B2 (ja) 2011-02-02
DE602006001762D1 (de) 2008-08-28
KR100669878B1 (ko) 2007-01-16
IL173741A0 (en) 2006-07-05
JP2013163264A (ja) 2013-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE528696C2 (sv) CVD-belagt skär av hårdmetall, cermet eller keramik och sätt att tillverka detsamma
SE529023C2 (sv) Belagt skär av hårdmetall
RU2675190C2 (ru) Покрытый оксидом алюминия режущий инструмент
KR102375084B1 (ko) Cvd 피복 절삭 공구
US9109290B2 (en) Coated cutting tool insert
EP1867755B1 (en) Coated cutting tool insert
US7799413B2 (en) Coated cutting tool insert
KR20190024896A (ko) Cvd 피복 절삭 공구
SE530735C2 (sv) Ett belagt skär av hårdmetall, speciellt användbart för svarvning av stål
KR101444457B1 (ko) 코팅된 절삭 공구 인서트
SE530756C2 (sv) Sätt att tillverka ett belagt skärverktyg av hårdmetall, ett belagt skär och ett belagt roterande skärverktyg
SE522735C2 (sv) Aluminiumoxidbelagt skärverktyg
CN101088759B (zh) 涂层切削工具刀片
CN1163631C (zh) 涂敷的车削刀片
BR112022014881B1 (pt) Ferramenta de corte revestida, e processo de produção da mesma

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed