JP5601993B2 - 配線基板 - Google Patents
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Description
あけ加工を絶縁基板1に施すことによって形成することができる。また、貫通孔2は、絶縁基板1となるセラミックグリーンシートに金属ピン等を用いた機械的な孔あけ加工やレーザ加工を施した後に、このセラミックグリーンシートを焼成する方法で形成することもできる。
いため、外部電気回路に対する接続をより容易に行なうことができる。
いる場合でも、ある程度、応力を吸収する効果を得ることができる。例えば、めっき層4について、上記樹脂絶縁層6の収縮に伴う応力や熱応力等の応力が大きく作用する傾向がある部分において延出部分が形成されていれば、応力を吸収する効果を得ることができる。このような応力が大きく作用する傾向がある部分は、例えば図2に示すように複数の貫通導体3が絶縁基板1に形成されている構成において、この絶縁基板1の対角線に沿った方向である。
厚みが約0.05mmの層であり、貫通導体3が直径約0.5mm(平面視で外周の長さが約1.6mm)の円柱状であるときに、複数の貫通導体3を隣接間隔約5mmで縦横の並びに配列した場合であれば、ニッケルめっき層4aおよび金めっき層4bからなるめっき層4について、円形状の貫通導体3の外周の約40〜70%程度の範囲で延出部分を形成すればよい。この場合には、例えば、貫通導体3の端面の外周のうち絶縁基板1の対角線と交差する2点を含む円弧状の部分において、弧の長さが約0.5mm程度の範囲で延出部分を形成すれ
ばよい。この場合には、貫通導体3(貫通導体3を被覆するめっき層4)の外周のうち約(0.5+0.5)/1.6(%)、つまり約63%の範囲に延出部分を形成することになる。
すればよい。
で厚みが約3mmの正方形板状であり、樹脂材料6が、ポリイミド樹脂からなる、厚みが約0.05mmの層であり、貫通導体3が直径約0.5mm(平面視で外周の長さが約1.6mm)の円柱状であるときであれば、約0.01〜0.05mm程度に設定すればよい。
酸化アルミニウム質焼結体を用いて、厚みが約3mmで、1辺の長さが約200mmの正
方形板状の絶縁基板を準備し、この絶縁基板に直径が約0.3mmの貫通孔をドリル加工で
、隣接間隔を約5mmとして縦横の並びに配列形成し、これらの貫通孔内に銀の金属ペーストを充填して、約850℃で焼結させて貫通導体を形成した。貫通導体のうち絶縁基板の
上面に露出した端面は、厚みが約10〜20μmのニッケルめっき層と、厚みが約1〜2μmの金めっき層とを順次被着させて被覆した。その後、スパッタリング法およびめっき法によってチタン層(密着層)および銅層(主導体層)からなる配線導体を絶縁基板の上面に、めっき層と接続させて形成し、さらにポリイミド樹脂を用いて厚みが約0.025mmの樹
脂絶縁層を積層して実施例1の配線基板を作製した。
貫通孔を、炭酸ガスレーザを用いたレーザ加工で形成したこと以外は実施例1の配線基板と同様にして実施例2の配線基板を作製した。
めっき層に延出部分を形成しないこと以外は上記実施例1および2の配線基板と同様にして、比較例の配線基板を作製した。
度サイクル試験(−45℃〜+125℃,1000サイクル)の後、貫通導体とめっき層との間の
剥離の有無を断面観察によって検査した。
2・・・貫通孔
3・・・貫通導体
4・・・めっき層
5・・・配線導体
6・・・樹脂絶縁層
7・・・溶融改質層
Claims (1)
- セラミック焼結体からなり、厚み方向に貫通する貫通孔を有する絶縁基板と、前記貫通孔内に配置された貫通導体と、前記絶縁基板の上面に露出した前記貫通導体の端面を被覆するとともに、外周部の少なくとも一部が前記貫通導体の前記端面よりも外側に延出するように被着されためっき層と、前記絶縁基板の上面に順次積層された、前記めっき層と電気的に接続された配線導体および樹脂絶縁層を備えており、前記貫通孔がレーザ加工によって形成されたものであり、該貫通孔の内側面と前記貫通導体の側面との間に、前記レーザ加工によって生じた溶融改質層が介在しており、前記めっき層の前記延出した部分が前記溶融改質層の端部と接合していることを特徴とする配線基板。
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