JP5595391B2 - オゾン発生装置 - Google Patents
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Description
しかし、冷却水を必要とする構造はオゾン発生装置の小型化を困難にする要因であるとともに、オゾン発生時には冷却水を確保する必要がある上、長時間の運転では、冷却系統の腐食による水洩れ等の問題があった。
図1及び図2において、1はほぼ筒状の金属管で形成された接地電極で、その外周側の長手方向に放射状に延びる複数の空冷用冷却フィン2を有している(図2参照)。この空冷用冷却フィン2は、アルミニウムの押し出し成形により接地電極1と一体的に形成されている。そしてこの接地電極1の一端部には原料ガス入口孔3が設けられ、他端部には、オゾン化ガス出口孔4が設けられている。なお、この接地電極1は、その内面を酸化皮膜処理により下地金属を保護する構造としている。
5は、接地電極1の内側にほぼ同心的に配置された高電圧電極で、ほぼ筒状の誘電体(ガラス管)で構成され、その内周面に高電圧を印加される金属めっきの導電層6が形成されている。
15は高圧トランス14と高圧電極部材8との間に接続された可視化ヒューズで、透明テフロン(登録商標)チューブに被覆された217℃融点の低融点ヒューズである。このヒューズ15の材質はSn、Ag、Cuを成分とする合金で、そのヒューズ径は100μmのものを使用した。
なお、オゾン発生のための放電を継続することで接地電極1の内面は酸化され、その下地金属を保護する皮膜が形成されるが、接地電極内面を予め酸化皮膜処理を行うことで保護皮膜を形成してもよい。
更に、接地電極1は、下地金属の内面を酸化皮膜処理により保護されているので、その耐久性を高めることができる。
また、高電圧電極5は、誘電体と、この誘電体に絶縁部材7を介して支持され導電層6に高電圧を印加する高圧電極部材8とを一体化して構成され、接地電極1に着脱自在に保持されているので、高電圧電極5を装置本体からの着脱や交換がワンタッチで行うことができる。
また、高電圧電極5は可視化ヒューズ15を介して高電圧を供給されるので、装置を安全に保護することができると共に、故障の発生を容易に発見することができる。
この実施例2においては、実施例1のオゾン発生装置における接地電極1と、これに絶縁部材7を介して一体的に保持された高電圧電極5とから構成された放電管ユニット20を複数個(図では5個)一体的に組み立てて放電管集合体30を構成し、全体として空冷式のオゾン発生装置を構成したものである。
放電管集合体30において、各放電管ユニット20は、通風路を形成する筐体31に別々に収容固定され、原料ガス入口33が形成された共通の基台32と、オゾン化ガス出口35が形成された共通の基台34上に並列に設置されている。
また、図示していないが、各放電管ユニット20は、共通に設けられたインバータ及び高圧トランスを含む電源装置、または各放電管ユニット20毎に対応して設けられたインバータ及び高圧トランスを含む電源装置により高電圧を供給される。
この実施例3においては、実施例2のオゾン発生装置における放電管集合体30を複数セット(図では2セット)用い、全体として空冷式のオゾン発生装置を構成するようにしたものである。
各放電管集合体30は、共通の筐体40の対向する内側壁に沿って垂直に配置固定され、インバータ、高圧トランスを含む電源装置50が筐体40の中央部に配置され、筐体40の下部に設置されたファン60により各放電管集合体30に冷却用空気70を送り、放電管ユニット20を空冷する。
冷却用空気70は、筐体40の下方から各放電管集合体30の放電管ユニット20に分流して筐体40の上方から外部に排出される。
このオゾン発生装置においては、100g/hのオゾンを発生させる放電電力は約0.9kWであり、ファン60から約5m3/minの空気を送り放電管ユニット20は周囲環境との温度差10℃程度に冷却された。
図5はガス流量20L/min, 14L/min, 9L/minについて電流とオゾン濃度の関係を示した図で、電流が大きいほど、また、ガス流量が小さいほどオゾン濃度は高くなり、その最大濃度は190g/ Nm3であった。
図6はガス流量20L/min, 14L/min, 9L/minについて放電電力とオゾン発生量の関係を示した図である。放電電力が大きいほど、また、ガス流量が大きいほどオゾン発生量は高くなり、その最大値は140g/hであった。
図7はオゾン発生能力の雰囲気温度依存性を示した図である。雰囲気温度が高くなるとオゾン発生能力は低下する傾向を示すが、40℃の高温下でも設計値をクリアし通常の使用に耐えることを示している。
2:空冷用冷却フィン
3:原料ガス入口孔
4:オゾン化ガス出口孔
5:高電圧電極
6:導電層
7:絶縁部材
8:高圧電極部材
9:可動性シール部材
10:絶縁シール部材
11:ガス流路
12:電源部
13:インバータ
14:高圧トランス
15:可視化ヒューズ
20:放電管ユニット
30:放電管集合体
31:筐体
32:基台
33:原料ガス入口
34:基台
35:オゾン化ガス出口
40:筐体
50:電源装置
60:ファン
70:冷却用空気
Claims (9)
- ほぼ筒状の金属管で形成された接地電極と、この接地電極の内側にほぼ同心的に配置されたほぼ筒状の誘電体を有し、その内周面に形成された導電層に高電圧を印加される高電圧電極を備え、前記接地電極と前記高電圧電極との間に形成された放電間隙内に酸素含有ガスを供給し、オゾンを生成するオゾン発生装置において、
前記接地電極が外周側に長手方向に延びる複数の空冷用冷却フィンを一体的に形成され、前記高電圧電極が、前記誘電体と、前記導電層に接続され高電圧を印加する高圧電極部材とを一体化して前記接地電極に挿入保持され、前記接地電極と共に放電管ユニットを構成し、
前記放電管ユニットを複数個備え、
前記放電管ユニットを、通風路を形成する断面矩形状の筐体に別々に収容固定すると共に、原料ガス入口が形成された共通の基台と、オゾン化ガス出口が形成された共通の基台上に前記筐体が接するように並列に設置して放電管集合体を構成した
ことを特徴とするオゾン発生装置。 - 前記空冷用冷却フィンは、アルミニウム製で、押し出し成形法で成形されていることを特徴とする請求項1記載のオゾン発生装置。
- 前記接地電極は、下地金属の内面を酸化皮膜処理により保護されていることを特徴とする請求項1または2記載のオゾン発生装置。
- 前記高電圧電極は、前記誘電体と、この誘電体に絶縁シール部材を介して支持され前記導電層に高電圧を印加する高圧電極部材とを一体化して構成され、前記接地電極に着脱自在に保持されていることを特徴とする1乃至3のいずれか一つに記載のオゾン発生装置。
- 前記高電圧電極は、可視化ヒューズを介して高電圧を供給されることを特徴とする請求項4記載のオゾン発生装置。
- 前記可視化ヒューズは、融点が250℃以下の低融点金属であり半透明のテフロン(登録商標)チューブで被覆されていることを特徴とする請求項5記載のオゾン発生装置。
- 前記放電管集合体を複数セット備え、これらの放電管集合体と、これらの放電管集合体を構成する放電管ユニットに高電圧を供給するインバータ及び高圧トランスを含む電源装置を共通の筐体に収容し、前記共通の筐体の外部から前記放電管集合体の各放電管ユニットに冷却用空気を供給するようにしたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一つに記載のオゾン発生装置。
- 前記放電管ユニットは、複数個の放電管ユニットに共通に設けられたインバータ及び高圧トランスを含む電源装置により高電圧を供給されることを特徴とする請求項7記載のオゾン発生装置。
- 前記放電管ユニットは、各放電管ユニット毎に対応して設けられたインバータ及び高圧トランスを含む電源装置により高電圧を供給されることを特徴とする請求項7記載のオゾン発生装置。
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