JP5589459B2 - 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 - Google Patents

光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 Download PDF

Info

Publication number
JP5589459B2
JP5589459B2 JP2010057290A JP2010057290A JP5589459B2 JP 5589459 B2 JP5589459 B2 JP 5589459B2 JP 2010057290 A JP2010057290 A JP 2010057290A JP 2010057290 A JP2010057290 A JP 2010057290A JP 5589459 B2 JP5589459 B2 JP 5589459B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
potential difference
substrate
optical filter
reflective film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2010057290A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2011191492A5 (enExample
JP2011191492A (ja
Inventor
朗 佐野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2010057290A priority Critical patent/JP5589459B2/ja
Priority to US13/038,583 priority patent/US9030743B2/en
Priority to TW100108368A priority patent/TWI510808B/zh
Priority to CN201610380460.0A priority patent/CN106094197A/zh
Priority to EP11157865.4A priority patent/EP2367044B8/en
Priority to CN201110061726.2A priority patent/CN102193184B/zh
Priority to KR1020110022468A priority patent/KR20110103880A/ko
Publication of JP2011191492A publication Critical patent/JP2011191492A/ja
Publication of JP2011191492A5 publication Critical patent/JP2011191492A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5589459B2 publication Critical patent/JP5589459B2/ja
Priority to US14/684,725 priority patent/US9921403B2/en
Priority to US15/887,123 priority patent/US10578859B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/28—Interference filters
    • G02B5/284—Interference filters of etalon type comprising a resonant cavity other than a thin solid film, e.g. gas, air, solid plates
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
    • G02B6/29358—Multiple beam interferometer external to a light guide, e.g. Fabry-Pérot, etalon, VIPA plate, OTDL plate, continuous interferometer, parallel plate resonator

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
JP2010057290A 2010-03-15 2010-03-15 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 Active JP5589459B2 (ja)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010057290A JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2010-03-15 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
US13/038,583 US9030743B2 (en) 2010-03-15 2011-03-02 Optical filter including ring-shaped electrode having a slit
CN201610380460.0A CN106094197A (zh) 2010-03-15 2011-03-11 光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备
EP11157865.4A EP2367044B8 (en) 2010-03-15 2011-03-11 Optical filter, optical filter module, analytical instrument, and optical apparatus
CN201110061726.2A CN102193184B (zh) 2010-03-15 2011-03-11 光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备
TW100108368A TWI510808B (zh) 2010-03-15 2011-03-11 濾光器及濾光器模組以及分析機器及光機器
KR1020110022468A KR20110103880A (ko) 2010-03-15 2011-03-14 광필터, 광필터 모듈, 분석 기기 및 광기기
US14/684,725 US9921403B2 (en) 2010-03-15 2015-04-13 Optical filter including ring-shaped electrode having a slit
US15/887,123 US10578859B2 (en) 2010-03-15 2018-02-02 Optical filter including ring-shaped electrode having a slit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010057290A JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2010-03-15 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014098272A Division JP5915693B2 (ja) 2014-05-12 2014-05-12 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2011191492A JP2011191492A (ja) 2011-09-29
JP2011191492A5 JP2011191492A5 (enExample) 2013-05-02
JP5589459B2 true JP5589459B2 (ja) 2014-09-17

Family

ID=44146675

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010057290A Active JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2010-03-15 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器

Country Status (6)

Country Link
US (3) US9030743B2 (enExample)
EP (1) EP2367044B8 (enExample)
JP (1) JP5589459B2 (enExample)
KR (1) KR20110103880A (enExample)
CN (2) CN106094197A (enExample)
TW (1) TWI510808B (enExample)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2014-09-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP5434719B2 (ja) * 2010-03-19 2014-03-05 セイコーエプソン株式会社 光フィルターおよび分析機器
JP5884393B2 (ja) * 2011-10-13 2016-03-15 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP5807353B2 (ja) * 2011-03-18 2015-11-10 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
FI125897B (fi) * 2011-06-06 2016-03-31 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot-interferometri ja menetelmä sen valmistamiseksi
JP5834718B2 (ja) * 2011-09-29 2015-12-24 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP5879910B2 (ja) * 2011-10-18 2016-03-08 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器
JP5919728B2 (ja) * 2011-10-26 2016-05-18 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置
JP6003168B2 (ja) 2012-04-11 2016-10-05 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP5888080B2 (ja) * 2012-04-11 2016-03-16 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP6015090B2 (ja) 2012-04-18 2016-10-26 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP2013238755A (ja) 2012-05-16 2013-11-28 Seiko Epson Corp 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP6098051B2 (ja) 2012-07-04 2017-03-22 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置
US9996199B2 (en) * 2012-07-10 2018-06-12 Electronics And Telecommunications Research Institute Film haptic system having multiple operation points
JP5987573B2 (ja) 2012-09-12 2016-09-07 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、電子機器、及び駆動方法
JP6036341B2 (ja) * 2013-01-29 2016-11-30 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、及び電子機器
JP6107186B2 (ja) 2013-02-05 2017-04-05 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ
FR3005750B1 (fr) * 2013-05-14 2016-09-16 Cie Ind Des Lasers - Cilas Dispositif optique d'obturation rapide.
JP2015066611A (ja) 2013-09-27 2015-04-13 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器
JP6543884B2 (ja) 2014-01-27 2019-07-17 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法
JP6413325B2 (ja) 2014-05-01 2018-10-31 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター装置、電子機器、及び制御方法
US11768376B1 (en) * 2016-11-21 2023-09-26 Apple Inc. Head-mounted display system with display and adjustable optical components
JP7142419B2 (ja) 2017-05-01 2022-09-27 浜松ホトニクス株式会社 光計測制御プログラム、光計測システム及び光計測方法
CN107561685B (zh) * 2017-09-30 2020-10-02 Oppo广东移动通信有限公司 滤光片、镜头模组和成像模组
CN107479185A (zh) * 2017-09-30 2017-12-15 广东欧珀移动通信有限公司 滤光片、显示装置和电子装置
JP7006172B2 (ja) * 2017-11-21 2022-01-24 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学デバイス、光学モジュール、及び電子機器
FR3076290B1 (fr) * 2018-01-03 2020-02-07 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Dispositif de detection micro ou nanomecanique de particules
EP3640690B1 (en) * 2018-09-27 2023-06-21 Seiko Epson Corporation Optical device and electronic apparatus
JP7200842B2 (ja) * 2019-06-21 2023-01-10 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4301492A (en) 1980-01-28 1981-11-17 Paquin Maurice J Pressure-sensing transducer
FI84401C (fi) 1987-05-08 1991-11-25 Vaisala Oy Kapacitiv tryckgivarkonstruktion.
JPH02195223A (ja) 1989-01-25 1990-08-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧力センサ素子
US5142414A (en) 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
JPH06213613A (ja) 1993-01-14 1994-08-05 Sumitomo Electric Ind Ltd 歪抵抗材料およびその製造方法および薄膜歪センサ
JPH11142752A (ja) 1997-11-05 1999-05-28 Yokogawa Electric Corp 透過波長可変干渉フィルタ及びこれを用いた分光器
US6813291B2 (en) * 1998-06-26 2004-11-02 Coretek Inc Tunable fabry-perot filter and tunable vertical cavity surface emitting laser
JP2001221913A (ja) * 2000-02-08 2001-08-17 Yokogawa Electric Corp ファブリペローフィルタ及び赤外線ガス分析計
WO2002075872A1 (en) 2001-03-16 2002-09-26 Coretek, Inc. Tunable fabry-perot filter and tunable vertical cavity surface emitting laser
CN1279386C (zh) * 2003-05-26 2006-10-11 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 压电驱动法布里－珀罗腔可调光学滤波器件及制作方法
JP2005099206A (ja) 2003-09-22 2005-04-14 Seiko Epson Corp 波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法
US7265477B2 (en) 2004-01-05 2007-09-04 Chang-Feng Wan Stepping actuator and method of manufacture therefore
JP4479351B2 (ja) 2004-05-28 2010-06-09 セイコーエプソン株式会社 波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法
CN100410723C (zh) * 2005-01-28 2008-08-13 精工爱普生株式会社 可变波长滤光器以及可变波长滤光器的制造方法
US20080239494A1 (en) 2005-08-16 2008-10-02 Zander Dennis R Tunable Light Filter
JP4466634B2 (ja) 2006-01-19 2010-05-26 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ
US7734131B2 (en) * 2006-04-18 2010-06-08 Xerox Corporation Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates
JP5020258B2 (ja) * 2006-12-15 2012-09-05 株式会社Ａｄｅｋａ 光学フィルター
JP2008197362A (ja) 2007-02-13 2008-08-28 Olympus Corp 可変分光素子
JP5141213B2 (ja) 2007-11-29 2013-02-13 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ
JP5446110B2 (ja) * 2008-03-31 2014-03-19 セイコーエプソン株式会社 受光装置
JP5369515B2 (ja) 2008-06-26 2013-12-18 セイコーエプソン株式会社 光フィルタとその製造方法及び光学フィルタ装置モジュール
JP5151944B2 (ja) * 2008-12-09 2013-02-27 セイコーエプソン株式会社 光フィルタ及びそれを備えた光モジュール
JP5798709B2 (ja) 2009-03-04 2015-10-21 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及びそれを備えた光モジュール
JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2014-09-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP5673049B2 (ja) 2010-12-08 2015-02-18 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
JP5834418B2 (ja) * 2011-02-04 2015-12-24 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器

Also Published As

Publication number Publication date
EP2367044A1 (en) 2011-09-21
US10578859B2 (en) 2020-03-03
US20110222157A1 (en) 2011-09-15
CN106094197A (zh) 2016-11-09
US9030743B2 (en) 2015-05-12
US20180172976A1 (en) 2018-06-21
TW201144857A (en) 2011-12-16
US9921403B2 (en) 2018-03-20
KR20110103880A (ko) 2011-09-21
EP2367044B8 (en) 2014-09-24
US20150219889A1 (en) 2015-08-06
TWI510808B (zh) 2015-12-01
JP2011191492A (ja) 2011-09-29
CN102193184A (zh) 2011-09-21
EP2367044B1 (en) 2014-08-20
CN102193184B (zh) 2017-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5589459B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP6010275B2 (ja) 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
JP5834418B2 (ja) 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器
JP5348032B2 (ja) 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
JP5807353B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP5879910B2 (ja) 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器
JP6135707B2 (ja) 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
JP5915693B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP2017187799A (ja) 光フィルターの駆動方法
JP6168137B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP6798566B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP6264356B2 (ja) 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130313

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130313

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130814

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140311

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140512

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140701

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140714

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5589459

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350