CN106094197A - 光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备 - Google Patents

光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备 Download PDF

Info

Publication number
CN106094197A
CN106094197A CN201610380460.0A CN201610380460A CN106094197A CN 106094197 A CN106094197 A CN 106094197A CN 201610380460 A CN201610380460 A CN 201610380460A CN 106094197 A CN106094197 A CN 106094197A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
potential difference
optical filter
substrate
gap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201610380460.0A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Inventor
佐野朗
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Publication of CN106094197A publication Critical patent/CN106094197A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/28—Interference filters
    • G02B5/284—Interference filters of etalon type comprising a resonant cavity other than a thin solid film, e.g. gas, air, solid plates
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
    • G02B6/29358—Multiple beam interferometer external to a light guide, e.g. Fabry-Pérot, etalon, VIPA plate, OTDL plate, continuous interferometer, parallel plate resonator

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
CN201610380460.0A 2010-03-15 2011-03-11 光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备 Pending CN106094197A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010057290A JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2010-03-15 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP2010-057290 2010-03-15
CN201110061726.2A CN102193184B (zh) 2010-03-15 2011-03-11 光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110061726.2A Division CN102193184B (zh) 2010-03-15 2011-03-11 光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106094197A true CN106094197A (zh) 2016-11-09

Family

ID=44146675

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110061726.2A Active CN102193184B (zh) 2010-03-15 2011-03-11 光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备
CN201610380460.0A Pending CN106094197A (zh) 2010-03-15 2011-03-11 光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110061726.2A Active CN102193184B (zh) 2010-03-15 2011-03-11 光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备

Country Status (6)

Country Link
US (3) US9030743B2 (enExample)
EP (1) EP2367044B8 (enExample)
JP (1) JP5589459B2 (enExample)
KR (1) KR20110103880A (enExample)
CN (2) CN102193184B (enExample)
TW (1) TWI510808B (enExample)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107479185A (zh) * 2017-09-30 2017-12-15 广东欧珀移动通信有限公司 滤光片、显示装置和电子装置
CN107561685A (zh) * 2017-09-30 2018-01-09 广东欧珀移动通信有限公司 滤光片、镜头模组和成像模组
CN110954981A (zh) * 2018-09-27 2020-04-03 精工爱普生株式会社 光学装置及电子设备

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2014-09-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP5434719B2 (ja) * 2010-03-19 2014-03-05 セイコーエプソン株式会社 光フィルターおよび分析機器
JP5884393B2 (ja) * 2011-10-13 2016-03-15 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP5807353B2 (ja) * 2011-03-18 2015-11-10 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
FI125897B (fi) * 2011-06-06 2016-03-31 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot-interferometri ja menetelmä sen valmistamiseksi
JP5834718B2 (ja) * 2011-09-29 2015-12-24 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP5879910B2 (ja) * 2011-10-18 2016-03-08 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器
JP5919728B2 (ja) * 2011-10-26 2016-05-18 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置
JP5888080B2 (ja) * 2012-04-11 2016-03-16 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP6003168B2 (ja) * 2012-04-11 2016-10-05 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP6015090B2 (ja) 2012-04-18 2016-10-26 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP2013238755A (ja) 2012-05-16 2013-11-28 Seiko Epson Corp 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP6098051B2 (ja) 2012-07-04 2017-03-22 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置
US9996199B2 (en) * 2012-07-10 2018-06-12 Electronics And Telecommunications Research Institute Film haptic system having multiple operation points
JP5987573B2 (ja) * 2012-09-12 2016-09-07 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、電子機器、及び駆動方法
JP6036341B2 (ja) * 2013-01-29 2016-11-30 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、及び電子機器
JP6107186B2 (ja) 2013-02-05 2017-04-05 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ
FR3005750B1 (fr) * 2013-05-14 2016-09-16 Cie Ind Des Lasers - Cilas Dispositif optique d'obturation rapide.
JP2015066611A (ja) 2013-09-27 2015-04-13 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器
JP6543884B2 (ja) 2014-01-27 2019-07-17 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法
JP6413325B2 (ja) 2014-05-01 2018-10-31 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター装置、電子機器、及び制御方法
US11768376B1 (en) * 2016-11-21 2023-09-26 Apple Inc. Head-mounted display system with display and adjustable optical components
JP7142419B2 (ja) 2017-05-01 2022-09-27 浜松ホトニクス株式会社 光計測制御プログラム、光計測システム及び光計測方法
JP7006172B2 (ja) * 2017-11-21 2022-01-24 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学デバイス、光学モジュール、及び電子機器
FR3076290B1 (fr) * 2018-01-03 2020-02-07 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Dispositif de detection micro ou nanomecanique de particules
JP7200842B2 (ja) * 2019-06-21 2023-01-10 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001221913A (ja) * 2000-02-08 2001-08-17 Yokogawa Electric Corp ファブリペローフィルタ及び赤外線ガス分析計
WO2002075872A1 (en) * 2001-03-16 2002-09-26 Coretek, Inc. Tunable fabry-perot filter and tunable vertical cavity surface emitting laser
CN1456923A (zh) * 2003-05-26 2003-11-19 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 压电驱动法布里－珀罗腔可调光学滤波器件及制作方法
JP2005338534A (ja) * 2004-05-28 2005-12-08 Seiko Epson Corp 波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法
CN1841119A (zh) * 2005-01-28 2006-10-04 精工爱普生株式会社 可变波长滤光器以及可变波长滤光器的制造方法
JP2009244498A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Seiko Epson Corp 光学フィルタ装置
EP2120082A1 (en) * 2007-02-13 2009-11-18 Olympus Corporation Variable spectral element
CN101750731A (zh) * 2008-12-09 2010-06-23 精工爱普生株式会社 滤光器及具备该滤光器的光学模块

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4301492A (en) 1980-01-28 1981-11-17 Paquin Maurice J Pressure-sensing transducer
FI84401C (fi) 1987-05-08 1991-11-25 Vaisala Oy Kapacitiv tryckgivarkonstruktion.
JPH02195223A (ja) 1989-01-25 1990-08-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧力センサ素子
US5142414A (en) 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
JPH06213613A (ja) 1993-01-14 1994-08-05 Sumitomo Electric Ind Ltd 歪抵抗材料およびその製造方法および薄膜歪センサ
JPH11142752A (ja) 1997-11-05 1999-05-28 Yokogawa Electric Corp 透過波長可変干渉フィルタ及びこれを用いた分光器
US6813291B2 (en) * 1998-06-26 2004-11-02 Coretek Inc Tunable fabry-perot filter and tunable vertical cavity surface emitting laser
JP2005099206A (ja) 2003-09-22 2005-04-14 Seiko Epson Corp 波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法
US7265477B2 (en) 2004-01-05 2007-09-04 Chang-Feng Wan Stepping actuator and method of manufacture therefore
WO2007022326A2 (en) 2005-08-16 2007-02-22 Infotonics Technology Center Inc. Tunable light filter
JP4466634B2 (ja) 2006-01-19 2010-05-26 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ
US7734131B2 (en) * 2006-04-18 2010-06-08 Xerox Corporation Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates
US20100108957A1 (en) * 2006-12-15 2010-05-06 Adeka Corporation Optical filter
JP5141213B2 (ja) 2007-11-29 2013-02-13 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ
JP5369515B2 (ja) 2008-06-26 2013-12-18 セイコーエプソン株式会社 光フィルタとその製造方法及び光学フィルタ装置モジュール
JP5798709B2 (ja) 2009-03-04 2015-10-21 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及びそれを備えた光モジュール
JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2014-09-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP5673049B2 (ja) 2010-12-08 2015-02-18 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
JP5834418B2 (ja) * 2011-02-04 2015-12-24 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001221913A (ja) * 2000-02-08 2001-08-17 Yokogawa Electric Corp ファブリペローフィルタ及び赤外線ガス分析計
WO2002075872A1 (en) * 2001-03-16 2002-09-26 Coretek, Inc. Tunable fabry-perot filter and tunable vertical cavity surface emitting laser
CN1456923A (zh) * 2003-05-26 2003-11-19 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 压电驱动法布里－珀罗腔可调光学滤波器件及制作方法
JP2005338534A (ja) * 2004-05-28 2005-12-08 Seiko Epson Corp 波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法
CN1841119A (zh) * 2005-01-28 2006-10-04 精工爱普生株式会社 可变波长滤光器以及可变波长滤光器的制造方法
EP2120082A1 (en) * 2007-02-13 2009-11-18 Olympus Corporation Variable spectral element
JP2009244498A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Seiko Epson Corp 光学フィルタ装置
CN101750731A (zh) * 2008-12-09 2010-06-23 精工爱普生株式会社 滤光器及具备该滤光器的光学模块

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107479185A (zh) * 2017-09-30 2017-12-15 广东欧珀移动通信有限公司 滤光片、显示装置和电子装置
CN107561685A (zh) * 2017-09-30 2018-01-09 广东欧珀移动通信有限公司 滤光片、镜头模组和成像模组
CN110954981A (zh) * 2018-09-27 2020-04-03 精工爱普生株式会社 光学装置及电子设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN102193184A (zh) 2011-09-21
US9030743B2 (en) 2015-05-12
TW201144857A (en) 2011-12-16
EP2367044B8 (en) 2014-09-24
US10578859B2 (en) 2020-03-03
JP5589459B2 (ja) 2014-09-17
KR20110103880A (ko) 2011-09-21
EP2367044A1 (en) 2011-09-21
US20110222157A1 (en) 2011-09-15
US20180172976A1 (en) 2018-06-21
JP2011191492A (ja) 2011-09-29
US9921403B2 (en) 2018-03-20
EP2367044B1 (en) 2014-08-20
TWI510808B (zh) 2015-12-01
US20150219889A1 (en) 2015-08-06
CN102193184B (zh) 2017-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102193184B (zh) 光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备
CN102207615B (zh) 光滤波器以及使用其的分析设备和光设备
CN102193186B (zh) 滤光器、使用该滤光器的分析设备以及光学设备
JP5834418B2 (ja) 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器
JP5668345B2 (ja) 光フィルター、光フィルターモジュール、分光測定器および光機器
CN102313984B (zh) 滤光器、滤光器组件、分光测量仪以及光设备
JP5807353B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP5879910B2 (ja) 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器
JP6135707B2 (ja) 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
JP5915693B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP2017187799A (ja) 光フィルターの駆動方法
JP6798566B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP6168137B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP6264356B2 (ja) 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器
JP5920411B2 (ja) 光フィルター、光フィルターモジュール、分光測定器および光機器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20161109

RJ01 Rejection of invention patent application after publication