JP2005338534A - 波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコンで構成され、可動部31と可動部31を変位可能に支持する支持部とを備えた第1の基板と、第1の基板に対向する第2の基板2と、第1のギャップ21を利用し、可動部31を第2の基板2に対して変位させることにより、第2のギャップ22の間隔を変更する駆動部とを備え、可動部31の第2のギャップ22に対応する部位に設けられた第1の反射膜200と第2の基板2の可動部31と対向する面に設けられた第2の反射膜210との間において第2のギャップ22を介して干渉を生じさせる波長可変フィルタ1であって、可動部31は、第1の反射膜200に対応する部位に開口部311を有することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
本発明に関わる波長可変フィルタの関連特許は、以下のようなものがある。
<表面マイクロマシニングによるフィルタ>
従来の波長可変フィルタの可変ギャップの厚みは、犠牲層の厚みのみにより制御される。この方法によると、犠牲層の製膜条件によって厚さにバラツキが生じてしまい、薄膜と駆動電極との間のクーロン力が一定ではなく、安定した駆動が得られないという問題がある。
また、可動部を基板の上に突出させた構造となっているため、波長可変フィルタの厚みが大きい(例えば、特許文献1参照)。
一方、US6341039では、SOI(Silicon on Insulator)ウエハーのSiO2層を犠牲層として用い、可変ギャップを形成している。これによれば、可変ギャップを制御よく形成することができる。
しかしながら、駆動電極と可動部との間に絶縁構造が形成されていないため、大きな静電引力が発生した際に、可動部と駆動電極が貼り付きを起こしてしまうという問題がある(例えば、特許文献2参照)。
最終的に犠牲層をリリースして可変ギャップを形成するが、リリース用の液体を犠牲層に導入するためのリリースホールが必要となる。このため、クーロン力が作用する面積が減少し、駆動電圧が増加してしまうという問題がある。また、可変ギャップが小さいと、犠牲層をリリースする際に薄膜と駆動電極基板の間に水の表面張力によるスティッキングと呼ばれる貼り付き現象が発生する。これらより、犠牲層をリリースしないような構造が求められている。
さらに、可動部の光が透過する部位がシリコンで形成されているため、赤外光の波長分離以外には、用いることができないという問題がある。
本発明の波長可変フィルタは、シリコンで構成され、可動部と該可動部を変位可能に支持する支持部とを備えた第1の基板と、
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記可動部と前記第2の基板との間に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部の前記第2のギャップに対応する部位に設けられた第1の反射膜と、
前記第2の基板の前記可動部と対向する面に設けられた第2の反射膜と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、
前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間において反射を繰り返し、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる波長可変フィルタであって、
前記可動部は、前記第1の反射膜に対応する部位に開口部を有することを特徴とする。
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記第2の基板に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部の前記第2のギャップに対応する部位に設けられた第1の反射膜と、
前記第2の基板の前記可動部と対向する面に設けられた第2の反射膜と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、
前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間において反射を繰り返し、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる波長可変フィルタであって、
前記可動部は、前記第1の反射膜に対応する部位に開口部を有することを特徴とする。
これにより、構造を簡易なものとすることができる。
本発明の波長可変フィルタでは、前記第1の反射膜の、前記第1の基板の前記第2の基板と対向する面側に設けられている部分は、前記開口部を覆って、かつ、前記可動部より小さく設けられていることが好ましい。
これにより、駆動部を効率よく駆動することができる。
これにより、第1の基板の第2の基板に対する反りが防止され、測定精度の高い波長可変フィルタを提供することができる。
本発明の波長可変フィルタでは、前記第1の反射膜は、前記可動部の前記第2のギャップと反対側の面側に設けられていることが好ましい。
これにより、第1の基板の第2の基板に対する反りが防止され、測定精度の高い波長可変フィルタを実現することができる。
これにより、駆動部を効率よく駆動することができる。
本発明の波長可変フィルタでは、前記第1の反射膜および前記第2の反射膜は、それぞれ多層膜であることが好ましい。
これにより、膜厚を容易に変化させることができ、反射膜の製造を容易なものとすることができる。
本発明の波長可変フィルタでは、前記第1の反射膜は、絶縁膜であることが好ましい。
これにより、可動部と第2の基板との間に、簡易な構成で、確実な絶縁構造を形成することができる。
これにより、光の反射を抑制し、光を効率的に透過させることができる。
本発明の波長可変フィルタでは、前記反射防止膜は、多層膜であることが好ましい。
これにより、膜厚を容易に変化させることができ、反射防止膜の製造を容易なものとすることができる。
これにより、光を効率よく透過させることができる。
本発明の波長可変フィルタでは、前記第2の基板は、前記可動部と対向する面に、前記第1のギャップに対応する第1の凹部と、前記第2のギャップに対応し、前記第1の凹部より深さが深い第2の凹部とを有することが好ましい。
可動部の駆動用のギャップと、光を干渉させるためのギャップとが同一基板に設けられているため、構造および製造工程を簡易なものとすることができ、小型化を図ることができる。
これにより、光を効率よく透過させることができる。また、駆動部を安定して駆動することができる。
本発明の波長可変フィルタでは、前記駆動部は、クーロン力により可動部を変位させるよう構成されていることが好ましい。
これにより、可動部を安定して駆動することができる。
これにより、可動部をより安定して駆動することができる。
本発明の波長可変フィルタでは、前記第1のギャップおよび前記第2のギャップは、それぞれエッチング法により設けられたものであることが好ましい。
これにより、精度の高い第1のギャップおよび第2のギャップが得られる。
これにより、可動部を効率よく駆動することができる。
本発明の波長可変フィルタでは、前記開口部は、平面視で前記可動部の形状と略同一形状をなしていることが好ましい。
これにより、精度の高い第2の基板を製造することができ、光を効率よく透過させる波長可変フィルタを実現することができる。
本発明の波長可変フィルタでは、前記ガラスは、アルカリ金属を含有したガラスであることが好ましい。
これにより、製造をさらに容易に行うことができるとともに、第1の基板と第2の基板とを強固に、かつ高い密着性をもって接合することができる。
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記第2の基板に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部の前記第2のギャップに対応する部位に設けられた第1の反射膜と、
前記第2の基板の前記可動部と対向する面に設けられた第2の反射膜と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、
前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間において反射を繰り返し、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる波長可変フィルタの製造方法であって、
第1の基板用基材に開口部を設ける工程と、
前記開口部内に前記第1の反射膜を形成する工程と、
光透過性を有する第2の基板用基材に前記第1のギャップと前記第2のギャップとを形成し、前記第2の基板を形成する工程と、
前記第2の基板の前記第2のギャップに対応する部位に前記第2の反射膜を形成する工程と、
前記第1の基板用基材と前記第2の基板とを、前記第1の基板用基材に形成された前記第1の反射膜と前記第2の基板に形成された前記第2の反射膜とが対向するように接合する接合工程と、
前記第1の基板用基材に対して除去処理を行って所定の部位を除去することにより、前記開口部を有する前記可動部および前記支持部を形成する除去工程とを有することを特徴とする。
これにより、容易かつ確実に、第1の反射膜と第2の反射膜との間で干渉を生じた光が出射するための開口部を有する可動部を備えた波長可変フィルタを製造することができる。
これにより、容易かつ確実に、開口内に第1の反射膜を形成することができる。
これにより、より容易に開口部を有する可動部と、支持部とを形成することができる。
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記第2の基板に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部の前記第2のギャップに対応する部位に設けられた第1の反射膜と、
前記第2の基板の前記可動部と対向する面に設けられた第2の反射膜と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、
前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間において反射を繰り返し、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる波長可変フィルタの製造方法であって、
第1の基板用基材に開口部を設ける工程と、
前記開口部を覆うように前記開口部内および前記開口部の近傍の前記第1の基板用基材上に反射膜を一体的に形成する工程と、
光透過性を有する第2の基板用基材に前記第1のギャップと前記第2のギャップとを形成し、前記第2の基板を形成する工程と、
前記第2の基板の前記第2のギャップに対応する部位に前記第2の反射膜を形成する工程と、
前記第1の基板用基材と前記第2の基板とを、前記第1の基板用基材に形成された前記反射膜と前記第2の基板に形成された前記第2の反射膜とが対向するように接合する接合工程と、
前記第1の基板用基材の前記第2の基板と接合されている面の反対の面側に前記開口部を覆うように前記開口部および該開口部の近傍にさらに反射膜を形成して前記第1の反射膜を形成する反射膜形成工程と、
前記第1の基板用基材に対して除去処理を行って所定の部位を除去することにより、前記第1の反射膜に対応する部位に前記開口部を有する前記可動部および前記支持部を形成する除去工程とを有することを特徴とする。
これにより、容易かつ確実に、開口部を有する可動部を備えた波長可変フィルタを製造することができる。
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記第2の基板に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部の前記第2のギャップに対応する部位に設けられた第1の反射膜と、
前記第2の基板の前記可動部と対向する面に設けられた第2の反射膜と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、
前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間において反射を繰り返し、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる波長可変フィルタの製造方法であって、
第1の基板用基材に開口部を設ける工程と、
前記開口部を覆うように前記開口部内および前記第1の基板用基材上の前記可動部となる部位に反射膜を一体的に形成する工程と、
光透過性を有する第2の基板用基材に前記第1のギャップと前記第2のギャップとを形成し、前記第2の基板を形成する工程と、
前記第2の基板の前記第2のギャップに対応する部位に前記第2の反射膜を形成する工程と、
前記第1の基板用基材と前記第2の基板とを、前記第1の基板用基材に形成された前記反射膜と前記第2の基板に形成された前記第2の反射膜とが対向するように接合する接合工程と、
前記第1の基板用基材の前記第2の基板と接合されている面の反対の面側に前記開口部を覆うように、前記第1の基板用基材上の前記可動部となる部位に前記開口部および該開口部の近傍にさらに反射膜を形成して前記第1の反射膜を形成する反射膜形成工程と、
前記第1の基板用基材に対して除去処理を行って所定の部位を除去することにより、前記第1の反射膜に対応する部位に前記開口部を有する前記可動部および前記支持部を形成する除去工程とを有することを特徴とする。
これにより、容易かつ確実に、開口部内、開口部上および開口部の近傍に第1の反射膜が形成された可動部を備えた波長可変フィルタを製造することができる。
これにより、容易に開口部内および開口部の近傍の第1の基板用基材上に反射膜を一体的に形成することができる。
これにより、容易かつ確実に、所望の反射膜が設けられた可動部を備えた波長可変フィルタを製造することができる。
これにより、精度の高い積層基板を容易に得ることができる。
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記第2の基板に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部の前記第2のギャップに対応する部位に設けられた第1の反射膜と、
前記第2の基板の前記可動部と対向する面に設けられた第2の反射膜と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、
前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間において反射を繰り返し、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる波長可変フィルタの製造方法であって、
主としてシリコンで構成される第1の基板用基材上の前記可動部となる部位に、前記第1の反射膜を形成する工程と、
光透過性を有する第2の基板用基材に前記第1のギャップと前記第2のギャップとを形成し、前記第2の基板を形成する工程と、
前記第2の基板の前記第2のギャップに対応する部位に前記第2の反射膜を形成する工程と、
前記第1の基板用基材と前記第2の基板とを、前記第1の基板用基材に形成された前記第1の反射膜と前記第2の基板に形成された前記第2の反射膜とが対向するように接合する接合工程と、
前記第1の基板用基材に対して除去処理を行って所定の部位を除去することにより、前記第1の反射膜に対応する部位に該第1の反射膜で覆われるように開口部を形成し、該開口部を有する前記可動部および前記支持部を形成する除去工程とを有することを特徴とする。
これにより、容易かつ確実に、第1の反射膜と第2の反射膜との間で干渉を生じた光が出射するための開口部を有する可動部を備えた波長可変フィルタを製造することができる。
これにより、容易かつ確実に第2の反射膜を形成することができる。
本発明の波長可変フィルタの製造方法では、前記第2の反射膜を形成する工程は、前記第2の基板の前記反射膜を設けない部位にマスクを形成する工程と、前記第2の基板の前記第2のギャップを有する面側に反射膜を設ける工程と、前記マスクを除去する工程とを有することが好ましい。
これにより、容易に第2の反射膜を形成することができる。
本発明の波長可変フィルタの製造方法では、前記除去処理では、エッチング法を用いることが好ましい。
これにより、容易に、かつ、精度の高い可動部および支持部を得ることができる。
図1は、本発明の波長可変フィルタの第1実施形態を示す平面図(上面図)、図2は、図1のA−A線での断面図、図3は、本発明の波長可変フィルタの第1実施形態におけるワイヤを取り付けた状態を示す図、図4は、本発明の波長可変フィルタの動作の1例を説明する図である。また、以下の説明では、図2中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
可動部31には、平面視で略円形の開口部311を有している。この開口部311は、可動部31を形成する円に対して同心円状に形成されている。
この開口部311は、本実施形態では、第2のギャップ22を介して後述する第2の凹部221の上側(上部)に設けられている。
なお、可動部31および開口部311の形状は、図示のものに限られないのは言うまでもない。
可動部31には、第2の凹部221と対向する面(可動部31の下面)に、光を効率的に反射させる第1の反射膜(HRコート)200が開口部311を覆って、かつ、可動部31より平面視で小さく(小さい径で)設けられている。
この第1の反射膜200は、絶縁性を有している。すなわち、第1の反射膜200は、絶縁膜を兼ねる。
なお、可動部31および開口部311の形状は、図示の形状に特に限定されないが、開口部311の形状は、可動部31の形状と略同一形状をなしているのが好ましい。
この支持部32は、可動部31の外周側面に、開口部8により仕切られて等角度間隔(90°間隔)で、設けられている。
なお、支持部32の数は必ずしも4つに限定されず、例えば、2つ、3つ、または、5つ以上でもよい。また、支持部32の形状は、図示のものに限定されない。
図1に示すように、固定部33には、導電性を有する端子台10が設けられている。この端子台10と固定部33とは、電気的に接続されている。
また、固定部33の後述する導電層231および端子台9に対応する部位には、開口331が設けられている。
第2の基板2は、光透過性を備えており、可動部31と対向する面に、第1の凹部211および第1の凹部211より深さが深い第2の凹部221を有している。
このような第2の基板2の厚さ(平均)は、それぞれ、構成材料、用途等により適宜選択され、特に限定されないが、10〜2000μm程度であるのが好ましく、100〜1000μm程度であるのがより好ましい。
また、第1の凹部211は、第2の凹部221の外側に、第2の凹部221に連続して設けられている。
また、この第2の凹部221の外形形状は、可動部31の外形形状に対応し、第2の凹部221の寸法は、可動部31より少し小さく設定されている。
これにより、第1の凹部211と、可動部31の外周部(外側部)とが、互いに対向する。
この第1の凹部211内の空間は、第1のギャップ21となるものである。すなわち、可動部31と、第1の凹部211とが、第1のギャップ21を画成している。
同様に、この第2の凹部221内の空間は、第2のギャップ22となるものである。すなわち、可動部31と、第2の凹部221とが、第1のギャップ21を画成している。
この第1のギャップ21の厚さ(平均)は、用途などにより適宜選択され、特に限定されないが、0.5〜20μm程度であるのが好ましい。
また、第2のギャップ22の厚さ(平均)は、用途などにより適宜選択され、特に限定されないが、1〜100μm程度であるのが好ましい。
このような駆動電極23および導電層231の厚さ(平均)は、それぞれ、構成材料、用途等により適宜選択され、特に限定されないが、0.1〜5μm程度であるのが好ましい。
第2の反射膜210は、第2のギャップ22を介して第1の反射膜200と対向するように設けられている。この第2の反射膜210は、平面視で、少なくとも開口部311の全体に重なるように(第2の反射膜210を開口部311に投影したとき、開口部311に対応する部分および近傍の領域に位置するように)設けられている。
ところで、図3に示すように、この波長可変フィルタ1の端子台9および端子台10から、図示しない回路基板に、それぞれワイヤ50、50を例えば、はんだなどのろう材で接続した場合には、可動部31と駆動電極23とが、それぞれワイヤ50、50および回路基板を介して、図示しない電源に接続され、可動部31と、駆動電極23との間に電圧を印加することができる。
これら駆動電極23と、可動部31との間に電圧が印加されると、駆動電極23と、可動部31とが逆極性に帯電して、両者の間にクーロン力が発生し、このクーロン力によって、可動部31は、図2中下方向に移動し、静止する。
これにより、距離xを所定の距離に調節(変更)することができ、後述するように所定の波長の光(干渉光)を出射させることが可能となる。
駆動電極23と、第1のギャップ21と、可動部31の外周部とで、クーロン力によって駆動する方式の駆動部(アクチュエータ)の主要部が構成される。
図4に示すように、光源300から出射された光Lは、光入射部24から入射する。すなわち、光Lは、反射防止膜100、第2の基板2および第2の反射膜210を透過し、第2のギャップ22に入射する。
入射した光Lは、第1の反射膜200と第2の反射膜210との間において反射を繰り返し、干渉を生じる。この際、第1の反射膜200および第2の反射膜210により、光Lの損失を抑えることができる。
前記光Lの干渉の結果、距離xに対応した所定の波長の光(干渉光)は、第1の反射膜200を透過し、開口部311を介して可動部31の上面から出射する。
また、第1の反射膜200は絶縁膜で形成されているため、駆動電極23と、可動部31との接触の際のショートを防ぐことができる。
また、本実施形態では、端子台9および端子台10を設けることにより、波長可変フィルタ1の一方の面側から容易に電源を供給することができる。
なお、本実施形態では、光入射部24から光を入射したが、可動部31の上面から光を入射してもよい。その場合、光入射部24から出射してもよいし、可動部31の上面から出射してもよい。
また、本実施形態では、駆動部の構成は、クーロン力を用いた構成としたが、本発明は、これに限られない。
また、本実施形態では、端子台9、端子台10、導電層231および開口331を設けたが、なくてもよい。
図5〜図9は、第1実施形態の波長可変フィルタの製造方法を説明する図(製造工程を模式的に示す図)である。なお、以下の説明では、図5中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
このような観点からは、ソーダガラス、カリウムガラス、ホウケイ酸ナトリウムガラス等を用いることができ、例えば、コーニング社製のパイレックスガラス(登録商標)等が好適に用いられる。特に、陽極接合時に透明基板5を加熱するため、後述するシリコン層(活性層)73と熱膨張係数がほぼ等しいものが好ましい。
[1]透明基板5を用いて第2の基板2を製造する工程
まず、図5(a)に示すように、透明基板5上面および下面にマスク層6を形成(マスキング)する。
マスク層6は、例えば、化学気相成膜法(CVD法)、スパッタリング法、蒸着法等の気相成膜法、メッキ法等により形成することができる。
開口63は、例えば、第1の凹部211を形成する位置に設ける。また、開口63の形状(平面形状)は、形成する第1の凹部211の形状(平面形状)に対応させる。
この開口63は、例えば、フォトリソグラフィー法により形成することができる。具体的には、まず、マスク層6上に、開口63に対応したパターンを有するレジスト層(図示せず)を形成する。次に、かかるレジスト層をマスクとして、マスク層6の一部を除去する。次に、前記レジスト層を除去する。これにより、開口63が形成される。なお、マスク層6の一部除去は、例えば、CFガス、塩素系ガス等によるドライエッチング、フッ酸+硝酸水溶液、アルカリ水溶液等の剥離液への浸漬(ウェットエッチング)などにより行うことができる。
第1の凹部211の形成方法としては、特に限定されないが、例えば、ドライエッチング法、ウェットエッチング法等のエッチング法などが挙げられる。エッチングを行うことにより、透明基板5は、開口63より等方的に食刻され、円柱状を有する第1の凹部211が形成される。
これは、例えば、アルカリ水溶液(例えばテトラメチル水酸化アンモニウム水溶液等)、塩酸+硝酸水溶液、フッ酸+硝酸水溶液等の剥離液(除去液)への浸漬(ウェットエッチング)、CFガス、塩素系ガス等によるドライエッチングなどにより行うことができる。
特に、透明基板5を除去液に浸漬することによりマスク層6を除去すると、簡易な操作で、効率よく、マスク層6を除去できる。
第2の凹部221は、第1の凹部211と同様にして、製造、用意することができる。
また、第2の凹部221を製造するとき、形成する開口の面積、または、エッチング条件(例えばエッチング時間、エッチング温度、エッチング液の組成等)のうちの少なくとも1つを、第1の凹部211を製造する際の条件と異なるものとすることが好ましい。このように、第2の凹部221の製造条件を第1の凹部211の製造条件と一部異なるものとすると、第1の凹部211の半径と第2の凹部221の半径とを異なるものとすることが容易となる。
以上により、図6(e)に示すように、第1の凹部211と第2の凹部221とが所定の位置に形成された第2の基板2が得られる。
次に、図6(f)に示すように、駆動電極23を形成する。
駆動電極23を構成する材料としては、例えばCr、Al、Al合金、Ni、Zn、Ti、Auなどの金属、カーボンやチタンなどを分散した樹脂、多結晶シリコン(ポリシリコン)、アモルファスシリコン等のシリコン、ITOのような透明導電材料等が挙げられる。
この駆動電極23の厚さは、例えば、0.1〜0.2μmが好ましい。
この駆動電極23は、例えば、蒸着法、スパッタ法またはイオンプレーティング法等により形成することができる。また、かかる方法にフォトリソグラフィー法を組み合わせてもよい。具体的には、まず、駆動電極23に対応したパターンを有するレジスト層(図示せず)を形成する。このレジスト層を構成する材料としては、例えば、Cr/Au/Cr
等が挙げられる。
また、導電層231も前述した方法と同様の方法を用いて形成することができる。なお、導電層231が必要ない場合は、設けなくてもよい。
次に、第2の基板2に第2の反射膜210を形成する。これは、例えばフォトリソグラフィー法により形成することができる。具体的には、図6(g)に示すように、第2の基板2の上面の所定の部位にレジスト層61を形成する。
次に、図7(h)に示すように、透明基板5の上面全体に反射膜213を成膜する。この成膜方法としては、例えば、化学気相成膜法(CVD法)、スパッタリング法、蒸着法等の気相成膜法等により形成することができる。
なお、工程[2]にて導電層231を形成した場合には、本工程において導電層231上にレジスト層61を形成しないのが好ましい。これにより、導電層231上に反射膜213が形成される。本実施形態の反射膜は絶縁膜を兼ねているため、導電層231と、第1の基板3とのショートを防止することができる絶縁膜を容易に形成することができる。
その後、透明基板5の下面に反射防止膜100を形成する。この成膜方法としては、例えば、例えば、化学気相成膜法(CVD法)、スパッタリング法、蒸着法等の気相成膜法等により形成することができる。反射防止膜100の形成時期は特に限定されず、これ以降の工程中または全工程の終了後に形成してもよい。
なお、本製造工程では、反射防止膜100と、第1の反射膜200と、第2の反射膜210とを、多層膜で形成する。
これらを交互に積層することにより、所定の厚さの多層膜を設けることができる。
多層膜の各層の厚さ、層数、材質を設定(調整)することによって、所定の波長の光を透過または反射させることができる多層膜を形成することができる(特性を変化させることができる)。例えば、反射膜の場合は、各層の厚さを設定することにより反射率を調整することができ、各層の層数を設定することにより、反射する光の波長を調整することができる。
これにより、所望の特性を有する反射防止膜100、第1の反射膜200、第2の反射膜210とを容易に形成することができる。
また、第1の反射膜200および第2の反射膜210の全体の厚さは、特に限定されないが、例えば、0.1〜12μmが好ましい。
また、本実施形態では、反射防止膜100、第1の反射膜200および第2の反射膜210を多層膜で形成したが、反射防止膜および反射膜をそれぞれ単層膜で形成してもよい。
まず、ウエハー(第1の基板用基材)7を用意する。このウエハー7は、単層で、表面が鏡面にできる特性を有することが好ましい。かかる観点から、ウエハー7としては、シリコン(Si)基板が好ましい。
次に、図8(j)に示すように、ウエハー7の上側に、可動部31となる部位に(後述する接合の工程後において、第2の凹部221(第2のギャップ22)と対向するように)、第1の反射膜200を設ける。
次に、図8(k)に示すように、ウエハー7の第1の反射膜200が設けられた面側と、第2の基板2の第2の凹部221が形成された面側とが対向するように接合する。
この接合は、例えば陽極接合により行うことができる。陽極接合は、例えば、次のようにして行う。まず、第2の基板2を図示しない直流電源のマイナス端子に、ウエハー7を図示しない直流電源のプラス端子にそれぞれ接続する。そして、第2の基板2を加熱しながら電圧を印加する。この加熱により、第2の基板2中のNa+が移動しやすくなる。このNa+の移動により、第2の基板2の接合面はマイナスに帯電し、ウエハー7の接合面はプラスに帯電する。この結果、第2の基板2とウエハー7とは強固に接合される。
本製造工程では、接合の方法として陽極接合を用いたが、これに限らず、例えば、加熱加圧接続、接着剤、低融点ガラスにより接合しても良い。また、別個の層を介してウエハー7と、第2の基板2とを接合してもよい。
[7]ウエハー7を所望の厚みにする工程
次に、図8(l)に示すように、研磨や研削等によりウエハー7を所望の厚さにする。なお、用意したウエハー7が適切な厚さである場合は、本工程は設けなくてもよい。
次に、可動部31、支持部32および導電層231の形状(平面形状)に対応したパターンを有するレジスト層(図示せず)を形成する。次に、ドライエッチング法、特にICPエッチング(Inductively−Coupled Plasma Etching)にて、ウエハー7をエッチングし、開口部8および開口部311を形成する。これにより、図9(m)に示すように第1の反射膜200に対応する部位に、第1の反射膜200で覆われるように開口部311が形成された可動部31と、支持部32(図示せず)と、固定部33とが形成される。
前記エッチング用ガスとしては、例えば、SF6等が挙げられ、また、前記デポジッション用ガスとしては、例えば、C4F8等が挙げられる。
これにより、シリコン層73のみがエッチングされ、また、ドライエッチングなので、他の部位に影響を与えることなく、可動部31と、支持部32と、固定部33とを精度良く、確実に形成することができる。
なお、本発明では、本工程において、例えば、RIE(Reactive Ion Etching)等の前記と異なるドライエッチング法を用いて可動部31と、支持部32と、固定部33とを形成してもよく、また、ドライエッチング法以外の方法を用いて可動部31と、支持部32と、固定部33とを形成してもよい。
また、導電層231を設けた場合には、本工程において、シリコン層73の導電層231および端子台9に対応する部位に対してもエッチングを施すことにより容易に開口331を形成することができる。
次に、端子台9および端子台10を形成する。端子台を必要としない場合は、この工程はなくてもよい。
また、第1のギャップ21(可動部31の駆動用のギャップ)と第2のギャップ22(波長可変フィルタ1の光を通過、または反射させる機能を有するギャップ)が第2の基板2(同一基板)に設けてあるため、波長可変フィルタ1の構造を簡易なものとすることができる。特に第1のギャップ21を形成するための製造工程を簡易なものとすることができ、小型化を図ることができる。
また、本実施形態においては、反射防止膜100と、第1の反射膜200と第2の反射膜210とは絶縁膜で構成されている。
これにより、スティッキング(可動部31と駆動電極23との貼り付き)の発生を防ぐことができ、確実な絶縁構造を形成できる。
なお、本製造方法においては、導電層は、パターニングにより設けたが、透明基板に溝を設けて、その溝に導電層を形成してもよい。
また、第1の凹部211の表面に反射膜を設けてもよい。この場合、反射膜は絶縁膜であるのが好ましい。反射膜を絶縁膜で作成した場合、可動部と、駆動電極23との間のより確実な絶縁構造を形成できる。
また、本実施形態においては、反射防止膜100、第1の反射膜200および第2の反射膜210が、絶縁膜を兼ねているが、これに限られず、例えば、絶縁膜を別途設けてもよい。その場合、熱酸化によるSiO2層や、TEOS−CVDにて形成したSiO2層等が好適に用いられる。
これらを交互に積層することにより、所定の厚さの多層膜を設けることができる。
図10は、本発明の波長可変フィルタの第2実施形態を示す断面図である。
以下、第2実施形態の波長可変フィルタ1について、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第2実施形態の波長可変フィルタ1は、第1の反射膜200の形状が異なっている。
図10に示すように、第2実施形態の波長可変フィルタ1では、可動部31の開口部311内に第1の反射膜200が設けられている(埋め込まれている)。
以下、製造方法について説明するが、第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図11〜図13は、第2実施形態の波長可変フィルタの製造方法を説明する図である。第2実施形態の波長可変フィルタの製造方法は、工程[5]以降が異なること以外は、前記第1実施形態の製造方法と同様である。以下、工程[5]以降について説明する。
まず、ウエハー(第1の基板用基材)7を用意する。このウエハー7は、表面が鏡面にできる特性を有することが好ましい。かかる観点から、ウエハー7としては、例えばSOI(Silicon on Insulator)基板、SOS(Silicon on Sapphire)基板等を用いることができる。
このウエハー7に対して図11(n)に示すように、エッチング処理を施しシリコン層73の一部を除去し、開口部311を形成する。
次に、図11(o)に示すように、シリコン層73上の所定の部位にレジスト層74を塗布する。
次に、図11(p)に示すように、ウエハー7の上面に反射膜201を成膜する。この反射膜201は、反射膜213の成膜と同様の方法を用いて成膜することができる。
次に、図11(q)に示すように、レジスト層74を除去(剥離)する(リフトオフ)。
これにより、反射膜201のうちの所定の部位が除去され、開口部311内に本実施形態の第1の反射膜200が形成される。
[7]ウエハー7と第2の基板とを接合する工程(接合工程)
次に、図12(r)に示すように、ウエハー7をシリコン層73と、第2の基板2の第2の凹部221が形成された面とが対向するように接合する。この接合は、例えば、第1実施形態の工程[6]で説明した接合方法により行うことができる。
次に、図12(s)に示すように、エッチングや研磨を行ってベース層71を除去する。
エッチング方法としては、例えば、ウェットエッチング、ドライエッチングが用いられるが、ドライエッチングを用いるのが好ましい。いずれの場合も、ベース層71の除去のとき、SiO2層72がストッパーとなるが、ドライエッチングは、エッチング液を用いないので、駆動電極23に対向しているシリコン層73の損傷を好適に防ぐことができる。これにより、歩留まりの高い波長可変フィルタ1を製造できる。
Si+2KOH+H2O→K2SiO3+2H2
KOH水溶液によるベース層71のエッチングレートは、SiO2層72のエッチングレートより相当大きいので、SiO2層72がエッチングのストッパーとして機能する。なお、この工程で用いられるエッチング液としては、KOH水溶液以外に、TMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)水溶液、EPD(エチレンジアミン−ピロカテコール−ジアジン)水溶液またはヒドラジン水溶液等がある。ウェットエッチングによれば、バッチ処理が可能なので、生産性を向上させることができる。
2XeF2+Si→2Xe+SiF4
XeF2によるドライエッチングによれば、ベース層71のエッチングレートは、SiO2層72のエッチングレートより相当大きいので、SiO2層72がエッチングのストッパーとして機能する。このエッチングはプラズマによるものでないので、除去する部位以外の部位にダメージが及びにくい。なお、XeF2の代わりに、例えば、CF4やSF6によるプラズマエッチングを用いることもできる。
研磨の方法としては、従来公知のものを用いることができるため説明を省略する。
次に、エッチング法を用いて、シリコン層73をエッチングし、開口部8および開口部311を形成する。これにより、図13(u)に示すように、可動部31と、支持部32(図示せず)と、固定部33とが形成される。なお、エッチング方法としては、第1実施形態で述べたものと同様のものを用いることができる。
この波長可変フィルタ1によれば、前述した第1実施形態の波長可変フィルタ1と同様の効果が得られる。
そして、この波長可変フィルタ1では、第1の反射膜200が可動部31の開口部311内に設けられているため、可動部31と第1の反射膜200との温度変化時の熱膨張係数の相違による反り、たわみ等が効果的に防止される。このため、波長可変フィルタ1を例えば、分光光度計等の波長分析装置として用いた場合、装置の安定性が向上し、波長の検出精度の劣化を容易かつ確実に防止することができ、装置全体の寿命を長くすることができる。
図14は、本発明の波長可変フィルタの第3実施形態を示す断面図である。また、以下の説明では、図14中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」、と言う。
以下、第3実施形態の波長可変フィルタ1について、前述した第2実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図14に示すように、第2実施形態の波長可変フィルタ1では、可動部31の開口部311内と、可動部31の上面および下面と、開口部311の上面および下面の近傍とに一体的に第1の反射膜200が設けられている。すなわち、第1の反射膜200が、開口部311の近傍において、可動部31を挟むように設けられている。
また、第1の反射膜200は、可動部31の上面および下面側から開口部311を覆って、かつ、可動部31より小さく(小径に)設けられている。
以下、製造方法について説明するが、第2実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図15〜図16は、第3実施形態の波長可変フィルタの製造方法を説明する図である。 第3実施形態の波長可変フィルタの製造方法は、工程[5]以降が異なること以外は、前記第2実施形態の製造方法と同様である。以下、工程[5]以降について説明する。
まず、ウエハー7を用意する。このウエハー7は、第2実施形態で挙げたものと同様のものを用いることができる。本製造工程においては、ウエハー7として、SOI基板を使用する。
次に、図15(v)に示すように、エッチング処理を施しシリコン層73の一部を除去し、開口部311を形成する。
次に、図15(x)に示すように、ウエハー7の上面に反射膜201を成膜する。この反射膜201は、例えば、反射膜213の成膜と同様の方法を用いて成膜することができる。
次に、図15(y)に示すように、レジスト層74を除去(剥離)する(リフトオフ)。
これにより、ウエハー7上の開口部311内および開口部311の近傍に(ウエハー7の可動部31となる部位に)反射膜202が形成される。
次に、第2実施形態での工程[7]で述べたように、ウエハー7と、第2の基板2とを接合する。
[7]ベース層71およびSiO2層72を除去する工程(除去工程)
次に、第2実施形態での工程[8]で述べたように、ベース層71およびSiO2層72を除去する。
次に、図16(z)に示すように、反射膜を追加成膜する。これは本実施形態の工程[5]で行った方法と同様にして成膜することができる。これにより、第1の反射膜200が開口部311上および開口部311の近傍に(シリコン層73の可動部31となる部位に)形成される。
その後、エッチング法を用いて、シリコン層73をエッチングし、開口部8および開口部311を形成する。これにより、図16(α)に示すように、可動部31と、支持部32(図示せず)と、固定部33とが形成される。なお、エッチング方法としては、第1実施形態で述べたものと同様のものを用いることができる。
この波長可変フィルタ1によれば、前述した第2実施形態の波長可変フィルタ1と同様の効果が得られる。
そして、この波長可変フィルタ1では、第1の反射膜200が、上下方向から可動部31を挟むような形状をなしているため(第1の反射膜200が可動部31の上面と下面とに略対称に設けられているため)、可動部31と第1の反射膜200との間に応力が生じる場合においても、垂直方向(図14中上下方向)に受ける力が、可動部31の上面に形成されている第1の反射膜200の部位と可動部31の下面に形成されている第1の反射膜200の部位とで互いに打ち消しあい、可動部31から第1の反射膜200が剥離しにくいという利点がある。
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)(工程)を組み合わせたものであってもよい。
さらに、駆動電極23と、可動部31との間のギャップの容量、駆動電極23と、可動部31との間に印加する電圧、波長可変フィルタ1から出射した光等、各種の情報に基づいてギャップ量(距離x)の検出を行い、その情報を前記マイクロコンピュータにフィードバックすることもできる。
Claims (16)
- シリコンで構成され、可動部と該可動部を変位可能に支持する支持部とを備えた第1の基板と、
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記可動部と前記第2の基板との間に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部の前記第2のギャップに対応する部位に設けられた第1の反射膜と、
前記第2の基板の前記可動部と対向する面に設けられた第2の反射膜と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、
前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間において反射を繰り返し、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる波長可変フィルタであって、
前記可動部は、前記第1の反射膜に対応する部位に開口部を有することを特徴とする波長可変フィルタ。 - シリコンで構成され、可動部と該可動部を変位可能に支持する支持部とを備えた第1の基板と、
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記第2の基板に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部の前記第2のギャップに対応する部位に設けられた第1の反射膜と、
前記第2の基板の前記可動部と対向する面に設けられた第2の反射膜と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、
前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間において反射を繰り返し、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる波長可変フィルタであって、
前記可動部は、前記第1の反射膜に対応する部位に開口部を有することを特徴とする波長可変フィルタ。 - 前記第1の反射膜は、前記第1の基板の前記第2の基板と対向する面側に設けられている請求項1または2に記載の波長可変フィルタ。
- 前記第1の反射膜の、前記第1の基板の前記第2の基板と対向する面側に設けられている部分は、前記開口部を覆って、かつ、前記可動部より小さく設けられている請求項3に記載の波長可変フィルタ。
- 前記第1の反射膜は、前記開口部内に設けられている請求項1ないし4のいずれかに記載の波長可変フィルタ。
- 前記第1の反射膜は、前記可動部の前記第2のギャップと反対側の面側に設けられている請求項1ないし5のいずれかに記載の波長可変フィルタ。
- 前記第1の反射膜の、前記可動部の前記第2のギャップと反対側の面側に設けられている部分は、前記開口部を覆って、かつ、前記可動部より小さく設けられている請求項6に記載の波長可変フィルタ。
- シリコンで構成され、可動部と該可動部を変位可能に支持する支持部とを有する第1の基板と、
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記第2の基板に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部の前記第2のギャップに対応する部位に設けられた第1の反射膜と、
前記第2の基板の前記可動部と対向する面に設けられた第2の反射膜と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、
前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間において反射を繰り返し、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる波長可変フィルタの製造方法であって、
第1の基板用基材に開口部を設ける工程と、
前記開口部内に前記第1の反射膜を形成する工程と、
光透過性を有する第2の基板用基材に前記第1のギャップと前記第2のギャップとを形成し、前記第2の基板を形成する工程と、
前記第2の基板の前記第2のギャップに対応する部位に前記第2の反射膜を形成する工程と、
前記第1の基板用基材と前記第2の基板とを、前記第1の基板用基材に形成された前記第1の反射膜と前記第2の基板に形成された前記第2の反射膜とが対向するように接合する接合工程と、
前記第1の基板用基材に対して除去処理を行って所定の部位を除去することにより、前記開口部を有する前記可動部および前記支持部を形成する除去工程とを有することを特徴とする波長可変フィルタの製造方法。 - 前記開口内に第1の反射膜を形成する工程は、前記第1の基板用基材上の一方の面の前記第1の反射膜を設けない部位にマスクを形成する工程と、前記第1の基板用基材の前記マスクを形成した面側に反射膜を設ける工程と、前記マスクを除去する工程とを有する請求項8に記載の波長可変フィルタの製造方法。
- 主としてシリコンで構成されたシリコン層、絶縁層およびベース層がこの順で積層された積層基板を前記第1の基板用基材とし、前記接合工程において、前記シリコン層側から前記積層基板を前記第2の基板と接合し、この後に、前記除去工程において、前記第1の基板用基材に対して前記除去処理を行って前記ベース層と、前記絶縁層と、前記シリコン層の一部とを除去することにより前記可動部および前記支持部を形成する請求項8または9に記載の波長可変フィルタの製造方法。
- シリコンで構成され、可動部と該可動部を変位可能に支持する支持部とを有する第1の基板と、
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記第2の基板に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部の前記第2のギャップに対応する部位に設けられた第1の反射膜と、
前記第2の基板の前記可動部と対向する面に設けられた第2の反射膜と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、
前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間において反射を繰り返し、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる波長可変フィルタの製造方法であって、
第1の基板用基材に開口部を設ける工程と、
前記開口部を覆うように前記開口部内および前記開口部の近傍の前記第1の基板用基材上に反射膜を一体的に形成する工程と、
光透過性を有する第2の基板用基材に前記第1のギャップと前記第2のギャップとを形成し、前記第2の基板を形成する工程と、
前記第2の基板の前記第2のギャップに対応する部位に前記第2の反射膜を形成する工程と、
前記第1の基板用基材と前記第2の基板とを、前記第1の基板用基材に形成された前記反射膜と前記第2の基板に形成された前記第2の反射膜とが対向するように接合する接合工程と、
前記第1の基板用基材の前記第2の基板と接合されている面の反対の面側に前記開口部を覆うように前記開口部および該開口部の近傍にさらに反射膜を形成して前記第1の反射膜を形成する反射膜形成工程と、
前記第1の基板用基材に対して除去処理を行って所定の部位を除去することにより、前記第1の反射膜に対応する部位に前記開口部を有する前記可動部および前記支持部を形成する除去工程とを有することを特徴とする波長可変フィルタの製造方法。 - シリコンで構成され、可動部と該可動部を変位可能に支持する支持部とを有する第1の基板と、
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記第2の基板に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部の前記第2のギャップに対応する部位に設けられた第1の反射膜と、
前記第2の基板の前記可動部と対向する面に設けられた第2の反射膜と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、
前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間において反射を繰り返し、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる波長可変フィルタの製造方法であって、
第1の基板用基材に開口部を設ける工程と、
前記開口部を覆うように前記開口部内および前記第1の基板用基材上の前記可動部となる部位に反射膜を一体的に形成する工程と、
光透過性を有する第2の基板用基材に前記第1のギャップと前記第2のギャップとを形成し、前記第2の基板を形成する工程と、
前記第2の基板の前記第2のギャップに対応する部位に前記第2の反射膜を形成する工程と、
前記第1の基板用基材と前記第2の基板とを、前記第1の基板用基材に形成された前記反射膜と前記第2の基板に形成された前記第2の反射膜とが対向するように接合する接合工程と、
前記第1の基板用基材の前記第2の基板と接合されている面の反対の面側に前記開口部を覆うように、前記第1の基板用基材上の前記可動部となる部位に前記開口部および該開口部の近傍にさらに反射膜を形成して前記第1の反射膜を形成する反射膜形成工程と、
前記第1の基板用基材に対して除去処理を行って所定の部位を除去することにより、前記第1の反射膜に対応する部位に前記開口部を有する前記可動部および前記支持部を形成する除去工程とを有することを特徴とする波長可変フィルタの製造方法。 - 前記開口部内および前記開口部の近傍の前記第1の基板用基材上に反射膜を一体的に形成する工程は、前記第1の基板用基材上の一方の面の前記反射膜を設けない部位にマスクを形成する工程と、前記第1の基板用基材の前記マスクを形成した面側に反射膜を設ける工程と、前記マスクを除去する工程とを有する請求項11または12に記載の波長可変フィルタの製造方法。
- 主としてシリコンで構成されたシリコン層、絶縁層およびベース層がこの順で積層された積層基板を前記第1の基板用基材とし、前記接合工程において、前記シリコン層側から前記積層基板を前記第2の基板と接合し、その後、前記除去工程において、前記第1の基板用基材に対して前記除去処理を行って前記ベース層および前記絶縁層を除去し、この後、前記反射膜形成工程を行い、この後、前記除去工程において前記シリコン層に対して前記除去処理を行って前記可動部および前記支持部を形成する請求項11ないし13のいずれかに記載の波長可変フィルタの製造方法。
- シリコンで構成され、可動部と該可動部を変位可能に支持する支持部とを有する第1の基板と、
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記第2の基板に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部の前記第2のギャップに対応する部位に設けられた第1の反射膜と、
前記第2の基板の前記可動部と対向する面に設けられた第2の反射膜と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備え、
前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間において反射を繰り返し、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる波長可変フィルタの製造方法であって、
主としてシリコンで構成される第1の基板用基材上の前記可動部となる部位に、前記第1の反射膜を形成する工程と、
光透過性を有する第2の基板用基材に前記第1のギャップと前記第2のギャップとを形成し、前記第2の基板を形成する工程と、
前記第2の基板の前記第2のギャップに対応する部位に前記第2の反射膜を形成する工程と、
前記第1の基板用基材と前記第2の基板とを、前記第1の基板用基材に形成された前記第1の反射膜と前記第2の基板に形成された前記第2の反射膜とが対向するように接合する接合工程と、
前記第1の基板用基材に対して除去処理を行って所定の部位を除去することにより、前記第1の反射膜に対応する部位に該第1の反射膜で覆われるように開口部を形成し、該開口部を有する前記可動部および前記支持部を形成する除去工程とを有することを特徴とする波長可変フィルタの製造方法。 - 前記第2の反射膜を形成する工程は、前記第2の基板の前記反射膜を設けない部位にマスクを形成する工程と、前記第2の基板の前記第2のギャップを有する面側に反射膜を設ける工程と、前記マスクを除去する工程とを有する請求項8ないし15のいずれかに記載の波長可変フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004158708A JP4479351B2 (ja) | 2004-05-28 | 2004-05-28 | 波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004158708A JP4479351B2 (ja) | 2004-05-28 | 2004-05-28 | 波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005338534A true JP2005338534A (ja) | 2005-12-08 |
JP4479351B2 JP4479351B2 (ja) | 2010-06-09 |
Family
ID=35492181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004158708A Expired - Fee Related JP4479351B2 (ja) | 2004-05-28 | 2004-05-28 | 波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4479351B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102193184A (zh) * | 2010-03-15 | 2011-09-21 | 精工爱普生株式会社 | 光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备 |
CN102914865A (zh) * | 2008-12-09 | 2013-02-06 | 精工爱普生株式会社 | 滤光器及具备该滤光器的光学模块 |
US11029509B2 (en) * | 2012-09-12 | 2021-06-08 | Seiko Epson Corporation | Optical module, electronic device, and driving method |
-
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EP2367044A1 (en) * | 2010-03-15 | 2011-09-21 | Seiko Epson Corporation | Optical filter, optical filter module, analytical instrument, and optical apparatus |
US9030743B2 (en) | 2010-03-15 | 2015-05-12 | Seiko Epson Corporation | Optical filter including ring-shaped electrode having a slit |
CN106094197A (zh) * | 2010-03-15 | 2016-11-09 | 精工爱普生株式会社 | 光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备 |
US9921403B2 (en) | 2010-03-15 | 2018-03-20 | Seiko Epson Corporation | Optical filter including ring-shaped electrode having a slit |
US10578859B2 (en) | 2010-03-15 | 2020-03-03 | Seiko Epson Corporation | Optical filter including ring-shaped electrode having a slit |
US11029509B2 (en) * | 2012-09-12 | 2021-06-08 | Seiko Epson Corporation | Optical module, electronic device, and driving method |
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Publication number | Publication date |
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JP4479351B2 (ja) | 2010-06-09 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A521 | Written amendment |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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