JP5583552B2 - 電磁弁及びその電磁弁を備えた蒸発燃料処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、電磁弁及びその電磁弁を備えた蒸発燃料処理装置に関する。

電磁弁の従来例（例えば特許文献１参照）について説明する。図１０は電磁弁の開弁状態を示す断面図である。
図１０に示すように、制御装置５２２により開閉制御される電磁弁５３２は、燃料タンク本体とキャニスタとを結ぶ通路５２８に設けられており、給油時に開弁される。また、駐車時に燃料タンク本体側５３２Ｄの内圧が、キャニスタ側５３２Ａの内圧に比べて所定値以上下がった場合には、電磁弁５３２の弁体５３２Ｃがスプリング５３２Ｂの付勢力に抗して開弁される。また、燃料タンク本体側５３２Ｄの内圧が、キャニスタ側５３２Ａの内圧に比べて所定値以上上がった場合には、弁体５３２Ｃ内に設けられた逃がし弁５３４の弁体５３４Ａがスプリング５３４Ｂの付勢力に抗して開弁される。したがって、電磁弁５３２は双方向リリーフ機能を備えている。

特開２００２−３１７７０７号公報

前記電磁弁５３２によると、制御装置５２２により開閉制御される弁部材が弁体５３２Ｃだけであるため、流量の制御精度が低いという問題があった。また、弁ハウジング５３６に形成された弁座５３６Ａに対して、弁体５３２Ｃをスプリング５３２Ｂの付勢力により押圧することで、弁座５３６Ａと弁体５３２Ｃとの間をシールしている。また、弁体５３２Ｃに形成された弁座５３８に対して、逃がし弁５３４をスプリング５３４Ｂの付勢力により押圧することで、弁座５３８と逃がし弁５３４との間をシールしている。しかし、各弁座５３６Ａ、５３８と、弁体５３２Ｃ及び逃がし弁５３４との間の当接面の平面度を精度良く形成することは困難であり、両者（５３６Ａと５３２Ｃ、５３８と５３４との間）間のシール性が低いという問題があった。

本発明が解決しようとする課題は、双方向リリーフ機能を備えながらも、流量の制御精度を向上するとともに、弁部材と弁座との間のシール性を向上することのできる電磁弁及びその電磁弁を備えた蒸発燃料処理装置を提供することにある。

第１の発明は、相互に連通する第１通路部と第２通路部を有する流体通路を形成する弁ハウジングと、流体通路を開閉しかつ第１付勢手段の付勢力により第１通路部から第２通路部への流体の流れ方向に沿う方向を閉方向として付勢された第１弁部材と、流体通路を開閉しかつ第２付勢手段の付勢力により第１弁部材の閉方向と同じ方向を閉方向として付勢された第２弁部材と、第１弁部材及び第２弁部材を段階的に開く作動部材を有する電磁駆動部と、流体通路を開閉しかつ第３付勢手段の付勢力により第１弁部材の閉方向と逆方向を閉方向として付勢された第３弁部材とを備え、第１通路部の内圧が第２通路部の内圧に比べて所定値以上大きくなった場合には、第３弁部材が第３付勢手段の付勢力に抗して開弁される構成とし、第１通路部の内圧が第２通路部の内圧に比べて所定値以上小さくなった場合には、第１弁部材及び第２弁部材の少なくとも一方の弁部材が当該付勢手段の付勢力に抗して開弁する構成とし、第１弁部材、第２弁部材及び第３弁部材のうちの少なくとも１つの弁部材と該弁部材が着座及び離座可能な弁座との間に、その弁部材の閉弁時において両者間を弾性的にシールするシール部材を設け、前記シール部材と、そのシール部材に対応する弁部材を付勢する付勢手段とを軸方向に対応する位置関係をもって配置したものである。
このように構成すると、第１通路部の内圧が第２通路部の内圧に比べて所定値以上大きくなった場合には、第３弁部材が第３付勢手段の付勢力に抗して開弁することによって、第１通路部の内圧と第２通路部の内圧との差圧を所定値以下に制御することができる。また、第１通路部の内圧が第２通路部の内圧に比べて所定値以上小さくなった場合には、第１弁部材及び第２弁部材の少なくとも一方の弁部材が当該付勢手段の付勢力に抗して開弁することによって、第１通路部の内圧と第２通路部の内圧との差圧を所定値以下に制御することができる。したがって、双方向リリーフ機能を備えることができる。
また、第１弁部材及び第２弁部材が電磁駆動部の作動部材によって段階的に開かれるものであるから、従来例の電磁弁（特許文献１参照）と比べて、流量の制御精度を向上することができる。
また、第１弁部材、第２弁部材及び第３弁部材のうちの少なくとも１つの弁部材と該弁部材が着座及び離座可能な弁座との間に、その弁部材の閉弁時において両者間を弾性的にシールするシール部材を設け、シール部材と、そのシール部材に対応する弁部材を付勢する付勢手段とを軸方向に対応する位置関係をもって配置したものであるから、弁部材と弁座との間のシール部材によるシール部位に対して、軸方向に対応する位置関係をもって付勢手段の付勢力を作用させることにより、弁部材と弁座との間のシール性を向上することができる。このことは、高気密性が要求される電磁弁として有効である。

第２の発明は、第１の発明において、シール部材が接離される弁部材又は弁座の当接部を、樹脂成形により該シール部材の接離方向に薄肉板状に形成したものである。このように構成すると、シール部材が接離される弁部材又は弁座の当接部の樹脂成形による成形収縮変形量を小さくし、ヒケの発生を防止することができる。これにより、シール部材が当接する当接部の当接面の平面度が向上されるため、シール部材と当接部との間のシール性を向上することができる。

第３の発明は、第１又は第２の発明において、弁部材又は弁座の当接部が接離される内環側シール部材及び外環側シール部材が二重環状に一体形成されたシール体を備えたものである。このように構成すると、内環側シール部材及び外環側シール部材が二重環状に一体形成されたシール体を備えることで、両シール部材の同軸度が向上されるため、両シール部材と当接部との間のシール性を向上することができる。なお、両シール部材が当接する当接部は、一部材でもよいし、二部材でもよい。

第４の発明は、第３の発明において、シール体が装着された弁部材を付勢する付勢手段は、その付勢力が内環側シール部材と外環側シール部材との間の中間部に作用するように配置されている。このように構成すると、シール体の両シール部材に作用する付勢手段の付勢力が均等化されるため、両シール部材と当接部との間のシール性を向上することができる。

第５の発明は、第３又は４の発明において、弁ハウジングに、第３弁部材が着座及び離座可能な円環状の第３弁座が形成され、第３弁部材に、第２弁部材に形成された第２弁部が着座及び離座可能な円環状の第２弁座と、第３弁座に着座及び離座可能な第３弁部とが共通の板状部に形成され、第３弁部材の板状部にシール体を設け、シール体の内環側シール部材を第２弁部材の第２弁部が接離される第２シール部材とするとともに、該シール体の外環側シール部材を第３弁座に接離される第３シール部材としたものである。このように構成すると、第３弁部材の板状部に設けたシール体の内環側シール部材を第２シール部材とするとともに、そのシール体の外環側シール部材を第３シール部材とすることで、第２シール部材と第２弁部材の第２弁部との間のシール性を向上するとともに、第３シール部材と弁ハウジングの第３弁座との間のシール性を向上することができる。

第６の発明は、第５の発明において、前記第２弁部材を付勢する第２付勢手段と前記第３弁部材を付勢する付勢手段とは、互いの付勢力が対向方向にかつその対向方向に交差する方向に隣接した部位に作用するように配置されている。このように構成すると、第２付勢手段の付勢力と第３付勢手段の付勢力とを互い対向方向にかつその対向方向に交差する方向に隣接した部位に作用させることができるので、シール体の第２シール部材に対する付勢力を増大し、第２シール部材と第２弁部材との間のシール性を向上することができる。

第７の発明は、第１〜６のいずれかの発明の電磁弁と、燃料タンクとキャニスタとを連通しかつ電磁弁が介装される蒸発燃料通路とを備え、電磁弁の第１通路部が蒸発燃料通路の燃料タンク側に接続されているとともに該電磁弁の第２通路部がキャニスタ側に接続されている。したがって、双方向リリーフ機能を備えながらも、流量の制御精度を向上するとともに、弁部材と弁座との間のシール性を向上することのできる電磁弁を備えた蒸発燃料処理装置を提供することができる。また、蒸発燃料をパージする際に蒸発燃料通路を流れる蒸発燃料の流量を電磁弁により精度良く制御することによって、空燃比（Ａ／Ｆ）の乱れを抑えることができる。

実施形態にかかる蒸発燃料処理装置を示す構成図である。 流量制御弁を示す断面図である。 弁機構部を示す断面図である。 図３のIV−IV線矢視断面図である。 第１弁部材の開弁状態を示す断面図である。 第２弁部材の開弁状態を示す断面図である。 第１通路部の内圧と第２通路部の内圧との差圧による第３弁部材の開弁状態を示す断面図である。 第１通路部の内圧と第２通路部の内圧との差圧による第２弁部材の開弁状態を示す断面図である。 弁機構部の要部を示す断面図である。 従来例にかかる電磁弁の要部を示す断面図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を用いて説明する。説明の都合上、エンジン（内燃機関）の蒸発燃料処理装置の概要を説明した後、蒸発燃料処理装置に備えられた電磁弁としての流量制御弁について説明する。図１は蒸発燃料処理装置を示す構成図である。
図１に示すように、蒸発燃料処理装置１２は、自動車等の車両のエンジンシステム１０に備えられている。エンジンシステム１０は、エンジン１４と、エンジン１４に供給される燃料を貯留する燃料タンク１５とを備えている。燃料タンク１５には、インレットパイプ１６が設けられている。インレットパイプ１６は、その上端部の給油口から燃料を燃料タンク１５内に導入するパイプである。インレットパイプ１６の給油口には、タンクキャップ１７が着脱可能に取付けられている。また、インレットパイプ１６の上端部内と燃料タンク１５内の気層部とは、ブリーザパイプ１８を介して連通されている。

前記燃料タンク１５内には燃料供給装置１９が設けられている。燃料供給装置１９は、燃料タンク１５内の燃料を吸入しかつ加圧して吐出する燃料ポンプ２０、燃料の液面を検出するセンダゲージ２１、大気圧に対する相対圧としてのタンク内圧を検出するタンク内圧センサ２２等を備えている。燃料ポンプ２０により燃料タンク１５内から汲み上げられた燃料は、燃料供給通路２４を介してエンジン１４のデリバリパイプ２６に供給された後、インジェクタ（燃料噴射弁）２５から吸気通路２７内に噴射される。吸気通路２７には、エアクリーナ２８、エアフロメータ２９、スロットルバルブ３０等が設けられている。

前記蒸発燃料処理装置１２は、蒸発燃料通路３１とパージ通路３２とキャニスタ３４とを備えている。蒸発燃料通路３１の一端部（上流側端部）は、前記燃料タンク１５内の気層部と連通されている。蒸発燃料通路３１の他端部（下流側端部）は、キャニスタ３４内と連通されている。また、パージ通路３２の一端部（上流側端部）は、キャニスタ３４内と連通されている。パージ通路３２の他端部（下流側端部）は、前記吸気通路２７におけるスロットルバルブ３０よりも下流側の通路部と連通されている。また、キャニスタ３４内には、吸着材としての活性炭（図示省略）が装填されている。燃料タンク１５内の蒸発燃料は、蒸発燃料通路３１を介してキャニスタ３４内の吸着材（活性炭）に吸着される。また、燃料タンク１５内の気層部において、蒸発燃料通路３１の上流側端部には、フューエルカットオフバルブ３５及びＯＲＶＲ差圧弁（On Board Refueling Vapor Recovery valve）３６が設けられている。

前記蒸発燃料通路３１の途中には流量制御弁３８が介装されている。また、前記パージ通路３２の途中にはパージ制御弁４０が介装されている。また、前記キャニスタ３４には、切替弁４１を介して大気通路４２が連通されている。大気通路４２の他端部は、大気に開放されている。また、大気通路４２の途中にはエアフィルタ４３が設けられている。また、流量制御弁３８、パージ制御弁４０及び切替弁４１は、エンジン制御装置（以下、「ＥＣＵ」という）４５から出力される駆動信号により開閉制御される電磁弁からなる。また、蒸発燃料通路３１は上流側（燃料タンク１５側）の通路部３１ａと下流側（キャニスタ３４側）の通路部３１ｂとに二分されており、通路部３１ａ、３１ｂの間に流量制御弁３８が介装されている。なお、流量制御弁３８については後で詳しく説明する。

前記ＥＣＵ４５には、前記したタンク内圧センサ２２、流量制御弁３８、パージ制御弁４０及び切替弁４１の他、リッドスイッチ４６、リッドオープナー４７、表示装置４９等が接続されている。また、リッドオープナー４７には、給油口を覆うリッド４８を手動で開閉するリッド手動開閉装置（図示省略）が連結されている。リッドオープナー４７は、リッド４８のロック機構で、ＥＣＵ４５からリッド開信号が供給された場合、又は、リッド手動開閉装置に開動作が施された場合に、リッド４８のロックを解除する。また、リッドスイッチ４６は、ＥＣＵ４５に対してリッド４８のロックを解除するための信号を出力する。なお、ＥＣＵ４５は本明細書でいう「制御手段」に相当する。

次に、前記蒸発燃料処理装置１２の基本的動作について説明する。
（１）車両の駐車中
車両の駐車中は、流量制御弁３８が閉弁状態に維持される。したがって、燃料タンク１５の蒸発燃料がキャニスタ３４内に流入されることがない。また、キャニスタ３４内の空気が燃料タンク１５内に流入されることもない。このとき、パージ制御弁４０及び切替弁４１も閉弁状態に維持される。

（２）車両の走行中
車両の走行中において、ＥＣＵ４５は、所定のパージ条件が成立する場合に、キャニスタ３４に吸着されている蒸発燃料をパージさせる制御を実行する。この制御では、切替弁４１を開弁状態としてキャニスタ３４を大気通路４２を介して大気に連通させたまま、パージ制御弁４０が開閉制御される。パージ制御弁４０が開弁されると、エンジン１４の吸気負圧がパージ通路３２を介してキャニスタ３４内に作用する。その結果、キャニスタ３４内の蒸発燃料が、大気通路４２から吸入される空気とともに吸気通路２７に導入されることによりエンジン１４で燃焼される。また、ＥＣＵ４５は、蒸発燃料のパージ中に限り、流量制御弁３８を開弁状態とする。これにより、燃料タンク１５のタンク内圧が大気圧近傍値に維持される。

（３）給油中
車両の停車中において、リッドスイッチ４６が操作されると、ＥＣＵ４５が流量制御弁３８を開弁状態とする。この際、燃料タンク１５のタンク内圧が大気圧より高圧であれば、流量制御弁３８が開弁すると同時に、燃料タンク１５内の蒸発燃料が、蒸発燃料通路３１を通ってキャニスタ３４内の吸着材に吸着される。これにより、蒸発燃料が大気に放出されることが防止される。これにともない、燃料タンク１５のタンク内圧は大気圧近傍値に低下する。また、燃料タンク１５のタンク内圧が大気圧近傍値にまで低下すると、ＥＣＵ４５は、リッド４８のロックを解除する信号をリッドオープナー４７に出力する。その信号を受けたリッドオープナー４７がリッド４８のロックを解除することにより、リッド４８の開動作が可能となる。そして、リッド４８が開けられ、タンクキャップ１７が開けられた状態で、燃料タンク１５への給油が開始される。なお、燃料タンク１５のタンク内圧が大気圧近傍値に低下されてからタンクキャップ１７が開けられるため、蒸発燃料が給油口から大気に放出されることが防止される。また、ＥＣＵ４５は、給油の終了（具体的にはリッド４８が閉じられる）まで、流量制御弁３８を開弁状態に維持する。このため、給油の際に、燃料タンク１５内の蒸発燃料が蒸発燃料通路３１を通ってキャニスタ３４内の吸着材に吸着される。

次に、前記流量制御弁３８について説明する。図２は流量制御弁を示す断面図、図３は弁機構部を示す断面図、図４は図３のIV−IV線矢視断面図、図５は第１弁部材の開弁状態を示す断面図、図６は第２弁部材の開弁状態を示す断面図、図７は第１通路部の内圧と第２通路部の内圧との差圧による第３弁部材の開弁状態を示す断面図、図８は同じく第２弁部材の開弁状態を示す断面図、図９は弁機構部の要部を示す断面図である。なお、本明細書では、図２の断面図を基準として流量制御弁３８の左右上下の各方向を定めることにする。
図２に示すように、流量制御弁３８は、弁機構部５１と、弁機構部５１を駆動するステップモータ５３とを備えている。説明の都合上、ステップモータ５３を説明した後、弁機構部５１を説明する。

前記ステップモータ５３は、ステッパモータ、ステッピングモータ等とも呼ばれるもので、下面開口状のモータハウジング５４を備えている。モータハウジング５４の下面開口部は、有天円筒状の連結ハウジング５５によって閉鎖されている。モータハウジング５４と連結ハウジング５５とは同心状に結合されている。モータハウジング５４内には、ボビン５７に励磁コイル５８を巻装してなるステータ５９が設けられている。ステータ５９内で回転する中空円筒状のロータ６１は、モータハウジング５４内において所定の高さ位置において垂直軸回りに回転可能に支持されている。ロータ６１の外周部には永久磁石が配置されている。また、ロータ６１の上部内には、ナット部材６２が同心状に一体化されている。ナット部材６２の上端部は、モータハウジング５４に対して軸受６３を介して回転可能に支持されている。また、連結ハウジング５５の上壁部５５ａ上には、筒状の軸受台６４が同心状に固定されている。軸受台６４の上部には、ロータ６１の下端部が軸受６５を介して回転可能に支持されている。

前記ナット部材６２のめねじ孔（符号省略）内には、作動軸６７の上部のおねじ（符号省略）が螺合されている。作動軸６７は、前記ステップモータ５３の出力軸に相当する。また、作動軸６７の下部は、前記軸受台６４内に対して軸回り方向に回り止めされた状態で、軸方向すなわち上下方向に移動可能に支持されている。したがって、ロータ６１の正逆回転によって作動軸６７が上下方向に往復移動される。また、作動軸６７の下端部は、前記連結ハウジング５５の上壁部５５ａを貫通している。作動軸６７の下端部には、円板状の作動板６８が同心状に形成されている。また、ステップモータ５３は、前記ＥＣＵ４５（図１参照）によって駆動制御されるようになっている。なお、ステップモータ５３は、本明細書でいう「電磁駆動部」に相当する。また、作動板６８は、本明細書でいう「作動部材」に相当する。

次に、弁機構部５１について説明する。図３に示すように、弁機構部５１は弁ハウジング７０を備えている。弁ハウジング７０は、前記連結ハウジング５５の周壁部５５ｂの下端部に同心状に結合されている。弁ハウジング７０は、内筒部７１と外筒部７２と上側の環状壁部７３と下側の環状壁部７４と第１接続管部７５と第２接続管部７６とを有している。内筒部７１と外筒部７２とは、連結ハウジング５５と同心状でかつ内外二重円筒状をなしている（図４参照）。また、上側の環状壁部７３は、内筒部７１と外筒部７２との間の環状空間部の上端面を閉鎖している。また、下側の環状壁部７４は、内筒部７１と外筒部７２との間の環状空間部の下端面を閉鎖している。また、第１接続管部７５は、外筒部７２の右側部に接続されている。また、第２接続管部７６は、外筒部７２の左側部に接続されている。また、下側の環状壁部７４の下面には、蓋板７８の外周端部が結合されている。蓋板７８は、内筒部７１の下面開口部を閉鎖している。また、内筒部７１の内部空間８１と前記連結ハウジング５５の内部空間８０とにより弁室８２が形成されている。

図４に示すように、前記内筒部７１と前記外筒部７２との間の環状空間部は、両者（７１、７２）間に架設された前側の区画壁８３ａと後側の区画壁８３ｂにより、左側の空間部８４と右側の空間部８５とに二分されている。また、前記第１接続管部７５内は、右側の空間部８５と連通する第１通路部８７となっている。また、前記第２接続管部７６内は、左側の空間部８４と連通する第２通路部８８となっている。また、図３に示すように、内筒部７１の左側部の下端部には、左右方向に貫通しかつ第１通路部８７と内筒部７１の内部空間８１とを連通する第１開口孔９０が形成されている。また、前記上側の環状壁部７３の左側部には、上下方向に貫通しかつ前記連結ハウジング５５の内部空間８０と第２空間部８４とを連通する第２開口孔９２が形成されている。また、前記した第１通路部８７、第１空間部８５、第１開口孔９０、弁室８２、第２開口孔９２、第２空間部８４、及び、第２通路部８８は、一連状の流体通路９４を構成している。なお、説明の都合上、内部空間８１を「弁ハウジング７０の内部空間８１」という。また、右側の空間部８５を「第１空間部８５」という。また、左側の空間部８４を「第２空間部８４」という。

図３に示すように、前記弁室８２内には、３つの弁部材すなわち第１弁部材９６、第２弁部材９７及び第３弁部材９８が配置されている。以下、説明の都合上、第３弁部材９８、第２弁部材９７、第１弁部材９６の順に説明する。
第３弁部材９８から説明する。第３弁部材９８は、円環板状に形成されている。第３弁部材９８の外周部は、前記弁ハウジング７０の第３弁座１００（後述する）に対応する第３弁部９８ａになっている。また、第３弁部材９８の内周部は、第２弁部材９７の第２弁部９７ａ（後述する）に対応する第２弁座９８ｂになっている。すなわち、第３弁部９８ａと第２弁座９８ｂとが共通の板状部（「弁板部」という）に形成されている。また、第３弁部材９８の弁板部の外周縁の上面には、円筒状の周壁部９８ｃが同心状に一体形成されている。

前記第３弁部材９８は、前記連結ハウジング５５の周壁部５５ｂ内に所定の隙間を介して遊嵌状に配置されている。第３弁部材９８の周壁部９８ｃと連結ハウジング５５の周壁部５５ｂとの間の環状隙間は、第３流通路１０５になっている。第３流通路１０５は、連結ハウジング５５の内部空間８０を上下方向（軸方向）に連通する流通路に相当する。

前記弁ハウジング７０の上側の環状壁部７３の内周部には、径方向内方へ突出する第３弁座１００が一体形成されている。第３弁座１００は、上側の環状壁部７３に連続する円環板状に形成されている。また、第３弁座１００には、前記第３弁部材９８の第３弁部９８ａが着座及び離座可能となっている。また、第３弁部材９８の開弁時すなわち第３弁座１００に対する第３弁部９８ａの離座時において、第３弁座１００と第３弁部９８ａとの間における第３連通路１０１が開かれる（図７参照）。すなわち、第３連通路１０１は、第３弁座１００と第３弁部９８ａとの間を径方向に連通する連通路で、第３弁部材９８によって開閉される。また、第３弁部材９８の開弁時において、前記第２弁部材９７は、図示しないストッパ手段によって図７に示す位置より上方への移動が規制されるようになっているものとする。

図３に示すように、前記第３弁部材９８と前記連結ハウジング５５の上壁部５５ａとの軸方向（上下方向）の対向面間には、コイルスプリングからなる第３スプリング１０３が介装されている。第３スプリング１０３は、第３弁部材９８を常に下方すなわち閉弁方向に付勢している。なお、第３スプリング１０３は本明細書でいう「第３付勢手段」に相当する。

前記第２弁部材９７を説明する。第２弁部材９７は、前記第３弁部材９８よりも小径の円環板状に形成されている。第２弁部材９７の外周部は、前記第３弁部材９８の第２弁座９８ｂに対応する第２弁部９７ａになっている。また、第２弁部材９７の内周部は、第１弁部材９７の第１弁部９６ａ（後述する）に対応する第１弁座９７ｂになっている。すなわち、第２弁部９７ａと第１弁座９７ｂとが共通の板状部（「弁板部」という）に形成されている。また、第２弁部材９７の弁板部の内周縁の上面には、中空状の連動軸部９７ｃが同心状に一体形成されている。また、第２弁部材９７の弁板部の外周縁の下面には、円筒状の周壁部９７ｄが同心状に一体形成されている。また、第２弁部材９７の下面には、周壁部９７ｄ内に対して二重筒状をなす筒状壁部９７ｅが同心状に一体形成されている。

前記第２弁部材９７は、前記弁ハウジング７０の第３弁座１００の中空部内に対して所定の隙間を介して遊嵌状に配置されている。第２弁部材９７の第２弁部９７ａは、前記第３弁部材９８の第２弁座９８ｂに対して着座及び離座可能となっている。また、第２弁部材９７の連動軸部９７ｃは、前記第３弁部材９８の中空部内の中央部に配置されている。また、第２弁部材９７の周壁部９７ｄと弁ハウジング７０の第３弁座１００との間の環状隙間は、第２流通路１０９になっている。第２流通路１０９は、弁ハウジング７０の内部空間８１を上下方向（軸方向）に連通する流通路に相当する。

前記第２弁部材９７の開弁時すなわち前記第３弁部材９８の第２弁座９８ｂに対する第２弁部９７ａの離座時において、第２弁座９８ｂと第２弁部９７ａとの間における第２連通路１１０が開かれる（図６参照）。すなわち、第２連通路１１０は、第２弁座９８ｂと第２弁部９７ａとの間を径方向に連通する連通路で、第２弁部材９７によって開閉される。また、第２弁部材９７の開弁時において、第２弁部材９７の弁板部は、第３弁座１００よりも下方へ移動する。したがって、前記弁ハウジング７０の内部空間８１と前記連結ハウジング５５の内部空間８０とが第２連通路１１０を介して連通される。

図３に示すように、前記第２弁部材９７と前記蓋板７８との軸方向（上下方向）の対向面間には、コイルスプリングからなる第２スプリング１１２が介装されている。第２スプリング１１２は、常に第２弁部材９７を常に上方すなわち閉弁方向に付勢している。第２スプリング１１２の上端部は、第２弁部材９７の周壁部９７ｄと筒状壁部９７ｅとの間の環状空間部に嵌合されている。なお、第２スプリング１１２は本明細書でいう「第２付勢手段」に相当する。

前記第１弁部材９６を説明する。第１弁部材９６は、前記第２弁部材９７よりも小径の円板状に形成されている。第１弁部材９６の外周部は、前記第２弁部材９７の第１弁座９７ｂに対応する第１弁部９６ａになっている。第１弁部９６ａを含む板状部を、「弁板部」という。また、第１弁部材９６の弁板部の中央部の上面には、中実状の連動軸部９６ｂが同心状に一体形成されている。また、第１弁部材９６の弁板部の外周縁の下面には、円筒状の周壁部９６ｃが同心状に一体形成されている。

前記第１弁部材９６は、前記第２弁部材９７の下側部に配置されている。第１弁部材９６の第１弁部９６ａは、前記第２弁部材９７の第１弁座９７ｂに対して着座及び離座可能となっている。また、第１弁部材９６の連動軸部９６ｂは、前記第２弁部材９７の連動軸部９７ｃ内に所定の隙間を介して遊嵌状に配置されている。両連動軸部９６ｂ、９７ｃの相互間の環状隙間は、第１流通路（「上側の第１流通路」という）１１４になっている。上側の第１流通路１１４は、両連動軸部９６ｂ、９７ｃの相互間を上下方向（軸方向）に連通する流通路に相当する。また、第１弁部材９６の周壁部９６ｃは、前記第２弁部材９７の筒状壁部９７ｅ内に対して所定の隙間を介して遊嵌状に配置されている。周壁部９６ｃと筒状壁部９７ｅとの間の環状隙間は、第１流通路（「下側の第１流通路」という）１１５になっている。下側の第１流通路１１５は、周壁部９６ｃと筒状壁部９７ｅとの間を上下方向（軸方向）に連通する流通路に相当する。

前記第１弁部材９６の開弁時すなわち前記第２弁部材９７の第１弁座９７ｂに対する第１弁部９６ａの離座時において、第１弁座９７ｂと第１弁部９６ａとの間における第１連通路１１６が開かれる（図５参照）。すなわち、第１連通路１１６は、第１弁座９７ｂと第１弁部９６ａとの間を径方向に連通する連通路で、第１弁部材９６によって開閉される。また、第１連通路１１６は、前記下側の第１流通路１１５を介して弁ハウジング７０の内部空間８１に連通されるとともに、前記上側の第１流通路１１４を介して前記連結ハウジング５５の内部空間８０に連通される。これにより、弁ハウジング７０の内部空間８１と前記連結ハウジング５５の内部空間８０とが連通される。

図３に示すように、前記第１弁部材９６の第１弁部９６ａと前記蓋板７８との軸方向（上下方向）の対向面間には、コイルスプリングからなる第１スプリング１１８が介装されている。第１スプリング１１８は、常に第１弁部材９６を上方すなわち閉弁方向に付勢している。また、第１スプリング１１８は、前記第２スプリング１１２に対して二重環状をなすように配置されている（図４参照）。なお、第１スプリング１１８は本明細書でいう「第１付勢手段」に相当する。

図３に示すように、前記第１弁部材９６及び前記第２弁部材９７の閉弁時において、第１弁部材９６の連動軸部９６ｂの上端部が第２弁部材９７の連動軸部９７ｃの上端面から上方へ突出するように設定されている。したがって、前記ステップモータ５３（図２参照）の作動板６８に対する第１弁部材９６の連動軸部９６ｂの間隔は、同じく第２弁部材９７の連動軸部９７ｃの間隔よりも小さくなっている。なお、作動板６８は、第２弁部材９７の連動軸部９７ｃの外径よりも大きくかつ前記第３弁部材９８の内径よりも小さい外径で形成されている。

前記第１弁部材９６の第１弁部９６ａの上面には、ゴム状弾性体からなる円環状の第１シール部材１２０が同心状にかつ接着等により装着されている。第１シール部材１２０は、断面四角形状に形成されている。また、第１シール部材１２０は、前記第２弁部材９７の第１弁座９７ｂに対応している。したがって、第１弁部材９６の閉弁時において、第２弁部材９７の第１弁座９７ｂと第１弁部材９６の第１弁部９６ａとの間が第１シール部材１２０を介して弾性的にシールされる。また、第１弁部材９６の開弁時において、第１シール部材１２０は、第２弁部材９７の第１弁座９７ｂから離れる（図５参照）。

前記第１シール部材１２０と前記第１スプリング１１８とは、軸方向すなわち上下方向に対応する位置関係をもって配置されている（図９参照）。すなわち、第１シール部材１２０の中心径と第１スプリング１１８のコイル径（コイル部の中心径）とが、同等又は近似する大きさに設定されている。なお、第１シール部材１２０は、第１弁部９６ａに代えて第１弁座９７ｂに装着することもできる。

前記第３弁部材９８の下面には、ゴム状弾性体からなる円環状のシール体１２２が同心状にかつ接着等により装着されている。シール体１２２は、円環板状の基板部１２２ａと、その基板部１２２ａの下面側に二重環状に突出された内環側シール突起１２２ｂと外環側シール突起１２２ｃとを有している。基板部１２２ａは、断面横長四角形状に形成されている。また、両シール突起１２２ｂ、１２２ｃは断面半円状に形成されている。また、内環側シール突起１２２ｂは、前記第２弁部材９７の第２弁部９７ａに対応している。また、外環側シール突起１２２ｃは、前記弁ハウジング７０の第３弁座１００に対応している。なお、第３弁部材９８は、シール体１２２が装着された弁部材に相当する。

前記第２弁部材９７の閉弁時において、第３弁部材９８の第２弁座９８ｂと第２弁部材９７の第２弁部９７ａとの間が内環側シール突起１２２ｂを介して弾性的にシールされる。また、第２弁部材９７の開弁時において、第２弁部材９７の第２弁部９７ａは、内環側シール突起１２２ｂから離れる（図６参照）。なお、内環側シール突起１２２ｂは本明細書でいう「内環側シール部材」、「第２シール部材」に相当する。

前記第３弁部材９８の閉弁時において、弁ハウジング７０の第３弁座１００と第３弁部材９８の第３弁部９８ａとの間が外環側シール突起１２２ｃを介して弾性的にシールされる（図９参照）。また、第３弁部材９８の開弁時において、外環側シール突起１２２ｃは、弁ハウジング７０の第３弁座１００から離れる（図７参照）。なお、外環側シール突起１２２ｃは本明細書でいう「外環側シール部材」、「第３シール部材」に相当する。

前記内環側シール突起１２２ｂと前記第２スプリング１１２とは、軸方向すなわち上下方向に対応する位置関係をもって配置されている（図９参照）。すなわち、内環側シール突起１２２ｂの中心径と第２スプリング１１２のコイル径（コイル部の中心径）とが、同等又は近似する大きさに設定されている。

前記外環側シール突起１２２ｃと前記第３スプリング１０３とは、軸方向すなわち上下方向に対応する位置関係をもって配置されている（図９参照）。さらに、第３スプリング１０３は、その付勢力が前記シール体１２２の内環側シール突起１２２ｂと外環側シール突起１２２ｃとの間の中間部に作用するように配置されている。すなわち、内環側シール突起１２２ｂの中心径と外環側シール突起１２２ｃの中心径との間の中間径と、第３スプリング１０３のコイル径（コイル部の中心径）とが、同等又は近似する大きさに設定されている。これにともない、前記第２弁部材９７を付勢する前記第２スプリング１１２と前記第３弁部材９８を付勢する第３スプリング１０３とは、互いの付勢力が対向方向にかつその対向方向に交差する方向（コイル径方向）に隣接した部位に作用するように配置されている。

前記した弁ハウジング７０、第１弁部材９６、第２弁部材９７及び第３弁部材９８は、それぞれ樹脂成形により形成された樹脂成形品からなる。また、図９に示すように、第２弁部材９７の第２弁部９７ａ及び第１弁座９７ｂを含む弁板部が薄肉板状に形成されている。すなわち、第２弁部材９７の弁板部は、内環側シール突起１２２ｂ及び第１シール部材１２０の接離方向（軸方向、上下方向）に薄肉板状に形成されている。なお、第２弁部９７ａは、前記シール体１２２の内環側シール突起１２２ｂが接離される当接部に相当する。また、第１弁座９７ｂは、前記第１シール部材１２０が接離される当接部に相当する。また、内環側シール突起１２２ｂ及び第１シール部材１２０の接離方向は、第２弁部材９７の開閉方向に相当する。

また、前記弁ハウジング７０の第３弁座１００が薄肉板状に形成されている。すなわち、第３弁座１００は、外環側シール突起１２２ｃの接離方向（軸方向、上下方向）に薄肉板状に形成されている。なお、第３弁座１００は、前記シール体１２２の外環側シール突起１２２ｃが接離される当接部に相当する。また、外環側シール突起１２２ｃの接離方向は、第３弁部材９８の開閉方向に相当する。

本実施形態では、前記第１弁部材９６の第１弁部９６ａを含む弁板部が薄肉板状に形成されている。すなわち、第１弁部材９６の弁板部は、第１弁部材９６の開閉方向（軸方向、上下方向）に薄肉板状に形成されている。なお、第１弁部９６ａは、前記第１シール部材１２０が装着される装着部に相当する。

また、前記第３弁部材９８の第３弁部９８ａ及び第２弁座９８ｂを含む弁板部が薄肉板状に形成されている。すなわち、第３弁部材９８の弁板部は、第３弁部材９８の開閉方向（軸方向、上下方向）に薄肉板状に形成されている。なお、第３弁部９８ａ及び第２弁座９８ｂは、前記シール体１２２が装着される装着部に相当する。

前記流量制御弁３８は、前記蒸発燃料処理装置１２における蒸発燃料通路３１における上流側（燃料タンク１５側）の通路部３１ａの下流側端部と下流側（キャニスタ３４側）の通路部３１ｂとの間に介装される（図１参照）。すなわち、上流側の通路部３１ａの下流側端部が前記弁ハウジング７０の第１通路部８７に連通され、また、下流側（キャニスタ３４側）の通路部３１ｂの上流側端部が弁ハウジング７０の第２通路部８８に連通される。なお、弁ハウジング７０は車体側の固定側部材（図示省略）にボルト等によって取付けられる。

次に、前記流量制御弁３８の動作について説明する。
（１）全弁部材９６、９７、９８の閉弁状態
車両の駐車中にあっては、流量制御弁３８の弁機構部５１における第１弁部材９６、第２弁部材９７及び第３弁部材９８が閉弁状態に維持される（図２及び図３参照）。すなわち、第１弁部材９６は、第１スプリング１１８の付勢力により閉弁状態に維持される。また、第２弁部材９７は、第２スプリング１１２の付勢力により閉弁状態に維持される。また、第３弁部材９８は、第３スプリング１０３の付勢力により第１弁部材９６の閉方向と逆方向を閉方向として閉弁状態に維持される。また、ステップモータ５３の作動軸６７は、後退位置（上昇位置）にあり、作動軸６７の作動板６８が、第１弁部材９６の連動軸部９６ｂ及び第２弁部材９７の連動軸部９７ｃから離れた位置にある。したがって、蒸発燃料処理装置１２（図１参照）において、燃料タンク１５内の蒸発燃料が蒸発燃料通路３１を介してキャニスタ３４内に流入されることがなく、また逆に、キャニスタ３４内の空気が蒸発燃料通路３１を介して燃料タンク１５内に流入されることもない。なお、全弁部材９６、９７、９８の閉弁時において、第１通路部８７の内圧（燃料タンク１５側の圧力）Ｐ１が第２通路部８８の内圧（キャニスタ３４側の圧力）Ｐ２に比して所定値以上大きくなったり、あるいは、所定値以上小さくなったりした場合における流量制御弁３８のリリーフ機能については後で説明する。

（２）第１弁部材９６の開弁状態（他の弁部材９７、９８は閉弁状態）
車両の走行中において、蒸発燃料通路３１（図１参照）を介して燃料タンク１５側からキャニスタ３４側へ小流量の蒸発燃料を流すときは、ＥＣＵ４５から流量制御弁３８のステップモータ５３に第１段目の開弁信号が入力され、ロータ６１が開弁方向に回転される。すると、作動軸６７が後退位置（上昇位置）から第１段目の進出位置（下動位置）に移動される（図５参照）。これにともない、作動軸６７の作動板６８が、第１弁部材９６の連動軸部９６ｂに当接して該第１弁部材９６を第１スプリング１１８の付勢に抗して押下げる。これにより、第１弁部材９６が開弁されることで、弁ハウジング７０の内部空間８１と連結ハウジング５５の内部空間８０とが連通される。詳しくは、第１連通路１１６が開かれることで、弁ハウジング７０の内部空間８１に連通する下側の第１流通路１１５と、連結ハウジング５５の内部空間８０に連通する上側の第１流通路１１４とが連通されることになる。このとき、作動軸６７の作動板６８は、第２弁部材９７の連動軸部９７ｃに対して所定の隙間を隔てて離れている。また、連結ハウジング５５の内部空間８０は、常に、第３流通路１０５、第２開口孔９２及び第２空間部８４を介して第２通路部８８に連通している。

したがって、弁ハウジング７０の第１通路部８７からの蒸発燃料は、第１空間部８５、第１開口孔９０、弁ハウジング７０の内部空間８１、下側の第１流通路１１５、第１連通路１１６、上側の第１流通路１１４、作動板６８と第２弁部材９７の連動軸部９７ｃとの間の隙間、連結ハウジング５５の内部空間８０、第３流通路１０５、第２開口孔９２、第２空間部８４を通って、第２通路部８８へ流れる（図５中、矢印参照）。このときの蒸発燃料の流量は、第１弁部材９６と第２弁部材９７との間に形成される一連状の通路における最小の通路断面積に応じた流量となる。

（３）第１弁部材９６及び第２弁部材９７の開弁状態（第３弁部材９８は閉弁状態）
車両の走行中又は給油中において、蒸発燃料通路３１（図１参照）を介して燃料タンク１５側からキャニスタ３４側へ大流量の蒸発燃料を流すときは、前記（１）項に続いて、ＥＣＵ４５から流量制御弁３８のステップモータ５３に第２段目の開弁信号が入力され、ロータ６１が開弁方向に回転される。すると、作動軸６７が第１段目の進出位置からその下側の第２段目の進出位置（下動位置）に移動される（図６参照）。これにともない、作動軸６７の作動板６８が、第１弁部材９６の連動軸部９６ｂに当接したまま、第２弁部材９７の連動軸部９７ｃに当接して両弁部材９６、９７を両スプリング１１８、１１２の付勢に抗して押下げる。これにより、第２弁部材９７が開弁されることで、弁ハウジング７０の内部空間８１と連結ハウジング５５の内部空間８０とが連通される。詳しくは、第２連通路１１０が開かれることで、弁ハウジング７０の内部空間８１に連通する第２流通路１０９と連結ハウジング５５の内部空間８０とが連通されることになる。

したがって、弁ハウジング７０の第１通路部８７からの蒸発燃料は、第１空間部８５、第１開口孔９０、弁ハウジング７０の内部空間８１、第２流通路１０９、第２連通路１１０、連結ハウジング５５の内部空間８０、第３流通路１０５、第２開口孔９２、第２空間部８４を通って、第２通路部８８へ流れる（図６中、矢印参照）。このときの蒸発燃料の流量は、第２弁部材９７と第３弁部材９８との間に形成される一連状の通路における最小の通路断面積に応じた流量となる。

また、第１弁部材９６の開弁により第１弁部材９６と第２弁部材９７との間に形成される一連状の通路における最小の通路断面積をＡとし、第２弁部材９７の開弁により第２弁部材９７と第３弁部材９８との間に形成される一連状の通路における最小の通路断面積をＢとした場合、通路断面積Ａと通路断面積Ｂは、
Ａ＜Ｂ
の関係を満たすように設定されている。したがって、第１弁部材９６の開弁によって小流量を制御し、また、第２弁部材９７の開弁によって小流量の２倍以上の大流量を制御することができる。

また、両弁部材９６、９７の開弁状態（図６参照）において、前記ＥＣＵ４５（図１参照）から流量制御弁３８のステップモータ５３に閉弁信号が入力され、ロータ６１が閉弁方向（開弁方向と逆方向）に回転されると、作動軸６７が後退（上動）される結果、第２弁部材９７が第２スプリング１１２の付勢力により閉弁された後（図５参照）、第１弁部材９６が第１スプリング１１８の付勢力により閉弁される（図２及び図３参照）。

（４）全弁部材９６、９７、９８の閉弁状態において、第１通路部８７の内圧（燃料タンク１５側の圧力）Ｐ１が第２通路部８８の内圧（キャニスタ３４側の圧力）Ｐ２に比して所定値以上大きくなった場合
全弁部材９６、９７、９８の閉弁状態すなわち車両の駐車中（図２及び図３参照）において、第１通路部８７の内圧Ｐ１が第２通路部８８の内圧Ｐ２に比して所定値Ｐα以上大きくなった場合について説明する。なお、この場合の内圧Ｐ１から内圧Ｐ２を引いた差圧Ｐａと所定値Ｐαとの関係は、
Ｐａ＝Ｐ１−Ｐ２
Ｐα＜Ｐａ
で表される。

この場合、所定値Ｐα以上の差圧Ｐａによって、第３弁部材９８が第３スプリング１０３の付勢力に抗して開弁される（図７参照）。これにより、第３連通路１０１が開かれることで、第２流通路１０９と第２開口孔９２とが連通されることになる。したがって、内圧Ｐ１が第２通路部８８へ逃がされることにより、内圧Ｐ１と内圧Ｐ２との差圧Ｐａを所定値Ｐα以下に制御することができる。すなわち、第３弁部材９８が、内圧Ｐ１が内圧Ｐ２に比して所定値Ｐα以上大きくなった場合に開弁する正方向リリーフ弁として機能する。なお、差圧Ｐａが所定値Ｐα以下になれば、第３弁部材９８が第３スプリング１０３の付勢力により閉弁される（図３参照）。

（５）全弁部材９６、９７、９８の閉弁状態において、第１通路部８７の内圧（燃料タンク１５側の圧力）Ｐ１が第２通路部８８の内圧（キャニスタ３４側の圧力）Ｐ２に比して所定値以上小さくなった場合
全弁部材９６、９７、９８の閉弁状態すなわち車両の駐車中（図２及び図３参照）において、第１通路部８７の内圧Ｐ１が第２通路部８８の内圧Ｐ２に比して所定値Ｐβ以上小さくなった場合について説明する。なお、この場合の内圧Ｐ２から内圧Ｐ１を引いた差圧Ｐｂと所定値Ｐβとの関係は、
Ｐｂ＝Ｐ２−Ｐ１
Ｐβ＜Ｐｂ
で表される。

この場合、所定値Ｐβ以上の差圧Ｐｂによって、第２弁部材９７が第２スプリング１１２の付勢力に抗して開弁される（図８参照）。第２弁部材９７の開弁にともない、第１弁部材９６が第１スプリング１１８の付勢力に抗して押下げられる。第２弁部材９７の開弁により、連結ハウジング５５の内部空間８０と弁ハウジング７０の内部空間８１とが連通される。詳しくは、第２連通路１１０が開かれることで、弁ハウジング７０の内部空間８１に連通する第２流通路１０９と連結ハウジング５５の内部空間８０とが連通されることになる。したがって、内圧Ｐ２が第１通路部８７へ逃がされることにより、内圧Ｐ１と内圧Ｐ２との差圧Ｐｂを所定値Ｐβ以下に制御することができる。すなわち、第２弁部材９７が、内圧Ｐ１が内圧Ｐ２に比して所定値Ｐβ以上小さくなった場合に開弁する逆方向リリーフ弁として機能する。なお、差圧Ｐｂが所定値Ｐβ以下になれば、第２弁部材９７が第２スプリング１１２の付勢力により閉弁されるとともに、第１弁部材９６が第１スプリング１１８の付勢力により押上げられる（図３参照）。

前記した流量制御弁３８によると、第１通路部８７の内圧Ｐ１が第２通路部８８の内圧Ｐ２に比べて所定値以上大きくなった場合には、第３弁部材９８が第３スプリング１０３の付勢力に抗して開弁することによって、第１通路部８７の内圧Ｐ１と第２通路部８８の内圧Ｐ２との差圧を所定値以下に制御することができる（図７参照）。また、第１通路部８７の内圧Ｐ１が第２通路部８８の内圧Ｐ２に比べて所定値以上小さくなった場合には、第２弁部材９７が第２スプリング１１２の付勢力に抗して開弁することによって、第１通路部８７の内圧Ｐ１と第２通路部８８の内圧Ｐ２との差圧を所定値以下に制御することができる。したがって、双方向リリーフ機能を備えることができる。なお、第１通路部８７の内圧Ｐ１が第２通路部８８の内圧Ｐ２に比べて所定値以上小さくなった場合において、第２弁部材９７を開弁する構成としたが、第２弁部材９７に代えて第１弁部材９６を開弁する構成としてもよいし、第２弁部材９６と第２弁部材９７とを開弁する構成としてもよい。

また、第１弁部材９６及び第２弁部材９７がステップモータ５３の作動板６８によって段階的に開かれるものであるから、従来例の電磁弁（特許文献１参照）と比べて、流量の制御精度を向上することができる。

また、第１弁部材９６の第１弁部９６ａと該第１弁部９６ａが着座及び離座可能な第２弁部材９７の第１弁座９７ｂとの間に、その弁部材９６の閉弁時において両者（９６ａ，９７ｂ）間を弾性的にシールする第１シール部材１２０を設け、第１シール部材１２０と、そのシール部材１２０に対応する第１弁部材９６を付勢する第１スプリング１１８とを軸方向に対応する位置関係をもって配置したものである。このため、第１弁部９６ａと第１弁座９７ｂとの間の第１シール部材１２０によるシール部位に対して、軸方向に対応する位置関係をもって第１スプリング１１８の付勢力を作用させることにより、第１弁部９６ａと第１弁座９７ｂとの間のシール性を向上することができる。このことは、高気密性が要求される流量制御弁３８として有効である。

また、第２弁部材９７の第２弁部９７ａと該第２弁部９７ａが着座及び離座可能な第３弁部材９８の第２弁座９８ｂとの間に、その弁部材９７の閉弁時において両者（９７ａ，９８ｂ）間を弾性的にシールするシール体１２２の内環側シール突起１２２ｂを設け、内環側シール突起１２２ｂと、そのシール突起１２２ｂに対応する第２弁部材９７を付勢する第２スプリング１１２とを軸方向に対応する位置関係をもって配置したものである。このため、第２弁部９７ａと第２弁座９８ｂとの間のシール体１２２の内環側シール突起１２２ｂによるシール部位に対して、軸方向に対応する位置関係をもって第２スプリング１１２の付勢力を作用させることにより、第２弁部９７ａと第２弁座９８ｂとの間のシール性を向上することができる。このことは、高気密性が要求される流量制御弁３８として有効である。

また、第３弁部材９８の第３弁部９８ａと該第３弁部９８ａが着座及び離座可能な弁ハウジング７０の第３弁座１００との間に、その弁部材９７の閉弁時において両者（９８ａ，１００）間を弾性的にシールするシール体１２２の外環側シール突起１２２ｃを設け、外環側シール突起１２２ｃと、そのシール突起１２２ｃに対応する第３弁部材９８を付勢する第３スプリング１０３とを軸方向に対応する位置関係をもって配置したものである。このため、第３弁部９８ａと第３弁座１００との間のシール体１２２の外環側シール突起１２２ｃによるシール部位に対して、軸方向に対応する位置関係をもって第３スプリング１０３の付勢力を作用させることにより、第３弁部９８ａと第３弁座１００との間のシール性を向上することができる。このことは、高気密性が要求される流量制御弁３８として有効である。

また、第１シール部材１２０が接離される第２弁部材９７の第１弁座９７ｂを含む弁板部を、樹脂成形により該シール部材１２０の接離方向に薄肉板状に形成したものである。したがって、第１シール部材１２０が接離される第２弁部材９７の弁板部の樹脂成形による成形収縮変形量を小さくし、ヒケの発生を防止することができる。これにより、第１シール部材１２０が当接する第２弁部材９７の第１弁座９７ｂの当接面の平面度が向上されるため、第１シール部材１２０と第１弁座９７ｂとの間のシール性を向上することができる。

また、シール体１２２の内環側シール突起１２２ｂが接離される第２弁部材９７の第２弁部９７ａを含む弁板部を、樹脂成形により該内環側シール突起１２２ｂの接離方向に薄肉板状に形成したものである。したがって、シール体１２２の内環側シール突起１２２ｂが接離される第２弁部材９７の弁板部の樹脂成形による成形収縮変形量を小さくし、ヒケの発生を防止することができる。これにより、シール体１２２の内環側シール突起１２２ｂが当接する第２弁部材９７の第２弁部９７ａの当接面の平面度が向上されるため、シール体１２２の内環側シール突起１２２ｂと第２弁部９７ａとの間のシール性を向上することができる。

また、シール体１２２の外環側シール突起１２２ｃが接離される弁ハウジング７０の第３弁座１００を、樹脂成形により該外環側シール突起１２２ｃの接離方向に薄肉板状に形成したものである。したがって、シール体１２２の外環側シール突起１２２ｃが接離される弁ハウジング７０の第３弁座１００の樹脂成形による成形収縮変形量を小さくし、ヒケの発生を防止することができる。これにより、シール体１２２の外環側シール突起１２２ｃが当接する弁ハウジング７０の第３弁座１００の当接面の平面度が向上されるため、シール体１２２の外環側シール突起１２２ｃと第３弁座１００との間のシール性を向上することができる。

また、第２弁部材９７の第２弁部９７ａが接離される内環側シール突起１２２ｂ、及び、弁ハウジング７０の第３弁座１００が接離される外環側シール突起１２２ｃが二重環状に一体形成されたシール体１２２を備えたものである。したがって、内環側シール突起１２２ｂ及び外環側シール突起１２２ｃが二重環状に一体形成されたシール体１２２を備えることで、両シール突起１２２ｂ、１２２ｃの同軸度が向上されるため、内環側シール突起１２２ｂと第２弁部９７ａとの間、及び、外環側シール突起１２２ｃと第３弁座１００との間のシール性を向上することができる。

また、シール体１２２が装着された第３弁部材９８を付勢する第３スプリング１０３は、その付勢力が内環側シール突起１２２ｂと外環側シール突起１２２ｃとの間の中間部に作用するように配置されている。したがって、シール体１２２の両シール突起１２２ｂ、１２２ｃに作用する第３スプリング１０３の付勢力が均等化されるため、内環側シール突起１２２ｂと第２弁部９７ａとの間、及び、外環側シール突起１２２ｃと第３弁座１００との間のシール性を向上することができる。

また、弁ハウジング７０に、第３弁部材９８が着座及び離座可能な円環状の第３弁座１００が形成され、第３弁部材９８に、第２弁部材９７に形成された第２弁部９７ａが着座及び離座可能な円環状の第２弁座９８ｂと、第３弁座１００に着座及び離座可能な第３弁部９８ａとが共通の弁板部（板状部）に形成され、第３弁部材９８の弁板部にシール体１２２を設け、シール体１２２の内環側シール突起１２２ｂを第２弁部材９７の第２弁部９７ａが接離される第２シール部材とするとともに、該シール体１２２の外環側シール突起１２２ｃを第３弁座１００に接離される第３シール部材としたとしたものである。したがって、第３弁部材９８の弁板部（板状部）に設けたシール体１２２の内環側シール突起１２２ｂを第２シール部材とするとともに、そのシール体１２２の外環側シール突起１２２ｃを第３シール部材とすることで、第２シール部材（１２２ｂ）と第２弁部材９７の第２弁部９７ａとの間のシール性を向上するとともに、第３シール部材（１２２ｃ）と弁ハウジング７０の第３弁座１００との間のシール性を向上することができる。なお、両シール突起１２２ｂ、１２２ｃが当接する当接部は一部材とすることもできる。また、両シール突起１２２ｂ、１２２ｃは、それぞれ独立したシール部材とすることもできる。

また、第２弁部材９７を付勢する第２スプリング１１２と第３弁部材９８を付勢する第３スプリング１０３とは、互いの付勢力が対向方向にかつその対向方向に交差する方向（径方向）に隣接した部位に作用するように配置されている。したがって、第２スプリング１１２の付勢力と第３スプリング１０３の付勢力とを互い対向方向にかつその対向方向に交差する方向に隣接した部位に作用させることができるので、シール体１２２の内環側シール突起１２２ｂに対する付勢力を増大し、内環側シール突起１２２ｂと第２弁部材９７の第２弁部９７ａとの間のシール性を向上することができる。

また、第１シール部材１２０が接着等により装着される装着部である第１弁部材９６の第１弁部９６ａを含む弁板部が樹脂成形により薄肉板状に形成されている。したがって、第１シール部材１２０が装着される第１弁部材９６の弁板部の樹脂成形による成形収縮変形量を小さくし、ヒケの発生を防止することができる。これにより、第１シール部材１２０を装着する第１弁部材９６の第１弁部９６ａの装着面の平面度が向上されるため、第１シール部材１２０と第１弁部９６ａとの間の装着性（接着性）を向上することができる。

また、シール体１２２が接着等により装着される装着部である第３弁部材９８の第３弁部９８ａ及び第２弁座９８ｂを含む弁板部が樹脂成形により薄肉板状に形成されている。したがって、シール体１２２が装着される第３弁部材９８の弁板部の樹脂成形による成形収縮変形量を小さくし、ヒケの発生を防止することができる。これにより、シール体１２２を装着する第３弁部材９８の第３弁部９８ａ及び第２弁座９８ｂの装着面の平面度が向上されるため、シール体１２２と第３弁部９８ａ及び第２弁座９８ｂとの間の装着性（接着性）を向上することができる。

また、前記した蒸発燃料処理装置１２によると、流量制御弁３８（図２参照）と、燃料タンク１５とキャニスタ３４とを連通しかつ流量制御弁３８が介装される蒸発燃料通路３１とを備え、流量制御弁３８の第１通路部８７が蒸発燃料通路３１の燃料タンク１５側に接続されているとともに該流量制御弁３８の第２通路部８８がキャニスタ３４側に接続されている。したがって、双方向リリーフ機能を備えながらも、流量の制御精度を向上するとともに、各弁部材９６、９７、９８の弁部９６ａ、９７ａ、９８ａと弁座９７ｂ、９８ｂ、１００との間のシール性を向上することのできる流量制御弁３８（図２参照）を備えた蒸発燃料処理装置１２を提供することができる。また、蒸発燃料をパージする際に蒸発燃料通路３１を流れる蒸発燃料の流量を流量制御弁（電磁弁）３８により精度良く制御することによって、空燃比（Ａ／Ｆ）の乱れを抑えることができる。

本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更が可能である。例えば、本発明の電磁弁は、蒸発燃料処理装置１２の流量制御弁３８に限らず、どのような用途にも適用することができる。また、前記実施形態では、それぞれの弁部材と該弁部材に対応する弁座との間にそれぞれシール部材を設けたが、少なくとも１つの弁部材と該弁部材に対応する弁座との間にシール部材を設け、そのシール部材とそのシール部材に対応する弁部材を付勢する付勢手段とを軸方向に対応する位置関係をもって配置するものであればよい。また、第２シール部材（内環側シール突起１２２ｂ）と第３シール部材（外環側シール突起１２２ｃ）とを有するシール体１２２に代えて、それぞれ独立した第２シール部材、第３シール部材を用いることができる。また、シール体１２２を、第２弁部材９７の第１弁座９７ｂに対応する両シール突起１２２ｂ、１２２ｃを有する第１シール部材として用いることもできる。また、弁ハウジング７０、第１弁部材９６、第２弁部材９７及び第３弁部材９８は、樹脂成形品に限らず、金属製品でもよい。また、金属製品の場合において、シール部材が接離される弁部材又は弁座の当接部を、樹脂成形により該シール材の接離方向に薄肉板状に形成してもよい。

１２…蒸発燃料処理装置
１５…燃料タンク
３１…蒸発燃料通路
３４…キャニスタ
３８…流量制御弁（電磁弁）
５３…ステップモータ（電磁駆動部）
６８…作動板（作動部材）
７０…弁ハウジング
８７…第１通路部
８８…第２通路部
９４…流体通路
９６…第１弁部材
９６ａ…第１弁部
９７…第２弁部材
９７ａ…第２弁部
９７ｂ…第２弁座
９８…第３弁部材
９８ａ…第３弁部
９８ｂ…第２弁座
１００…第３弁座
１０３…第３スプリング（第３付勢手段）
１１２…第２スプリング（第２付勢手段）
１１８…第１スプリング（第１付勢手段）
１２０…第１シール部材
１２２…シール体
１２２ａ…基板部
１２２ｂ…内環側シール突起（内環側シール部材）
１２２ｃ…外環側シール突起（外環側シール部材）

Claims (5)

1. 相互に連通する第１通路部と第２通路部を有する流体通路を形成する弁ハウジングと、
   前記流体通路を開閉しかつ第１付勢手段の付勢力により前記第１通路部から前記第２通路部への流体の流れ方向に沿う方向を閉方向として付勢された第１弁部材と、
   前記流体通路を開閉しかつ第２付勢手段の付勢力により前記第１弁部材の閉方向と同じ方向を閉方向として付勢された第２弁部材と、
   前記第１弁部材及び前記第２弁部材を段階的に開く作動部材を有する電磁駆動部と、
   前記流体通路を開閉しかつ第３付勢手段の付勢力により前記第１弁部材の閉方向と逆方向を閉方向として付勢された第３弁部材と
   を備え、
   前記第１通路部の内圧が前記第２通路部の内圧に比べて所定値以上大きくなった場合には、前記第３弁部材が前記第３付勢手段の付勢力に抗して開弁される構成とし、
   前記第１通路部の内圧が前記第２通路部の内圧に比べて所定値以上小さくなった場合には、前記第１弁部材及び前記第２弁部材の少なくとも一方の弁部材が当該付勢手段の付勢力に抗して開弁する構成とし、
   前記第１弁部材、前記第２弁部材及び前記第３弁部材のうちの少なくとも１つの弁部材と該弁部材が着座及び離座可能な弁座との間に、その弁部材の閉弁時において両者間を弾性的にシールするシール部材を設け、
   前記シール部材と、そのシール部材に対応する弁部材を付勢する付勢手段とを軸方向に対応する位置関係をもって配置し、
   前記弁部材又は前記弁座の当接部が接離される内環側シール部材及び外環側シール部材が二重環状に一体形成されたシール体を備え、
   前記シール体が装着された弁部材を付勢する付勢手段は、その付勢力が前記内環側シール部材と前記外環側シール部材との間の中間部に作用するように配置されている
   ことを特徴とする電磁弁。
2. 請求項１に記載の電磁弁であって、
   前記シール部材が接離される前記弁部材又は前記弁座の当接部を、樹脂成形により該シール材の接離方向に薄肉板状に形成したことを特徴とする電磁弁。
3. 請求項１又は２に記載の電磁弁であって、
   前記弁ハウジングに、前記第３弁部材が着座及び離座可能な円環状の第３弁座が形成され、
   前記第３弁部材に、前記第２弁部材に形成された第２弁部が着座及び離座可能な円環状の第２弁座と、前記第３弁座に着座及び離座可能な第３弁部とが共通の板状部に形成され、
   前記第３弁部材の板状部に前記シール体を設け、
   前記シール体の内環側シール部材を前記第２弁部材の第２弁部が接離される第２シール部材とするとともに、該シール体の外環側シール部材を前記第３弁座に接離される第３シール部材とした
   ことを特徴とする電磁弁。
4. 請求項３に記載の電磁弁であって、
   前記第２弁部材を付勢する第２付勢手段と前記第３弁部材を付勢する付勢手段とは、互いの付勢力が対向方向にかつその対向方向に交差する方向に隣接した部位に作用するように配置されていることを特徴とする電磁弁。
5. 請求項１〜４のいずれか１つに記載の電磁弁と、燃料タンクとキャニスタとを連通しかつ前記電磁弁が介装される蒸発燃料通路とを備え、前記電磁弁の第１通路部が前記蒸発燃料通路の燃料タンク側に接続されているとともに該電磁弁の第２通路部がキャニスタ側に接続されていることを特徴とする蒸発燃料処理装置。

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