JP5576335B2 - 切断装置 - Google Patents
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- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
Description
まず、図3の矢印(1)に示すように、ワーク搬入機構20のワーク支持台22に、予め所定の長さ寸法に調整された切断前の円柱状のワークW1を、作業者またはワーク供給装置(図示せず)によりセットする。次いで、切断装置10のコントロールユニット11dを操作して切断装置10を作動させる。すると、矢印(2)に示すように、ワーク支持台22がスライドレール21上をスライドし、切断装置10の内部に向かって移動を開始する。
ワークセット工程を終えると、引き続き、各切断機構80が作動するとともにスライダ機構50が作動し、図2の矢印(7)に示すように、ワークW1がワーク搬入領域からワーク加工領域に移動し、ワークW1の切断加工が行われる。
角柱状に加工されたワークW1は、メインチャック62にチャックされた状態となっており、この状態のもとでリフト用ボールネジ機構11bと昇降機構11cとが駆動され、ワーク搬送リフト30が作動する。ワーク搬送リフト30は、メインチャック62にチャックされたワークW1のところまで移動し、各アーム部32によりワークW1を把持する。このとき、各アーム部32の各支持駒32b(図4参照)によって角柱状のワークW1は安定的に把持される。
11 基台
11a フレーム部材
11b リフト用ボールネジ機構
11c 昇降機構
11d コントロールユニット
11e カバー
11f 開口窓
12 調節脚
20 ワーク搬入機構
21 スライドレール
22 ワーク支持台
23 第1センサ
24 第2センサ
30 ワーク搬送リフト
31 本体部
32 アーム部
32a ローラ
32b 支持駒
33 アーム駆動部
33a 駆動モータ
33b ボールネジ
33c ナット
34 LED照明
34a 高輝度LED
35 撮像カメラ
40 端材搬送リフト
41 端材支持爪
50 スライダ機構(ワーク移動機構)
60 プライマリチャック部
61 移動ベース
62 メインチャック
63 サブチャック(端材チャック,回転振れ抑制機構)
63a チャック本体
64 支持ケース
64a チャック駆動モータ
64b 軸受
64c チャック支持部材
64d 嵌合凹部
65 ワークチャック
65a チャック本体
65b 嵌合凸部
66 伸縮部材
66a シリンダ室
66b ピストン部材
66c 支持ボルト
66d 板バネ
67 伸縮部材
67a シリンダ室
67b ピストン部材
67c 支持ボルト
67d コイルバネ
70 スレーブチャック部
80 切断機構
81 外周刃鋸
81a 円盤基材
81b ダイヤ刃部
82 回転軸
83 カバー部材(回転振れ抑制機構)
84 液圧供給パイプ(液体圧送部材,回転振れ抑制機構)
85 中空部材
86 軸受部材
87 伸縮カバー
88a,88b 液圧導入室(液体圧送部材,回転振れ抑制機構)
89a,89b 液圧安定部材(液体圧送部材,回転振れ抑制機構)
90a,90b オリフィス孔
D 端材
DB 端材ボックス
EO 逃げ隙間
FL 床面
G1,G2 ネジ
O 微小隙間
S 晶癖線
W1 ワーク
W2 ウェハ
WT 水(液体)
Claims (2)
- 円柱状シリコンインゴットの外周部を切断し、角柱状シリコンインゴットに加工する切断装置であって、
床面に設置され、前記床面の水平方向に延在する基台と、
前記基台に設けられ、前記円柱状シリコンインゴットの長手方向両側をチャックするメインチャックを有し、前記基台の長手方向に沿って移動するワーク移動機構と、
前記基台に設けられ、前記基台の短手方向から前記円柱状シリコンインゴットと対向する切断機構と、
前記切断機構の駆動源により回転駆動され、前記円柱状シリコンインゴットの外周部をその長手方向に沿って切断する外周刃鋸と、
前記ワーク移動機構に設けられ、前記外周刃鋸の回転駆動時における回転振れを抑制する回転振れ抑制機構とを備え、
前記回転振れ抑制機構は、
前記外周刃鋸による切断加工により生じた端材の長手方向両側をチャックするサブチャックからなり、
前記サブチャックは、前記メインチャックによって前記円柱状シリコンインゴットの長手方向両側をチャックした状態のもとで、前記端材を開放することを特徴とする切断装置。 - 請求項1記載の切断装置において、前記切断機構には他の回転振れ抑制機構が設けられ、当該他の回転振れ抑制機構は、前記外周刃鋸の一側面および他側面を部分的に覆うカバー部材と、前記カバー部材に設けられて前記外周刃鋸の両側面に液体を圧送する液体圧送部材とを有することを特徴とする切断装置。
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JP2011110970A JP5576335B2 (ja) | 2011-05-18 | 2011-05-18 | 切断装置 |
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