JP5564841B2 - 二次イオン質量分析法及び二次イオン質量分析システム - Google Patents
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Description
第2の加速エネルギーでセシウムイオンを加速し、前記所定の入射角で前記セシウムイオンを前記第1の試料と同一構造の第2の試料に照射して前記第2の試料から放出される二次イオンを質量分析し、前記第2の試料中に含有される前記特定元素の深さ方向の分布状態を測定する第2の工程と、
前記第1の工程で測定した前記特定元素の分布状態におけるピーク位置と前記第2の工程で測定した前記特定元素の分布状態におけるピーク位置との差に応じて、予め設定された分析条件のうちから特定の分析条件を決定する第3の工程と、
前記特定の分析条件でセシウムイオンを実試料に照射して前記実試料から放出される二次イオンを質量分析し、前記実試料中に含有される前記特定元素の深さ方向の分布状態を測定する工程と
を有することを特徴とする二次イオン質量分析方法。
試料が載置される試料台と、
前記試料から放出される二次イオンを質量分析する質量分析器と、
前記質量分析器から出力される信号を処理する演算処理装置とを有し、
前記演算処理装置は、
第1の加速エネルギー且つ所定の入射角でセシウムイオンが照射された第1の試料から放出される二次イオンを質量分析して得た前記第1の試料中に含有される特定元素の深さ方向の分布状態におけるピーク位置と、第2の加速エネルギー且つ前記所定の入射角でセシウムイオンが照射された第2の試料から放出される二次イオンを質量分析して得た前記第2の試料中に含有される特定元素の深さ方向の分布状態におけるピーク位置との差に応じて、予め設定された分析条件のうちから特定の分析条件を選択することを特徴とする二次イオン質量分析システム。
Claims (7)
- 第1の加速エネルギーでセシウムイオンを加速し、所定の入射角で前記セシウムイオンを第1の試料に照射して前記第1の試料から放出される二次イオンを質量分析し、前記第1の試料中に含有される特定元素の深さ方向の分布状態を測定する第1の工程と、
第2の加速エネルギーでセシウムイオンを加速し、前記所定の入射角で前記セシウムイオンを前記第1の試料と同一構造の第2の試料に照射して前記第2の試料から放出される二次イオンを質量分析し、前記第2の試料中に含有される前記特定元素の深さ方向の分布状態を測定する第2の工程と、
前記第1の工程で測定した前記特定元素の分布状態におけるピーク位置と前記第2の工程で測定した前記特定元素の分布状態におけるピーク位置との間のシフト方向に応じて、予め設定された分析条件のうちから特定元素に最適な分析条件を決定する第3の工程と、
前記特定元素に最適な分析条件でセシウムイオンを実試料に照射して前記実試料から放出される二次イオンを質量分析し、前記実試料中に含有される前記特定元素の深さ方向の分布状態を測定する工程と
を有することを特徴とする二次イオン質量分析方法。 - 前記第1の加速エネルギーを前記第2の加速エネルギーよりも低く設定し、前記第3の工程では、前記第1の工程で測定した前記特定元素の分布状態におけるピーク位置から前記第2の工程で測定した前記特定元素の分布状態におけるピーク位置までのシフト方向が前記試料の深さ方向か否かを判定して、その判定に基づいて前記特定元素に最適な分析条件を決定することを特徴とする請求項1に記載の二次イオン質量分析方法。
- 前記第1の加速エネルギーと前記第2の加速エネルギーとの差が500eV以上あることを特徴とする請求項1又は2に記載の二次イオン質量分析方法。
- 前記所定の入射角が、第1の加速エネルギー及び前記第2の加速エネルギーにおいて前記第1の試料及び前記第2の試料の表面に荒れを起こさない角度であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の二次イオン質量分析方法。
- 前記第1の試料、前記第2の試料及び前記実試料が、不純物元素が導入された半導体基板であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の二次イオン質量分析方法。
- 前記所定の入射角を0度以上、20度以下とし、前記第1の加速エネルギー及び前記第2の加速エネルギーをいずれも250eV以上、1keV以下とすることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の二次イオン質量分析方法。
- セシウムイオンを出射するイオン銃と、
試料が載置される試料台と、
前記試料から放出される二次イオンを質量分析する質量分析器と、
前記質量分析器から出力される信号を処理する演算処理装置とを有し、
前記演算処理装置は、
第1の加速エネルギー且つ所定の入射角でセシウムイオンが照射された第1の試料から放出される二次イオンを質量分析して得た前記第1の試料中に含有される特定元素の深さ方向の分布状態におけるピーク位置と、第2の加速エネルギー且つ前記所定の入射角でセシウムイオンが照射された第2の試料から放出される二次イオンを質量分析して得た前記第2の試料中に含有される特定元素の深さ方向の分布状態におけるピーク位置との間のシフト方向に応じて、予め設定された分析条件のうちから特定元素に最適な分析条件を選択することを特徴とする二次イオン質量分析システム。
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