JP5564457B2 - フローセンサ - Google Patents
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Description
図1ないし図8は、本発明に係るフローセンサの第1実施形態を示すためのものである。図1は、本発明に係るフローセンサの第1実施形態を説明する側方断面図である。図1に示すように、フローセンサ10は、第1基板20と、第2基板30と、を備える。第1基板20の一方の面(図1において下面)には、流体の速度を検出するための検出部21と、電極26とが設けられている。この第1基板20の一方の面(図1において下面)は、第2基板30の一方の面(図1において上面)に接合されている。
図9ないし図12は、本発明に係るフローセンサの第2実施形態を示すためのものである。なお、特に記載がない限り、前述した第1実施形態と同一構成部分は同一符号をもって表し、その説明を省略する。また、図示しない構成部分は、前述した実施形態と同様とする。
100A…センサ本体
20…第1基板
30…第2基板
21…検出部
22…ヒータ(抵抗素子)
23…上流側温度センサ(抵抗素子)
24…下流側温度センサ(抵抗素子)
26…電極
30…第2基板
31…貫通孔
32…凹部
40…ヘッダー
Claims (6)
- 一方の面に、流体の速度を検出するための検出部と該検出部と接続された電極とが設けられた第1の基板と、
一方の面に、前記第1の基板の前記一方の面が接合された第2の基板と、を備え、
前記第2の基板における前記電極に対応する位置に、前記第2の基板の他方の面から前記一方の面まで貫通する貫通孔が形成され、
前記検出部は、前記第1の基板および前記第2の基板によって被覆され、
前記第2の基板の前記他方の面における前記検出部に対応する位置に、凹部が形成されている
ことを特徴とするフローセンサ。 - 前記第1の基板および前記第2の基板には、前記第1の基板の他方の面側と前記凹部とを連通し、前記検出部に対して上流側に形成される上流側貫通孔と、前記第1の基板の前記他方の面側と前記凹部とを連通し、前記検出部に対して下流側に形成される下流側貫通孔と、が設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載のフローセンサ。 - 前記検出部は、前記流体を加熱するヒータと、前記ヒータによって生ずる前記流体の温度差を測定するように構成された測温ユニットを含む
ことを特徴とする請求項1または2に記載のフローセンサ。 - 前記第1の基板および前記第2の基板は、所定の腐食性物質に対して耐食性を有する
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のフローセンサ。 - 前記第1の基板および前記第2の基板を設置するための台座をさらに備える
ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のフローセンサ。 - 前記台座は、所定の腐食性物質に対して耐食性を有する
ことを特徴とする請求項5に記載のフローセンサ。
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