JP5563426B2 - チャック装置 - Google Patents
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Description
まず、図2に示すようにワーク供給テーブル20が初期状態にある状態のもとで、作業者またはワーク供給装置(図示せず)により、角柱状シリコンインゴットWKをテーブル21上にセットする。次いで、研磨装置10のコントロールパネル(図示せず)を操作して研磨装置10を作動させる。すると、ワーク供給テーブル20のワーククランプ22が角柱状シリコンインゴットWKを挟持するとともに、第1割り出し機構22a(図3参照)により角柱状シリコンインゴットWKの中心軸Cおよび幅寸法Wが割り出される。
角柱状シリコンインゴットWKがセットされたワーク支持機構40は、各レール41上を滑るように移動する。その後、角柱状シリコンインゴットWKがワーク通過間隙SP内に入り、角柱状シリコンインゴットWKの移動方向先端側が各粗研磨ユニット31に対向したところでワーク支持機構40は一旦停止する。ここで、ワーク支持機構40の移動制御(位置制御)は、移動用モータ45に設けられた磁気式回転センサ等(図示せず)の検出信号に基づいて行われる。
11 基台
11a 研磨機構基台
12 調節脚
13 支柱
14 ワーク懸垂梁
20 ワーク供給テーブル
21 テーブル
22 ワーククランプ
22a 第1割り出し機構
23 スライドレール
24 第2割り出し機構
30 ワーク研磨機構
31 粗研磨ユニット
31a 粗砥石
31b 駆動モータ
32 仕上げ研磨ユニット
32a 仕上げ砥石
32b 駆動モータ
33 移動テーブル
40 ワーク支持機構
41 レール
42 本体部
42a フランジ部
43 チャック部
44 ガイド
45 移動用モータ
45a モータケース
45b モータ軸
45c ナット
45d 動力伝達部材
45e ネジ軸
50 固定側チャック機構
51 固定側チャック本体
52 固定側チャック用モータ
52a モータ軸(回転軸)
52b 嵌合凹部
52c ネジ孔
60 固定側チャック(チャック装置)
61 第1椀状部(本体部)
61a 底部
61b 側壁部
61c 嵌合突起
61d 貫通孔
61e 第1ネジ孔
61f プラグ孔
61g 軸受装着凹部
61h 環状溝
61i Oリング
62 第2椀状部(可動部)
62a 底部
62b 側壁部
62c 軸受装着凹部
62d プラグ孔
62e 第2ネジ孔
62f 凹部
62g 支持ボルト
63 回転力伝達部材
63a 貫通穴
64 球軸受(軸受部材)
64a 第1球受け
64b 第2球受け
64c 鋼球
70 移動側チャック機構
71 移動側チャック本体
72 移動側チャック用モータ
72a モータ軸(回転軸)
72b 嵌合凹部
72c ネジ孔
73 チャック本体移動用モータ
80 移動側チャック
81 本体部
81a 底部
81b 側壁部
81c 嵌合突起
81d 貫通孔
81e シリンダ室
81f 底部側室
81g 開口側室
82 ピストン部材(可動部)
82a ストッパ部
82b 支持ボルト
83 バネ部材(弾性部材)
83a 軸受部材
84 ピストンガイド
84a ピストン挿通孔
84b Oリング
84c リップシール
P1,P2 プラグ
S1〜S5 固定ネジ
FL 床面
SP ワーク通過間隙
WK 角柱状シリコンインゴット(シリコンインゴット)
WK1 第1端部(非研磨部位)
WK2 第2端部(非研磨部位)
Claims (2)
- 太陽電池に用いるシリコンインゴットの研磨部位を研磨する研磨装置に設けられ、前記シリコンインゴットの対向する非研磨部位を押さえて前記シリコンインゴットを支持するチャック装置であって、
前記研磨装置に設けられるワーク支持機構の回転軸に固定され、前記回転軸の回転駆動により回転し、前記研磨装置に設けられるワーク研磨機構に前記研磨部位を対向させる本体部と、
前記本体部の前記回転軸側とは反対側に一体回転可能に設けられ、前記非研磨部位と対向して当該非研磨部位の非平滑形状に倣って可動する可動部とを備え、
前記本体部および前記可動部をそれぞれ椀状に形成して第1椀状部および第2椀状部とし、前記各椀状部の開口側を対向させて組み付け、前記各椀状部のそれぞれに前記各椀状部間で回転力を伝達する回転力伝達部材を固定して設け、前記回転力伝達部材は前記各椀状部の揺動時に弾性変形することを特徴とするチャック装置。 - 請求項1記載のチャック装置において、前記各椀状部間で、かつ前記各椀状部の中心部分に、前記各椀状部を揺動自在とする軸受部材を設けることを特徴とするチャック装置。
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2010
- 2010-11-02 JP JP2010246032A patent/JP5563426B2/ja active Active
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