JP3405927B2 - 両頭研削盤 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体に使
用されるウエハの如く硬質で薄板状のワークを、該ワー
クの表裏両面または片面を超精密に仕上げることができ
る両頭研削盤に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の両頭研削盤として、例えば実公平
１−８２８２号公報に記載してあり、該公報の研削盤
は、上砥石を支える研削ヘッドを機体枠から片持ち支持
により突設されたＣ型のコラムフレームで構成されてい
るもので、加工時に研削抵抗により砥石に作用する研削
反力によってコラムに曲げモーメントがかかり、また熱
変位を生じてコラムが曲り精密な研削加工ができないこ
とから、下部ベット上に上ベットを設けたフレームが開
示してある。更に、上記フレームに設ける上下の砥石
は、上下の回転軸に設け、該回転軸をその側方に設けた
モータとベルトによって回転駆動し、上部回転軸を油圧
または空気圧によって駆動するラックなどで構成した送
り手段により上下動するものである。

【０００３】また、上砥石を上下動する手段として、例
えば特公昭６１−２７００４３号公報に、主軸頭をその
側方に設けたモータとボールネジ及び主軸頭に設けたナ
ットによって上下動する送り手段を設け、該主軸頭内に
主軸を静圧軸受けで支持し、且つビルトイン形式のモー
タで砥石を回転するように構成したものが記載してあ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の研削盤によ
れば、熱変位を発生しないフレーム、及び主軸が熱膨張
を受けることのない軸支手段については解決されている
が、従来の送り手段は、モータを駆動源とするラックあ
るいはボールネジによるものであり、また研削ヘッドは
摺動面により上下に案内されているため、摺動抵抗など
により微少送りが殆ど不可能であった。また、研削ヘッ
ドを上下させる駆動源であるところのモータとボールネ
ジが砥石回転軸の側方に設けてあるため、スピンドルに
横方向への荷重がかかり、円滑な微細送りができず、殊
にウエハの如くミクロ単位の超精密で仕上げる必要のあ
るワークには問題があった。

【０００５】本発明は以上の問題点を解決するために、
超精密な仕上げに適した微細な送りが可能となることを
主目的とし、他の目的として、バランスが取れ全体を小
型化することができるように構成することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る請求項１に記載の発明は、上下に起立
して設けた各砥石駆動装置内に、上下の各スピンドルを
それぞれモータによって回転可能に設け、上下各スピン
ドルに上下の砥石を互いに平行に相対向して保持し、両
砥石間にワークを挿入設置し、ワークを回転して研削す
る両頭研削盤において、上スピンドルの軸芯と下スピン
ドルの軸芯とが同一軸線上に配置され、上下の各砥石駆
動装置に上下砥石を各々回転運動から往復直線運動に変
換する機構によってワークに向かって昇降する第１送り
手段を設け、第１送り手段は、モータとボールネジ及び
ナット部からなり前記上下各砥石駆動装置のうち少なく
とも一方の装置に、砥石を流体圧によって微少量送りす
る第２送り手段を備えるとともに第１送り手段のボール
ネジの軸芯及び第２送り手段の軸芯が上下スピンドルと
同一軸線上に配設されていることを特徴とする。

【０００７】前記上下の各砥石駆動装置は、起立固定し
たガイド内にハウジングを昇降可能に設け、該ハウジン
グ内にスピンドルを回転自在に備えるものであって、砥
石を第１送り手段で昇降するには、直接にはハウジング
を第１送り手段で昇降するもので、回転運動を直線往復
運動に変換する機構によって構成するものであるから、
ハウジングを早送りして砥石に近接することができ、更
にそのまま送ってワークを研削することができるもので
ある。

【０００８】また、第２送り手段は直接スピンドルを昇
降するものであって、上下の各砥石駆動装置に設ける
か、あるいは上砥石駆動装置のみに、または下砥石駆動
装置のみに設けるものである。しかも第１送り手段では
送りが困難であるミクロン単位での送りが可能となる機
能を備えるものである。

【０００９】本発明に係る請求項２に記載の発明は、前
記第２送り手段は、静圧スラスト軸受けと静圧ラジアル
軸受けでスピンドルを支承し、静圧スラスト軸受けの背
圧に変化を与えてスピンドルを昇降可能に構成している
ことを特徴とする。

【００１０】前記第２送り手段は静圧スラスト軸受けと
静圧ラジアル軸受けで構成されるが、そのスラスト軸受
けの上下背圧の圧力差を利用することにより、スピンド
ルを微少に送ることができるものである。

【００１１】本発明に係る請求項３に記載の発明は、更
に、前記上下各スピンドルを回転する上下の各モータの
軸芯が、上下スピンドルの軸芯と同一軸線上に配設して
いることを特徴とする。

【００１２】上記６者をスピンドルの軸芯と同一軸線上
に配設するとは、スピンドルを回転するモータを側方に
設けてベルト掛けによって回転するものでなく、駆動源
の軸芯がスピンドルと同芯を保持するもので、具体的に
はビルトインタイプのモータによって実現化されるもの
である。

【００１３】また、第１送り手段の回転力を発生する駆
動源、及び直線往復運動変換機構をも同一軸線上に設け
るものであり、更に第２送り手段も、その送り作動する
押圧力が同一軸線上において発生するように構成するも
のである。これにより、上下スピンドル、上下の第１，
第７モータ、第１、第２送り手段の６者が全く同一軸線
上に配置される。以上の構成により、研削盤全体がスピ
ンドルの軸芯を中心として前後左右対称となる構造とな
り、機械的剛性にも安定で極めて超精密な研削加工が可
能となるものである。

【００１４】本発明に係る請求項４に記載の発明は、前
記上下スピンドルの軸芯位置が、ベット上に設けられ上
砥石駆動装置を支持するテーブルに対して、その前後方
向の中心で且つ左右方向の中心位置に配置していること
を特徴とする。

【００１５】前記のテーブルに対して、その前後方向の
中心で且つ左右方向の中心位置ということは、テーブル
の横断面形が例えば正方形、円形、六角形などの正多角
形であれば、あるいは長方形であっても、それらの中心
位置を指するものである。

【００１６】本発明に係る請求項５に記載の発明は、前
記テーブルが、上下砥石間へのワークの挿入を可能とす
る開放口を形成した門型構造であることを特徴とする。

【００１７】本発明に係る請求項６に記載の発明は、前
記テーブルには、砥石のドレッシング用アームと砥石の
摩耗検出用アームとが、それぞれ旋回可能に取付けら
れ、両旋回軸が互いにスピンドルの軸芯位置を中心とす
る左右対称な位置に配置されていることを特徴とする。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明による実施形態は、起立固
定された上砥石駆動装置と下砥石駆動装置によって、上
下各砥石をそれぞれ回転可能に支持すると共に、それぞ
れ早送りできる機能を有する第１送り手段で上下各砥石
を昇降可能に設け、且つ上下砥石駆動装置のうち少なく
とも一方に砥石を微量に送ることができる第２送り手段
を設けるもので、従って、第２送り手段を上下の各砥石
駆動装置に設けた例と、上砥石駆動装置のみに設けた例
と、下砥石駆動装置に設けた例との３例がある。また、
各第１送り手段及び第２送り手段の軸芯が互いに同一軸
線上に配設するものである。

【００１９】

【実施例】前記第２送り手段が上砥石駆動装置に設けて
いる例から説明すると、図１と図２に示しているよう
に、フレーム１はベット２上にテーブル３を固着して形
成したもので、ベット２とテーブル３の各上板４，５の
中央部分に、それぞれ開放部を備えるもので、上のテー
ブル３は、その上面に有する上板５を複数の壁またはポ
ールなどによる保持体６で支持した形態をなし、しかも
ベット２の上板４とテーブル３の上板５とを互いに平行
を保つように形成してある。また、前記テーブル３は正
面より見て、図１に示しているように、門型に形成して
あって、その門型の開放口より、ワークＷを挿入できる
ようになっている。更にテーブル３は平面より見て、図
８に示すように、正方形に形成してある。しかし正方形
に限ることがなく、円形、正多角形、長方形のものであ
っても良い。

【００２０】上記テーブル３の上板５に上砥石駆動装置
７を備え、ベット２の上板４に下砥石駆動装置８を備え
るものであり、上下の各砥石駆動装置７，８内に設けて
いる各スピンドル９，１０が互いに同一軸線を保つよう
に配設し、上スピンドル９の下端に設けた上砥石台１１
の下面に上砥石Ｕを取り付け、また下スピンドル１０の
上端に設けた下砥石台１２の上面に下砥石Ｂを取り付け
るものであり、更に上下の各砥石Ｕ，Ｂ間にワーク支持
装置１３を設けているものである。

【００２１】しかも、上記上スピンドル９はテーブル３
に対して、その前後方向の中心で且つ左右方向の中心位
置に設けるもので、図８のようにテーブル３が正方形で
あれば、上スピンドル９の設定位置から各辺までの距離
が同一になるものである。また下スピンドル１０は前述
のように上スピンドル９と同一軸線を保つものであるか
ら、同様にテーブル３の前後方向の中心で且つ左右方向
の中心位置に配設されるものである。

【００２２】上記のテーブル３に設けた上砥石駆動装置
７は、図１に示しているように、テーブル３に固着した
円筒状の上ガイド１４内に、同じく円筒状の上ハウジン
グ１５を上第１送り手段１６で昇降自在に設け、この上
ハウジング１５内に上スピンドル９を第１モータ１７に
よって回転されると共に、上第２送り手段１８によって
昇降可能に設けているものである。しかも図４に示すよ
うに、上ハウジング１５は上ガイド１４に対して第１静
圧ラジアル軸受け１９によって支えられている。

【００２３】上スピンドル９の回転駆動する第１モータ
１７は、上ハウジング１５内に設けたビルトイン形式の
モータによるもので、該モータ１７のステータは上ハウ
ジング１５の内周面に固定し、ロータを上スピンドル９
の外周面に固着してある。また、上ハウジング１５と上
スピンドル９の断面は円形のものであるから、第１モー
タ１７の軸芯が上スピンドル９の軸芯とは同一軸線上に
存在するものである。

【００２４】前記上第１送り手段１６は、モータの回転
を上下への直線往復運動に変換する機構によるもので、
図３に示しているように、上ガイド１４の上端口を覆う
ヘッドキャップ２０に第２モータ２１を、その軸芯が上
スピンドル９と同一軸線上となるように固定し、この第
２モータ２１の出力軸２２に第１ボールネジ２２をカッ
プリング２４により連結し、一方上ハウジング１５の上
端口を覆って固着したトップキャップ２５に第１ナット
部２６を設け、このナット部２６に上記第１ボールネジ
２３を螺合するものであって、第２モータ２１を回転す
ることにより、上ハウジング１５が上ガイド１４内を第
１静圧ラジアル軸受け１９を介して昇降するものであ
る。

【００２５】上第２送り手段１８は、図３に示している
ように、上ハウジング１５内における第１モータ１７を
挟んで、その上下部に設けた第２静圧ラジアル軸受け２
７によって上スピンドル９を回転自在に支え、更に上ス
ピンドル９の下端部で上砥石台１１より上部にフランジ
２８を設け、該フランジ２８の周縁部を上下より挟んで
設けた静圧スラスト軸受け２９ａ，２９ｂによって支
え、この静圧スラスト軸受け２９ａ，２９ｂと前記第２
静圧ラジアル軸受け２７に圧力流体を送る流体ポンプ２
９、具体的には油圧によるが、この流体ポンプ３０によ
って流体圧を圧力調整器３１ａ，３１ｂを介して供給す
るもので、この圧力調整器３１ａ，３１ｂの調節によっ
てそれぞれの背圧を変化させ、その圧力差を利用して上
スピンドル９を微少に昇降するようになっている。ま
た、上記第２静圧ラジアル軸受け２７と静圧スラスト軸
受け２９ａ，２９ｂは上スピンドル９の外周に設けたも
ので、その軸芯は上スピンドル９の軸芯と同一軸線上に
配設されるものである。

【００２６】尚、上記のように上砥石駆動装置７を設け
ているテーブル３には第３，第４モータ３２，３３を、
それらの各出力軸が下向きにして取り付けているもの
で、しかも図８にも示すように各モータ３２，３３はそ
れぞれの軸芯を上スピンドル９の軸芯位置を中心にして
互いに左右対称な位置に配設され、上記第２モータ３２
は、砥石のドレッシングを行う時に使用するドレッサー
Ｄを備えるアーム３４の旋回軸３４ａを同軸上に連結し
てアーム３４の旋回駆動を行うものであり、また第３モ
ータ３３は砥石の摩耗を検出するセンサＳを備えたアー
ム３５の旋回軸３５ａは、同軸上に連結して、アーム３
５の旋回駆動を行うものである。これにより、テーブル
３は平面的に左右バランスのとれた構造となると共に、
砥石のドレッシングと砥石の摩耗量の測定が同時に行
え、生産性を向上できるものである。

【００２７】次に下砥石駆動装置８は、図５に示してお
り、ベット２の上板４に設けたレール３６に沿ってサド
ル３７を摺動自在に載置し、サドル３７は下ガイド３８
を垂下して固着し、この下ガイド３８内に下ハウジング
３９を昇降自在に設け、下ハウジング３９内に前記下ス
ピンドル１０を回転自在に設けたもので、この下スピン
ドル１０の下ハウジング３９より突出する上端に下砥石
台１２を有し、下砥石台１２の上面に下砥石Ｂを固定す
るもので、サドル３７の位置を調整して、下スピンドル
１０の軸線を上スピンドル９の軸線に合致して、研削加
工を行うものである。

【００２８】上記サドル３７を摺動する手段は、ベット
２の上板４に固着した第５モータ４０で回転される第２
ボールネジ４１をサドル３７に設けた第２ナット部４２
に螺合したもので、第５モータ４０の起動によりサドル
３７がレール３６に沿って摺動するものである。尚、図
示してないが、レール３６は、片側がＶ溝で他方が水平
面をなす案内構造となっている。またサドル３７を摺動
する目的は、通常はベット２の中心部に設置して研削加
工を行うものであるが、上砥石駆動装置７に設けた上砥
石Ｕのドレッシングを行う際などに中心部より待避させ
るものである。

【００２９】上記下ガイド３７内に下ハウジング３９を
昇降自在に嵌合する手段は、上砥石駆動装置７と同様で
あり、図４と図５に示しているように、下ハウジング３
９は下ガイド３８に対して第３静圧ラジアル軸受け４３
によって支えられている。

【００３０】上記下ガイド３８に対して下ハウジング３
９を下第１送り手段４４によって上下動するもので、該
送り手段４４は、通常の場合には後記するワーク支持装
置１３に備えるワークＷを支える高さにおいて支持する
もので、またワークＷの裏面を研削する場合には、下砥
石Ｂを上昇して研削加工するものであり、更にドレッシ
ングを行う際には、下砥石Ｂを前記通常の高さ位置より
も下げた高さに下降することを目的とするもので、スト
ロークは僅かであり、加工中は下砥石Ｂは昇降動作させ
ないものである。

【００３１】上記下第１送り手段４４の構造は、図５に
示しているように、下ハウジング３９の外側面に第３ナ
ット部４５を突設し、下ガイド３８の側部に固着した第
６モータ４６で回転する第３ボールネジ４７を前記第３
ナット部４５に螺合したもので、第６モータ４６を起動
することにより、下ハウジング３９を上下に送ることが
できるものである。

【００３２】上記構造の下第１送り手段４４の軸芯は、
下スピンドル１０に対して平行するように設けた例であ
るが、この構造に限ることがなく、図示してないが、前
記上砥石駆動装置７の上第１送り手段１６の構造を反転
した構造で構成して、下第１送り手段４４の軸芯が下ス
ピンドル１０の軸線上に合致するように設ける場合もあ
る。

【００３３】更に、前記下ハウジング３９内に係合した
下スピンドル１０は、ビルトイン形式の第７モータ４８
によって、研削加工時には高速回転されるものである。
尚、ビルトイン形式の第７モータ４８は、前記上砥石駆
動装置７と同様に、そのステータを下ハウジング３９の
内周面に固定し、一方のロータを下スピンドル１０の外
周面に固着したもので、このモータ４８の軸芯が下スピ
ンドル１０の軸芯と同一軸線上に存在するものである。

【００３４】次に、前記ワーク支持装置１３は、上記ベ
ット２の上板４より上方で、しかも前記下スピンドル１
０に設けた下砥石Ｂより上方部に備えるもので、該装置
１３は図５から図７に示しているように、ベット２の上
板４上に固定テーブル４９を設け、その上に間隔を空け
て平行に固着した水平ガイド５０の上面に、下砥石駆動
装置８を支持する前記サドル３７の摺動方向と平面的に
同方向へ移動される摺動テーブル５１を、固定テーブル
４９に固着した第８モータ５２によって回転する第４ボ
ールネジ５３で移動するように備えている。尚、摺動テ
ーブル５１は角板に円形の穴をあけた枠状体に形成して
ある。

【００３５】上記摺動テーブル５１の円形穴の周縁にＶ
溝を有する複数のガイドローラ５４を円周方向に等間隔
おきに配設し、各ガイドローラ５４によって円環状をな
す回転枠５４を回転自在に支持し、この回転枠５５の外
周面に従動歯車５６が刻設してあり、前記摺動テーブル
５１に設けている第９モータ５７の軸に設けた主動歯車
５８を従動歯車５６に噛合し、第９モータ５７の起動に
より回転するようになっている。また回転枠５５の下面
に支持板５９を回転枠５５の内空部を覆うように固着し
てあって、この支持板５９はワークＷの厚さよりも薄い
板体で、それ自体の重さによって撓んで変形しないよう
に水平外周方向に緊張した状態で架設してあり、しかも
この支持板５９の中央部にワークＷを着脱自在にセット
するセット穴６０が形成してある。このセット穴６０の
内周縁にはワークＷに回転力を伝達するための突起によ
る係合部６１を有するものである。一方、ワークＷには
前記係合部６１に嵌る通称ノッチと呼ばれる凹状の係止
部Ｈが形成されているもので、このワークＷをセット穴
６０に上方より嵌め込み、下スピンドル１０に設けてい
る下砥石Ｂ上に載置して設置されるものである。またワ
ークＷには、通称オリフラと呼ばれる切欠部（図示省
略）が存在する場合があるが、この場合のワークＷに回
転力を伝達する手段は、ノッチの場合と同様である。

【００３６】従ってワークＷをセットして第９モータ５
７を起動することにより、主従歯車５８，５６によって
回転枠５５が回動され、回転枠５５に設けた支持板５９
のセット穴６０に嵌めたワークＷが回転枠５５の回動に
伴いワークＷも一緒に回転するものである。

【００３７】以上の構造であるから、下砥石Ｂにワーク
Ｗを設置してから、上第１送り手段１６の第２モータ２
１を駆動して上ハウジング１５を下降するように早送り
して、上砥石ＵがワークＷの上面に近接した時点より、
ビルトインモータによる第１，第７モータ１７，４８を
起動して上下スピンドル９，１０を回転し、上ハウジン
グ１５の下降速度を大幅に減速して、ワークＷを回転し
ながら粗研削加工を行うものである。次いで、上第１送
り手段１６の第２モータ２１を停止する一方、静圧スラ
スト軸受け２９ａ，２９ｂのうち下側の静圧スラスト軸
受け２９ａにおけるフランジ２８に対する背圧を僅かづ
つ減少することにより、上砥石Ｕがミクロン単位で下降
し、この下降により超精密仕上げされるものである。

【００３８】次に、下砥石駆動装置８に下第２送り手段
を設ける例は、図示してないが前記上第２送り手段１８
と同様であって、ただ上下を反転した構造によって設け
られるものである。この例のものは、ワーク支持装置１
３にワークＷをセットしてから、上砥石駆動装置７の上
第１送り手段１６によって砥石Ｕを下降してワークＷを
上下の両砥石Ｕ，Ｂで挟んだ後に、両砥石Ｕ，Ｂ及びワ
ークＷを回転して、下第１送り手段４４によって下砥石
Ｂを僅かづつ上昇して粗研削し、次いで下第２送り手段
を駆動して精密研削を施し、所定の状態に仕上げるもの
である。

【００３９】また上下各砥石駆動装置７，８に第１、第
２送り手段１８，４４，１６を設けたものであれば、上
下の各第２送り手段でワークＷの表裏両面を一挙に精密
仕上げを行うことができるものである。

【００４０】

【発明の効果】請求項１に記載の両頭研削盤によれば、
早送りができる第１送り手段と、微少に送ることができ
る第２送り手段とに切り換えて、ワークに研削加工を行
うもので、砥石の早送り、粗加工送り、精密仕上げ加工
送りの各々の目的に応じた送り手段を選択することがで
き、ワークを最短の加工時間で超精密に仕上げることが
できるようになる。

【００４１】また、第１送り手段のボールネジの軸芯
が、上下スピンドルの軸芯と同一に配置されているの
で、安定した砥石の送りが得られるものである。

【００４２】請求項２に記載の両頭研削盤であれば、第
２送り手段が、静圧スラスト軸受けによってスピンドル
を交えて、該静圧スラスト軸受けの背圧を変化すること
によりスピンドルを上下する機構によるものであるか
ら、スピンドルが円滑に且つ微細な上下送りが可能とな
り、確実に超精密加工ができるようになる。

【００４３】請求項３に記載の両頭研削盤であれば、上
下スピンドル、上下のスピンドルを回転駆動するモータ
と第１送り手段及び第２送り手段の６者の軸芯を、全て
同一軸線上に合致して構成するものであるから、機械
的、熱的に剛性の高い構造とすることができると共に、
第１，第２送り手段によって目的とする送り量を精密に
送ることができ、ワークを確実に目的とする厚みに正確
に仕上げることができるようになる。

【００４４】請求項４に記載の両頭研削盤であれば、上
下スピンドルの軸芯をテーブルの中心、即ち上下スピン
ドルの軸芯からテーブルの前後に対向する両辺までの長
さが等しく、且つ左右に対向する両辺までの長さが等し
く形成してあるので、機械的及び熱的にも前後左右対称
構造となり、熱的影響の均衡と高い剛性が図られ、しか
も構造がコンパクト化され、狂いのない研削が施される
ようになる。

【００４５】また請求項５に記載の両頭研削盤であれ
ば、テーブルを門型に形成してあることから、ワークの
挿入及び取り出しが容易になり、殊に挿入時には下砥石
の上に正確に載置することができるようになる。

【００４６】また請求項６に記載の両頭研削盤であれ
ば、機械的にも熱的にも左右バランスのよい構造とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による両頭研削盤の概要を示す正面図で
ある。

【図２】同じく側面図である。

【図３】本発明による両頭研削盤の上砥石駆動装置を示
す断面図である。

【図４】上砥石駆動装置の静圧ラジアル軸受けを示す横
断面図である。

【図５】下砥石駆動装置を示す断面図である。

【図６】ワーク支持装置を示す平面図である。

【図７】ワーク支持装置の要部を示す断面図である。

【図８】本発明による両頭研削盤の平面図である。

【符号の説明】

７ 上砥石駆動装置 ８ 下砥石駆動装置 ９ 上スピンドル １０ 下スピンドル １６ 上第１送り手段 １７ 第１モータ １８ 上第２送り手段 １９ 第１静圧ラジアル軸受け ２１ 第２モータ ２３ 第１ボールネジ ２７ 第２静圧ラジアル軸受け ２９ａ，２９ｂ 静圧スラスト軸受け ４４ 下第１送り手段 ４８ 第７モータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−79596（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−106722（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−23665（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−26249（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 7/17 B24B 47/12 B24B 47/14 B24B 47/20 B24B 37/04 H01L 21/304

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下に起立して設けた各砥石駆動装置内
   に、上下の各スピンドルをそれぞれモータによって回転
   可能に設け、上下各スピンドルに上下の砥石を互いに平
   行に相対向して保持し、両砥石間にワークを挿入設置
   し、ワークを回転して研削する両頭研削盤において、前
   記上スピンドルの軸芯と下スピンドルの軸芯とが同一軸
   線上に配設され、上下の各砥石駆動装置に上下砥石を各
   々回転運動から往復直線運動に変換する機構によってワ
   ークに向かって昇降する第１送り手段を設け、この第１
   送り手段は、モータとボールネジ及びナット部からな
   り、前記上下各砥石駆動装置のうち少なくとも一方の装
   置に、砥石を流体圧によって微少量送りする第２送り手
   段を備えるとともに第１送り手段のボールネジの軸芯及
   び第２送り手段の軸芯が上下スピンドルと同一軸線上に
   配設されていることを特徴とする両頭研削盤。
2. 【請求項２】 前記第２送り手段は、静圧スラスト軸受
   けと静圧ラジアル軸受けでスピンドルを支承し、静圧ス
   ラスト軸受けの背圧に変化を与えてスピンドルを昇降可
   能に構成していることを特徴とする請求項１に記載の両
   頭研削盤。
3. 【請求項３】 前記上下スピンドルを回転する上下の各
   モータの軸芯が、上下スピンドルの軸芯と同一軸線上に
   配設していることを特徴とする請求項１または２に記載
   の両頭研削盤。
4. 【請求項４】 前記上下スピンドルの軸芯位置が、ベッ
   ト上に設けられ上砥石駆動装置を支持するテーブルに対
   して、その前後方向の中心で且つ左右方向の中心位置に
   配置していることを特徴とする請求項３に記載の両頭研
   削盤。
5. 【請求項５】 前記テーブルが、上下砥石間へのワーク
   の挿入を可能とする開放口を形成した門型構造であるこ
   とを特徴とする請求項４に記載の両頭研削盤。
6. 【請求項６】 前記テーブルには、砥石のドレッシング
   用アームと砥石の摩耗検出用アームとが、それぞれ旋回
   可能に取付けられ、両旋回軸が互いにスピンドルの軸芯
   位置を中心とする左右対称な位置に配置されていること
   を特徴とする請求項４または５に記載の両頭研削盤。