JP5562518B2 - 石英ガラスルツボ製造装置の電極構造 - Google Patents
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Description
縦向きに設置された棒状とされる複数本の電極と、個々の電極を横方向および縦方向に移動自在とする各々の電極に設けられる横移動手段および縦移動手段と、これらが載置される基台とを備え、
横移動手段と縦移動手段としては、横方向に摺動自在な支持台が基台上に設置されており、該支持台に装着部が昇降自在に取り付けられており、該装着部に電極が把持されており、装着部および支持台の移動によって装着部に把持された電極が縦横移動自在で、装着部が傾斜自在に支持台に軸着されており、装着部の傾斜によって電極の傾斜角を調整する傾斜手段が設けられて、
石英ガラスルツボを製造するモールドの搬入空間が基台の下方に形成されており、該基台から棒状の電極が搬入空間のモールドに向かって縦向きに設置されており、上記基台の上側に電極の横移動手段および縦移動手段が設けられ、
横移動手段、縦移動手段および傾斜手段によって、電極をモールドの回転中心線の側方に移動して、電極がモールド内表面から離れた側の空間が広がり、アークによって発生した高温ガスの気流がルツボの内表面に沿ってこの側方の空間に向かって流れる一方向の気流になるとともに、高温ガスの気流がこの側方の空間を通じて外部に流出しやすくなる偏心アーク溶融を可能とし、
3本または4本の電極を用い、少なくとも一部の電極をルツボ半径の25%に相当する距離を側方に移動して偏心アーク溶融を行い内循環流による局部的な過剰過熱を抑制することを特徴とする。
本発明は、前記モールド内表面に平均層厚が28mmとして石英粉層を堆積して通電時間を60minとし通電開始から20分間石英粉堆積層の真空引きを行うことができる。
〔1〕 回転モールド法による石英ガラスルツボの製造装置の電極構造であって、電極と、電極の横移動手段と、電極の縦移動手段と、これらが載置される基台とを備え、縦向きに設置された棒状の電極が横方向および縦方向に移動自在であることを特徴とする電極構造。
〔2〕複数本の電極が設けられており、各々の電極に横移動手段および縦移動手段が設けられており、個々の電極が横方向および縦方向に移動自在である上記[1]に記載の電極構造。
〔3〕横方向に摺動自在な支持台が基台上に設置されており、該支持台に装着部が昇降自在に取り付けられており、該装着部に電極が把持されており、装着部および支持台の移動によって装着部に把持された電極が縦横移動自在である上記[1]または上記[2]に記載する電極構造。
〔4〕装着部が傾斜自在に支持台に軸着されており、装着部の傾斜によって電極の傾斜角を調整する傾斜手段が設けられている上記[1]〜上記[3]の何れかに記載する電極構造。
〔5〕石英ガラスルツボを製造するモールドの搬入空間が基台の下方に形成されており、該基台から棒状の電極が搬入空間のモールドに向かって縦向きに設置されており、上記基台の上側に電極の横移動手段および縦移動手段が設けられている上記[1]〜上記[4]の何れかに記載する電極構造。
以下、本発明を図示する実施形態に基づいて具体的に説明する。
本発明の電極構造は、回転モールド法による石英ガラスルツボの製造装置に用いられる電極構造であって、図示するように、電極10と、電極10の横移動手段20と、電極の縦移動手段30と、これらが載置される基台40とを備え、縦向きに設置された棒状の電極10が横方向および縦方向に移動自在であることを特徴とする電極構造である。
本発明の電極構造を備えた製造装置を用い、回転モール法に基づいて石英ガラスルツボを製造した。モールドの口径は28インチ、モールド内表面に堆積した石英粉層の平均層厚は28mmである。通電時間は60min、通電開始から20分間は石英粉堆積層の真空引きを行った。
表1に示す本数の電極を用い、一部の電極をルツボ半径の25%に相当する距離を側方に移動して偏心アーク溶融を行った。製造した石英ガラスルツボについて、ルツボ内表面の透明層の層厚を比較し、この結果を表1に示した。透明層の層厚は、湾曲部中央の層厚をT2とし、湾曲部と底部との境界部分の層厚をT1とし、直胴部と湾曲部の境界部分の層厚をT3とし、T2を100としたときのT2に対する比で示した。
電極を移動せず、モールド回転中心線上に設置してセンターアーク溶融を行った。この結果を表1に示した。
Claims (2)
- 回転モールド法によって口径が28インチのモールド内表面に石英粉層を堆積して通電開始から前記石英粉堆積層の真空引きを行う石英ガラスルツボの製造装置の電極構造であって、
縦向きに設置された棒状とされる複数本の電極と、個々の電極を横方向および縦方向に移動自在とする各々の電極に設けられる横移動手段および縦移動手段と、これらが載置される基台とを備え、
横移動手段と縦移動手段としては、横方向に摺動自在な支持台が基台上に設置されており、該支持台に装着部が昇降自在に取り付けられており、該装着部に電極が把持されており、装着部および支持台の移動によって装着部に把持された電極が縦横移動自在で、装着部が傾斜自在に支持台に軸着されており、装着部の傾斜によって電極の傾斜角を調整する傾斜手段が設けられて、
石英ガラスルツボを製造するモールドの搬入空間が基台の下方に形成されており、該基台から棒状の電極が搬入空間のモールドに向かって縦向きに設置されており、上記基台の上側に電極の横移動手段および縦移動手段が設けられ、
横移動手段、縦移動手段および傾斜手段によって、電極をモールドの回転中心線の側方に移動して、電極がモールド内表面から離れた側の空間が広がり、アークによって発生した高温ガスの気流がルツボの内表面に沿ってこの側方の空間に向かって流れる一方向の気流になるとともに、高温ガスの気流がこの側方の空間を通じて外部に流出しやすくなる偏心アーク溶融を可能とし、
3本または4本の電極を用い、少なくとも一部の電極をルツボ半径の25%に相当する距離を側方に移動して偏心アーク溶融を行い内循環流による局部的な過剰過熱を抑制することを特徴とする電極構造。 - 前記モールド内表面に平均層厚が28mmとして石英粉層を堆積して通電時間を60minとし通電開始から20分間石英粉堆積層の真空引きを行うことを特徴とする請求項1記載の電極構造。
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