JP5080764B2 - 石英ガラス坩堝の製造方法 - Google Patents
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Description
また、前記ガス流は、圧縮空気から生産されてもよい。
前記撒散管は、1つの陰極および少なくとも1つの陽極の電極としての鋭さにより張られるプラズマ平面より上5cm〜15cmの範囲中で終わっていてもよい。
前記ガス流の流速は、少なくとも2.0m/sとなってもよい。
前記ガス流の流速は、最大6.5m/sとなってもよい。
20〜24インチの大きさを有する石英ガラス坩堝の製造のためには、前記ガス流の流速が、3.0〜5.0m/sの範囲中の値とされるのが好ましい。
26〜32インチの大きさを有する石英ガラス坩堝の製造のためには、前記ガス流の流速が、2.0〜3m/sの範囲中の値とされるのが好ましい。
前記ガス流が、水蒸気を含有するのが好ましい。
SiO2造粒2の撒き散らしの際の最適な圧縮空気量の確認のために、ブランチ10および撒散管8経由で供給された圧縮空気11の量が、1000L/時間〜4000L/時間の間において変動される。このガス量により、結果的に、15mmの撒散管8の内径の考慮下に、理論ガス流速2.4m/s〜6.5m/sが得られる(該撒散管中に供給された造粒は考慮せず)。
当石英ガラス坩堝が、圧縮空気によるSiO2造粒2の単独気泡と、水蒸気の供給との組み合わせのチャージの下、製造された。該水蒸気は、圧縮空気11に加えて、約1.4kg/時間の量で供給され、沸点における水蒸気圧に対応している。該水蒸気はこれにより、それ自体の蒸気圧に基づいてのみ、内層14の範囲中に到達し、該造粒のジェットスピードの加速のための担体ガスとしては利用されない。
3 支持体
4 中央軸
5 陰極
6 陽極
7 矢印
8 撒散管
9 リザーバー
10 ブランチ
11 圧縮空気
12 石英粒層
13 プラズマ帯(プラズマ領域)
14 内層
P プラズマ平面
Claims (8)
- 上へ開いた溶融型中で、SiO2外層を形成し、これが少なくとも一部、SiO2内層と共に設けられ、ここで、該溶融型のプラズマ帯中でプラズマが点火され、該プラズマ帯に撒散管経由で、SiO2造粒を供給し、これが該プラズマの作用の下に軟化し、該外層に向かう弾道で吹き付けられ、該内層に溶融される、単結晶の析出のための石英ガラス坩堝の製造のための方法であって、該SiO2造粒の弾道が、圧縮空気から生産されるガス流の作用の下に調整されることを特徴とする、方法。
- 前記ガス流が、前記撒散管を通して送られることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記撒散管が、1つの陰極および少なくとも1つの陽極の電極としての鋭さにより張られるプラズマ平面より上5cm〜15cmの範囲中で終わっていることを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。
- 前記ガス流の流速が、少なくとも2.0m/sとなることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ガス流の流速が、最大6.5m/sとなることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 20〜24インチの大きさを有する石英ガラス坩堝の製造のために、前記ガス流の流速が、3.0〜5.0m/sの範囲中の値とされることを特徴とする、請求項4または5に記載の方法。
- 26〜32インチの大きさを有する石英ガラス坩堝の製造のために、前記ガス流の流速が、2.0〜3m/sの範囲中の値とされることを特徴とする、請求項4または5に記載の方法。
- 前記ガス流が、水蒸気を含有することを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法。
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