JP3926167B2 - アーク溶融装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はアーク溶融装置に係わり、特にアーク電極の間隔距離を制御するアーク溶融装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般にアーク溶融装置では、アーク放電で発生するアーク炎を溶融時の熱源としており、この熱源からの熱量を制御することは溶融工程において極めて重要である。通電する電気エネルギーが熱エネルギーに変換するという観点から、従来の熱量制御は、アーク放電を発生させる電極間の電圧、電流、電力量、力率などから発生する熱量を推測して、その制御を行っている。
【0003】
一般的には1次側電源を一定としたまま、2次側の電流はサイリスタ等を用いて一定とする。この状態で、アーク電極を操作し、アーク放電が発生している電極間の距離を変化させることにより電圧値を制御し、熱的に安定なアークを発生させるような電圧値制御方式である。アーク放電が発生している電極間の距離が大きくなると、電圧値は上昇し、発熱量が大きくなり、反対に電極間の距離が小さくなると電圧値は下降し、発熱量は小さくなる。
【0004】
従来の制御方法では、電圧値を制御することにより発熱量を制御しているが、アーク発生中の電圧値は安定せず、小刻みに変動する。また、電圧値はアーク発生時に生じる微小な外乱により、大きく変動する。このため、電圧値を基にした制御では、電圧値の変化に対する電極の操作を追従させることが困難であり、そのため熱的に安定なアークの発生を継続することが困難であった。
【0005】
また、カーボンなどの消耗が著しい電極材を使用した場合、アーク放電が発生している電極間の距離は、大きくなる方向へ、常に変化することになる。この時、変動の大きい電圧値を基にアーク電極を操作すると、電極間距離を大きくし過ぎることによるアークの消失や、電極間距離を小さくし過ぎることによるアーク電極同士の接触などの問題もある。
【0006】
このため、電圧値を基にした電極間の間隔距離の制御では、アークでの発生熱量を精密に制御することは困難であり、安定した発熱量が得られない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、電極間の間隔距離を常に正確に制御でき、アークによる安定した発熱量が得られるアーク溶融装置が要望されていた。
【0008】
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、電極間の間隔距離を常に正確に制御でき、アークによる安定した発熱量が得られるアーク溶融装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の1つの態様によれば、シリカ粉末充填層が収納されたモールドと、このモールド内にアーク炎を発生するように先端部間に間隔を有して配置された複数のアーク電極と、前記間隔距離を制御するようにアーク電極を移動させる電極移動装置と、前記アーク電極の上方に配置され、前記間隔近傍を撮像する撮像装置と、前記アーク電極の上方に配置される放射温度計と、前記撮像装置からの間隔距離画像信号が2値化され画像処理されて入力され、また、前記放射温度計からのルツボ内面温度情報が入力され、かつ、前記電極移動装置を制御する制御装置とを有し、この制御装置により前記電極移動装置を制御してアーク電極を移動させ、前記間隔距離を制御するシリカガラスルツボ製造装置であることを特徴とするアーク溶融装置。これにより、電極間の間隔距離を常に正確に制御でき、アークによる安定した発熱量が得られ、均一な肉厚のシリカガラスルツボが製造可能となる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係わるアーク溶融装置の実施形態について添付図面を参照して説明する。
【0012】
図1は本発明に係わるアーク溶融装置の一実施形態としてのシリカガラスルツボ製造装置の概念図である。
【0013】
図1に示すように、シリカガラスルツボ製造装置1は、シリカ粉末充填層Mが収納され、複数の貫通孔が穿設された金型もしくは高純化処理された多孔質カーボン型などのガス透過性部材で構成されたモールド2と、その外周にガス通路3が設けられるようにモールド2を保持する保持体4を有している。
【0014】
また、保持体4の下部には、回転駆動モータ5と連結された回転軸6が固着されており、さらに、ガス通路3、回転軸6に設けられた通気路7を介してモールド2内の排気を行う排気用ポンプ8が設けられており、また、回転駆動モータ5及び排気用ポンプ8はシリカガラスルツボ製造装置1全体を制御する制御装置9に接続されている。
【0015】
さらに、上記モールド2には、その上部に複数、例えば、一対のアーク電極10、10の先端部10a、10aが挿入され、かつ、アーク炎を発生するように、先端部10a、10a間に間隔Gを有して配置されている。一対のアーク電極10、10は、間隔Gの距離を制御するようにアーク電極10、10を移動させる電極移動装置11、11に各々取付けられている。
【0016】
図2に示すように、電極移動装置11、11は、アーク電極10、10が取付けられ、進退自在にケーシング11aに収納された電極取付部材11bと、この電極取付部材11bを進退させるボールねじ11cと、このボールねじ11cを回転させるステッピングモータ11dとで構成され、このステッピングモータ11dは、制御装置9によって制御されるようになっており、制御装置9によりステッピングモータ11dを制御して、アーク電極10を進退できるようになっている。
【0017】
制御装置9はいずれも図示しないCPUがROM及びRAMとデータのやりとりを行いながらROMに記憶されている制御プログラムを実行することによって、ステッピングモータ11dはじめシリカガラスルツボ製造装置1の構成装置を制御するようになっている。
【0018】
アーク放電が発生する電極間の電圧値は、その距離と相関関係があり、電圧値とアークでの発生熱量とも相関関係がある。従って、アーク放電が発生する電極の間隔距離を制御することによりアークによる発生熱量を制御することが可能である。
【0019】
また、図1に示すように、アーク電極10、10の上方には、アーク電極10、10、特にアーク電極10、10の間隔G近傍を撮像するように撮像装置、例えば、CCDカメラ12が設けられている。このCCDカメラ12には、A/D変換回路13が接続され、このA/D変換回路13には画像処理装置14が接続され、さらに、画像処理装置14には上記制御装置9が接続されている。
【0020】
CCDカメラ12を用いることで、アーク電極10、10の間隔Gの距離を、過酷な環境であるシリカガラスルツボ製造装置1の高温域から離れた位置に置いて、非接触で測定を行うことが可能となって、結果、CCDカメラ12の耐熱性向上、耐久性向上、不純物汚染回避、保守管理容易となる。
【0021】
さらに、CCDカメラ12に熱線反射フィルター12aを取付けることにより、CCDカメラ12を熱環境から保護し、また、CCDカメラ12に、遮光フィルターや偏向フィルターを使用することにより、アーク放電が発生している電極先端部近傍を、発生しているアーク炎、ガス流などに影響されることなく明瞭に撮像することができる。
【0022】
次に本発明に係わるアーク溶融装置の実施形態のシリカガラスルツボ製造装置を用いたシリカガラスルツボの製造方法について説明する。
【0023】
図1に示すように、上述したシリカガラスルツボ製造装置1を用いてルツボの製造を行うには、制御装置9からの指令により、回転駆動モータ5を稼働させて回転軸6を回転させることによって、モールド2を所定の速度で回転させる。モールド2内に、上部から高純度のシリカ粉末を供給する。供給されたシリカ粉末は、遠心力によってモールド2に押圧されルツボ形状のシリカ粉末充填層Mとして形成される。また、アーク電極10、10は、その間隔Gが所定の距離になるように設定されている。
【0024】
しかる後、アーク電極10、10に通電して、アーク炎を発生させ、その熱によりシリカ粉末充填層Mの内側から加熱し、この内表面に溶融層を形成する。
【0025】
この溶融工程において、アーク炎の発生が継続されると、アーク電極10、10は消耗し、間隔Gの距離が拡大し、結果熱量が増加する。一方、CCDカメラ12は、常時、アーク電極10、10、特にアーク電極10、10の間隔G近傍を撮像しており、CCDカメラ12からの間隔距離画像信号がA/D変換回路13で2値化され、画像処理装置14により画像処理され制御装置9に入力され、所定距離との比較がなされる。制御装置9が、間隔Gの距離は所定の値よりも拡大したと判定すると、図2に示すように、制御装置9は電極移動装置11のステッピングモータ11dを制御してボールねじ11cを回転させて、電極取付部材11bを前進させ、溶融工程のルツボ安定製造期には、アーク電極10、10の間隔Gの距離を一定(所定)の値に修正する。
【0026】
なお、溶融工程のルツボ製造初期及び終期において、熱量を制御する必要がある場合には、それぞれに必要とされる熱量が得られるように、それぞれ所定の間隔距離の設定が行われる。
【0027】
このように溶融工程中、常時、CCDカメラ12により、アーク電極10、10の間隔G近傍を撮像し、この間隔距離画像信号に基づき、間隔距離が正確な所定値になるようにアーク電極10、10を進退させるので、電極の間隔距離の変化を最小限に抑制でき、従来の電圧値制御方式によって生じるような小刻みな変動をなくすることができる。この結果、熱的に安定なアークの発生を実現することができて、均一な肉厚のシリカガラスルツボを製造することができる。
【0028】
さらに、本アーク溶融装置に加え、放射温度計をこの上方に配置し、ルツボ内面の温度を測定し、この情報を制御装置9に入力することで、電極の間隔を調整することがより好ましい。これにより、より高精度なシリカガラスルツボの製造が可能となる。
【0030】
【発明の効果】
本発明に係わるアーク溶融装置によれば、電極間距離を常に正確に制御でき、アークによる安定した発熱量が得られるアーク溶融装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わるアーク溶融装置の概念図。
【図2】本発明に係わるアーク溶融装置に用いられる電極移動装置の概念図。
【符号の説明】
1 シリカガラスルツボ製造装置
2 モールド
3 ガス通路
4 保持体
5 回転駆動モータ
6 回転軸
7 通気路
8 排気用ポンプ
9 制御装置
10 アーク電極
11 電極移動装置
11a ケーシング
11b 電極取付部材
11c ボールねじ
11d ステッピングモータ
12 CCDカメラ
12a 熱線反射フィルター
13 A/D変換回路
14 画像処理装置
M シリカ粉末充填層
G 間隔
Claims (1)
- シリカ粉末充填層が収納されたモールドと、このモールド内にアーク炎を発生するように先端部間に間隔を有して配置された複数のアーク電極と、前記間隔距離を制御するようにアーク電極を移動させる電極移動装置と、前記アーク電極の上方に配置され、前記間隔近傍を撮像する撮像装置と、前記アーク電極の上方に配置される放射温度計と、前記撮像装置からの間隔距離画像信号が2値化され画像処理されて入力され、また、前記放射温度計からのルツボ内面温度情報が入力され、かつ、前記電極移動装置を制御する制御装置とを有し、この制御装置により前記電極移動装置を制御してアーク電極を移動させ、前記間隔距離を制御するシリカガラスルツボ製造装置であることを特徴とするアーク溶融装置。
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