JP5558277B2 - 位置決め装置及び位置決め方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る位置決め装置を示す構成図である。図2は、第1の実施形態に係る位置決め装置を示すブロック図である。図1において、位置決め装置は、大別して、粗動・微動機構部5と、制御駆動部50とを備えている。
図3は、上述した外乱相殺信号生成部30における動作のフローチャートを示す。
その他、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせであってもよい。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
Claims (2)
- 粗動機構と、
前記粗動機構より単位変化量が小さい微動機構と、
前記粗動機構の位置、角度、速度及び角速度のうち少なくとも1つに関するセンサ信号に基づく粗動機構制御信号により前記粗動機構を制御し駆動する粗動機構制御駆動部と、
前記微動機構の位置、角度、速度及び角速度のうち少なくとも1つに関するセンサ信号に基づく微動機構制御信号により前記微動機構を制御し駆動する微動機構制御駆動部と、
前記粗動機構を駆動するアクチュエータの駆動電流を検出する粗動機構アクチュエータ電流センサと、
前記粗動機構及び前記微動機構に関するパラメータを記憶する記憶部と、
前記粗動機構アクチュエータ電流センサによって検出した粗動機構アクチュエータ駆動電流信号と前記粗動機構のセンサ信号とから上記粗動機構を駆動する力またはトルクを算出し、前記粗動機構の駆動力または駆動トルクと、前記粗動機構及び前記微動機構のセンサ信号と、前記記憶部に記憶された粗動機構及び微動機構に関する機構パラメータとから、前記粗動機構の動作により前記微動機構に発生する外乱量を算出し、前記外乱量を打消すための外乱相殺信号を生成して前記微動機構制御信号に加算する外乱相殺信号生成部とを具備することを特徴とする位置決め装置。 - 粗動機構と、前記粗動機構より単位変化量が小さい微動機構と、前記粗動機構の位置、角度、速度及び角速度のうち少なくとも1つに関するセンサ信号に基づく粗動機構制御信号により前記粗動機構を制御し駆動する粗動機構制御駆動部と、前記微動機構の位置、角度、速度及び角速度のうち少なくとも1つに関するセンサ信号に基づく微動機構制御信号により前記微動機構を制御し駆動する微動機構制御駆動部と、前記粗動機構を駆動するアクチュエータの駆動電流を検出する粗動機構アクチュエータ電流センサとを備える位置決め装置に用いられる方法であって、
前記粗動機構及び前記微動機構に関するパラメータを記憶部に記憶し、
前記粗動機構アクチュエータ電流センサによって検出した粗動機構アクチュエータ駆動電流信号と前記粗動機構のセンサ信号とから上記粗動機構を駆動する力またはトルクを算出し、
前記粗動機構の駆動力または駆動トルクと、前記粗動機構及び前記微動機構のセンサ信号と、前記記憶部に記憶された粗動機構及び微動機構に関する機構パラメータとから、前記粗動機構の動作により前記微動機構に発生する外乱量を算出し、前記外乱量を打消すための外乱相殺信号を生成して前記微動機構制御信号に加算することを特徴とする位置決め方法。
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