JP5284229B2 - 位置決め装置 - Google Patents
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Description
図1に、本発明に係る位置決め装置の一実施形態を示す構成図を示す。図2に、この位置決め装置の機能ブロック図を示す。
図3に、上述した外乱相殺信号生成部30における動作のフローチャートを示す。
微動機構への外乱トルク=
微動機構可動部の慣性モーメント(回転軸回り)×粗動機構角加速度×外乱寄与率
外乱相殺信号演算部31は、微動機構のパラメータ値を用い、微動機構の運動方程式やアクチュエータの動作式等に基づき、上記微動機構への外乱量と符号が逆の補正量を発生させるために必要な微動機構補正制御量(微動機構外乱相殺信号)を算出する。
Claims (2)
- 粗動機構と、
前記粗動機構より単位変位量が小さい微動機構と、
前記粗動機構の位置、角度、速度、角速度等に関するセンサ信号に基づく粗動機構制御信号により前記粗動機構を制御する粗動機構制御部と、
前記微動機構の位置、角度、速度、角速度等に関するセンサ信号に基づく微動機構制御信号により制御する微動機構制御部と、
前記粗動機構及び前記微動機構に関するパラメータを記憶する記憶部と、
前記粗動制御信号及び前記粗動機構のセンサ信号と、前記記憶部に記憶された粗動機構及び微動機構に関するパラメータとから、前記粗動機構の動作により発生する前記微動機構の位置決め誤差を算出し、前記誤差を相殺させるための外乱相殺信号を生成して前記微動制御信号に加算する外乱相殺信号生成部と
を具備することを特徴とする位置決め装置。 - 粗動機構と、前記粗動機構より単位変位量が小さい微動機構と、前記粗動機構の位置、角度、速度、角速度等に関するセンサ信号に基づく粗動機構制御信号により前記粗動機構を制御する粗動機構制御部と、前記微動機構の位置、角度、速度、角速度等に関するセンサ信号に基づく微動機構制御信号により制御する微動機構制御部とを備える位置決め装置に用いられる方法であって、
前記粗動機構及び前記微動機構に関するパラメータを記憶し、
前記粗動制御信号及び前記粗動機構のセンサ信号と、前記記憶部に記憶された粗動機構及び微動機構に関するパラメータとから、前記粗動機構の動作により発生する前記微動機構の位置決め誤差を算出し、前記誤差を相殺させるための外乱相殺信号を生成して前記微動制御信号に加算することを特徴とする位置決め方法。
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