JP2011159210A - パラレルリンク機構の制御装置および制御方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】パラレルリンク機構の各リンク機構に備えたモータに指令値を出力する際に、事前に補正値を準備することなく、理想の移動軌跡に対する追従性を高めることができるパラレルリンク機構の制御装置および制御方法を提供する。
【解決手段】リンク機構によって変更されたエンドエフェクタの位置および姿勢を表す実位置の情報を取得し、リンク機構に出力した指令値と取得した実位置の情報とに基づいた偏差量に応じた補正量を次の指令値に加算し、該補正量を加算した指令値をリンク機構の各サーボモータに出力する指令値補正部、を備え、指令値補正部は、エンドエフェクタを目的の位置および姿勢に移動させるための最初の制御周期と、エンドエフェクタが目的の位置および姿勢に到達する最後の制御周期以外の制御周期のときに、補正した指令値をリンク機構の各サーボモータに出力する。
【選択図】図1
【解決手段】リンク機構によって変更されたエンドエフェクタの位置および姿勢を表す実位置の情報を取得し、リンク機構に出力した指令値と取得した実位置の情報とに基づいた偏差量に応じた補正量を次の指令値に加算し、該補正量を加算した指令値をリンク機構の各サーボモータに出力する指令値補正部、を備え、指令値補正部は、エンドエフェクタを目的の位置および姿勢に移動させるための最初の制御周期と、エンドエフェクタが目的の位置および姿勢に到達する最後の制御周期以外の制御周期のときに、補正した指令値をリンク機構の各サーボモータに出力する。
【選択図】図1
Description
本発明は、パラレルリンク機構の制御装置および制御方法に関する。
従来から、6自由度の相対運動が可能なパラレルリンク機構を用いた精密ステージ装置が知られている。この精密ステージ装置は、例えば、製品の組み立て調整機や加工機械などに用いられ、加工対象物などをエンドエフェクタ(ステージ)に搭載し、エンドエフェクタに機械的に可動可能に連結された各リンク機構を制御することによって、エンドエフェクタの位置・姿勢を決定している。それぞれのリンク機構には、モータが備えられており、パラレルリンク機構の制御部は、各リンク機構のモータを制御することによって、エンドエフェクタを移動させている。
従来のパラレルリンク機構の制御部では、エンドエフェクタの可動範囲を空間的に3次元の複数のブロックに分割し、この分割したブロック毎にそれぞれ荷重補正値を予め設定している。そして、パラレルリンク機構によってエンドエフェクタを移動させる際、エンドエフェクタが位置するブロックに設定されている荷重補正値と通常の位置指令値とを併せた指令値を各リンク機構のモータに出力する。これにより、エンドエフェクタの移動軌跡の追従性を向上させている(特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1で開示されたような、エンドエフェクタの移動軌跡の追従性を向上させるための制御方法では、例えば、エンドエフェクタの可動範囲を空間的に分割したブロックに対応したテーブルに荷重補正値を記憶している。このため、各ブロックに対応した荷重補正値を事前に算出してテーブルに記憶しておく必要がある。このとき、テーブルに記憶する荷重補正値は、精密ステージ装置に備えたリンク機構(軸)の数と、分割したブロックの数とに応じた数の荷重補正値を算出(事前準備)しておく必要がある。例えば、エンドエフェクタの可動範囲を3次元の各方向に6分割した場合、1つの軸(リンク機構)に対して63(=216)個の荷重補正値を算出する。そして、6軸全ての荷重補正値は、63×6(=1296)個という多大な数の荷重補正値を算出(事前準備)することとなる。この荷重補正値の事前の算出は、複雑な演算式を用いて行うため、多大な数の荷重補正値の算出には相当の時間を費やしてしまうという問題がある。
また、ブロックの分割数によってエンドエフェクタの位置・姿勢を補正することのできる分解能が決まるため、エンドエフェクタを移動させる位置と姿勢とを細かく調整するためには、ブロックの分割数を多くする必要がある。しかし、ブロックの分割数を多くすると、さらに、事前に準備しておく必要がある荷重補正値の算出に時間を費やしてしまう。
また、荷重補正値は、分割したブロック毎に1つの荷重補正値を記憶しているため、エンドエフェクタが同一のブロック内に位置しているときには、同一の荷重補正値に基づいてエンドエフェクタの位置・姿勢が補正される。このため、同一ブロック内において、エンドエフェクタの位置・姿勢に誤差が生じる箇所が存在してしまう。すなわち、同一ブロック内において、エンドエフェクタの位置や姿勢の細かい微調整を行うことができない。これにより、エンドエフェクタの理想的な移動軌跡に対する実際の移動軌跡に誤差が生じてしまうという問題がある。
本発明は、上記の課題認識に基づいてなされたものであり、パラレルリンク機構の各リンク機構に備えたモータに指令値を出力する際に、事前に補正値を準備することなく、理想の移動軌跡に対する追従性を高めることができるパラレルリンク機構の制御装置および制御方法を提供することを目的としている。
上記の課題を解決するため、本発明のパラレルリンク機構の制御装置は、ベースと、前記ベースに対して間隔をあけて配置されるエンドエフェクタと、前記ベースに固定されたサーボモータを有する駆動リンクが一端に連結され、前記エンドエフェクタに連結された可動リンクが他端に連結され、前記駆動リンクと前記可動リンクとの間隔を変更することによって前記ベースに対する前記エンドエフェクタの位置および姿勢を可変とする少なくとも3組のリンク機構とを備えたパラレルリンク機構の制御装置において、前記リンク機構によって変更された前記エンドエフェクタの位置および姿勢を表す実位置の情報を取得し、前記リンク機構に出力した指令値と取得した前記実位置の情報とに基づいた偏差量に応じた補正量を次の指令値に加算し、該補正量を加算した指令値を前記リンク機構の各サーボモータに出力する指令値補正部、を備え、前記指令値補正部は、前記エンドエフェクタを目的の位置および姿勢に移動させるための最初の制御周期と、前記エンドエフェクタが目的の位置および姿勢に到達する最後の制御周期以外の制御周期のときに、補正した指令値を前記リンク機構の各サーボモータに出力する、ことを特徴とする。
また、本発明の前記指令値補正部は、設定された前記エンドエフェクタの位置および姿勢に基づいて、前記リンク機構の各サーボモータに出力する設定指令値を生成する指令値生成部と、前記リンク機構の各サーボモータに出力した指令値と、前記リンク機構によって変更された前記エンドエフェクタの位置および姿勢を表す実位置の情報とに基づいて、前記設定指令値に対する前記実位置の偏差量を検出する偏差量検出部と、前記偏差量検出部が検出した偏差量に基づいて、前記リンク機構の各サーボモータに出力する指令値を補正するための補正量を算出する補正量算出部と、前記補正量算出部が算出した前記補正量を、前記指令値生成部によって生成された前記設定指令値に加算した補正指令値を生成する指令値補正量加算部と、前記指令値生成部によって生成された前記設定指令値または前記指令値補正量加算部によって生成された前記補正指令値を、前記リンク機構の各サーボモータに出力する指令値として、前記リンク機構の制御周期毎に出力する指令値出力部と、を備え、前記指令値出力部は、前記エンドエフェクタを設定された位置および姿勢に移動させるための最初の前記制御周期と、前記エンドエフェクタが設定された位置および姿勢に到達する最後の前記制御周期とにおいて、前記指令値生成部によって生成された前記設定指令値を前記リンク機構の各サーボモータに指令値として出力し、前記エンドエフェクタを設定された位置および姿勢に移動させるための最初の前記制御周期と、前記エンドエフェクタが設定された位置および姿勢に到達する最後の前記制御周期以外の制御周期において、前記指令値補正量加算部によって生成された前記補正指令値を前記リンク機構の各サーボモータに指令値として出力する、ことを特徴とする。
また、本発明の前記補正量算出部は、さらに、前記実位置の情報を前記リンク機構の制御周期毎に移動平均し、移動平均した情報と前記偏差量検出部が検出した偏差量に基づいて、前記リンク機構の各サーボモータに出力する指令値を補正するための補正量を算出する、ことを特徴とする。
また、本発明のパラレルリンク機構の制御方法は、ベースと、前記ベースに対して間隔をあけて配置されるエンドエフェクタと、前記ベースに固定されたサーボモータを有する駆動リンクが一端に連結され、前記エンドエフェクタに連結された可動リンクが他端に連結され、前記駆動リンクと前記可動リンクとの間隔を変更することによって前記ベースに対する前記エンドエフェクタの位置および姿勢を可変とする少なくとも3組のリンク機構とを備えたパラレルリンク機構の制御方法において、前記リンク機構によって変更された前記エンドエフェクタの位置および姿勢を表す実位置の情報を取得し、前記リンク機構に出力した指令値と取得した前記実位置の情報とに基づいた偏差量に応じた補正量を次の指令値に加算し、該補正量を加算した指令値を前記リンク機構の各サーボモータに出力する指令値補正手順、を含み、前記指令値補正手順において、前記エンドエフェクタを目的の位置および姿勢に移動させるための最初の制御周期と、前記エンドエフェクタが目的の位置および姿勢に到達する最後の制御周期以外の制御周期のときに、補正した指令値を前記リンク機構の各サーボモータに出力する、ことを特徴とする。
本発明によれば、パラレルリンク機構の各リンク機構に備えたモータに指令値を出力する際に、事前に補正値を準備することなく、理想の移動軌跡に対する追従性を高めたパラレルリンク機構の制御を行うことができるという効果が得られる。
<第1の実施形態>
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。図1は、本第1の実施形態によるパラレルリンク機構によって制御される精密ステージ装置の概略構成を示した装置構成図である。図1において、精密ステージ装置7は、6自由度に移動するステージであるエンドエフェクタ1と、エンドエフェクタ1に連結された可動リンク2と、精密ステージ装置7を外部の構造物に固定するためのベース6と、ベース6に固定されたサーボモータ5を備える駆動リンク4と、一端が駆動リンク4に連結され、他端が可動リンク2に連結された連結リンク3とを備えている。また、精密ステージ装置7は、コントローラ20と、モータ駆動ドライバ10とを備えている。また、サーボモータ5は、エンコーダ8を備えている。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。図1は、本第1の実施形態によるパラレルリンク機構によって制御される精密ステージ装置の概略構成を示した装置構成図である。図1において、精密ステージ装置7は、6自由度に移動するステージであるエンドエフェクタ1と、エンドエフェクタ1に連結された可動リンク2と、精密ステージ装置7を外部の構造物に固定するためのベース6と、ベース6に固定されたサーボモータ5を備える駆動リンク4と、一端が駆動リンク4に連結され、他端が可動リンク2に連結された連結リンク3とを備えている。また、精密ステージ装置7は、コントローラ20と、モータ駆動ドライバ10とを備えている。また、サーボモータ5は、エンコーダ8を備えている。
なお、図1に示した精密ステージ装置7において、各符号の後の“_:アンダーバー”に続く数字は、精密ステージ装置7内に備えたリンク機構の軸番号を示す。例えば、第1軸のリンク機構は、可動リンク2_1と、連結リンク3_1と、駆動リンク4_1と、サーボモータ5_1と、エンコーダ8_1とによって構成される。また、精密ステージ装置7内に備えたリンク機構の軸番号を特定しない場合は、各符号の後の“_:アンダーバー”およびそれに続く数字を表記しない。
精密ステージ装置7の使用者は、エンドエフェクタ1を移動させる位置・姿勢の情報をコントローラ20に設定する。この設定された位置・姿勢の情報に基づいて、エンドエフェクタ1が指定された位置・姿勢に移動する。
コントローラ20は、精密ステージ装置7の使用者によって設定されたエンドエフェクタ1の位置・姿勢の情報に基づいて、モータ駆動ドライバ10に出力する指令値を算出する。また、コントローラ20は、各サーボモータ5から入力された駆動リンク4の位置・姿勢の情報に基づいて、モータ駆動ドライバ10に出力する指令値を補正する指令値補正部200を備えている。そして、コントローラ20は、算出した指令値または補正した指令値をモータ駆動ドライバ10に出力する。
モータ駆動ドライバ10は、コントローラ20から入力された指令値に応じた駆動指令を各サーボモータ5に出力する。
各サーボモータ5は、モータ駆動ドライバ10から入力された駆動指令に応じて駆動リンク4を駆動(移動)し、移動した駆動リンク4の位置・姿勢の情報をエンコーダ8によって検出する。各サーボモータ5は、エンコーダ8によって検出した駆動リンク4の位置・姿勢の情報をモータ駆動ドライバ10およびコントローラ20に出力する。
次に、本第1の実施形態の精密ステージ装置におけるリンク機構の制御に係わる構成について説明する。図2は、本第1の実施形態の精密ステージ装置7におけるリンク機構の制御に係わる構成の一例を示したブロック図である。なお、図2においては、精密ステージ装置7内の1つのリンク機構の構成要素である第1軸のサーボモータ5_1とエンコーダ8_1のみを示している。また、精密ステージ装置7内のその他のリンク機構については、図2に示した一例と同様に考えることができる。
指令値補正部200は、指令値生成部201と、指令値出力部202と、偏差量検出部203と、補正量算出部204と、指令値・補正量加算部205とを備える。また、モータ駆動ドライバ10は、従来のモータ駆動ドライバと同等の機能であり、例えば、位置制御部101と、速度制御部102と、電流制御部103と、位置−速度変換部104とを備えている。
指令値生成部201には、精密ステージ装置7の使用者によって設定されたエンドエフェクタ1を移動させる位置と姿勢との情報が入力される。そして、指令値生成部201は、入力(設定)されたエンドエフェクタ1の位置・姿勢情報(以下、「目標位置」という)に基づいて、サーボモータ5を動作させるための指令値を生成する。指令値生成部201は、生成した指令値を指令値出力部202および指令値・補正量加算部205に出力する。
指令値出力部202は、指令値生成部201から入力された指令値(以下、「設定指令値」という)または後述する指令値・補正量加算部205から入力された指令値(以下、「補正指令値」という)をモータ駆動ドライバ10に出力する。また、指令値出力部202からモータ駆動ドライバ10に出力する指令値は、偏差量検出部203にも出力される。
偏差量検出部203は、指令値出力部202がモータ駆動ドライバ10に出力した指令値(指定指令値または補正指令値)と、その指令値に応じてエンドエフェクタ1が実際に移動したときの位置と姿勢との情報に基づいて、指令値に対する実位置の差である偏差量を検出する。なお、エンドエフェクタ1が実際に移動したときの位置と姿勢との情報(以下、「実位置」という)は、エンコーダ8_1から入力される。偏差量検出部203は、検出した偏差量を補正量算出部204に出力する。
なお、指令値出力部202から出力される指令値の情報の形式と、エンコーダ8_1から入力された実位置の情報の形式とが異なる場合が考えられる。例えば、指令値出力部202から出力される指令値の情報の形式がモータ駆動ドライバ10から出力する電流値を表すデータであり、エンコーダ8_1から入力された実位置の情報の形式がサーボモータ5_1が回転したときの回転数を表すパルス数のデータであることが考えられる。このような場合、偏差量検出部203は、エンコーダ8_1から入力されたパルス数のデータをモータ駆動ドライバ10に出力する電流値のデータに変換するなど、指令値と実位置との情報の形式を統一する。そして、偏差量検出部203は、情報の形式を統一した指令値の情報と実位置の情報とに基づいて、偏差量を検出する。例えば、情報の形式を統一した指令値から情報の形式を統一した実位置を減算することによって、偏差量を検出することができる。
補正量算出部204は、偏差量検出部203から入力された偏差量に基づいて、サーボモータ5を動作させるための指令値の補正量(以下、「補正値」という)を算出する。補正量算出部204は、算出した補正値を指令値・補正量加算部205に出力する。
指令値・補正量加算部205は、指令値生成部201から入力された設定指令値と、補正量算出部204から入力された補正値とを加算し、補正指令値として指令値出力部202に出力する。
位置制御部101は、指令値補正部200から入力された指令値に基づいて、サーボモータ5_1を駆動してエンドエフェクタ1の位置と姿勢とを制御するための駆動指令を出力する。また、この位置と姿勢とを制御する駆動指令(以下、「位置指令」という)は、エンドエフェクタ1が実際に移動したときの実位置に応じて、位置指令の内容が逐次更新される。位置制御部101は、位置指令を速度制御部102に出力する。
速度制御部102は、位置制御部101から入力された位置指令に基づいて、サーボモータ5_1を駆動してエンドエフェクタ1を移動する速度を制御するための駆動指令を出力する。また、この速度を制御する駆動指令(以下、「速度指令」という)は、後述する位置−速度変換部104から入力される、エンドエフェクタ1が実際に移動したときの速度に応じて、速度指令の内容が逐次更新される。速度制御部102は、速度指令を電流制御部103に出力する。
電流制御部103は、速度制御部102から入力された速度指令に基づいて、サーボモータ5_1を駆動するための駆動指令(電流値)を、サーボモータ5_1に出力する。また、電流制御部103は、出力した駆動指令(電流値)に応じて、次にサーボモータ5_1に出力する駆動指令(電流値)を逐次更新する。
位置−速度変換部104は、エンコーダ8_1から入力されたエンドエフェクタ1が実際に移動したときの実位置に基づいて、実位置の情報をエンドエフェクタ1の移動速度の情報に変換し、速度制御部102に出力する。
次に、本第1の実施形態の精密ステージ装置におけるリンク機構の制御方法について説明する。図3は、本第1の実施形態の精密ステージ装置7の指令値補正部200におけるリンク機構の制御手順を示したフローチャートである。図3に示した制御手順によるリンク機構の制御は、精密ステージ装置7に備えた全てのリンク機構の制御が同時に並行して行われる。なお、図3の説明においては、説明を簡略化するため、精密ステージ装置7内に備えた第1軸のリンク機構を制御する場合について説明する。その他の軸のリンク機構の制御は、図3に示した制御手順と同様に考えることができる。
最初に、精密ステージ装置7の使用者によって、指令値補正部200にエンドエフェクタ1を移動させる位置と姿勢との情報(目標位置)が設定されると、まず、ステップS10において、指令値生成部201は、設定された目標位置に基づいて、サーボモータ5を動作させる制御周期(以下、「サーボ制御周期」という)毎の設定指令値を生成する。そして、生成したサーボ制御周期毎の設定指令値を指令値出力部202および指令値・補正量加算部205に出力する。また、指令値出力部202および指令値・補正量加算部205は、指令値生成部201から入力されたサーボ制御周期毎の設定指令値を一時記憶する。
続いて、ステップS20において、指令値出力部202は、現在の時刻がサーボ制御周期のタイミングであるか否かを確認する。サーボ制御周期のタイミングである場合は、ステップS30に進む。また、サーボ制御周期のタイミングでない場合は、ステップS20を繰り返す。
続いて、ステップS30において、指令値出力部202は、現在のサーボ制御周期が最後のサーボ制御周期のタイミング、すなわち、精密ステージ装置7の使用者によって設定された目標位置に応じた最後の指令値を出力するタイミングであるか否かを確認する。最後の指令値を出力するタイミングでない場合は、ステップS40に進む。また、最後の指令値を出力するタイミングである場合は、ステップS100に進み、指令値出力部202は、指令値生成部201から入力された設定指令値をモータ駆動ドライバ10に出力し、処理を完了する。これにより、モータ駆動ドライバ10から設定指令値に基づいた駆動指令が各サーボモータ5に出力され、精密ステージ装置7の使用者によって設定された目標位置にエンドエフェクタ1が移動する。
また、ステップS30において、最後の指令値を出力するタイミングでない場合、ステップS40において、指令値出力部202は、現在のサーボ制御周期が最初のサーボ制御周期のタイミング、すなわち、精密ステージ装置7の使用者によって設定された目標位置に応じた最初の指令値を出力するタイミングであるか否かを確認する。最初の指令値を出力するタイミングである場合、ステップS50において、指令値出力部202は、指令値生成部201から入力された設定指令値をモータ駆動ドライバ10に出力し、ステップS20に戻る。これにより、モータ駆動ドライバ10から設定指令値に基づいた駆動指令が各サーボモータ5に出力され、精密ステージ装置7の使用者によって設定された目標位置にエンドエフェクタ1の移動が開始する。
また、ステップS40において、最初の指令値を出力するタイミングでない場合、ステップS60において、偏差量検出部203は、エンコーダ8から入力されたエンドエフェクタ1の実位置を取得する。そして、偏差量検出部203は、指令値出力部202から入力された設定指令値とエンコーダ8から入力された実位置とに基づいて、偏差量を検出する。
続いて、ステップS70において、補正量算出部204は、偏差量検出部203から入力された偏差量に基づいて、サーボモータ5の補正値を算出する。
続いて、ステップS80において、指令値・補正量加算部205は、指令値生成部201から入力され一時記憶している設定指令値と補正量算出部204から入力された補正値とを加算した補正指令値を生成する。そして、ステップS90において、指令値出力部202は、指令値・補正量加算部205から入力された補正指令値をモータ駆動ドライバ10に出力し、ステップS20に戻る。これにより、モータ駆動ドライバ10から補正指令値に基づいた駆動指令が各サーボモータ5に出力され、エンドエフェクタ1が理想の移動軌跡、すなわち、指令値生成部201によって生成されたサーボ制御周期毎の設定指令値に沿って移動する。
上記に述べたとおり、本第1の実施形態によれば、エンドエフェクタ1が移動している途中の実位置をサーボ制御周期毎に取得し、エンドエフェクタ1の移動軌跡の偏差量を検出することができる。そして、検出した偏差量に基づいて、次のサーボ制御周期でモータ駆動ドライバ10に出力する指令値を補正することができる。これにより、エンドエフェクタ1の移動軌跡が、理想の移動軌跡に近い軌跡となり、移動軌跡の追従性を高めることができる。
ここで、本第1の実施形態のパラレルリンク機構によって制御される精密ステージ装置の動作例について説明する。図4は、本第1の実施形態におけるパラレルリンク機構によって制御されていない場合、すなわち、従来のパラレルリンク機構によって制御される各軸のリンク機構に備えたサーボモータ5に対する指令値とエンドエフェクタ1の実位置とを示す概念図である。また、図5は、本第1の実施形態におけるパラレルリンク機構によって制御される各軸のリンク機構に備えたサーボモータ5に対する補正指令値とエンドエフェクタ1の実位置とを示す概念図である。なお、図4および図5においては、エンドエフェクタ1を8回のサーボ制御周期(T1〜T8)で地点A(現在位置)から地点B(目標位置)に移動させる場合の一例を示している。この制御周期は、地点Aから地点Bまでに移動させる間を、予め定められた所定時間毎に区切った形で構成される。また、地点Aおよび地点Bの各符号の後の“_:アンダーバー”に続く数字は、精密ステージ装置7内に備えたリンク機構の軸番号を示す。例えば、第1軸のリンク機構は、地点A_1から地点B_1に移動する。
エンドエフェクタ1が地点Aから地点Bに移動する場合、エンドエフェクタ1に搭載した加工対象物の重量や重心によって、各軸のリンク機構に掛かる負荷が異なる。この各軸のリンク機構の負荷によって、図4に示すように、設定指令値に応じたエンドエフェクタ1の実位置が異なり、各軸のリンク機構における偏差量も異なる。なお、図4に示した設定指令値に応じた実位置は、エンコーダ8によって検出したエンドエフェクタ1の実位置を表している。
そこで、指令値補正部200は、エンコーダ8によって検出したエンドエフェクタ1の実位置に基づいて生成した、図5に示すような補正指令値を各軸のリンク機構のサーボモータ5に出力する。これにより、図5に示すように、エンドエフェクタ1の実位置が補正指令値に応じた実位置となる。なお、最初のサーボ制御周期T1においては、エンコーダ8がエンドエフェクタ1の実位置を検出していないため、各軸のリンク機構のサーボモータ5に出力する指令値は、設定指令値である。また、最後のサーボ制御周期T8においては、補正指令値によってエンドエフェクタ1の位置が精密ステージ装置7の使用者によって設定された目標位置と異なる位置に移動してしまう可能性を回避するため、各軸のリンク機構のサーボモータ5に出力する指令値は、設定指令値である。
上記に述べたとおり、本第1の実施形態によるパラレルリンク機構によれば、サーボ制御周期(T2〜T7)のタイミングにおいて、設定指令値に代わって補正指令値を各軸のリンク機構のサーボモータ5に出力することによって、エンドエフェクタ1の移動軌跡が理想の移動軌跡(図4および図5に示した設定指令値の軌跡)に近い軌跡となり、移動軌跡の追従性を高めることができる。これにより、パラレルリンク機構における高精度な移動軌跡の制御を行うことができる。
<第2の実施形態>
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図6は、本第2の実施形態によるパラレルリンク機構によって制御される精密ステージ装置の概略構成を示した装置構成図である。図6において、指令値補正部210は、指令値生成部201と、指令値出力部202と、偏差量検出部203と、補正量算出部214と、指令値・補正量加算部205とを備える。また、モータ駆動ドライバ10は、従来のモータ駆動ドライバと同等の機能であり、例えば、位置制御部101と、速度制御部102と、電流制御部103と、位置−速度変換部104とを備えている。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図6は、本第2の実施形態によるパラレルリンク機構によって制御される精密ステージ装置の概略構成を示した装置構成図である。図6において、指令値補正部210は、指令値生成部201と、指令値出力部202と、偏差量検出部203と、補正量算出部214と、指令値・補正量加算部205とを備える。また、モータ駆動ドライバ10は、従来のモータ駆動ドライバと同等の機能であり、例えば、位置制御部101と、速度制御部102と、電流制御部103と、位置−速度変換部104とを備えている。
なお、本第2の実施形態による精密ステージ装置の概略構成は、図1に示した第1実施形態による精密ステージ装置の概略構成と同様である。また、本第2の実施形態による精密ステージ装置の装置構成は、図2に示した第1実施形態による精密ステージ装置の装置構成の補正量算出部204が、補正量算出部214に変更されている。また、その他の構成要素は、図2に示した第1実施形態による精密ステージ装置の装置構成と同様であるため、同一の符号を付与し、説明を省略する。
補正量算出部214は、エンコーダ8_1から入力されたエンドエフェクタ1の実位置を制御周期毎に記憶する。そして、記憶された実位置を移動平均して平滑化する。そして、平滑化した実位置と偏差量検出部203から入力された偏差量とに基づいて、サーボモータ5を動作させるための補正値を算出する。これにより、図2に示した第1実施形態による補正量算出部204が算出する補正値よりも滑らかに変化する補正値を算出することができる。なお、補正量算出部214が実位置を移動平均する際には、記憶された全ての制御周期における実位置を用いることもできるが、以前の制御周期で記憶された予め定められた数の実位置と現在のエンドエフェクタ1の実位置とを用いることもできる。
なお、本第2の実施形態の精密ステージ装置におけるリンク機構の制御方法は、図3に示した第1の実施形態の精密ステージ装置7の指令値補正部210におけるリンク機構の制御手順において、サーボモータ5の補正値を算出(ステップS70)する際に、エンコーダ8から入力されたエンドエフェクタ1の実位置を移動平均して平滑化する処理が追加されるのみであるため、説明を省略する。
また、本第2の実施形態の精密ステージ装置の動作例も、図4および図5に示した本第1の実施形態の精密ステージ装置の動作例において、図5に示した各軸のリンク機構のサーボモータ5出力する補正指令値の変化が滑らかに変化しているのみであるため、説明を省略する。
上記に述べたとおり、本第2の実施形態によるパラレルリンク機構によれば、サーボ制御周期(T2〜T7)のタイミングにおけるエンドエフェクタ1の移動軌跡が滑らかに変化するため、より理想の移動軌跡に近い移動軌跡で追従性を高めることができる。
上記に述べたとおり、本発明を実施するための形態によれば、パラレルリンク機構によって制御される精密ステージ装置において、エンドエフェクタ1が移動している途中の実位置をパラレルリンク機構が制御するリンク機構の制御周期毎に取得することによって、次の制御周期における指令値を補正することができる。また、精密ステージ装置において、エンドエフェクタ1が移動する際、エンドエフェクタ1に搭載した加工対象物の重量や重心によって異なる各軸のリンク機構に掛かる負荷を考慮してエンドエフェクタ1の移動制御を行うことができる。これにより、エンドエフェクタ1の移動軌跡が、理想の移動軌跡に近い軌跡となり、移動軌跡の追従性を高めることができる。また、エンドエフェクタ1を高速に移動させる際にも有効であり、エンドエフェクタ1が移動中の位置・姿勢を安定させることができる。
また、本発明を実施するための形態によれば、パラレルリンク機構によって各リンク機構を制御する際に、事前にリンク機構の補正値を準備する必要がないため、補正値を記憶するテーブルなどの膨大な記憶領域を必要としない。また、事前に時間を費やして補正値を算出しておく必要がないため、パラレルリンク機構の補正などのキャリブレーションにかける時間をなくすことができる。
また、本発明を実施するための形態によれば、パラレルリンク機構が制御するリンク機構の制御周期毎にエンドエフェクタ1の実位置を取得しているため、急な外乱によって各軸のリンク機構に掛かる負荷が変動した場合などにおいても、次の制御周期で外乱によるエンドエフェクタ1の移動軌跡の変動をなくすことができる。
なお、本実施形態においては、サーボ制御周期(T2〜T7)のタイミングで補正指令値を各軸のリンク機構のサーボモータ5に出力する場合を一例として説明したが、補正指令値を各軸のリンク機構のサーボモータ5に出力するサーボ制御周期は、本発明を実施するための形態に限定されるものではなく、エンドエフェクタ1が移動している途中のいかなるタイミングでも補正指令値を各軸のリンク機構のサーボモータ5に出力する構成とすることができる。例えば、偏差量に対して予め閾値を設定し、偏差量検出部203が閾値以上の偏差量を検出した場合に、補正指令値を各軸のリンク機構のサーボモータ5に出力する構成としてもよい。また、例えば、偏差量の大きさに対応した複数の閾値を予め設定し、偏差量が小さい場合には偏差量をそのまま補正値とし、偏差量が大きい場合には予め設定した閾値毎の係数を偏差量に乗算し、その結果の偏差量を補正値とする構成としてもよい。
なお、図2に示した指令値補正部200内の各構成要素による処理または図3に示した指令値補正部200における各処理ステップを実現するためのプログラムを、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、当該記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより、指令値補正部200に係る上述した種々の処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、OSや周辺機器等のハードウェアを含むものであってもよい。また、「コンピュータシステム」は、WWWシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境(あるいは表示環境)も含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、フラッシュメモリ等の書き込み可能な不揮発性メモリ、CD−ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。
さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ(例えばDRAM(Dynamic Random Access Memory))のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク(通信網)や電話回線等の通信回線(通信線)のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル(差分プログラム)であっても良い。
また、本発明の実施形態は、エンドエフェクタ1とベース6とを連結するリンク機構、つまり可動リンク2、連結リンク3、駆動リンク4、サーボモータ5およびエンコーダ8を、それぞれ6組備えた構成としたが、これはエンドエフェクタ1を精密に制御するために6組を設けたものであって、本発明は少なくとも3組のリンク機構を備えていればエンドエフェクタ1の制御を実施可能である。
以上、本発明の実施形態について、図面を参照して説明してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲においての種々の変更も含まれる。
1・・・エンドエフェクタ
2,2_1,2_2,2_3,2_4,2_5,2_6・・・可動リンク
3,3_1,3_2,3_3,3_4,3_5,3_6・・・連結リンク
4,4_1,4_2,4_3,4_4,4_5,4_6・・・駆動リンク
5,5_1,5_2,5_3,5_4,5_5,5_6・・・サーボモータ
6・・・ベース
7・・・精密ステージ装置
8,8_1,8_2,8_3,8_4,8_5,8_6・・・エンコーダ
10・・・モータ駆動ドライバ
101・・・位置制御部
102・・・速度制御部
103・・・電流制御部
104・・・位置−速度変換部
20・・・コントローラ(制御装置)
200,210・・・指令値補正部
201・・・指令値生成部
202・・・指令値出力部
203・・・偏差量検出部
204,214・・・補正量算出部
205・・・指令値・補正量加算部(指令値補正量加算部)
2,2_1,2_2,2_3,2_4,2_5,2_6・・・可動リンク
3,3_1,3_2,3_3,3_4,3_5,3_6・・・連結リンク
4,4_1,4_2,4_3,4_4,4_5,4_6・・・駆動リンク
5,5_1,5_2,5_3,5_4,5_5,5_6・・・サーボモータ
6・・・ベース
7・・・精密ステージ装置
8,8_1,8_2,8_3,8_4,8_5,8_6・・・エンコーダ
10・・・モータ駆動ドライバ
101・・・位置制御部
102・・・速度制御部
103・・・電流制御部
104・・・位置−速度変換部
20・・・コントローラ(制御装置)
200,210・・・指令値補正部
201・・・指令値生成部
202・・・指令値出力部
203・・・偏差量検出部
204,214・・・補正量算出部
205・・・指令値・補正量加算部(指令値補正量加算部)
Claims (4)
- ベースと、前記ベースに対して間隔をあけて配置されるエンドエフェクタと、前記ベースに固定されたサーボモータを有する駆動リンクが一端に連結され、前記エンドエフェクタに連結された可動リンクが他端に連結され、前記駆動リンクと前記可動リンクとの間隔を変更することによって前記ベースに対する前記エンドエフェクタの位置および姿勢を可変とする少なくとも3組のリンク機構とを備えたパラレルリンク機構の制御装置において、
前記リンク機構によって変更された前記エンドエフェクタの位置および姿勢を表す実位置の情報を取得し、前記リンク機構に出力した指令値と取得した前記実位置の情報とに基づいた偏差量に応じた補正量を次の指令値に加算し、該補正量を加算した指令値を前記リンク機構の各サーボモータに出力する指令値補正部、
を備え、
前記指令値補正部は、
前記エンドエフェクタを目的の位置および姿勢に移動させるための最初の制御周期と、前記エンドエフェクタが目的の位置および姿勢に到達する最後の制御周期以外の制御周期のときに、補正した指令値を前記リンク機構の各サーボモータに出力する、
ことを特徴とするパラレルリンク機構の制御装置。 - 前記指令値補正部は、
設定された前記エンドエフェクタの位置および姿勢に基づいて、前記リンク機構の各サーボモータに出力する設定指令値を生成する指令値生成部と、
前記リンク機構の各サーボモータに出力した指令値と、前記リンク機構によって変更された前記エンドエフェクタの位置および姿勢を表す実位置の情報とに基づいて、前記設定指令値に対する前記実位置の偏差量を検出する偏差量検出部と、
前記偏差量検出部が検出した偏差量に基づいて、前記リンク機構の各サーボモータに出力する指令値を補正するための補正量を算出する補正量算出部と、
前記補正量算出部が算出した前記補正量を、前記指令値生成部によって生成された前記設定指令値に加算した補正指令値を生成する指令値補正量加算部と、
前記指令値生成部によって生成された前記設定指令値または前記指令値補正量加算部によって生成された前記補正指令値を、前記リンク機構の各サーボモータに出力する指令値として、前記リンク機構の制御周期毎に出力する指令値出力部と、
を備え、
前記指令値出力部は、
前記エンドエフェクタを設定された位置および姿勢に移動させるための最初の前記制御周期と、前記エンドエフェクタが設定された位置および姿勢に到達する最後の前記制御周期とにおいて、前記指令値生成部によって生成された前記設定指令値を前記リンク機構の各サーボモータに指令値として出力し、
前記エンドエフェクタを設定された位置および姿勢に移動させるための最初の前記制御周期と、前記エンドエフェクタが設定された位置および姿勢に到達する最後の前記制御周期以外の制御周期において、前記指令値補正量加算部によって生成された前記補正指令値を前記リンク機構の各サーボモータに指令値として出力する、
ことを特徴とする請求項1に記載のパラレルリンク機構の制御装置。 - 前記補正量算出部は、さらに、
前記実位置の情報を前記リンク機構の制御周期毎に移動平均し、移動平均した情報と前記偏差量検出部が検出した偏差量に基づいて、前記リンク機構の各サーボモータに出力する指令値を補正するための補正量を算出する、
ことを特徴とする請求項2に記載のパラレルリンク機構の制御装置。 - ベースと、前記ベースに対して間隔をあけて配置されるエンドエフェクタと、前記ベースに固定されたサーボモータを有する駆動リンクが一端に連結され、前記エンドエフェクタに連結された可動リンクが他端に連結され、前記駆動リンクと前記可動リンクとの間隔を変更することによって前記ベースに対する前記エンドエフェクタの位置および姿勢を可変とする少なくとも3組のリンク機構とを備えたパラレルリンク機構の制御方法において、
前記リンク機構によって変更された前記エンドエフェクタの位置および姿勢を表す実位置の情報を取得し、前記リンク機構に出力した指令値と取得した前記実位置の情報とに基づいた偏差量に応じた補正量を次の指令値に加算し、該補正量を加算した指令値を前記リンク機構の各サーボモータに出力する指令値補正手順、
を含み、
前記指令値補正手順において、
前記エンドエフェクタを目的の位置および姿勢に移動させるための最初の制御周期と、前記エンドエフェクタが目的の位置および姿勢に到達する最後の制御周期以外の制御周期のときに、補正した指令値を前記リンク機構の各サーボモータに出力する、
ことを特徴とするパラレルリンク機構の制御方法。
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JP2010022226A JP2011159210A (ja) | 2010-02-03 | 2010-02-03 | パラレルリンク機構の制御装置および制御方法 |
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JP2020140646A (ja) * | 2019-03-01 | 2020-09-03 | オムロン株式会社 | 制御装置および位置合わせ装置 |
-
2010
- 2010-02-03 JP JP2010022226A patent/JP2011159210A/ja not_active Withdrawn
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JP2020140646A (ja) * | 2019-03-01 | 2020-09-03 | オムロン株式会社 | 制御装置および位置合わせ装置 |
KR20210121155A (ko) * | 2019-03-01 | 2021-10-07 | 오므론 가부시키가이샤 | 제어 장치 및 위치 정렬 장치 |
JP7059968B2 (ja) | 2019-03-01 | 2022-04-26 | オムロン株式会社 | 制御装置および位置合わせ装置 |
KR102560944B1 (ko) * | 2019-03-01 | 2023-07-31 | 오므론 가부시키가이샤 | 제어 장치 및 위치 정렬 장치 |
US11999068B2 (en) | 2019-03-01 | 2024-06-04 | Omron Corporation | Control device and alignment device |
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