JP5556449B2 - 分光器 - Google Patents
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Description
a)モータと、
b)該モータの回転を減速するための波動歯車装置による減速手段と、
c)該減速手段で減速された回転によって駆動される波長分散素子と、
d)前記モータの動作を制御する制御手段と、
を有し、
前記制御手段が、分光器から取り出される光の波長変更を行う際に、前記波動歯車装置の入力軸を180°以上回転させた上で該入力軸を目標波長に対応する角度位置に合わせるように前記モータを制御することを特徴としている。
前記制御手段が、前記波長変更の際に、前記波動歯車装置の入力軸を予め定められた基準角度位置まで回転させて停止させた後に、前記目標波長に対応する角度位置に合わせるように前記モータを制御するものとすることが望ましい。
[1]まず取り出し波長を初期波長位置から一旦目標波長位置に移動させる(図2中の実線の矢印)。
[2]そこから波動発生器71を360°以上回転させて取り出し波長を目標波長位置より長波長側にある基準波長位置に移動させる(図2中の一点鎖線の矢印)。
[3]その後、取り出し波長を前記基準波長位置から目標波長位置に移動させる(図2中の破線の矢印)。
これにより、上述の動作条件1〜4を満たすことができ、波動歯車装置の角度誤差に起因する波長のずれを防止して波長再現性を向上させることができる。なお、目標波長位置が初期波長位置よりも長波長側にある場合は、[1]と[2]における波動発生器71の回転方向は同一となるため、この2つの段階を連続的に(即ち、波動発生器71の回転を止めることなく)実行することができる。また、図2の動作例では基準角度位置を0°としたが他の角度位置であってもよい。
なお、図3と図4では測定時期の違いによりピークのエネルギー値が異なっている。また、装置に対する波長正確さの較正処理が行われていないために図3、4におけるピーク波長は重水素ランプの輝線スペクトル(656.1nm)の位置から外れている。しかしながら、これらの測定は波長再現性の向上を確認することを目的としており、こうしたピークのエネルギー値や絶対的な波長正確さは問題とならない。
20…分光部
21…回折格子
22…減速機構
23…モータ
24…出口スリット
30…試料
40…光検出器
50…モータ駆動部
60…処理・制御部
61…信号処理部
62…分光部制御部
71…波動発生器
72…ベアリング
73…弾性歯車
74…剛性歯車
75…入力軸
Claims (3)
- a)モータと、
b)該モータの回転を減速するための波動歯車装置による減速手段と、
c)該減速手段で減速された回転によって駆動される波長分散素子と、
d)前記モータの動作を制御する制御手段と、
を有し、
前記制御手段が、分光器から取り出される光の波長変更を行う際に、前記波動歯車装置の入力軸を一方向に180°以上回転させた上で該入力軸を目標波長に対応する角度位置に合わせるように前記モータを制御することを特徴とする分光器。 - 前記180°以上の回転が360°以上の回転であることを特徴とする請求項1に記載の分光器。
- 前記制御手段が、前記波長変更の際に、前記波動歯車装置の入力軸を予め定められた基準角度位置まで回転させて停止させた後に、前記目標波長に対応する角度位置に合わせるように前記モータを制御することを特徴とする請求項1又は2に記載の分光器。
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