JP5539108B2 - マーク位置の計測方法及び算出方法 - Google Patents
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Description
図1は、露光装置100の概略ブロック図である。露光装置100は、照明光学系105を用いてレチクル(マスク)110を照明し、投影光学系120を介してウエハ(基板)130上に塗布されたレジストにレチクルのパターンの像を投影してウエハ130を露光する。
本実施形態では、ハーモニック周波数A1,A2、A3における位相特性の差に応じて復元フィルタの重み係数αを設定する。本実施形態は、図8(d)における3つのハーモニック周波数における位相特性の差が、Δφ1、Δφ2、Δφ3とすると、それぞれの逆数1/Δφ1、1/Δφ2、1/Δφ3に基づいて重み付けを行う。具体的には、ハーモニック周波数A1、A2およびA3における復元フィルタの係数α1、α2およびα3を式7のように決定する。
本実施形態では、マーク段差を3つ以上とした場合について説明する。例えば、基準となるマーク段差をdとして、ウエハプロセスの変動によるマークの段差の差分をΔdとした場合に、3つの段差は式8で示される。
本実施形態では、復元フィルタの重み付け係数を位相特性の差以外に基づいて決定する。例えば、ある画像データのフーリエ変換の振幅特性が図16のように与えられた場合、ハーモニック周波数A1,A2,A3の振幅特性をそれぞれP1、P2、P3とする。それぞれの逆数1/P1、1/P2、1/P3に基づいて、復元フィルタの係数α1、α2、α3を設定してもよい。つまり、ハーモニック周波数の振幅特性を用いて復元フィルタを設定する。具体的には、ハーモニック周波数A1、A2およびA3における復元フィルタの係数α1、α2およびα3を式9のように決定する。
本実施形態では、例えば、ウエハのエッチング処理によって段差を変えた複数のマークを実際に計測することによって、復元フィルタの係数を決定する。
150 マーク検出系
156、157 センサ
160 信号処理部
163 算出部
170 制御部
180 アライメントマーク
Claims (10)
- 基板に形成されたマークの位置を計測する計測方法において、
結像光学系を用いて前記マークの像をセンサにより撮影して画像データを取得するステップと、
前記マークの形状、前記結像光学系の結像倍率および前記センサの撮像範囲の情報を用いて定められる前記画像データの基本波及び高調波の補正用データ、を設定する設定ステップと、
前記補正用データを用いて前記画像データを補正するステップと、
該補正された画像データを用いて前記マークの位置を算出するステップとを有することを特徴とする計測方法。 - 前記設定ステップにおいて、前記補正用データは、
複数のプロセス条件において前記基板に形成されるマークの画像データをシミュレーションにより前記プロセス条件ごとに予め算出し、前記マークの形状、前記結像光学系の結像倍率および前記センサの撮像範囲の情報とを用いて前記画像データの基本波及び高調波について前記プロセス条件ごとに位相特性を予め算出して、各プロセス条件間における前記位相特性の差分に基づいて前記基本波及び前記高調波の補正用データとして予め定められたデータであることを特徴とする請求項1に記載の計測方法。 - 前記基本波は、前記マークの計測方向の長さをa、前記結像光学系の結像倍率をβ、前記センサの受光素子のピッチをΔp、撮像範囲内の画素数をNとすると、k=Δp×N/(β・a)(kは整数)に基づいて定められ、
前記高調波は前記kの2以上の整数倍で定められることを特徴とする請求項1又は2に記載の計測方法。 - 前記プロセス条件は、前記基板に形成されるマークの段差であることを特徴とする請求項2に記載の計測方法。
- 前記プロセス条件は、基板に塗布される感光剤の膜厚であることを特徴とする請求項2に記載の計測方法。
- 基板に形成されたマークの位置を計測する計測装置において、
前記マークの像を結像面に形成する結像光学系と、
前記結像面に形成される像を撮影して画像データとして出力するセンサと、
前記マークの位置を算出する算出部と、
前記マークの形状、前記結像光学系の結像倍率および前記センサの撮像範囲の情報を用いて定められる前記画像データの基本波及び高調波の補正用データを記憶する記憶部とを有し、
前記算出部は、前記補正用データを用いて前記画像データを補正し、該補正された画像データを用いて前記マークの位置を算出することを特徴とする計測装置。 - 光源からの光を用いてマスクを介して基板に露光する露光装置において、
請求項6に記載の計測装置と、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記基板ステージの位置を制御する制御手段とを有し、
前記計測装置が前記基板に形成されたマークの位置を計測し、
前記制御手段により該計測の結果に基づいて前記基板ステージを制御して、前記基板を露光することを特徴とする露光装置。 - 請求項7に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
該露光された基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。 - 基板に形成されたマークの位置を算出する算出方法であって、
結像光学系及びセンサを用いて前記マークを撮影して得られた画像データを、前記マークの形状、前記結像光学系の結像倍率及び前記センサの撮像範囲の情報を用いて定められる前記画像データの基本波及び高調波の補正用データを用いて補正するステップと、
該補正された画像データを用いて前記マークの位置を算出するステップとを有することを特徴とする算出方法。 - 基板に形成されたマークの位置をコンピュータに算出させるためのプログラムであって、
結像光学系及びセンサを用いて前記マークを撮影して得られた画像データを、前記マークの形状、前記結像光学系の結像倍率及び前記センサの撮像範囲の情報を用いて定められる前記画像データの基本波及び高調波の補正用データを用いて補正するステップと、
該補正された画像データを用いて前記マークの位置を算出するステップとを前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
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