JP6524256B2 - メトロロジ方法及び装置、コンピュータプログラム、並びにリソグラフィシステム - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2015年4月21日、2015年9月30日及び2016年4月14日出願の欧州特許出願第15164537.1号、第15187706.5号及び第16165356.3号の優先権を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
各々が第1の構造の1つ及びその上に重ね合わされた第2の構造を有する複数のターゲットに関連する、構造的非対称性に依存しないオーバーレイ寄与及び少なくとも第1の構造における構造的非対称性に起因する構造的寄与を含むターゲット非対称性の測定値を含み、各々が測定の組み合わせに関して複数の第1の測定値の1つと対応する複数の第2の測定値を取得するステップ、
測定の組み合わせの各々について、第1の測定値及び第2の測定値間の関係を記述する関係関数を決定するステップ、
関係関数から、少なくとも第1の構造における構造的非対称性に起因する構造的寄与に関して補正された補正オーバーレイ値を決定するステップ。
複数の測定放射の組み合わせ候補、及び各々が第2の構造が重ね合わせられた第1の構造を含む複数のターゲット候補のための複数組の測定値であって、各々がターゲット候補の1つ及び測定放射の組み合わせ候補の1つの異なる組み合わせに関連し、ターゲット候補の複数のサンプルに関する、それぞれ測定放射の組み合わせ候補の各測定放射を用いたターゲット候補の第1の構造における構造的非対称性の測定値を含む複数の第1の測定値、及びそれぞれ測定放射の組み合わせ候補の各測定放射を用いたターゲット候補におけるターゲット非対称性の測定値を含む複数の第2の測定値を含む複数組の測定値を取得することと、
各組の測定値について、第1の測定値及び第2の測定値間の相関度を決定することと、
各組の測定値について決定された相関度に基づいて、ターゲット候補の1つから好ましいターゲットを選択することと、を含む方法を提供する。
[0055] 方程式の観点から、オーバーレイエラーOVEと強度非対称性Aとの間の関係を、
ここでオーバーレイエラーOVEは、ターゲットピッチPが角度2πラジアンに相当するようなスケールで表現される。異なる既知のバイアス(例えば、+d及び−d)を有する格子の2つの測定値を用いることで、
900−複数の第1の構造に関連する構造的非対称性の測定値を含む複数の第1の測定値、より具体的には、m個の測定放射(i=1〜m)を用いて、ターゲット上の第1のパラメータのn個の異なる値、例えば測定位置(j=1〜n)における下部格子非対称性BGAi,jの測定値を取得する。
910−複数のターゲットに関連するターゲット非対称性の測定値を含む複数の第2の測定値、より具体的には、m個の測定放射(i=1〜m)を用いて、ターゲット上の第1のパラメータのn個の異なる値、例えば測定位置(j=1〜n)によるオーバーレイOVi,jの測定値を取得する。
920−測定された下部格子非対称性BGAi,j及びオーバーレイOVi,j値を、これらの値を関係関数ξi(pk,j)を用いて関連付ける一組の連立方程式にまとめる。
930−連立方程式を解いて関係関数ξi(pk,j)の値を取得する。
940−補正オーバーレイを求める。そして、任意選択的に
945−各測定レシピのための補正オーバーレイマップ、及び構造的非対称性に依存しないオーバーレイ寄与のための測定レシピに依存しないオーバーレイマップを含むオーバーレイマップを決定する。
950−m個の測定レシピのうちのm−1個の測定レシピのあらゆる組み合わせについて差メトリックを決定する。
955−最悪の測定レシピ(m=m−1)を破棄する。
960−m=2(又は1より大きい他の低い値)か?
965−好ましい測定レシピを決定する。
970−測定レシピをランク付けする。
ここで下付き文字A及びBは、それぞれ測定レシピA(第1の測定レシピ)及び測定レシピB(第2の測定レシピ)を用いた測定に起因する項を示し、OVA及びOVBは、それぞれ測定レシピA及び測定レシピBを用いて測定されたオーバーレイである。ΔOVは、測定レシピAを用いて測定されたオーバーレイOVAと測定レシピBを用いて測定されたオーバーレイOVBの差である。方程式(24)はさらに、OVNSAA=OVNSAB=OVNSAという仮定に基づいている。換言すれば、構造的非対称性に依存しないオーバーレイは測定レシピに依存しないと仮定されている。測定レシピに依存しているのは構造的非対称性信号BGAのみである。
1000−それぞれレシピA及びレシピBを用いて、ターゲット上のBGAA及びBGABを測定する。
1010−それぞれレシピA及びレシピBを用いて、ターゲット上のOVA及びOVBを測定する。
1020−BGAA、BGAB、及びΔOVを3Dプロット上にプロットする。
1030−関係関数ξA及びξBを求める。
1040−補正オーバーレイを求める。
1300−複数の測定レシピの組み合わせ候補を用いて複数のターゲット設計候補を測定する。
1310−ターゲット設計候補及び測定レシピの組み合わせ候補のターゲット/レシピの各組み合わせに関する3Dプロット、連立方程式又は行列を作成する。
1320−良好な相関を有するターゲット/レシピの組み合わせを特定する。
1330−任意選択的に、特定されたターゲット/レシピの各組み合わせについて平面及び/又は傾きの不確実性から好ましいターゲット/レシピの組み合わせを特定する。
1340−好ましいターゲット/レシピの組み合わせから好ましい測定レシピを特定する。
・インライン測定におけるオーバーレイエラー測定を補正するためのフィードフォワードな(下部格子)構造的非対称性の特性化
・簡単で直接的な方法により、2つ(以上)のレシピを用いたオーバーレイ及び下部格子非対称性測定からより正確なオーバーレイ測定値を取得することができる。
・下部格子非対称性と測定オーバーレイエラーの差の間の強い線形相関を有する2つのレシピを用いてプロセスロバストなターゲット及び測定レシピの組み合わせを特定することができる。
・測定された下部格子非対称性及びオーバーレイエラーの不確実性から好ましいレシピを決定することができる。
1. リソグラフィプロセスのパラメータを測定する方法であって、方法は、
複数の第1の構造に関連する構造的非対称性の測定値を含み、少なくとも測定放射が異なる、異なる測定の組み合わせに対応する測定値を含む複数の第1の測定値を取得するステップと、
各々が第1の構造の1つ及びその上に重ね合わせられた第2の構造を有する複数のターゲットに関連する、構造的非対称性に依存しないオーバーレイ寄与及び少なくとも第1の構造における構造的非対称性に起因する構造的寄与を含むターゲット非対称性の測定値を含み、各々が測定の組み合わせに関して複数の第1の測定値の1つと対応する複数の第2の測定値を取得するステップと、
測定の組み合わせの各々について、第1の測定値及び第2の測定値間の関係を記述する関係関数を決定するステップと、
関係関数から、少なくとも第1の構造における構造的非対称性に起因する構造的寄与に関して補正された補正オーバーレイ値を決定するステップと、
を含む方法。
2. 測定の組み合わせはさらに、少なくとも1つの第1のパラメータの値が異なる、条項1に記載の方法。
3. 少なくとも1つの第1のパラメータは基板の表面上の位置に関連する、条項2に記載の方法。
4. 方法は、第1の測定値及び第2の測定値の対応する対を、対応する関係関数によって関連付ける連立方程式を決定することと、連立方程式を解いて、各々が特定の測定放射に対応する関係関数の解を取得することと、を含む、条項2又は3に記載の方法。
5. 連立方程式の各々はさらに、第1の測定値及び第2の測定値の対応する対を、構造的非対称性に依存しないオーバーレイ寄与によって関連付ける、条項4に記載の方法。
6. 連立方程式を解くことは、構造的非対称性に依存しないオーバーレイ寄与の値を取得することを含む、条項5に記載の方法。
7. 測定の組み合わせは、連立方程式の数が関係関数の解を含む値を求める未知数の数よりも多くなるほど十分な数である、条項4〜6のいずれかに記載の方法。
8. 関係関数はパラメータの線形関数であり、連立方程式は行列法により解かれる、条項4〜7のいずれかに記載の方法。
9. 行列法は、第2の測定値の第1の行列を作成することと、第1の測定値を含む行列係数を作成することと、各連立方程式に関する関係関数を含む未知数の行列について解くことと、を含む、条項8に記載の方法。
10. 未知数の行列は、構造的非対称性に依存しないオーバーレイ寄与に関連するパラメータであって、測定放射に依存せず、少なくとも1つの第1のパラメータに依存するパラメータを含む、条項9に記載の方法。
11. 行列係数のランクは、値を求める未知数の数よりも大きい、条項9又は10に記載の方法。
12. 補正オーバーレイ値は、測定の組み合わせの各々について取得される、先行するいずれかの条項に記載の方法。
13. 好ましい測定放射を決定することを含む方法であって、方法はさらに、
第1の測定値及び第2の測定値を取得するのに用いられる各測定放射に関する一組の補正オーバーレイ値を決定することと、
構造的非対称性に依存しないオーバーレイ寄与を記述する一組の測定レシピに依存しないオーバーレイ値を決定することと、
各々が測定放射の異なるサブセットに関連し、一組の測定レシピに依存しないオーバーレイ値の対応するオーバーレイ値及び測定放射のサブセット内に含まれる一組の補正オーバーレイ値の異なる対に関するオーバーレイ値の差を記述する複数の差メトリックを決定することと、を含む、
先行するいずれかの条項に記載の方法。
14. 対応するオーバーレイ値は、基板上の同じ位置に対応するオーバーレイ値を含む、条項13に記載の方法。
15. 測定放射の異なるサブセットの各々は、第1及び第2の測定値を取得するのに用いられる測定放射の全てより1つ少ない測定放射を含む結果、サブセットの各々から1つの異なる測定放射が除外され、測定放射の全ての組み合わせより1つ少ない組み合わせに対して差メトリックが決定される、条項13又は14に記載の方法。
16. 方法は、対応する差メトリックが対応するオーバーレイ値間の最小の差を示す測定放射のサブセット内に含まれない測定放射を、パフォーマンスが最悪の測定放射として特定することを含む、条項15に記載の方法。
17. 複数の差メトリックを決定し、パフォーマンスが最悪の測定放射を特定するステップは反復的に繰り返され、各反復は、複数の差メトリックを決定することと、前回の反復においてパフォーマンスが最悪の測定放射として特定された測定放射を除いた残りの測定放射についてパフォーマンスが最悪の測定放射を特定することと、を含む、条項16に記載の方法。
18. 反復は測定放射が2つだけになるまで繰り返される、条項17に記載の方法。
19. 差メトリックの閾値を示す差閾値が決定され、好ましい測定放射は、対応する差メトリックが差閾値を満たすサブセットの中の最大の測定放射数を有する測定放射のサブセットである、条項17又は18に記載の方法。
20. 測定放射は、パフォーマンスが最悪の測定放射として特定される順番に応じてランク付けされる、条項16〜19のいずれかに記載の方法。
21. 関係関数は定数を含み、第1の測定値及び第2の測定値は各々測定放射の異なる対を含む測定の組み合わせによる測定値を含み、
関係関数は、測定放射対の一方による第1の測定値と、測定放射対の第1の測定放射及び測定放射対の第2の測定放射による第2の測定値の差の間の関係を記述する、条項1に記載の方法。
22. 少なくとも1つの関係関数を決定するステップは、測定放射対の第2の測定放射による第1の測定値に対する測定放射対の第1の測定放射による第1の測定値の3次元プロットを、測定放射対の第1の測定放射及び測定放射対の第2の測定放射による第2の測定値の差に対して作成することを含む、条項21に記載の方法。
23. 3次元プロット上のデータ点は、実質的に相関して平面を規定し、第1の関係関数は、測定放射対の第1の測定放射による第1の測定値の軸に対する平面の傾きにより記述され、第2の関係関数は、測定放射対の第2の測定放射による第2の測定値の軸に対する平面の傾きにより記述される、条項22に記載の方法。
24. 関係関数を決定するステップは、
測定放射対の第1の測定放射による第1の測定値と、測定放射対の第2の測定放射による第1の測定値の差を含む第1の差と、
測定放射対の第1の測定放射及び測定放射対の第2の測定放射による第2の測定値の差を含む第2の差、
の間の実質的な線形関係を記述する関係関数を決定することを含む、条項21に記載の方法。
25. 少なくとも1つの関係関数を決定するステップは、第2の差に対する第1の差のプロットを作成することを含み、関係関数は、プロットにフィッティングされた線の傾きにより記述される、条項24に記載の方法。
26. 少なくとも1)測定放射対の第1及び/又は第2の測定放射による第1の測定値、及び2)測定放射対の第1の測定放射及び測定放射対の第2の測定放射による第2の測定値の差、の相関度を決定するステップを含む、条項21〜25のいずれかに記載の方法。27. 複数のターゲット候補から好ましいターゲットを決定するための初期最適化を含み、初期最適化は、
複数のターゲット候補及び複数の測定放射対候補の複数のサンプルに関する、各組がターゲット候補の1つ及び測定放射候補対の1つの異なる組み合わせに関連する、第1の測定値及び第2の測定値を含む複数組の測定値を取得することと、
複数組の測定値の各々の相関度を決定することと、
各組の測定値の決定された相関度に基づいてターゲット候補の1つから好ましいターゲットを選択することと、
を含む、条項26に記載の方法。
28. 好ましいターゲットを選択するステップは、各組の測定値の決定された相関度に基づいて、ターゲット候補の1つ及び測定放射対候補の1つの好ましい組み合わせを選択することを含む、条項27に記載の方法。
29. 対応する組の測定値が、測定放射対の第2の測定放射による第1の測定値に対する、測定放射対の第1の測定放射による第1の測定値の対応するプロット上に、測定放射対の第1の測定放射及び測定放射対の第2の測定放射による第2の測定値の差に対して平面を最良に規定する組み合わせを、組み合わせのサブセットから好ましい組み合わせとして選択することを含む、条項28に記載の方法。
30. 対応する組の測定値がプロット上に許容程度で平面を規定する2つ以上の組み合わせが存在する場合に、方法はさらに、
平面を規定するこれらの組の測定値の各々の不確実性の度合を決定することと、
対応する組の測定値が決定された最小の不確実性の度合を有する組み合わせを好ましい組み合わせとして選択することと、
を含む、条項29に記載の方法。
31. 複数のターゲット候補から好ましいターゲットを決定するための初期最適化を含み、初期最適化は、
複数のターゲット候補及び複数の測定放射の組み合わせ候補の複数のサンプルに関する、各組がターゲット候補の1つ及び測定放射候補の組み合わせの1つの異なる組み合わせに関連する、複数組の第1の測定値及び第2の測定値を取得することと、
複数組の測定値の各々の第1の測定値及び第2の測定値間の相関度を決定することと、
各組の測定値の決定された相関度に基づいてターゲット候補の1つから好ましいターゲットを選択することと、
を含む、条項1〜20のいずれかに記載の方法。
32. 好ましいターゲットを選択するステップは、各組の測定値の決定された相関度に基づいて、ターゲット候補の1つ及び測定放射候補の組み合わせの1つの好ましい組み合わせを選択することを含む、条項31に記載の方法。
33. 構造的非対称性に依存しないオーバーレイ寄与は、既知の与えられたバイアスに起因する寄与及びオーバーレイエラーに起因する寄与を含む、先行するいずれかの条項に記載の方法。
34. 異なる測定放射は異なる波長及び/又は偏光を有する、先行するいずれかの条項に記載の方法。
35. 第1の構造を測定して第1の測定値を取得することと、
ターゲットを測定して第2の測定値を測定することと、
を含む、先行するいずれかの条項に記載の方法。
36. 第1の構造及び/又はターゲットを測定することは、
第1の構造又はターゲットを測定放射を用いて照明し、第1の構造又はターゲットの各々から散乱された測定放射を検出することと、
対応する高次の散乱された測定放射において強度非対称性を測定することと、
を含む、条項35に記載の方法。
37. ターゲット非対称性のオーバーレイ寄与を決定するステップは、強度非対称性とターゲット非対称性のオーバーレイ寄与の間に、各々少なくとも1つの第1の構造における構造的非対称性に関連する強度オフセット項及び位相オフセット項を含む非線形周期関係があると仮定することを含む、条項36に記載の方法。
38. 第1の構造を測定することは、第2の構造の形成前に行われる、条項35、36又は37に記載の方法。
39. 第1の構造及びターゲットを測定することは、第2の構造の形成前の第1の構造及び第2の構造の形成後のターゲットを含む隣接構造についての単一の測定により行われる、条項35、36又は37に記載の方法。
40. 複数の第1の構造を基板上に設けることと、
第1の構造に重ね合わせられた複数の第2の構造を基板上に設けることにより、複数のターゲットを形成することと、
を含む、先行するいずれかの条項に記載の方法。
41. 少なくとも、複数の第1の測定値を取得するステップ、複数の第2の測定値を取得するステップ、及び関係関数を決定するステップは、全て較正ルーチンにおいて実行されて後続の基板のための関係関数を決定し、
方法はさらに、製造プロセス中の製造基板から関係関数の更新値を決定することを含む、先行するいずれかの条項に記載の方法。
42. 複数のターゲット候補から1つのターゲットを選択する方法であって、方法は、
複数の測定放射の組み合わせ候補、及び各々が第2の構造が重ね合わせられた第1の構造を含む複数のターゲット候補についての複数組の測定値であって、各組がターゲット候補の1つ及び測定放射の組み合わせ候補の1つの異なる組み合わせに関連し、ターゲット候補の複数のサンプルに関する、それぞれ測定放射の組み合わせ候補の各測定放射を用いたターゲット候補の第1の構造における構造的非対称性の測定値を含む複数の第1の測定値、及びそれぞれ測定放射の組み合わせ候補の各測定放射を用いたターゲット候補におけるターゲット非対称性の測定値を含む複数の第2の測定値を含む複数組の測定値を取得することと、
各組の測定値について、第1の測定値及び第2の測定値間の相関度を決定することと、
各組の測定値について決定された相関度に基づいて、ターゲット候補の1つから好ましいターゲットを選択することと、
を含む方法。
43. 好ましいターゲットを選択するステップは、各組の測定値について決定された相関度に基づいて、ターゲット候補の1つ及び測定放射の組み合わせ候補の1つの好ましい組み合わせを選択することを含む、条項42に記載の方法。
44. 測定放射の組み合わせ候補は、測定放射対候補を含み、方法は、対応する組の測定値が、測定放射対候補の第2の測定放射対候補による第1の測定値に対する、測定放射対候補の第1の測定放射対候補による第1の測定値の対応するプロット上に、測定放射対候補の第1の測定放射対候補及び測定放射対候補の第2の測定放射対候補による第2の測定値の差に対して平面を最良に規定する組み合わせを、組み合わせのサブセットから好ましい組み合わせとして選択することを含む、条項43に記載の方法。
45. 対応する組の測定値がプロット上に許容程度で平面を最良に規定する2つ以上の組み合わせが存在する場合に、方法はさらに、
平面を規定するこれらの組の測定値の各々の不確実性の度合を決定することと、
対応する組の測定値が決定された最小の不確実性の度合を有する組み合わせを好ましい組み合わせとして選択することと、
を含む、条項44に記載の方法。
46. ターゲット候補の1つ及び測定放射の組み合わせ候補の1つの好ましい組み合わせの測定放射の組み合わせの測定放射の1つを、これらのうちどれが構造的非対称性の測定値の最小値をもたらすかに基づいて、好ましい測定放射として選択するステップを含む、条項43〜45のいずれかに記載の方法。
47. 好ましい組み合わせの好ましいターゲットに好ましい測定放射を用いたオーバーレイ測定を行うことを含む、条項46に記載の方法。
48. 好ましい組み合わせの好ましいターゲットに好ましい組み合わせの測定放射の組み合わせを用いたオーバーレイ測定を行うことを含む、条項43〜46のいずれかに記載の方法。
49. リソグラフィプロセスのパラメータを測定するためのメトロロジ装置であって、条項1〜48のいずれかの方法を実行するように動作可能なメトロロジ装置。
50. その上に複数のターゲットを有する基板のためのサポートと、
各ターゲットを測定するための光学系と、
各ターゲットのターゲット非対称性のオーバーレイ寄与を決定するステップを実行するように構成されたプロセッサと、
を備えた、条項49に記載のメトロロジ装置。
51. パターンを照明するように構成された照明光学システムと、
パターンのイメージを基板上に投影するように構成された投影光学システムと、
条項49又は50のいずれかに記載のメトロロジ装置と、
を備えたリソグラフィ装置を備え、
リソグラフィ装置は、パターンを別の基板に付与する際にメトロロジ装置が計算した決定されたオーバーレイ寄与を用いるように構成された、リソグラフィシステム。
52. 適切なプロセッサ制御の装置上で動くとき、プロセッサ制御の装置に条項1〜48のいずれか1つの方法を実行させるプロセッサ可読命令を備えたコンピュータプログラム。
53. 条項52のコンピュータプログラムを備えたコンピュータプログラムキャリア。
Claims (11)
- リソグラフィプロセスのパラメータを測定する方法であって、前記方法は、
複数の第1の構造に関連する構造的非対称性の測定値を含み、少なくとも測定放射の波長及び/又は偏光が異なる、異なる測定の組み合わせに対応する測定値を含む複数の第1の測定値を取得するステップと、
各々が前記第1の構造の1つ及びその上に重ね合わせられた第2の構造を有する複数のターゲットに関連する、構造的非対称性に依存しないオーバーレイ寄与及び少なくとも前記第1の構造における構造的非対称性に起因する構造的寄与を含むターゲット非対称性の測定値を含み、各々が前記測定の組み合わせに関して前記複数の第1の測定値の1つと対応する複数の第2の測定値を取得するステップと、
前記測定の組み合わせの各々について、前記第1の測定値及び前記第2の測定値間の関係を記述する関係関数を決定するステップと、
前記関係関数から、少なくとも前記第1の構造における構造的非対称性に起因する前記構造的寄与に関して補正された補正オーバーレイ値を決定するステップと、
を含み、 前記関係関数は定数を含み、前記第1の測定値及び前記第2の測定値は各々測定放射の異なる対を含む測定の組み合わせによる測定値を含み、
前記関係関数は、前記測定放射対の一方による前記第1の測定値と、前記測定放射対の第1の測定放射及び前記測定放射対の第2の測定放射による前記第2の測定値の差の間の関係を記述する、
方法。 - 前記測定の組み合わせはさらに、少なくとも1つの第1のパラメータの値が異なる、請求項1に記載の方法。
- 請求項1〜2のいずれかに記載の方法であって、
前記方法はさらに、
前記第1の測定値及び第2の測定値を取得するのに用いられる各測定放射に関する一組の補正オーバーレイ値を決定することと、
構造的非対称性に依存しない前記オーバーレイ寄与を記述する一組の測定レシピに依存しないオーバーレイ値を決定することと、
各々が前記測定放射の異なるサブセットに関連し、前記一組の測定レシピに依存しないオーバーレイ値の対応するオーバーレイ値及び前記測定放射のサブセット内に含まれる前記一組の補正オーバーレイ値の異なる対に関するオーバーレイ値の差を記述する複数の差メトリックを決定することと、
を含む方法。 - 少なくとも1つの関係関数を決定する前記ステップは、前記測定放射対の第2の測定放射による前記第1の測定値に対する前記測定放射対の第1の測定放射による前記第1の測定値の3次元プロットを、前記測定放射対の前記第1の測定放射及び前記測定放射対の前記第2の測定放射による前記第2の測定値の差に対して作成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記3次元プロット上のデータ点は、実質的に相関して平面を規定し、第1の関係関数は、前記測定放射対の前記第1の測定放射による前記第1の測定値の軸に対する前記平面の傾きにより記述され、第2の関係関数は、前記測定放射対の前記第2の測定放射による前記第2の測定値の軸に対する前記平面の傾きにより記述される、請求項4に記載の方法。
- 関係関数を決定する前記ステップは、
前記測定放射対の第1の測定放射による前記第1の測定値及び前記測定放射対の第2の測定放射による前記第1の測定値の差を含む第1の差と、
前記測定放射対の前記第1の測定放射及び前記測定放射対の前記第2の測定放射による前記第2の測定値の差を含む第2の差、の間の実質的な線形関係を記述する関係関数を決定することを含む、請求項1に記載の方法。 - 複数のターゲット候補からターゲットを決定するための初期最適化を含み、前記初期最適化は、
複数のターゲット候補及び複数の測定放射の組み合わせ候補の複数のサンプルに関する、各組が前記ターゲット候補の1つ及び前記測定放射候補の組み合わせの1つの異なる組み合わせに関連する、複数組の第1の測定値及び第2の測定値を取得することと、
前記複数組の測定値の各々の前記第1の測定値及び前記第2の測定値の相関度を決定することと、
各組の測定値の前記決定された相関度に基づいて前記ターゲット候補の1つからターゲットを選択することと、
を含む、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。 - 少なくとも、複数の第1の測定値を取得する前記ステップ、複数の第2の測定値を取得する前記ステップ、及び関係関数を決定する前記ステップは、全て較正ルーチンにおいて実行されて後続の基板のための前記関係関数を決定し、
前記方法はさらに、製造プロセス中の製造基板から前記関係関数の更新値を決定することを含む、請求項1〜7のいずれかに記載の方法。 - リソグラフィプロセスのパラメータを測定するためのメトロロジ装置であって、請求項1〜8のいずれかの方法を実行するように動作可能なメトロロジ装置。
- パターンを照明するように構成された照明光学システムと、
前記パターンのイメージを基板上に投影するように構成された投影光学システムと、
請求項9に記載のメトロロジ装置と、
を備えたリソグラフィ装置を備え、
前記リソグラフィ装置は、前記パターンを別の基板に付与する際に前記メトロロジ装置が計算した決定されたオーバーレイ寄与を用いるように構成された、リソグラフィシステム。 - 適切なプロセッサ制御の装置上で動くとき、前記プロセッサ制御の装置に請求項1〜8のいずれか1項の方法を実行させるプロセッサ可読命令を備えたコンピュータプログラム。
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