JP5532783B2 - 有機ガス処理装置 - Google Patents
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Description
本実施の形態は、光触媒による光分解作用を利用した、小型で且つ運転が容易な有機ガス処理装置に関する。
図1は、本実施の形態の有機ガス処理装置2の側面図である。図2は、図1のII-II線における断面を矢印の方向から見た図である。
有機ガス光分解ユニット4は、筒状の本体部7と、ガス導入部8と、ガス排出部10とを有している。
ガス導入部8とガス排出部10は、図1及び2に示すように、漏斗状の部材である。ガス導入部8の広口部には、本体部7の一端が、メカニカルシール20aにより回転自在に取り付けられている。同じく、ガス排出部10の広口部には、本体部7の他端が、メカニカルシール20bにより回転自在に取り付けられている。
本体部7は、図2に示すように、紫外線を発生しこの紫外線により光触媒に有機ガスを分解させる紫外線光源14と、複数の有機ガス光分解部24が連結された連結構造体16と、紫外線光源14と連結構造体16を格納する格納容器12を有している。更に、本体部7は、格納容器12とガス導入部8を隔てる第1の隔壁36と、格納容器12とガス排出部10を隔てる第2の隔壁38を有している。
回転体ユニット9は、図1に示すように、側面に歯車が形成された回転体6と、回転体6を支持する支持台5を有している。
図6は、本実施の形態の有機ガス処理装置2の使用状態を説明する図である。有機ガス処理装置2のガス導入部8は、図6(a)に示すように、配管52aにより半導体製造装置50の排気口に接続されている。従って、ガス導入部8は、連結構造体16の第1の開口部30を、配管52aを介して、有機ガスを発生する半導体製造装置50に連結している(図2参照)。
以上の例では、有機ガス処理装置2は、長手方向が水平になるように設置されている。しかし、有機ガス処理装置2は、図6(b)に示すように、有機ガス光分解部24の長手方向が鉛直になるように設置してもよい。
本実施の形態は、実施の形態1の有機ガス処理装置において、光触媒皮膜の光分解能力を向上させた有機ガス処理装置に関する。尚、実施の形態1と共通する部分にいては、説明を省略する。
図7は、本実施の形態の光触媒皮膜42の構造を説明する図である。図8は、広く用いられている光触媒皮膜である、光触媒粒子をバインダー46で基材48に固定した光触媒皮膜42aの構造を説明する図である。
本実施の形態の光触媒皮膜は、上述したように、溶射法により形成することができる。上述したように、溶射法は、溶融した材料粒子を含むガスを基材に吹き付けて皮膜を形成する成膜方法である。
本実施の形態は、実施の形態2の有機ガス処理装置において、光触媒皮膜と有機ガスの接触面積を広くした有機ガス処理装置に関する。尚、実施の形態2と共通する部分にいては、説明を省略する。
14・・・紫外線光源
22・・・光触媒
24・・・有機ガス光分解部
26・・・連結管
30・・・第1の開口部
34・・・第2の開口部
58・・・突起部
Claims (4)
- 紫外線を発生し、前記紫外線により光触媒に有機ガスを分解させる紫外線光源と、
内壁が前記光触媒の皮膜で覆われ且つ前記紫外線を透す筒状体であって、前記紫外線光源を囲うように前記紫外線光源の長手方向に沿って配置され、且つ前記長手方向に延在する軸を中心に自転する複数の有機ガス光分解部と、
複数の前記有機ガス光分解部を直列に連結して、前記有機ガス光分解部の連結構造体を形成する複数の連結管と、
前記紫外線光源と複数の前記有機ガス光分解部とを格納し、前記有機ガス光分解部の端部を塞ぐキャップの側面に形成された歯車に噛み合う歯車が内側の側面に設けられた格納容器と、
前記連結構造体の一端に設けられ、前記有機ガスを含むガスが流入する第1の開口部と、
前記連結構造体の他端に設けられ、前記ガスが流出する第2の開口部とを有し、
前記連結管は、前記有機ガス光分解部の端部を塞ぐ前記キャップに前記有機ガス光分解部が回転できるように取り付けられ、
前記格納容器は回転して、前記有機ガス光分解部を自転させる
有機ガス処理装置。 - 請求項1に記載の有機ガス処理装置において、
前記皮膜は、複数の前記光触媒の粒子が直接結合して形成され、
前記筒状体は、前記皮膜が側面の一部に形成された複数の部材を前記皮膜が内側になるように連結して形成されている
ことを特徴とする有機ガス処理装置。 - 請求項1又は2に記載の有機ガス処理装置において、
更に、前記皮膜で覆われ、前記内壁に設けられた複数の突起部を有することを、
特徴とする有機ガス処理装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の有機ガス処理装置において、
前記第1の開口部を、前記有機ガスを発生する半導体製造装置に連結する第1の連結部と、
前記第2の開口部を、排気装置に連結する第2の連結部とを有する、
ことを特徴とする有機ガス処理装置。
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