JP5527351B2 - ストリップ形状部品のバリ取り方法及び装置 - Google Patents
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Description
図6乃至図9に示すように、化学溶液セル4のうち、電解バリ取り前処理セル42の内部に噴射流発生器本体2を設け、急送ベルト5により急送されるストリップ形状部品1が化学溶液に浸漬された状態で、化学溶液の加圧急送機構3の加圧急送ポンプ32により急送管30を経由し化学溶液を加圧急送すると、噴射流発生器本体2の化学溶液供給空間20に化学溶液が加圧状態で急送されて多数の噴射孔22を通して噴射されるようになる。そして、電解バリ取り前処理セル42の内部に既に化学溶液が充填されており、ストリップ形状部品1が化学溶液に浸漬された状態で多数の噴射孔22を通して化学溶液が噴射されるので、内部では噴射流の形状に変化が行われ、これら噴射流がストリップ形状部品1の表面両側に同時にまたは一側のみにまんべんなく当たり加圧浸透が行われる化学溶液の噴射流加圧浸透工程が行われ、次に電解バリ取りセル40で電解バリ取り工程が行われる場合、その効果を上昇させてバリの剥離が一層効果的に行われるようになる。
この場合は図10及び図11に示すように、化学溶液セル4のうち、電解バリ取りセル40の内部に噴射流発生器本体2を設け、急送ベルト5により急送されるストリップ形状部品1が化学溶液に浸漬された状態で、化学溶液加圧急送機構3の加圧急送ポンプ32により急送管30を経由し化学溶液を加圧急送すると、噴射流発生器本体2の化学溶液供給空間20に化学溶液が加圧状態で急送されて多数の噴射孔22を通して噴射されるようになる。そして、電解バリ取りセル40の内部に既に化学溶液が充填されており、ストリップ形状部品1が化学溶液に浸漬された状態で多数の噴射孔22を通して化学溶液が噴射されるので、内部では噴射流の形状に変化が行われ、これら噴射流がストリップ形状部品1の表面にまんべんなく当たり加圧浸透が行われる化学溶液の噴射流加圧浸透工程が行われてから電解バリ取りセル40で電解バリ取り工程が行われる場合、その効果を上昇させてバリの剥離が一層効果的に行われるようになる。
この場合は図12乃至図15に示すように、化学溶液セル4のうち、電解バリ取り前処理セル42の内部と電解デブラッシュセル40にそれぞれ噴射流発生器本体2を設け、急送ベルト5により急送されるストリップ形状部品1が化学溶液に浸漬された状態で、化学溶液の加圧急送機構3の加圧急送ポンプ32により急送管30を経由し化学溶液を加圧急送すると、噴射流発生器本体2の化学溶液供給空間20に化学溶液が加圧状態で急送されて多数の噴射孔22を通して噴射されるようになる。そして、電解バリ取り前処理セル42及び電解バリ取り40の内部に既に化学溶液が充填されており、ストリップ形状部品1が化学溶液に浸漬された状態で多数の噴射孔22を通して化学溶液が噴射されるようになるので、内部では噴射流の形状に変化が行われ、これら噴射流がストリップ形状部品1の表面両側に同時にまたは一側のみにまんべんなく当たり加圧浸透が行われる化学溶液の噴射流加圧浸透工程が行われ、次に電解バリ取りセル40で電解バリ取り工程が行われる場合、その効果を上昇させてバリの剥離が一層効果的に行われるようになる。
2 噴射流発生器本体
3 化学溶液加圧急送機構
4 化学溶液セル
5 急送ベルト
20 化学溶液供給空間
22 噴射孔
30 急送管
32 加圧急送ポンプ
40 電解バリ取りセル
42 電解バリ取り前処理セル
50 把持用フィンガー
Claims (14)
- 半導体の製造工程のうち樹脂成形による封止工程後、メッキ工程の前後に残っているバリを剥離除去するためのストリップ形状部品のバリ取り方法において、
ストリップ形状部品の封止部やリード部に残っているバリを剥離するための電解バリ取り工程に、化学溶液に浸漬された状態のストリップ形状部品の表面に化学溶液を噴射流式で加圧する化学溶液の噴射流加圧浸透工程を追加してなることを特徴とするストリップ形状部品のバリ取り方法。 - 前記化学溶液の噴射流加圧浸透工程が、電解バリ取り工程を行う前に行われることを特徴とする、請求項1に記載のストリップ形状部品のバリ取り方法。
- 前記化学溶液の噴射流加圧浸透工程が、電解バリ取り工程の途中に行われることを特徴とする、請求項1に記載のストリップ形状部品のバリ取り方法。
- 前記化学溶液の噴射流加圧浸透工程が、電解バリ取り工程の前と電解バリ取り工程の途中に順次に行われることを特徴とする、請求項1に記載のストリップ形状部品のバリ取り方法。
- 半導体の製造工程のうち樹脂成形による封止工程後、メッキ工程の前後に残っているバリを剥離除去するためのストリップ形状部品のバリ取り装置において、
ストリップ形状部品を中心に両側に噴射流発生器本体を設け、
前記噴射流発生器本体には、化学溶液を加圧状態で急送するための化学溶液の加圧急送機構を連結設置し、
前記ストリップ形状部品と前記噴射流発生器本体とが化学溶液による浸漬状態で化学溶液セルの内部に位置するように設けられる構成であることを特徴とするストリップ形状部品のバリ取り装置。 - 前記噴射流発生器本体は、ストリップ形状部品を中心に両側に位置するように化学溶液セルの内壁に固設されるが、
内部には化学溶液供給空間が長く設けられ、ストリップ形状部品と向き合う位置には多数の噴射孔が前記化学溶液供給空間と連通形成されて、
前記化学溶液供給空間は、化学溶液加圧急送機構の急送管と連結設置される構成であることを特徴とする請求項5に記載のストリップ形状部品のバリ取り装置。 - 前記噴射孔は設置位置の高低が違うように構成されることを特徴とする、請求項6に記載のストリップ形状部品のバリ取り装置。
- 前記化学溶液加圧急送機構は、噴射流発生器本体の化学溶液供給空間と相互連結される急送管と、
前記急送管と相互連結設置されて化学溶液を加圧急送させる加圧急送ポンプと相互連結設置される構成であることを特徴とする、請求項5に記載のストリップ形状部品のバリ取り装置。 - 前記化学溶液セルは、内部に化学溶液が充填され、ストリップ形状部品と噴射流発生器本体が化学溶液に浸漬された状態を保持できるように構成され、
電解バリ取り工程が行われる電解バリ取りセルと前記電解バリ取りセルの前段階位置に別途設けられる電解バリ取り前処理セルとに区分されることを特徴とする、請求項5に記載のストリップ形状部品のバリ取り装置。 - 前記噴射流発生器本体は、電解バリ取り工程を行うためのストリップ形状部品を中心に一側のみに設けられる構成であることを特徴とする、請求項5に記載のストリップ形状部品のバリ取り装置。
- 前記電解バリ取り セルの前方位置に別途の電解バリ取り前処理セルを設け、
前記電解バリ取り前処理セルの内部に噴射流発生器本体を設ける構成からなることを特徴とする、請求項9に記載のストリップ形状部品のバリ取り装置。 - 前記電解バリ取りセルの中間部位に噴射流発生器本体を設ける構成からなることを特徴とする、請求項9に記載のストリップ形状部品のバリ取り装置。
- 前記電解バリ取り前処理セルに噴射流発生器本体を設け、
また同時に電解バリ取りセルにも噴射流発生器本体を設ける構成からなることを特徴とする、請求項9に記載のストリップ形状部品のバリ取り装置。 - 前記電解バリ取りセルにも複数の段階で噴射流発生器本体を設置する構成からなることを特徴とする、請求項13に記載のストリップ形状部品のバリ取り装置。
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