JP5521286B2 - 薄膜素子の製造方法 - Google Patents
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また、前記目的を果たすため、本発明の薄膜素子の製造方法の一態様は、酸化亜鉛からなる仮基板上に絶縁膜を形成する第1の工程と、前記絶縁膜上に薄膜素子構成体を形成する第2の工程と、前記薄膜素子構成体を覆うオーバーコート膜を形成する第3の工程と、前記オーバーコート膜上に接着層を介して基板を接着する第4の工程と、前記仮基板をウェットエッチングして除去する第5の工程と、を有し、前記仮基板は、酸化亜鉛中にガラス繊維又は金属繊維又は樹脂繊維からなる補強材を、分散させて形成されている、ことを特徴とするものである。
また、前記目的を果たすため、本発明の薄膜素子の製造方法の一態様は、酸化亜鉛からなる仮基板上に絶縁膜を形成する第1の工程と、前記絶縁膜上に薄膜素子構成体を形成する第2の工程と、前記薄膜素子構成体を覆うオーバーコート膜を形成する第3の工程と、前記オーバーコート膜上に補強用部材を貼り付ける第4の工程と、前記仮基板をウェットエッチングして除去する第5の工程と、前記絶縁膜の下面に接着層を介して基板を接着する第6の工程と、前記補強用部材を剥離する第7の工程と、を有し、前記仮基板は、ガラス又は金属又は樹脂からなる網目状の基材に、酸化亜鉛あるいは酸化亜鉛中にガラス繊維又は金属繊維又は樹脂繊維からなる補強材を分散させたものを、混合させて形成されている、ことを特徴とするものである。
また、前記目的を果たすため、本発明の薄膜素子の製造方法の一態様は、酸化亜鉛からなる仮基板上に絶縁膜を形成する第1の工程と、前記絶縁膜上に薄膜素子構成体を形成する第2の工程と、前記薄膜素子構成体を覆うオーバーコート膜を形成する第3の工程と、前記オーバーコート膜上に接着層を介して基板を接着する第4の工程と、前記仮基板をウェットエッチングして除去する第5の工程と、を有し、前記仮基板は、ガラス又は金属又は樹脂からなる網目状の基材に、酸化亜鉛あるいは酸化亜鉛中にガラス繊維又は金属繊維又は樹脂繊維からなる補強材を分散させたものを、混合させて形成されている、ことを特徴とするものである。
図1はこの発明の第1実施形態としての薄膜トランジスタパネル(薄膜素子)の要部の断面図を示す。この場合、図1の右側は画素電極16を含む薄膜トランジスタ12(薄膜素子構成体)の部分の断面図を示し、左側はドレイン配線用外部接続端子21の部分の断面図を示す。
図7はこの発明の第2実施形態としての薄膜トランジスタパネルの要部の断面図を示す。この薄膜トランジスタパネルにおいて、図1に示す薄膜トランジスタパネルと大きく異なる点は、下地絶縁膜3の下面ではなく、オーバーコート膜17の上面にフィルム基板1の下面を接着層2を介して接着した点である。
図11はこの発明の第3実施形態としての薄膜トランジスタパネルの要部の断面図を示す。この薄膜トランジスタパネルにおいて、図7に示す薄膜トランジスタパネルと大きく異なる点は、画素電極16およびドレイン配線用外部接続端子21の下面を含む下地絶縁膜3の下面を平坦とした点である。
図17はこの発明の第4実施形態としての薄膜トランジスタパネルの要部の断面図を示す。この薄膜トランジスタパネルにおいて、図1に示す薄膜トランジスタパネルと大きく異なる点は、薄膜トランジスタ12をトップゲート型とした点である。すなわち、下地絶縁膜3の上面の相対向する所定の2箇所にはソース電極10およびドレイン電極11が設けられている。
図18はこの発明の第5実施形態としての薄膜トランジスタパネルの要部の断面図を示す。この薄膜トランジスタパネルにおいて、図7に示す薄膜トランジスタパネルと大きく異なる点は、図17に示す場合と同様に、薄膜トランジスタ12をトップゲート型とした点である。この薄膜トランジスタパネルの製造方法は、薄膜トランジスタ12がトップゲート型である点を除いて、上記第2実施形態の場合と同様であるので、省略する。
図19はこの発明の第6実施形態としての薄膜トランジスタパネルの要部の断面図を示す。この薄膜トランジスタパネルにおいて、図11に示す薄膜トランジスタパネルと大きく異なる点は、図17に示す場合と同様に、薄膜トランジスタ12をトップゲート型とした点である。この薄膜トランジスタパネルの製造方法は、薄膜トランジスタ12がトップゲート型である点を除いて、上記第3実施形態の場合と同様であるので、省略する。
図20はこの発明の第7実施形態としての薄膜トランジスタパネルの要部の断面図を示す。この薄膜トランジスタパネルにおいて、図1に示す薄膜トランジスタパネルと大きく異なる点は、薄膜トランジスタ12をボトムゲート型でチャネルエッチ型とした点である。この薄膜トランジスタパネルの製造方法は、薄膜トランジスタ12がチャネルエッチ型である点を除いて、上記第1実施形態の場合と同様であるので、省略する。なお、図7および図11にそれぞれ示すような薄膜トランジスタパネルにおいても、薄膜トランジスタ12をチャネルエッチ型としてもよいことはもちろんである。
上記各実施形態において、仮基板31として、セラミック等からなる多孔質基板を用いるようにしてもよい。このようにした場合には、例えば、図4に示す工程後に、全体をエッチング液に浸すと、エッチング液が仮基板31の多孔質を透過しても剥離層32に接触するので、分離層32の溶解が促進され、エッチング処理時間を短縮することができる。なお、この場合の仮基板31としては、下面に補強用のリブ(例えば、図21の符合41a参照)が一体的に形成されたものを用いるようにしてもよい。
2 接着層
3 下地絶縁膜
4 ゲート電極
5 ゲート絶縁膜
6 半導体薄膜
7 チャネル保護膜
8、9 オーミックコンタクト層
10 ソース電極
11 ドレイン電極
12 薄膜トランジスタ
13 下層ドレイン配線
15 上層ドレイン配線
16 画素電極
17 オーバーコート膜
21 ドレイン配線用外部接続端子
31 仮基板
32 分離層
33 補強用粘着テープ
Claims (12)
- 酸化亜鉛からなる仮基板上に絶縁膜を形成する第1の工程と、
前記絶縁膜上に薄膜素子構成体を形成する第2の工程と、
前記薄膜素子構成体を覆うオーバーコート膜を形成する第3の工程と、
前記オーバーコート膜上に補強用部材を貼り付ける第4の工程と、
前記仮基板をウェットエッチングして除去する第5の工程と、
前記絶縁膜の下面に接着層を介して基板を接着する第6の工程と、
前記補強用部材を剥離する第7の工程と、
を有し、
前記仮基板は、酸化亜鉛中にガラス繊維又は金属繊維又は樹脂繊維からなる補強材を、分散させて形成されている、
ことを特徴とする薄膜素子の製造方法。 - 酸化亜鉛からなる仮基板上に絶縁膜を形成する第1の工程と、
前記絶縁膜上に薄膜素子構成体を形成する第2の工程と、
前記薄膜素子構成体を覆うオーバーコート膜を形成する第3の工程と、
前記オーバーコート膜上に接着層を介して基板を接着する第4の工程と、
前記仮基板をウェットエッチングして除去する第5の工程と、
を有し、
前記仮基板は、酸化亜鉛中にガラス繊維又は金属繊維又は樹脂繊維からなる補強材を、分散させて形成されている、
ことを特徴とする薄膜素子の製造方法。 - 請求項1または2に記載の発明において、前記仮基板の下面にリブが設けられていることを特徴とする薄膜素子の製造方法。
- 請求項1または2に記載の発明において、前記基板はフィルム基板であることを特徴とする薄膜素子の製造方法。
- 請求項1乃至4の何れかに記載の発明において、前記絶縁膜は、窒化シリコン膜であることを特徴とする薄膜素子の製造方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記補強用部材は、ポリイミド系樹脂又はポリエチレンテレフタレートを含むテープの下面にシリコーン系樹脂を含む粘着剤を設けたものであることを特徴とする薄膜素子の製造方法。
- 酸化亜鉛からなる仮基板上に絶縁膜を形成する第1の工程と、
前記絶縁膜上に薄膜素子構成体を形成する第2の工程と、
前記薄膜素子構成体を覆うオーバーコート膜を形成する第3の工程と、
前記オーバーコート膜上に補強用部材を貼り付ける第4の工程と、
前記仮基板をウェットエッチングして除去する第5の工程と、
前記絶縁膜の下面に接着層を介して基板を接着する第6の工程と、
前記補強用部材を剥離する第7の工程と、
を有し、
前記仮基板は、ガラス又は金属又は樹脂からなる網目状の基材に、酸化亜鉛あるいは酸化亜鉛中にガラス繊維又は金属繊維又は樹脂繊維からなる補強材を分散させたものを、混合させて形成されている、
ことを特徴とする薄膜素子の製造方法。 - 酸化亜鉛からなる仮基板上に絶縁膜を形成する第1の工程と、
前記絶縁膜上に薄膜素子構成体を形成する第2の工程と、
前記薄膜素子構成体を覆うオーバーコート膜を形成する第3の工程と、
前記オーバーコート膜上に接着層を介して基板を接着する第4の工程と、
前記仮基板をウェットエッチングして除去する第5の工程と、
を有し、
前記仮基板は、ガラス又は金属又は樹脂からなる網目状の基材に、酸化亜鉛あるいは酸化亜鉛中にガラス繊維又は金属繊維又は樹脂繊維からなる補強材を分散させたものを、混合させて形成されている、
ことを特徴とする薄膜素子の製造方法。 - 請求項7または8に記載の発明において、前記仮基板の下面にリブが設けられていることを特徴とする薄膜素子の製造方法。
- 請求項7または8に記載の発明において、前記基板はフィルム基板であることを特徴とする薄膜素子の製造方法。
- 請求項7乃至10の何れかに記載の発明において、前記絶縁膜は、窒化シリコン膜であることを特徴とする薄膜素子の製造方法。
- 請求項7に記載の発明において、前記補強用部材は、ポリイミド系樹脂又はポリエチレンテレフタレートを含むテープの下面にシリコーン系樹脂を含む粘着剤を設けたものであることを特徴とする薄膜素子の製造方法。
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