JP5512106B2 - 真空排気ユニットおよび真空排気ユニットの消費電力を節約する節電方法 - Google Patents
真空排気ユニットおよび真空排気ユニットの消費電力を節約する節電方法 Download PDFInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 57
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000009849 vacuum degassing Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
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- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
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Description
11 ターボ分子ポンプ(主真空ポンプ)
12 粗引きポンプ(補助真空ポンプ)
13 第1真空バルブ
14 第2真空バルブ(バルブ)
15 コントローラ
16 第1排気路
17 真空チャンバー
19 第2排気路
Claims (2)
- 第1排気管が接続された主真空ポンプと、前記主真空ポンプの下流側に配置され、該主真空ポンプに第2排気管を介して接続された補助真空ポンプと、前記第2排気管に設置されて該第2排気管を開閉可能なバルブとを有し、前記第1排気管を介して所定容積の真空チャンバーに着脱可能に連結され、前記真空チャンバー内部を所定の真空度に減圧する真空排気ユニットにおいて、
前記真空チャンバーに連結された状態における前記真空排気ユニットの使用待機時では、前記真空チャンバー内部の実測真空度とあらかじめ設定された必要真空度とを比較し、前記実測真空度が前記必要真空度に達したと判断すると、前記補助真空ポンプが停止するとともに前記バルブが閉状態になり、前記補助真空ポンプが停止するとともに前記バルブが閉状態になった後、前記主真空ポンプのインターロック機能によって該主真空ポンプから注意信号が出力され、前記主真空ポンプの圧力が該主真空ポンプの動作可能な最低圧力よりも僅かに低い状態になったと判断し、または、前記主真空ポンプの運転中の実測圧力とあらかじめ設定された最低圧力とを比較し、前記主真空ポンプの圧力が該主真空ポンプの動作可能な最低圧力よりも僅かに低い状態になったと判断すると、前記補助真空ポンプが起動するとともに前記バルブが開状態になることを特徴とする真空排気ユニット。 - 第1排気管が接続された主真空ポンプと、前記主真空ポンプの下流側に配置され、該主真空ポンプに第2排気管を介して接続された補助真空ポンプと、前記第2排気管に設置されて該第2排気管を開閉可能なバルブとを有し、前記第1排気管を介して所定容積の真空チャンバーに着脱可能に連結され、前記真空チャンバー内部を所定の真空度に減圧する真空排気ユニットの消費電力を節約する節電方法において、
前記節電方法が、前記真空チャンバーに連結された状態における前記真空排気ユニットの使用待機時に、前記真空チャンバー内部の実測真空度とあらかじめ設定された必要真空度とを比較し、前記実測真空度が前記必要真空度に達したと判断すると、前記補助真空ポンプを停止させ、前記補助真空ポンプが停止した後、前記主真空ポンプのインターロック機能によって該主真空ポンプから注意信号が出力され、前記主真空ポンプの圧力が該主真空ポンプの動作可能な最低圧力よりも僅かに低い状態になったと判断し、または、前記主真空ポンプの運転中の実測圧力とあらかじめ設定された最低圧力とを比較し、前記主真空ポンプの圧力が該主真空ポンプの動作可能な最低圧力よりも僅かに低い状態になったと判断すると、前記補助真空ポンプを起動させるポンプ運転手段と、前記補助真空ポンプの停止にともなって前記バルブを閉状態とし、前記補助真空ポンプの起動にともなって前記バルブを開状態とするバルブ開閉手段とを有することを特徴とする真空排気ユニットの節電方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008218577A JP5512106B2 (ja) | 2008-08-27 | 2008-08-27 | 真空排気ユニットおよび真空排気ユニットの消費電力を節約する節電方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008218577A JP5512106B2 (ja) | 2008-08-27 | 2008-08-27 | 真空排気ユニットおよび真空排気ユニットの消費電力を節約する節電方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010053747A JP2010053747A (ja) | 2010-03-11 |
JP5512106B2 true JP5512106B2 (ja) | 2014-06-04 |
Family
ID=42069931
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008218577A Expired - Fee Related JP5512106B2 (ja) | 2008-08-27 | 2008-08-27 | 真空排気ユニットおよび真空排気ユニットの消費電力を節約する節電方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5512106B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3392509A1 (de) * | 2017-04-23 | 2018-10-24 | Alfred-Wegener-Institut Helmholtz-Zentrum für Polar- und Meeresforschung | Vakuumsystem zur erzeugung von zumindest einem hochvakuum in einem rezipienten |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2458218A1 (en) | 2010-11-30 | 2012-05-30 | Converteam Technology Ltd | A system for maintaining a high vacuum |
CN102777371B (zh) * | 2012-07-19 | 2015-11-25 | 奇瑞汽车股份有限公司 | 一种车用真空泵的耐久性试验机构及其耐久性试验方法 |
JP6204498B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2017-09-27 | 富士機械製造株式会社 | 電子部品装着機 |
KR102668100B1 (ko) * | 2022-01-04 | 2024-05-22 | 삼성전자주식회사 | 기판 처리 장치 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2657254B2 (ja) * | 1988-10-17 | 1997-09-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置及びその排気方法 |
JP4443080B2 (ja) * | 2001-09-21 | 2010-03-31 | 新明和工業株式会社 | 真空排気システムおよびその運転方法 |
JP4180265B2 (ja) * | 2001-10-31 | 2008-11-12 | 株式会社アルバック | 真空排気装置の運転方法 |
JP4365059B2 (ja) * | 2001-10-31 | 2009-11-18 | 株式会社アルバック | 真空排気装置の運転方法 |
JP4825608B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2011-11-30 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置および真空排気方法、基板の加工装置および基板の加工方法 |
-
2008
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3392509A1 (de) * | 2017-04-23 | 2018-10-24 | Alfred-Wegener-Institut Helmholtz-Zentrum für Polar- und Meeresforschung | Vakuumsystem zur erzeugung von zumindest einem hochvakuum in einem rezipienten |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010053747A (ja) | 2010-03-11 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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