JP5511180B2 - 固体撮像装置の製造方法及び固体撮像装置 - Google Patents
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Description
また、本発明にかかる固体撮像装置の製造方法は、カバー部材を準備する工程と、複数の受光部を主面に有する基板と、前記複数の受光部の各々に集光するためのレンズ形状を有する第1の凹凸部と、前記第1の凹凸部の周囲に配置され、塗布された接着剤が毛細管現象により浸透する力が前記第1の凹凸部以上である第2の凹凸部と、を有する撮像素子を準備する工程と、前記撮像素子の前記第1の凹凸部と前記第2の凹凸部との間の領域に接着剤を介して前記カバー部材を載置して、前記接着剤の一部を前記第2の凹凸部に浸透させてから前記接着剤を硬化させる、前記撮像素子と前記カバー部材とを固定する工程と、を有することを特徴とする。
本発明の第1の実施の形態を示す固体撮像装置の製造方法を図1を用いて説明する。
次に第2の実施の形態を説明する。図4は、第2の実施の形態における固体撮像装置の断面図である。
次に第3の実施の形態を説明する。図5は、第3の実施の形態における固体撮像装置の断面図である。
次に第4の実施の形態を説明する。図6は、第4の実施の形態における固体撮像装置の断面図である。
次に第5の実施の形態を説明する。図7は、第5の実施の形態における固体撮像装置の断面図を示す図7(a)と、平面図を示す図7(b)である。
次に第6の実施の形態を説明する。図8は、第6の実施の形態における固体撮像装置の断面図を示す図8(a)と、図8(a)の一部を拡大した断面図を示す図8(b)と、平面図を示す図8(b)である。
次に第7の実施の形態を説明する。図9は、第7の実施の形態における固体撮像装置の断面図を示す図9(a)と平面図を示す図9(b)である。
2 個体撮像素子
3 カバー部材
4 配線基板
11 基板
12 画素領域
13 端子部
14 カラーフィルタ
15 平坦化膜
16 マイクロレンズ(第1の凹凸部)
17 第2の凹凸部
21 平板部
22 枠部
23 固定部材
25 空間部
Claims (8)
- カバー部材を準備する工程と、
複数の受光部を主面に有する基板と、前記複数の受光部の各々に集光するためのレンズ形状を有する第1の凹凸部と、前記第1の凹凸部を囲む複数の凸部を含む第2の凹凸部と、を有する撮像素子を準備する工程と、
前記撮像素子の前記第1の凹凸部と前記第2の凹凸部との間の領域に、前記カバー部材を固定部材により固定する工程と、
を有し、
前記撮像素子を準備する工程は、前記主面に対する垂直方向の断面で、第1の凹凸部の凹部の最小断面積の平均より第2の凹凸部の凹部の最小断面積の平均の方が小さい撮像素子を準備する工程である固体撮像装置の製造方法。 - カバー部材を準備する工程と、
複数の受光部を主面に有する基板と、前記複数の受光部の各々に集光するためのレンズ形状を有する第1の凹凸部と、前記第1の凹凸部の周囲に配置され、塗布された接着剤が毛細管現象により浸透する力が前記第1の凹凸部以上である第2の凹凸部と、を有する撮像素子を準備する工程と、
前記撮像素子の前記第1の凹凸部と前記第2の凹凸部との間の領域に接着剤を介して前記カバー部材を載置して、前記接着剤の一部を前記第2の凹凸部に浸透させてから前記接着剤を硬化させる、前記撮像素子と前記カバー部材とを固定する工程と、
を有する固体撮像装置の製造方法。 - 前記撮像素子を準備する工程は、前記撮像素子の前記第1の凹凸部と前記第2の凹凸部との間の前記領域に平坦部が形成された撮像素子を準備する工程であることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記撮像素子を準備する工程は、前記第2の凹凸部の複数の凸部がレンズ形状またはストライプ状の撮像素子を準備する工程であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記撮像素子を準備する工程は、前記第1の凹凸部と前記基板との間にはカラーフィルタを有し、前記カバー部材が固定された前記領域にはカラーフィルタを有さない撮像素子を準備する工程であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記撮像素子を準備する工程は、前記第1の凹凸部の周囲を囲む土手部が形成された撮像素子を準備する工程であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記撮像素子を準備する工程は、前記第1の凹凸部の表面に撥水部が形成された撮像素子を準備する工程であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記固定する工程において、接着剤を前記カバー部材に塗布した後、前記撮像素子に前記接着剤を介して前記カバー部材を載置する請求項1から7のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。
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