JP5507050B2 - 3dセンサ - Google Patents
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のそれぞれの段階における演算処理の状態を示すデータであるフラグF、および各PSD1〜4が出力する電流値Y1、Y2を高さデータZとともに出力する。具体的には、最終的に出力した高さデータZはどのPSDから得られたデータを用いて算出されたものなのか、そのデータは高倍または低倍の何れの増幅回路を経て算出されたものなのか、対配置された2つのPSDのそれぞれから得たデータに閾値を超えるような差があるかなどについての情報を出力する。これらの情報は、高さデータZの真偽が問題となる場合の解析に用いることができ、例えばどの演算処理の段階で問題が発生したのか、さらに何れかのPSDや増幅回路に故障等の不具合が生じているかなどの原因を合理的に究明することができる。
2 PSD
4 測定対象物
6 データ処理系
9、10 第1演算部
11 第2演算部
12 第3演算部
13 第4演算部
Claims (1)
- 測定対象物にレーザ光を投射する発光素子と、測定対象物によって反射されたレーザ光を受ける複数の位置検出素子と、レーザ光を受けて各位置検出素子から出力された信号値に基づいて複数の位置検出素子ごとに測定対象物の高さを算出する高さデータ算出手段と、複数の位置検出素子ごとに算出した測定対象物の高さデータの演算処理によって算出した測定対象物の真の高さを出力する高さデータ出力手段を備え、
前記高さデータ算出手段は、前記信号値を高倍または低倍に増幅する複数の増幅回路を含み、
前記高さデータ出力手段が、前記測定対象物の真の高さと併せて、前記複数の位置検出素子のそれぞれから出力される信号値、およびそれぞれの信号値から真の高さを演算する過程における判断を示すフラグを出力することにより最終的に出力した高さデータは高倍または低倍のいずれの前記増幅回路を経て算出されたものなのかについての情報を出力することを特徴とする3Dセンサ。
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JP2008013301A JP5507050B2 (ja) | 2008-01-24 | 2008-01-24 | 3dセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008013301A JP5507050B2 (ja) | 2008-01-24 | 2008-01-24 | 3dセンサ |
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JP5507050B2 true JP5507050B2 (ja) | 2014-05-28 |
Family
ID=41030221
Family Applications (1)
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JP2008013301A Active JP5507050B2 (ja) | 2008-01-24 | 2008-01-24 | 3dセンサ |
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- 2008-01-24 JP JP2008013301A patent/JP5507050B2/ja active Active
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