JP2009174974A - 3dセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定対象物4にレーザ光を投射する半導体レーザ1と、測定対象物4によって反射されたレーザ光を受ける複数のPSD2と、レーザ光を受けて各PSD2から出力された電流信号に基づいて測定対象物4の高さを算出する高さデータ算出手段と、PSD2ごとに算出した測定対象物4の高さデータの演算処理によって算出した測定対象物の真の高さ併せて演算処理の状態を示すデータを出力する高さデータ出力手段を備えた。
【選択図】図3
Description
のそれぞれの段階における演算処理の状態を示すデータであるフラグF、および各PSD1〜4が出力する電流値Y1、Y2を高さデータZとともに出力する。具体的には、最終的に出力した高さデータZはどのPSDから得られたデータを用いて算出されたものなのか、そのデータは高倍または低倍の何れの増幅回路を経て算出されたものなのか、対配置された2つのPSDのそれぞれから得たデータに閾値を超えるような差があるかなどについての情報を出力する。これらの情報は、高さデータZの真偽が問題となる場合の解析に用いることができ、例えばどの演算処理の段階で問題が発生したのか、さらに何れかのPSDや増幅回路に故障等の不具合が生じているかなどの原因を合理的に究明することができる。
2 PSD
4 測定対象物
6 データ処理系
9、10 第1演算部
11 第2演算部
12 第3演算部
13 第4演算部
Claims (3)
- 測定対象物にレーザ光を投射する発光素子と、測定対象物によって反射されたレーザ光を受ける複数の位置検出素子と、レーザ光を受けて各位置検出素子から出力された信号値に基づいて複数の位置検出素子ごとに測定対象物の高さを算出する高さデータ算出手段と、複数の位置検出素子ごとに算出した測定対象物の高さデータの演算処理によって算出した測定対象物の真の高さを出力する高さデータ出力手段を備え、
前記高さデータ出力手段が、演算処理の状態を示すデータを測定対象物の真の高さと併せて出力する3Dセンサ。 - 前記演算の状態を示すデータが、複数の位置検出素子のそれぞれから出力される信号値から真の高さを演算する過程における演算状態を示す情報である請求項1に記載の3Dセンサ。
- 前記演算の状態を示すデータが、複数の位置検出素子のそれぞれから出力される信号値、およびそれぞれの信号値から真の高さを演算する過程における判断を示すフラグである請求項1に記載の3Dセンサ。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012173188A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Panasonic Corp | 画像形成装置および画像形成方法ならびに部品実装装置 |
JP2012229964A (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-22 | Panasonic Corp | 画像形成装置および画像形成方法ならびに部品実装装置 |
CN103134428A (zh) * | 2013-03-18 | 2013-06-05 | 哈尔滨工业大学 | 一种分布式平面六自由度位姿快速精密测量装置与方法 |
JP2013186088A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Canon Inc | 情報処理装置、情報処理方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07208948A (ja) * | 1994-01-11 | 1995-08-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品搭載状態の良否判定方法 |
JP2003014417A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Omron Corp | 光学式変位センサ |
JP2005091374A (ja) * | 2000-01-31 | 2005-04-07 | Omron Corp | 変位センサ及び変位計測方法 |
-
2008
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07208948A (ja) * | 1994-01-11 | 1995-08-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品搭載状態の良否判定方法 |
JP2005091374A (ja) * | 2000-01-31 | 2005-04-07 | Omron Corp | 変位センサ及び変位計測方法 |
JP2003014417A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Omron Corp | 光学式変位センサ |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012173188A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Panasonic Corp | 画像形成装置および画像形成方法ならびに部品実装装置 |
JP2012229964A (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-22 | Panasonic Corp | 画像形成装置および画像形成方法ならびに部品実装装置 |
JP2013186088A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Canon Inc | 情報処理装置、情報処理方法 |
CN103134428A (zh) * | 2013-03-18 | 2013-06-05 | 哈尔滨工业大学 | 一种分布式平面六自由度位姿快速精密测量装置与方法 |
CN103134428B (zh) * | 2013-03-18 | 2015-09-02 | 哈尔滨工业大学 | 一种分布式平面六自由度位姿快速精密测量方法 |
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