JP5503391B2 - 窒化物系半導体レーザ素子の製造方法 - Google Patents
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Description
このp型クラッド層8は、凸部と平坦部との合計厚みが約0.6μmに構成されているとともに、平坦部の厚みが約60nm〜約150nmに構成されている。
2 n型GaN層(窒化物系半導体層、第1導電型半導体層)
3 m型クラッド層(窒化物系半導体層、第1導電型半導体層)
4 光ガイド層(窒化物系半導体層、第1導電型半導体層)
5 活性層(窒化物系半導体層)
6 GaN中間層(窒化物系半導体層、第2導電型半導体層)
7 蒸発防止層(窒化物系半導体層、第2導電型半導体層)
8 p型クラッド層(窒化物系半導体層、第2導電型半導体層)
9 p型コンタクト層(窒化物系半導体層、第2導電型半導体層)
10 リッジ部
11 p側電極層
12 絶縁層
13 p側パッド電極
14 n側電極
15 メタライズ層
20 共振器端面
20a 光出射端面
20b 光反射端面
30 側端面
40 段差部
40a レーザバー分割補助溝(分割補助溝)
51 絶縁マスク層
52 レジスト層
100 エッチングチャンバ
105 光ファイバ
110 干渉波形観測用光源/分光装置
120 干渉波形分析/演算用PC
130 エッチング制御用PC
Claims (9)
- 基板上に複数の窒化物系半導体層を積層する工程と、
前記窒化物系半導体層をドライエッチングするとともに、前記窒化物系半導体層に光を照射して前記窒化物系半導体層で反射された反射光の干渉波形を観測する光学的手法を用いてドライエッチング時における干渉波形のプロファイルを取得する工程と、
前記窒化物系半導体層をドライエッチングすることにより、前記窒化物系半導体層に導波路構造を形成する工程とを備え、
前記導波路構造を形成する工程は、
前記光学的手法を用いて反射光の干渉波形を観測しながら前記窒化物系半導体層をドライエッチングする工程と、
取得された前記干渉波形の前記プロファイルを元に、エッチングの終点位置を検知する工程とを含み、
前記干渉波形のプロファイルを取得する工程は、
前記窒化物系半導体層が積層された前記基板を分割する際の分割補助溝をドライエッチングにより形成する工程と、
前記分割補助溝の形成時に前記光学的手法を用いて前記干渉波形のプロファイルを取得する工程とを含むことを特徴とする、窒化物系半導体レーザ素子の製造方法。 - 前記窒化物系半導体層を積層する工程は、前記基板上に、第1導電型半導体層、活性層および第2導電型半導体層を順に積層する工程を含み、
前記導波路構造を形成する工程は、前記第2導電型半導体層に、所定方向に延びるストライプ状の凸部を形成する工程を含み、
前記エッチングの終点位置を検知する工程は、前記第2導電型半導体層の界面に現れる干渉波形上の変極点と、前記ストライプ状の凸部の形成時に所望する前記 第2導電型半導体層のエッチング残し量とから、前記ストライプ状の凸部におけるエッチング終点検知の設定値を決定する工程を含むことを特徴とする、請求項1に記載の窒化物系半導体レーザ素子の製造方法。 - 前記分割補助溝を形成する際の前記干渉波形の観測を行う位置は、前記導波路構造を形成する際の前記干渉波形の観測を行う位置から25mm以内の距離にあることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の窒化物系半導体レーザ素子の製造方法。
- 前記干渉波形のプロファイルを取得する工程における前記干渉波形の観測を行う位置は、前記導波路構造を形成する際の干渉波形の観測を行う位置から25mm以内の距離にあることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の窒化物系半導体レーザ素子の製造方法。
- 前記干渉波形のプロファイルは、前記導波路構造を形成する工程で用いるドライエッチング装置および干渉波形観測装置と同じ装置を用いて取得することを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の窒化物系半導体レーザ素子の製造方法。
- 前記ドライエッチング装置は、誘導結合プラズマ方式または反応性イオンエッチング方式であることを特徴とする、請求項5に記載の窒化物系半導体レーザ素子の製造方法。
- 前記ドライエッチング時に使用するガスは、Cl2、BCl3、SiCl4、CH4、Ar、H2、N2の群から選択される1種以上のガスを含むことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の窒化物系半導体レーザ素子の製造方法。
- 前記干渉波形の観測に使用する光の波長は、300nm〜550nmであることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の窒化物系半導体レーザ素子の製造方法。
- 前記干渉波形の観測に使用する光の波長は、300nm〜410nmであることを特徴とする、請求項8に記載の窒化物系半導体レーザ素子の製造方法。
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