JP2008218956A - 半導体レーザ素子の製造方法および半導体レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この半導体レーザ素子の製造方法では、エッチングモニタ用開口部117で反射する光の反射干渉波形をモニタし、エッチングマーカ層110を利用してドライエッチング工程の終点を検出し、ドライエッチングを停止しているので、従来の時間制御法に比べて、より深くまで精度良くドライエッチングを続けることができる。さらに、このドライエッチング工程に続くウエットエッチング工程において、エッチングストップ層108を利用してウエットエッチングを行うので、リッジ部120の高さを精密に制御できると共に、等方的に進むウエットエッチングの時間を短縮できる。
【選択図】図4
Description
上記半導体積層構造部にエッチングモニタ用開口部を形成するための第1の開口部と上記半導体積層構造部にストライプ状のリッジ部を形成するための第2の開口部とを有するマスクを、上記コンタクト層上に形成するマスク形成工程と、
上記半導体積層構造部をドライエッチングしながら、上記マスクの上記第1の開口部に光を照射し、この光が上記半導体積層構造部で反射して発生する反射干渉光をモニタすることで、上記エッチングマーカ層がエッチングされていることを観察した後、上記第2上クラッド層の途中でドライエッチングを停止させるドライエッチング工程と、
上記第2上クラッド層を上記エッチングストップ層に対して選択的にウエットエッチング法にてエッチングして上記リッジ部を形成するウエットエッチング工程とを有することを特徴としている。
上記AlGaAsからなるエッチングマーカ層のAl混晶比が0.35乃至0.45であり、
上記第2上クラッド層をエッチングするウエットエッチング工程において、エッチャントとしてふっ酸を使用する。
上記半導体積層構造部は、
上記半導体積層構造部の表面から上記エッチングストップ層が露出する深さまで形成された一対のストライプ状凹部と、
上記一対のストライプ状凹部の間に形成されると共に上記半導体基板の表面に対して略垂直な側面を持つリッジ部と、
上記リッジ部とで各ストライプ状凹部を挟むように形成されたリッジテラス部とを有し、
上記リッジ部と上記リッジテラス部とが導波路を構成していることを特徴としている。
図1は、この発明の第1実施形態の半導体レーザ素子の構造を示したものである。
次に、図2から図5を順に参照して、図1に示す第1実施形態の半導体レーザ素子を製造する方法である第2実施形態を説明する。
続いて、図5に示すように、プラズマCVD法を用いて、厚さ150nmのSiO2を成膜し、リッジ部120の上部をなすコンタクト層113が露出するようにフォトリソグラフィー法を用いてエッチング加工し、絶縁膜114を形成する。さらに、リッジ部120のコンタクト層113および絶縁膜114上に、Ti、Pt、Auの順に金属薄膜を蒸着形成してp側電極115を形成する。
次に、図6に、この発明にかかる第3実施形態である光ディスク装置200の構造の一例を示す。この光ディスク装置200は、光ディスク201にデータを書き込んだり、光ディスク201に書き込まれたデータを再生したりするためのものである。この光ディスク装置200は、上記書き込み,再生の際に用いられる発光素子として、先述した第2実施形態で製造した波長650nm帯で発振する半導体レーザ素子202を備えている。
101 n型GaAs基板
102 n型GaAsバッファ層
103 n型AlGaInP下クラッド層
104 AlGaInP下ガイド層
105 多重歪量子井戸活性層
106 AlGaInP上ガイド層
107 p型AlGaInP第1上クラッド層
108 GaInPエッチングストップ層
109 p型AlGaInP第2上クラッド層
110 p型AlGaAsエッチングマーカ層
111 p型AlGaInP第3上クラッド層
112 p型GaInP中間層
113 p+型GaAsコンタクト層
114 絶縁層
115 p側電極
116 n側電極
117 エッチングモニタ用開口部
118 ストライプ状のリッジ形成用開口部
119 マスク
120 リッジ部
121A、121B リッジテラス
200 光ディスク装置
201 光ディスク
202 半導体レーザ素子
203 コリメートレンズ
204 ビームスプリッタ
205 λ/4偏光板
206 レーザ光照射用対物レンズ
207 受光素子用対物レンズ
208 信号検出用受光素子
209 信号光再生回路
Claims (8)
- 基板上に、少なくとも、下クラッド層と、活性層と、第1上クラッド層と、上記第1上クラッド層とは組成が異なるエッチングストップ層と、上記エッチングストップ層とは組成が異なる第2上クラッド層と、上記第2上クラッド層とは組成が異なるエッチングマーカ層と、上記エッチングマーカ層とは組成が異なる第3上クラッド層と、コンタクト層とが順に積層された半導体積層構造部を形成する積層工程と、
エッチングモニタを行うための第1の開口部と上記半導体積層構造部にストライプ状のリッジ部を形成するための第2の開口部とを有するマスクを、上記コンタクト層上に形成するマスク形成工程と、
上記マスクを用いて、上記半導体積層構造部をドライエッチングしながら、上記マスクの上記第1の開口部に光を照射し、この光が上記半導体積層構造部で反射して発生する反射干渉光をモニタすることで、上記エッチングマーカ層がエッチングされていることを観察した後、上記第2上クラッド層の途中でドライエッチングを停止させるドライエッチング工程と、
上記第2上クラッド層を上記エッチングストップ層に対して選択的にウエットエッチング法にてエッチングして上記リッジ部を形成するウエットエッチング工程とを有することを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体レーザ素子の製造方法において、
上記第1、第2および第3上クラッド層がAlGaInPであり、上記エッチングストップ層がGaInPであり、上記エッチングマーカ層がAlGaAsであることを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 請求項2に記載の半導体レーザ素子の製造方法において、
上記AlGaInPからなる第2および第3上クラッド層のAlのIII族混晶比が0.3乃至0.4であり、
上記AlGaAsからなるエッチングマーカ層のAl混晶比が0.35乃至0.45であり、
上記第2上クラッド層をエッチングするウエットエッチング工程において、エッチャントとしてふっ酸を使用することを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 請求項2に記載の半導体レーザ素子の製造方法において、
上記反射干渉波形をモニタする光の波長が、450nm乃至550nmであることを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 請求項2に記載の半導体レーザ素子の製造方法において、
上記第2上クラッド層の厚さが、30nm乃至100nmであることを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 請求項3に記載の半導体レーザ素子の製造方法において、
上記AlGaAsからなるエッチングマーカ層の厚さが5nm乃至15nmであることを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 半導体基板上に、少なくとも、下クラッド層と、活性層と、第1上クラッド層と、上記第1上クラッド層とは組成が異なるエッチングストップ層と、上記エッチングストップ層とは組成が異なる第2上クラッド層と、上記第2上クラッド層とは組成が異なるエッチングマーカ層と、上記エッチングマーカ層とは組成が異なる第3上クラッド層と、コンタクト層とが順に積層された半導体積層構造部を備え、
上記半導体積層構造部は、
上記半導体積層構造部の表面から上記エッチングストップ層が露出する深さまで形成された一対のストライプ状凹部と、
上記一対のストライプ状凹部の間に形成されると共に上記半導体基板の表面に対して略垂直な側面を持つリッジ部と、
上記リッジ部とで各ストライプ状凹部を挟むように形成されたリッジテラス部とを有し、
上記リッジ部と上記リッジテラス部とが導波路を構成していることを特徴とする半導体レーザ素子。 - 請求項7に記載の半導体レーザ素子を光源として備えたことを特徴とする光ディスク装置。
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JP2007058202A JP2008218956A (ja) | 2007-03-08 | 2007-03-08 | 半導体レーザ素子の製造方法および半導体レーザ素子 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011228441A (ja) * | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Sharp Corp | 窒化物系半導体レーザ素子の製造方法 |
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2007
- 2007-03-08 JP JP2007058202A patent/JP2008218956A/ja active Pending
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