JP5501565B2 - 光遅延装置 - Google Patents

Description

本願は、２００４年９月３０日出願の米国特許仮出願第６０／６１４７９３号の利益を主張するものであり、その全内容を参照により本明細書に援用する。

本発明は、広い意味でいうと光学の分野に関するものである。

光遅延装置は、一般に時間領域システムおよび低コヒーレント・システムに使用されている。例えば、試料を検査するポンプ・プローブ測定の場合のように、光遅延装置を利用して参照ビームに対する時間差又は位相差を求めている装置がある。こうした装置は、ビームの１つの経路に遅延線を設け、その経路長を第２のビームに対して変動させることによって実行される。かかる実験におけるビームは、低コヒーレンス測定システムの場合のように、一連の短光パルスからなるか又は連続波ビームにすることができる。

いくつかの遅延線は、ビームを逆方向に戻す再帰反射器を備えている。再帰反射器は通常、光経路を延長又は短縮させるように往復運動する。しかし、情報取得速度は、再帰反射器が往復運動できる速度に依存する。従って、これらのタイプの遅延線は、一般に、長い遅延時間も必要となる高速システムには使用することができない。

上記に鑑みて、撮像システム等の高速サンプリングが可能な光学系に使用できる光遅延装置が求められていることは明らかである。

上記の要求を満たし、且つ関連技術の列挙した欠点及びその他の制約を克服するにあたり、本発明は、様々なタイプの光学系に使用するための光遅延線装置を提供する。

概括的な観点によれば、光遅延線は、光ビームの遅延を変動させるものであり、回転可能なホイールと１つ又は複数のプリズムとを含み、１つ又は複数のプリズムが、ホイールの外周に取り付けられ、且つ、ホイールに対してほぼ接するように通る光ビームを再帰反射させるように配置され、それによりホイールが回転する際に、ビームに遅延又は位相シフトを生じさせる。

別の観点によれば、プリズムが、可動部材に取り付けられ、プリズムの移動経路に沿って送られる光ビームを再帰反射させるように配置され、それにより可動部材が移動する際に、ビームに遅延又は位相シフトを生じさせる。この可動部材は、往復動スライド又は回動アームとすることができる。

その他の特徴及び利点は、以下の説明、及び特許請求の範囲から明白となるであろう。

さて、図１ａ及び図１ｂを参照すると、本発明の原理を採用した光遅延線装置が図示され、符号１０で示されている。この光遅延線装置は、自由空間光サーキュレータ１２と共に使用されている状態で示されているが、この光遅延線装置１０は、光遅延装置の使用を必要とするどのようなタイプの光学系への使用にも適している。

光遅延装置１０は、その主要な構成要素として、プレート１６に取り付けられた回転ホイール１４と、コーナー・キューブ・プリズム１８等のプリズムの組とを含む。プリズム１８は、例えば、ＵＶ硬化性接着剤を用いて、ホイール１４のスロット２０の周りに、ホイールの中心から固定半径に取り付けられ、例えばレーザによって生じ、ホイールの回転面に接近する光ビームを受光／再帰反射させるように向けられている。

また、図１ｃを参照すると、光サーキュレータ１２は、入力ファイバ２２に結合された入力ポート１９と、出力ファイバ２４に結合された出力ポート２３と、偏光ビーム・スプリッタ２６と、四分の一波長板２８と、面法線折返しミラー３０とを含み、これらは全てプレート３２に取り付けられている。使用時には、入力ファイバ２２は、レーザ光等の入射ビーム３４を、ビーム・スプリッタ２６及び波長板２８を介してプリズム１８のそれぞれに発射する。プリズム１８は、レーザ光を折返しミラー３０に反射させ、この折返しミラー３０は、光３５をプリズム１８及び波長板２８を介してビーム・スプリッタ２６に反射し返す。ビーム・スプリッタ２６は、この反射されたレーザ光、ここではその偏光は入力ビームの偏光に垂直となるが、この反射レーザ光を出力ファイバ２４に向けて送る。光遅延線１０及びサーキュレータ１２は、制御器３３の指示により作動させることができる。入射ビーム３４は、コリメート（視準）された電磁放射とすることができる。例えば、このビームはテラヘルツ（ＴＨｚ）ビームにできる。遅延させる前に、入射ビーム３４から第２のビームを分割することができる。

回転ホイール１４上のコーナー・キューブ・プリズム１８によって、ホイール１４が例えば反時計回りに回転する際に、光ビームに、絶えず変動する時間遅延又は位相シフトが付与される。特定の実例では、コーナー・キューブ・プリズム１８の向きは、その３つの反射面の１つが、ホイール平面を二分する線を形成する平面にあり、また、ホイールの平面にもある。通常は、一時に１つのプリズムが働く。複数のプリズム１８が、光遅延線１０のデューティ・サイクルを改善する（すなわち、非作動時間を低減させる）働きをする。回転式コーナー・キューブ・プリズム遅延線１０は、一連の単調増加する（又は単調減少する）光遅延をもたらし、これは、ホイール１８が一定の回転速度で回転する場合、一定の周期で繰り返され、各プリズムの非動作時間は無視されることになる。各回転の周期は、１／（ホイールの回転数／秒×プリズム数）に等しい。ホイールの各角度位置は、異なる光遅延に対応し、各角度の光遅延は、各回転ごとに決定的であり反復可能である。言い換えれば、ホイールが回転すると、ホイールが一連の既知の光遅延状態をサンプリングする。

相対的な時間シフトの量は、約０．００１ピコ秒程と短く、又は約数ナノ秒程と長くすることができる。ホイール１４が回転すると、レーザ光３４のビームは、入力ファイバ２２から、光パルス又は狭帯域連続波の形で、ホイール１４に対してほぼ接するように通り、プリズム１８の１つに入射する。ビーム径は、プリズムの入射面よりも小さく維持される。プリズム１８は、ホイール１４が回転する際に、ビームを再帰反射させて、このビームに遅延又は位相シフトを生じさせる。

具体的には、ビーム３４は、まずスロット２０を通り、プリズムの主表面又はウィンドウの外側半分、すなわち、ホイールの回転中心から最も遠い半分に向けて送られる。光３８は、プリズム１８の３つの背面に内部反射し、主表面の第２の、すなわち内側の半分から、入射ビーム３４とは逆平行に、横方向に変位して存在する。次いで、光３８は、ビーム３４に垂直に位置合せされた静止面法線ミラー３０に向けて送られ、それにより、ビーム３５を、最初にプリズム１８を介して辿った経路と同じ経路に沿って正確に戻し、従って、入来又は入射ビーム３４と、プリズム１８から出射した戻り遅延ビーム３５とは、重なり合った逆伝播ビームとなる。この結果、プリズム１８を通る２回通過が実現され、戻りビーム３５は、元のビームに逆平行となり、ここでは同一線となる（すわなち、元のビームから変位されない）。ホイール１４が回転するにつれて、プリズムの位置が変わり、プリズムに入射するビームは、異なる遅延又は位相シフトを受ける。プリズム１８がその弧に沿って動く際、このプリズム１８は、光ビームに対して僅かに回転することに留意されたい。これは、動いている間でも、入射ビーム３４と出射ビーム３８との正確な平行性を維持するコーナー・キューブ・プリズムの性質である。しかし、プリズムの回転と、プリズムがその弧に沿って動く際の横方向変位とによって、最初に通過した出射ビーム３８が、入射ビーム３４から絶えず変位することになる。ビームを、向きを変えてそれ自体に送り返すことによって、この連続した変位を補正することが、面法線ミラー３０の機能である。入射ビーム３４と出射ビーム３５との偏差をそれぞれ最小にするようにプリズム１８が研磨され、面法線ミラー３０がビームを正確に再帰反射させる場合には、プリズム・ホイール１４及びその回転機構は、他の光学部品に堅固に取り付けられている必要はないことに留意されたい。逆伝播ビームは、プリズム１８に２回目に入射した後、例えば、光サーキュレータ又は偏光ビーム・スプリッタ２５を用いて入射ビームから分離させて、戻りビーム３５を出力ポート２３に向けて９０°で送ることができる。このサーキュレータは、自由空間サーキュレータ又はファイバ型サーキュレータとすることができる。或いは、ペリクル等の部分的に透明なミラーを用いて、逆伝播ビームを分離することもできる。

この光学構成の変形例によれば、コーナー・キューブ・プリズムの代わりに１対のポロ・プリズム又は直角プリズムが使用される。この構成では、動作中の２つのポロ・プリズムのうちの一方がコーナー・キューブ・プリズムの代わりに回転ホイール１４上に配置され、第２のポロ・プリズムは、その主表面が第１のプリズムと同じ平面にあり、回転したときにだけ、第１のプリズムに直角となるように取り付けられる。第２のプリズムは、静止面法線ミラーの前に配置される。実際上、この構成には、１つの追加のプリズム、すなわち面法線ミラー３０の前に取り付けられる固定プリズムしか必要でない。ホイールに取り付けられたプリズムは、コーナー・キューブ・プリズムと同様に向けられるが、ここでは、その２つの反射面の平面が、ホイール１４の平面に垂直となる。ここで、光は回転ホイール１４の平面にある移動プリズム１８に入射し、出射して、静止ポロ・プリズムに向けて送られ、ここで、第１のプリズムに入射し存在したビームに垂直な平面に入射し、存在する。次いで、静止プリズムから出射した光は、面法線ミラー３０に突き当たり、このミラーは、コーナ・キューブ構成と同様に、ビームをその元の経路に沿って送り返す。

プリズム１８の２回通過により、合計４倍の遅延となり、最大タイミング遅延は、Δｔ＝４（ΔＺ）／ｃとなる。この式で、ΔＺは、プリズムが最小ホイール位置にあるときと最大ホイール位置にあるときとの経路長の差であり、ｃは光速である。プリズムの４回通過構成もまた可能であり、その場合は８倍のタイミング遅延が可能となる。最大点及び最小点は、回転ホイールのサイズと、外周に沿って配置されるプリズムの数とによって決まる。原則として、プリズムを通過するレーザ・ビームと、第２の非遅延ビームとの間に遅延を生じるのに単一のプリズム１８で十分である。しかし、より多くの数のプリズム１８を使用すればするほど、レーザ・ビームをより多く使用することになり、その結果、信号対雑音比が増大する。（外周に沿ってほぼ等間隔に配置される）プリズムの最大数は、必要となる遅延によって決まる。図１ａ及び図１ｂに示す実施例では、９個のプリズムが約４０度で互いに間隔を置いてホイールの外周に沿って配置された１５．２４ｃｍ（６インチ）径のホイールを使用することができる。この実施例では、動作中のプリズムがビーム経路から外れ、ホイール上の次のプリズムがビーム経路に入る前に、約３００ｐｓの遅延がもたらされる。より短い遅延が望ましい場合、より小さい半径を有するホイールを使用すればよい。光遅延線１０の用途に応じて、ホイール１４の直径は、２．５４ｃｍ（１インチ）未満でも、又は約２５４ｃｍ（１００インチ）の大きさでもよい。ホイール１４に取り付けるプリズム１８の数は、１個から約１０００個まで変えることができる。ホイール１４は静止しておくことも、又は約１０，０００回転／分（ｒｐｍ）までの速度で回転させることもできる。

図３ａ及び図３ｂに示すように、変動遅延は、ビーム３４が遅延ホイールに到達する前に、静止引込可能プリズム５０を用いてそのビームを遮断することによって生じないようにすることができる。この静止引込可能プリズム５０は、プリズム１８と同様のものでよく、ただ可変遅延を導入せずにビームを同じ４倍経路に沿って送るものである。図４ａ及び図４ｂにより詳細に示すように、プリズム５０は、プレート５４に取り付けられたアーム５２に取り付けられており、従って、アーム５２、すなわちプリズム５０は回動点５６の周りを回転することになる。「開」位置では、プリズム５０は、入射ビーム３４を遮断しないように止め具５８に接して止まっている。「閉」位置では、プリズム５０は、入射ビーム３４を遮断するように回転され、従って、可変光遅延が戻りビーム３５に付与されることはない。ホイール１４が固定位置に静止したままである場合は、固定遅延を生じることもできる。

ホイール１４上のプリズム１８の数、ホイール１４の直径、レーザ・ビーム径、プリズム１８の斜角及び軸部高さ、および各プリズムの面精度のため、使用不可能な時間（非動作時間）がある程度生じる。ある実施例では、約９０％もの大きなデューティ・サイクル（有効時間対非動作時間）が達成可能である。遅延デューティ・サイクルは、図２に示すように、ホイール１４上のプリズム１８をそれぞれ傾斜させることによって増大させることができる。図２は、プリズム面が、ホイール半径１００に平行である場合、および各プリズムのウィンドウ又は主表面が、ホイール半径１０２に対して約１２°傾斜している場合の、各プリズムのホイール回転有効範囲を示している。いくつかの実施例では、プリズムは、最大約２０°まで傾斜又は角度を成している。従って、プリズムが傾斜している場合は、有効範囲は約２０°であり、プリズムが傾斜していない場合は、有効範囲は約１２°である。プリズムを傾斜させることによって、ホイールの回転中に動作しているプリズムの前にあるプリズムが、出力ビームを遮断する虞のある点にある間、入力ビームと出力ビームとを互いに近接して（すなわち、プリズムの頂点付近で）保持する効果が得られる。

ある実施例では、ホイール１４を回転させるモータ３９に直接連結されたエンコーダ３７によって、ホイールの角度位置、従って、光ビーム経路に沿ったプリズム位置が得られる。各エンコーダの位置は、プリズム１８の、ビーム３４に対する一意の位置、従って、一意の遅延時間と相関する。遅延線１０における遅延の正確な較正は、（追跡可能な）較正遅延線を用いて実現でき、それによって、ビーム経路に既知の量の光遅延を導入することができ、また、遅延線を較正するための遅延ホイールは、その後遅延量がゼロに戻るように回転される。次いで、ホイールの位置をエンコーダ値によって書き留め、この値をルックアップ表に記す。次いで、較正遅延線を次の遅延位置に移動させ、ホイールを再度回転させてゼロ遅延に戻す。このプロセスは、移動プリズムが動作しているフルタイム・ウィンドウの間繰り返され、次いで、ホイール上の全てのプリズムに関して繰り返される。このプロセスが完了すると、エンコーダ値により、各プリズム位置と、プリズムによってもたらされた光遅延との間の相関が得られる。

較正ルーチンは、ホイール１４が回転する際のビームの振幅変動を補償するために、制御器３３において実行することができる。エンコーダ３７は、制御器３３と連絡させることができ、較正ルーチンは、ホイール１４が回転する際に生じるどのような非線形時間遅延も補償するように、制御器において実行できる。パワー変動をプリズム変動等に是正するために、制御器３３においてフィードバック・プロセスを実行できる。制御器３３は、光遅延線装置１０からの戻り信号を正規化させるアルゴリズムを実行することができる。かかるアルゴリズムは、線形又は非線形論理式に基づくことができ、この論理式は、経験的に決定することができる。

特定の実施例では、コーナー・キューブ・プリズム１８はそれぞれ、約１／４インチから数インチまでの範囲の直径を有する。光遅延線装置１０は、ＴＨｚ送信器及びＴＨｚ受信器と共に使用することができ、これらはＴＨｚ撮像システムの構成要素でよい。ＴＨｚ送信器に印加されるバイアス、又はＴＨｚ受信器のゲイン（利得）は、変動する光パワーを補償するように変調させることができる。

本発明の様々な実施例によれば、他の構成を実施することもできる。例えば、図５ａ及び図５ｂを参照すると、光遅延線装置１０、サーキュレータ１２、および静止プリズム５０が、もう１つの遅延線装置１０’、サーキュレータ１２’、およびプリズム５０’と共に使用されているシステムが示されている。遅延線装置１０’、サーキュレータ１２’、及びプリズム５０’の支持構造体の構成要素は、遅延線装置１０、サーキュレータ１２、及びプリズム５０の構成要素と同じなので、これらの構成要素を識別するために同じ参照符号に「ダッシュ」を付したものを使用している。遅延線装置１０、サーキュレータ１２、及びプリズム５０に関して上述した構成のいずれも、遅延線装置１０’、サーキュレータ１２’、及びプリズム５０’に組み込むことができることに留意されたい。例えば、プリズム１８’及び５０’は、コーナー・キューブ・プリズム又はポロ・プリズムでよい。

図５ａ及び図５ｂに示す実施例では、遅延線装置１０’は、ホイール１４’と１組のプリズム１８’とを含み、１組のプリズム１８’は、ホイールの中心から、プリズム１８がホイール１４に取り付けられている半径とは異なる固定半径でホイール１４’のスロット２０’に取り付けられる。従って、２つの別々のビーム３４、３４’がそれぞれのホイール１４、１４’に導入され、各ビーム３４、３４’は、各ビーム用のプリズム組１８、１８’に入り、従って、ホイール１４の、すなわちホイール１４’の所定の回転量で、それぞれの遅延量を受ける。従って、２つのビーム３４と３４’との間の正味の遅延は、遅延線装置１０と１０’とによって生じた遅延時間の差となる。

図６ａ及び図６ｂに示す更に別の実施例では、遅延線装置２００は、ブラケット２０４に取り付けられたプリズム２０２を含み、このブラケット２０４は、スライド２０６に取り付けられている。スライド２０６は、スライド２０６、従ってプリズム２０２が、レール２０８内で前後に往復運動できるように、レール２０８に配置されている。プリズム２０２は、コーナー・キューブ・プリズム２０２又はポロ・プリズムでよい。従って、スライド２０６が往復運動すると、プリズム２０２は、プリズム２０２の運動経路に沿って送られる光ビーム３４を再帰反射させて、そのビームに遅延又は位相シフトを生じさせる。別の実施例では、プリズム２０２は、回動アームに取り付けることができ、従って、アームが回動する際に、移動プリズム２０２が光ビームを再帰反射させて遅延又は位相シフトをもたらす。

当業者であれば、上記の説明は、本発明の原理の実施例の例示を意味するものであることを容易に理解するであろう。本発明は、添付の特許請求の範囲で定義された本発明の趣旨から逸脱することなく、改変、変形、及び変更が行われやすいという点において、上記説明は、本発明の範囲又は用途を限定するものではない。

本発明の実施例による光サーキュレータを備えた光遅延線の斜視図。 光遅延線及び光サーキュレータの上面図。 光サーキュレータの上面図。 傾斜プリズムを備えた光遅延線と、非傾斜プリズムを備えた光遅延線との、ホイール回転の有効範囲の比較を示す図。 光遅延線、及び閉位置にある格納式静止プリズムを備えた光サーキュレータの斜視図。 光遅延線、光サーキュレータ、及び静止プリズムの上面図。 開位置にある静止プリズムの上面図。 閉位置にある静止プリズムの上面図。 本発明の別の実施例による双光遅延線の斜視図。 双光遅延装置の上面図である。 本発明の更に別の実施例による光遅延線の図。 図６ｂの光遅延線の上面図。

Claims (27)

1. 光ビームの遅延を変動させる装置において、該装置が、回転可能な第１のホイールと第１の組の複数のプリズムとを含み、
   前記第１の組の複数のプリズムが、前記第１のホイールの外周に取り付けられ、前記第１のホイールの軸線の周りで回転するようになっており、且つ前記第１のホイールに対して接するように通る第１の光ビームを再帰反射させるように配置され、それにより前記第１のホイールが回転する際に、前記第１の光ビームに遅延又は位相シフトを生じさせるようになっており、
   前記光ビームの遅延を変動させる装置が、第２の組の１つ又は複数のプリズムを更に有し、
   前記第２の組の１つ又は複数のプリズムが、第２のホイールの外周に、前記第１の組の複数のプリズムの配置された半径とは異なる半径で配置されて、前記第２のホイールに対して接するように通る第２の光ビームを再帰反射させるように配置され、それにより前記第２のホイールが回転する際に、前記第２の光ビームに遅延又は位相シフトを生じさせるようになっており、
   前記第２のホイールが、前記第１のホイールと同じ軸線の周りに回転できるように、前記第１のホイールの上方または下方に設けられている、
   光ビームの遅延を変動させる装置。
2. 前記第１のホイールの角度位置測定を可能とし、従って、前記第１の光ビームの経路に沿った前記第１の組の複数のプリズムの位置の測定を可能とする、前記第１のホイールに取り付けられたエンコーダを更に含む、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
3. 前記第１の組の複数のプリズムが、コーナー・キューブ・プリズムである、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
4. 前記第１の組の複数のプリズムが、ポロ・プリズムである、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
5. 前記光ビームの遅延を変動させる装置が平面ミラーを更に含み、該平面ミラーが前記第１のホイールの軸に対して静止して取り付けられ、且つ前記第１の組の複数のプリズムからそれぞれ出射されるビームに対して実質的に垂直に位置合せされており、それにより出射ビームを、そのビームが前記第１の組の複数のプリズムのそれぞれを最初に通過したときと同じ経路に沿って戻し、その結果、前記第１の組の複数のプリズムのそれぞれを２回通過させるようになっている、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
6. ２回目の通過後、前記第１の組の複数のプリズムからそれぞれ出射される遅延戻りビームが、重なり合った逆伝播入射ビームから分離される、請求項５に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
7. 逆伝播入射ビームを分離させて、遅延戻りビームを、向きを変えて出力ポートに送る部分的に透明なミラーを更に含む、請求項６に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
8. 遅延戻りビームの偏光を９０°回転させて、前記遅延戻りビームを、向きを変えて出力ポートに送る偏光ビーム・スプリッタを更に含む、請求項６に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
9. 逆伝播入射ビームを分離する光サーキュレータを更に含む、請求項６に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
10. 前記第１の組の複数のプリズムの各プリズムが、前記第１のホイールの半径に対して０°〜２０°の角度を成す主表面又はウィンドウを有する、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
11. 前記第１の組の複数のプリズムが動くことによって、光経路の長さを増大又は短縮させるようになっている、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
12. 前記第１のホイールの直径が２．５４ｃｍ（１インチ）から２５４ｃｍ（１００インチ）までであり、プリズムの数が２個〜１０００個である、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
13. 前記第１の光ビームが、コリメートされた電磁放射ビームである、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
14. 遅延前に、第２の光ビームが前記第１の光ビームから分割されるようになっている、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
15. 前記第１の組の複数のプリズムのそれぞれの有する面が、デューティ・サイクルを最大にするために、前記第１のホイールの半径に対して１２°の角度を成すように設定されている、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
16. 前記装置が、制御器を更に含み、前記制御器が、前記第１のホイールが回転する際のビームの振幅変動を補償する較正ルーチンを備える、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
17. 前記装置が制御器を更に含み、前記制御器が、前記第１のホイールが回転する際に生じるどのような非線形時間遅延も補償する較正ルーチンを備え、前記較正ルーチンが、較正遅延線を用いて既知の時間遅延を参照してルックアップ表を作成し、前記較正ルーチンが、遅延ウィンドウのサイズの変化率も補償するようになっている、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
18. 入射ビームを遮断して固定光遅延をもたらすプリズムを更に含む、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
19. 前記第１の組の複数のプリズムがコーナー・キューブ・プリズムであり、各プリズムが１／４インチ〜数インチの直径を有する、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
20. 保持している前記第１のホイールが、１０，０００回転／分（ＲＰＭ）以下の速度で回転する、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
21. 前記プリズムが、ＵＶ硬化性接着剤を用いて前記プリズムの前部を前記第１のホイールのスロットが設けられた面に取り付けることにより、定位置に保持されている、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
22. パワー変動を是正するフィードバック・プロセスを実行する制御器を更に含む、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
23. 前記装置が、ＴＨｚ送信器及びＴＨｚ受信器と共に使用され、前記ＴＨｚ送信器に印加されるバイアス、又は前記ＴＨｚ受信器のゲインが、変動光パワーを補償するように変調される、請求項１から請求項２２までのいずれか１項に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
24. 光遅延装置から戻った信号を正規化するアルゴリズムを実行する制御器を更に含む、請求項１に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
25. 前記光ビームの遅延を変動させる装置が、ビーム・スプリッタを更に有し、該ビーム・スプリッタは、入射ビームから遅延された入射光を分離して、出力部に向けるようになっている、請求項５に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
26. 前記光ビームの遅延を変動させる装置が、ファイバ型サーキュレータを更に有し、該ファイバ型サーキュレータは、入射ビームから遅延された入射光を分離して、出力部に向けるようになっている、請求項５に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。
27. 前記光ビームの遅延を変動させる装置が、偏光ビーム・スプリッタを更に有し、該偏光ビーム・スプリッタは、入射ビームから遅延された入射光を分離して、出力部に向けるようになっている、請求項５に記載された光ビームの遅延を変動させる装置。

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