JP5500302B2 - アライメント装置、アライメント方法および基板接合方法 - Google Patents
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Claims (21)
- 重ね合わされる第1基板および第2基板の位置を合わせるアライメント装置であって、
前記第1基板が有するアライメントマークを検出すべく移動する顕微鏡と、
前記顕微鏡により得られた前記アライメントマークを含む映像に基づいて前記第1基板の位置を算出する位置算出部と、
前記アライメントマークを検出すべく移動した前記顕微鏡に生じた振動により生じた前記顕微鏡の変位を検出する検出部と、
算出された前記第1基板の位置を、前記顕微鏡の変位に基づいて補正する位置補正部と
を備えるアライメント装置。 - 前記第1基板を保持して固定する基板保持部を更に有する請求項1に記載のアライメント装置。
- 前記顕微鏡を搭載して移動する移動ステージを更に備える請求項1または請求項2に記載のアライメント装置。
- 前記移動ステージは、前記顕微鏡と共に前記第2基板を搭載する請求項3に記載のアライメント装置。
- 前記移動ステージに設けられた第1反射鏡と、前記第1反射鏡を用いて前記移動ステージの移動量を検出する第1干渉計とを更に備える請求項3または請求項4に記載のアライメント装置。
- 前記移動ステージに設けられた第1反射鏡と、前記顕微鏡に設けられた第2反射鏡と、前記第1反射鏡および前記第2反射鏡を用いて前記移動ステージに対する前記顕微鏡の変位を検出する第2干渉計を更に備える請求項3または請求項4に記載のアライメント装置。
- 前記移動ステージの駆動プロファイルを予め格納して前記移動ステージを駆動し、当該駆動プロファイルに従って前記移動ステージが移動した場合に生じる前記顕微鏡の変位を前記位置補正部に参照させる駆動部を更に備える請求項3または請求項4に記載のアライメント装置。
- 前記顕微鏡の変位を検出する加速度計を更に備える請求項2または請求項3に記載のアライメント装置。
- 前記位置補正部は、前記移動ステージに対する前記顕微鏡の傾きを算出する傾き検出部を有する請求項3から7のいずれか一項に記載のアライメント装置。
- 前記位置補正部は、前記顕微鏡の変位に基づいて検出した前記顕微鏡の傾きから前記位置算出部の測定誤差を算出する測定誤差算出部を有する請求項9に記載のアライメント装置。
- 重ね合わされる第1基板および第2基板の位置を合わせるアライメント方法であって、
前記第1基板が有するアライメントマークを検出すべく顕微鏡を移動する移動段階と、
前記顕微鏡により得られた前記アライメントマークを含む映像に基づいて前記第1基板の位置を算出する位置算出段階と、
前記アライメントマークを検出すべく移動した前記顕微鏡に生じた振動により生じた前記顕微鏡の変位を検出する検出段階と、
算出された前記第1基板の位置を、前記顕微鏡の変位に基づいて補正する位置補正段階と
を備えるアライメント方法。 - 前記第1基板を保持して固定する基板保持段階を更に有する請求項11に記載のアライメント方法。
- 前記移動段階において、前記顕微鏡を移動ステージに搭載して移動する請求項11または請求項12に記載のアライメント方法。
- 前記移動段階において、前記顕微鏡と共に前記第2基板を前記移動ステージに搭載して移動する請求項13に記載のアライメント方法。
- 前記位置算出段階は、前記移動ステージに設けられた第1反射鏡と、前記第1反射鏡を用いて前記移動ステージの移動量を検出する第1干渉計とを用いる段階を有する請求項13または請求項14に記載のアライメント方法。
- 前記検出段階は、前記移動ステージに設けられた第1反射鏡と、前記顕微鏡に設けられた第2反射鏡と、前記第1反射鏡および前記第2反射鏡を用いて前記移動ステージに対する前記顕微鏡の変位を検出する第2干渉計を更に備える請求項13または請求項14に記載のアライメント方法。
- 前記検出段階は、前記移動ステージの駆動プロファイルを予め格納して前記移動ステージを駆動し、当該駆動プロファイルに従って前記移動ステージが移動した場合に生じる前記顕微鏡の変位を前記位置補正段階において参照させる段階を更に備える請求項13または請求項14に記載のアライメント方法。
- 前記検出段階は、加速度計により前記顕微鏡の変位を検出する段階を有する請求項12または請求項13に記載のアライメント方法。
- 前記位置補正段階は、前記移動ステージに対する前記顕微鏡の傾きを算出する傾き検出段階を有する請求項13から17のいずれか一項に記載のアライメント方法。
- 前記位置補正段階は、前記顕微鏡の変位に基づいて検出した前記顕微鏡の傾きから前記位置算出段階の測定誤差を算出する測定誤差算出段階を有する請求項19に記載のアライメント方法。
- 請求項11から20のいずれか一項に記載のアライメント方法により前記第1基板および前記第2基板をアライメントするアライメント段階と、
前記アライメント段階においてアライメントされた前記第1基板および前記第2基板を重ね合わせて接合させる接合段階と
を備える基板接合方法。
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