JP5489662B2 - 半導体ウェーハの取り扱い方法 - Google Patents
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このような弊害に鑑み、半導体ウェーハの薄化の前後にサポート治具の粘着テープに半導体ウェーハを貼り付け、薄化された半導体ウェーハの割れや欠けを防止する方法が提案されている。
支持層と弾性吸盤層とを半導体ウェーハと同じ大きさ、形状に形成して半導体ウェーハ用のケースあるいは基板収納容器に収納可能とするとともに、これら支持層と弾性吸盤層とに可撓性をそれぞれ付与し、支持層を剛性を有する屈曲可能な円板とし、弾性吸盤層を、アクリル酸エステル樹脂により気泡を有する薄膜に形成してその平坦な表面には、半導体ウェーハの被保持面の回路パターンとハンダバンプとに対応する複数の凹み穴を設けることを特徴としている。
また、半導体ウェーハの回路パターンやハンダバンプに弾性吸盤層の凹み穴が対応して効果的に吸着するので、半導体ウェーハのハンダバンプ付きの被保持面に対しての密着保持が十分になる。したがって、ハンドリングの途中で半導体ウェーハが反って浮き上がる事態を簡易な構成で防止することが可能になる。
さらに、弾性吸盤層を、アクリル酸エステル樹脂により、気泡を有する薄膜に形成するので、弾性吸盤層を他の材料により形成した場合に比べ、半導体ウェーハの良好な保持や着脱が期待できる。
2 支持層
3 弾性吸盤層
4 発泡気泡
5 凹み穴
10 半導体ウェーハ
11 表面(被保持面)
Claims (1)
- サポート治具の支持層の両面のうち少なくとも片面に積層された弾性吸盤層に、バックグラインドで厚さ100μm以下に薄化された半導体ウェーハを着脱自在に保持させてその損傷を防ぐ半導体ウェーハの取り扱い方法であって、
支持層と弾性吸盤層とを半導体ウェーハと同じ大きさ、形状に形成して半導体ウェーハ用のケースあるいは基板収納容器に収納可能とするとともに、これら支持層と弾性吸盤層とに可撓性をそれぞれ付与し、支持層を剛性を有する屈曲可能な円板とし、弾性吸盤層を、アクリル酸エステル樹脂により気泡を有する薄膜に形成してその平坦な表面には、半導体ウェーハの被保持面の回路パターンとハンダバンプとに対応する複数の凹み穴を設けることを特徴とする半導体ウェーハの取り扱い方法。
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