JP5482202B2 - 表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造方法および製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造方法および製造装置に関する。表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムは、光学媒体あるいは光学製品の形成材料として用いられる。

導光板、光拡散板、レンズなどの光学媒体に用いられる光学フィルムの製造方法として、表面に微細な凹凸パターンが形成されている原板の表面に、フィルムを押圧し、該フィルムの表面に、前記原板の微細な凹凸パターンを転写する方法が知られている。フィルムとして、長尺の樹脂フィルムが用いられ、この長尺のフィルムの所定の長さ部分を被処理フィルムとして、間欠的に、表面に微細な凹凸パターンを有する転写板（金型）の該表面に供給し、前記被処理フィルムを前記転写板の表面に押圧し、前記被処理フィルムの表面に、前記パターンを転写し、転写が完了した後、前記パターンが成形された前記被処理フィルムを処理済みフィルムとして、該処理済みフィルムを、前記転写板の表面の長手方向沿って引っ張ることにより、該処理済みフィルムを前記転写板の表面から剥離し、剥離された被処理フィルムを引き取るとともに、新たな所定の長さの被処理フィルムが前記転写板の前記表面に供給される光学製品の製造方法が、特許文献１、あるいは、特許文献２に提案されている。

この公知の方法は、前記処理済みフィルムを前記転写板の表面から剥離する剥離工程と前記新たな所定の長さの被処理フィルムを前記転写板の表面に供給する供給工程とを有する。前記剥離工程は、パターンが成形されたフィルムを、パターンが形成されている表面、すなわち、型から離型させる工程であるため、離型工程と呼称される場合がある。この公知の方法において、次の問題が発生する場合がある。

すなわち、当該剥離工程あるいは離型工程においては、適用するフィルムの特性や、金型表面の離型剤の消耗により、金型表面にフィルムが貼り付き、金型表面を破損したり、フィルム転写面に傷のような離型跡を残すという問題がある。

供給工程においては、フィルムの厚みや特性の影響で、金型表面に供給されたフィルムにしわが入り、パターン成形面にしわ状の成形不良が発生するという問題がある。

また、加熱下にある金型表面に供給されたフィルムが、前記転写板の表面に押圧される前において、その局所部分で高温となり軟化し、軟化した部分が、フィルムにかかっている張力により伸ばされ、パターン成形面に局所的なうねりが発生するという問題がある。この局所的なうねりの発生は、剛性の低いフィルムや厚みの薄いフィルムで顕著に起こる。
特開２００５−１９９４５５号公報 特開２００５−３１０２８６号公報

本発明は、上記の問題点を解決するための手法の検討過程において、得られたものである。長尺のフィルムにおける所定の長さ部分に微細な凹凸パターンが成形された処理済みフィルムを、金型表面から剥離し、前記長尺のフィルムの次の所定の長さ部分の新たな被処理フィルムを、前記金型表面に沿って供給するに当たり、当該新たな被処理フィルムを金型表面に沿ってしわ無く供給することにより、パターンの成形不良を抑制することを、目的の一つとする。また、被処理フィルムの金型表面への押圧前において、当該フィルムの局所的熱負荷により発生するうねりをも抑制することを、他の目的の一つとする。

本発明の表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造方法は、次の通りである。

（１−ａ）上流側に位置する長尺のフィルムの供給源から取り出された被処理フィルムを、微細な凹凸パターンを有する金型表面に所定の長さ分間欠的に供給するフィルム供給工程、
（１−ｂ）前記フィルム供給工程において前記金型表面に供給された前記被処理フィルムを、前記金型表面に押圧することにより、前記金型表面の前記パターンを前記被処理フィルムの表面に転写し、前記被処理フィルムの表面に微細な凹凸パターンを成形するパターン成形工程、
（１−ｃ）前記パターン成形工程において表面に前記パターンが成形された処理済みフィルムを、前記金型表面から剥離するフィルム剥離工程、および、
（１−ｄ）前記フィルム剥離工程において前記金型表面から剥離された前記処理済みフィルムを、下流側に位置する長尺のフィルムの収容源へと送給するフィルム送出工程、
からなり、前記パターン成形工程において成形された処理済みフィルムが、前記フィルム剥離工程において前記金型表面から剥離され、その後、次に処理されるフィルムが、前記フィルム供給工程において所定の長さ分間欠的に前記金型表面に供給されることに対応して、前記処理済みフィルムが、前記フィルム送出工程において前記フィルムの収容源へと送給されることにより、前記処理済みフィルムが所定の長さ分順次繰り返されて製造される表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造方法であって、
（１−ｅ）前記フィルム剥離工程における前記処理済みフィルムの剥離が、前記処理済みフィルムを把持したフィルム把持手段の前記処理済みフィルムの長手方向の下流側から上流側への移動により行われ、かつ、
（１−ｆ）前記フィルム供給工程における前記被処理フィルムの供給が、前記金型表面に供給される前記被処理フィルムにおけるしわ発生を防止するしわ発生防止手段の前記被処理フィルムの長手方向の上流側から下流側への移動とともに行われる表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造方法。

上記本発明のフィルムの製造方法が、次の３つの実施態様のいずれかであることが好ましい。

フィルムの製造方法の第１の実施態様：
（２−ａ）前記フィルム把持手段が、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触する主ロールと前記フィルムの前記パターンが成形される面に接触する補助ロールの組み合わせからなり、該組み合わせにおいて、前記主ロールと前記補助ロールのそれぞれのロール軸は、前記フィルムの幅方向を向き、前記主ロールと前記補助ロールは、前記フィルムが通過可能な間隔をもって、互いに平行に位置し、かつ、前記主ロールと前記補助ロールのそれぞれは、回転可能なロールであり、
（２−ｂ）前記処理済みフィルムが前記主ロールと前記補助ロールにＳ字状に懸架されることにより、前記主ロールと前記補助ロールによる前記処理済みフィルムの把持状態が形成され、該把持状態が形成された後、前記フィルム把持手段が、前記金型表面に沿って前記下流側から前記上流側へ移動することにより、前記処理済みフィルムが、前記金型表面から剥離され、
（２−ｃ）前記フィルム把持手段が、前記上流側へ移動した位置で停止している間に、前記主ロールと前記補助ロールが回転することにより、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が、前記主ロールと前記補助ロールを経て前記下流側へと行われ、当該新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が完了した後、
（２−ｄ）前記しわ発生防止手段として、前記主ロールが用いられ、
（２−ｅ）前記フィルム把持手段が、前記金型表面に沿って前記上流側から前記下流側へ移動する間に、前記主ロールが回転しながら移動することにより、前記被処理フィルムのしわ発生を防止しながら、前記金型表面に前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われる上記本発明のフィルムの製造方法。

フィルムの製造方法の第２の実施態様：
（３−ａ）前記フィルム把持手段が、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触する主ロールと前記フィルムの前記パターンが成形される面に接触する補助ロールの組み合わせからなり、該組み合わせにおいて、前記主ロールと前記補助ロールのそれぞれのロール軸は、前記フィルムの幅方向を向き、前記主ロールと前記補助ロールは、前記フィルムが通過可能な間隔をもって、互いに平行に位置し、かつ、前記主ロールと前記補助ロールのそれぞれは、回転可能なロールであり、
（３−ｂ）前記処理済みフィルムが前記主ロールと前記補助ロールにＳ字状に懸架されることにより、前記主ロールと前記補助ロールによる前記処理済みフィルムの把持状態が形成され、該把持状態が形成された後、前記フィルム把持手段が、前記金型表面に沿って前記下流側から前記上流側へ移動することにより、前記処理済みフィルムが、前記金型表面から剥離され、
（３−ｃ）前記フィルム把持手段が、前記上流側へ移動した位置で停止している間に、前記主ロールと前記補助ロールが回転することにより、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が、前記主ロールと前記補助ロールを経て前記下流側へと行われ、当該新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が完了した後、
（３−ｄ）前記しわ発生防止手段として、前記主ロールの前記上流側において、前記主ロールに対し間隔をおいて平行に位置し、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触する回転可能なしわ伸ばしロールが用いられ、
（３−ｅ）前記フィルム把持手段が、前記金型表面に沿って前記上流側から前記下流側へ移動する間に、前記しわ伸ばしロールが、前記フィルム把持手段の移動に追従して回転しながら移動することにより、前記被処理フィルムのしわ発生を防止しながら、前記金型表面に前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われる上記本発明のフィルムの製造方法。

フィルムの製造方法の第３の実施態様：
（４−ａ）前記フィルム把持手段が、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触する主ロールと前記フィルムの前記パターンが成形される面に接触する補助ロールの組み合わせからなり、該組み合わせにおいて、前記主ロールと前記補助ロールのそれぞれのロール軸は、前記フィルムの幅方向を向き、前記主ロールと前記補助ロールは、前記フィルムが通過可能な間隔をおいて平行に位置し、かつ、前記主ロールと前記補助ロールのそれぞれは、回転可能なロールであり、
（４−ｂ）前記処理済みフィルムが前記主ロールと前記補助ロールにＳ字状に懸架されることにより、前記主ロールと前記補助ロールによる前記処理済みフィルムの把持状態が形成され、該把持状態が形成された後、前記フィルム把持手段が、前記金型表面に沿って前記下流側から前記上流側へ移動することにより、前記処理済みフィルムが、前記金型表面から剥離され、
（４−ｃ）前記フィルム把持手段が、前記上流側へ移動した位置で停止した後、前記主ロールの回転が阻止されている状態で、前記フィルム把持手段が、前記上流側から前記下流側に移動することにより、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われ、
（４−ｄ）前記しわ発生防止手段として、前記主ロールの前記上流側において、前記主ロールに対し間隔をおいて平行に位置し、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触する回転可能なしわ伸ばしロールが用いられ、
（４−ｅ）前記被処理フィルムの供給において、前記フィルム把持手段が、前記金型表面に沿って前記上流側から前記下流側への移動する間に、前記しわ伸ばしロールが、前記フィルム把持手段の移動に追従して回転しながら移動することにより、前記被処理フィルムのしわ発生を防止しながら、前記金型表面に前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われる上記本発明のフィルムの製造方法。

本発明の表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造装置は、次の通りである。

（５−ａ）表面に微細な凹凸パターンを有する金型と、
（５−ｂ）上流側に位置する長尺のフィルムの供給源から被処理フィルムを取り出すフィルム取出装置と、
（５−ｃ）前記被処理フィルムを前記金型の表面に押圧するフィルム押圧装置と、
（５−ｄ）前記フィルム取出装置により取り出され、かつ、前記金型の表面に間欠的に供給された被処理フィルムが前記フィルム押圧装置により前記金型の表面に押圧されることにより、前記被処理フィルムの表面に前記金型の表面の前記微細な凹凸パターンが転写されて成形された微細な凹凸パターンを有する処理済みフィルムを、前記金型の表面から剥離するフィルム剥離装置と、
（５−ｅ）該フィルム剥離装置により前記金型の表面から剥離され、下流側に送り出された前記処理済みフィルムを、下流側に位置する前記長尺のフィルムの収容源へと引き取るフィルム引取装置、
からなり、前記フィルム押圧装置により処理された処理済みフィルムを、前記フィルム剥離装置により前記金型表面から剥離し、前記フィルム取出装置により取り出された被処理フィルムを、前記フィルム剥離装置により前記金型表面に所定の長さ供給することに対応して、前記フィルム引取装置に前記処理済みフィルムを送り出すことにより、前記所定の長さの処理済みフィルムが順次繰り返されて製造される表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造装置であって、
（５−ｆ）前記フィルム剥離装置が、前記処理済みフィルムを把持した状態で、前記処理済みフィルムの長手方向に沿って、下流側から上流側へと移動するフィルム把持装置を含み、かつ、
（５−ｇ）前記フィルム把持装置が、前記金型の表面に供給される前記被処理フィルムにおけるしわ発生を防止するしわ発生防止装置を含み、前記被処理フィルムの供給が、該しわ発生防止装置の前記被処理フィルムの長手方向の上流側から下流側への移動とともに行われる表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造装置。

上記本発明のフィルムの製造装置が、次の３つの実施態様のいずれかであることが好ましい。

フィルムの製造装置における第１の態様：
（６−ａ）前記フィルム把持装置が、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触可能な主ロールと前記フィルムの前記パターンが成形される面に接触可能な補助ロールの組み合わせからなり、
（６−ｂ）前記主ロールのロール軸と前記補助ロールのロール軸は、それぞれ前記フィルムの幅方向を向き、前記主ロールと前記補助ロールは、前記フィルムが通過可能な間隔をおいて平行に位置し、
（６−ｃ）前記主ロールは、主ロール支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、
（６−ｄ）前記補助ロールは、補助ロール公転支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、さらに、前記補助ロール公転支持アームは、補助ロール公転駆動軸を介して補助ロール支持アームに公転可能に支持され、
（６−ｅ）前記主ロール支持アームと前記補助ロール支持アームは、台座に固定され、
（６−ｆ）該台座は、前記フィルムの長手方向に沿って設けられた台座移動ガイドに、前記フィルムの長手方向に移動可能に、支持され、かつ、
（６−ｇ）前記フィルム把持装置に対し、該フィルム把持装置を前記台座移動ガイドに沿って移動させるフィルム把持装置移動手段が装備され、
（６−ｈ）前記フィルム把持装置において、前記処理済みフィルムが、前記主ロールと前記補助ロールに、Ｓ字状に懸架されることにより、前記主ロールと前記補助ロールによる前記処理済みフィルムの把持状態が形成された状態で、前記フィルム把持装置が、前記フィルム把持装置移動手段により、下流側から上流側へ移動せしめられることにより、前記処理済みフィルムの前記金型の表面からの剥離が行われ、
（６−ｉ）前記フィルム把持装置が、前記上流側に移動した位置で停止している間に、前記主ロールと前記補助ロールの回転により、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が、前記主ロールと前記補助ロールを経て前記下流側へと行われ、
（６−ｊ）前記しわ発生防止装置として、前記主ロールが用いられ、
（６−ｋ）前記フィルム把持装置が、前記フィルム把持装置移動手段により、前記金型の表面に沿って、前記上流側から下流側へ移動せしめられる間に、前記主ロールが回転しながら移動することにより、前記主ロールと前記補助ロールを経て前記下流側へと既に供給されている前記被処理フィルムにおけるしわ発生を防止しながら、前記金型の表面に、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われる上記本発明のフィルムの製造装置。

上記フィルムの製造装置の第１の態様において、
（７−ａ）前記フィルム把持装置移動手段が、前記主ロールと該主ロールを積極的に回転駆動する主ロール回転駆動手段との組み合わせ、および、前記台座と前記台座移動ガイドに沿って前記台座を積極的に移動せしめる台座駆動手段との組み合わせのいずれか一方、あるいは、これらの双方からなることが好ましい。

フィルムの製造装置における第２の態様：
（８−ａ）前記フィルム把持装置が、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触可能な主ロールと前記フィルムの前記パターンが成形される面に接触可能な補助ロールの組み合わせからなり、
（８−ｂ）前記主ロールのロール軸と前記補助ロールのロール軸は、それぞれ前記フィルムの幅方向を向き、前記主ロールと前記補助ロールは、前記フィルムが通過可能な間隔をおいて平行に位置し、
（８−ｃ）前記主ロールは、主ロール支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、
（８−ｄ）前記補助ロールは、補助ロール公転支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、さらに、前記補助ロール公転支持アームは、補助ロール公転駆動軸を介して補助ロール支持アームに公転可能に支持され、
（８−ｅ）前記主ロール支持アームと前記補助ロール支持アームは、台座に固定され、
（８−ｆ）該台座は、前記フィルムの長手方向に沿って設けられた台座移動ガイドに、前記フィルムの長手方向に移動可能に、支持され、かつ、
（８−ｇ）前記フィルム把持装置に対し、該フィルム把持装置を前記台座移動ガイドに沿って移動させるフィルム把持装置移動手段が装備され、
（８−ｈ）前記フィルム把持装置において、前記処理済みフィルムが、前記主ロールと前記補助ロールに、Ｓ字状に懸架されることにより、前記主ロールと前記補助ロールによる前記処理済みフィルムの把持状態が形成された状態で、前記フィルム把持装置が、前記フィルム把持装置移動手段により、下流側から上流側へ移動せしめられることにより、前記処理済みフィルムの前記金型の表面からの剥離が行われ、
（８−ｉ）前記フィルム把持装置が、前記上流側に移動した位置で停止している間に、前記主ロールと前記補助ロールの回転により、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が、前記主ロールと前記補助ロールを経て前記下流側へと行われ、
（８−ｊ）前記しわ発生防止装置として、前記主ロールの前記上流側において、前記主ロールに対し間隔をおいて平行に位置し、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触するしわ伸ばしロールが用いられ、
（８−ｋ）該しわ伸ばしロールは、しわ伸ばしロール支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、該しわ伸ばしロール支持アームは、前記台座に固定され、
（８−ｌ）前記フィルム把持装置が、前記フィルム把持装置移動手段により、前記金型の表面に沿って、前記上流側から下流側へ移動せしめられる間に、前記しわ伸ばしロールが、前記フィルム把持装置の移動に追従して、回転しながら移動することにより、前記主ロールと前記補助ロールを経て前記下流側へと既に供給されている前記被処理フィルムにおけるしわ発生を防止しながら、前記金型の表面に、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われる上記本発明のフィルムの製造装置。

上記フィルムの製造装置の第２の態様において、
（９−ａ）前記フィルム把持装置移動手段が、前記主ロールと該主ロールを積極的に回転駆動する主ロール回転駆動手段との組み合わせ、および、前記台座と前記台座移動ガイドに沿って前記台座を積極的に移動せしめる台座駆動手段との組み合わせのいずれか一方、あるいは、これらの双方からなることが好ましい。

フィルムの製造装置における第３の態様：
（１０−ａ）前記フィルム把持装置が、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触可能な主ロールと前記フィルムの前記パターンが成形される面に接触可能な補助ロールの組み合わせからなり、
（１０−ｂ）前記主ロールのロール軸と前記補助ロールのロール軸は、それぞれ前記フィルムの幅方向を向き、前記主ロールと前記補助ロールは、前記フィルムが通過可能な間隔をおいて平行に位置し、
（１０−ｃ）前記主ロールは、主ロール支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、
（１０−ｄ）前記補助ロールは、補助ロール支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、
（１０−ｅ）前記主ロール支持アームと前記補助ロール支持アームは、台座に固定され、
（１０−ｆ）該台座は、前記フィルムの長手方向に沿って設けられた台座移動ガイドに、前記フィルムの長手方向に移動可能に、支持され、かつ、
（１０−ｇ）前記フィルム把持装置に対し、該フィルム把持装置を前記台座移動ガイドに沿って移動させるフィルム把持装置移動手段が装備され、
（１０−ｈ）前記フィルム把持装置において、前記処理済みフィルムが、前記主ロールと前記補助ロールに、Ｓ字状に懸架されることにより、前記主ロールと前記補助ロールによる前記処理済みフィルムの把持状態が形成された状態で、前記フィルム把持装置が、前記フィルム把持装置移動手段により、下流側から上流側へ移動せしめられることにより、前記処理済みフィルムの前記金型の表面からの剥離が行われ、
（１０−ｉ）前記フィルム把持装置が、前記上流側に移動した位置で停止した後、前記主ロールの回転が阻止されている状態で、前記フィルム把持装置が、前記フィルム把持装置移動手段により、前記金型の表面に沿って前記上流側から前記下流側に移動せしめられることにより、前記金型の表面に前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われ、
（１０−ｊ）前記しわ発生防止装置として、前記主ロールの前記上流側において、前記主ロールに対し間隔をおいて平行に位置し、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触するしわ伸ばしロールが用いられ、
（１０−ｋ）該しわ伸ばしロールは、しわ伸ばしロール支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、該しわ伸ばしロール支持アームは、前記台座に固定され、
（１０−ｌ）前記被処理フィルムの供給において、前記フィルム把持装置が、前記フィルム把持装置移動手段により、前記金型の表面に沿って、前記上流側から下流側へ移動せしめられる間に、前記しわ伸ばしロールが、前記フィルム把持装置の移動に追従して、回転しながら移動することにより、前記被処理フィルムにおけるしわ発生を防止しながら、前記金型の表面に前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われる上記本発明のフィルムの製造装置。

上記フィルムの製造装置の第３の態様において、
（１１−ａ）前記フィルム把持装置移動手段が、前記主ロールと該主ロールを積極的に回転駆動する主ロール回転駆動手段との組み合わせ、および、前記台座と前記台座移動ガイドに沿って前記台座を積極的に移動せしめる台座駆動手段との組み合わせのいずれか一方、あるいは、これらの双方からなることが好ましい。

上記フィルムの製造装置の第１、２および３の態様のいずれかにおいて、
（１２−ａ）前記主ロールの外表面が、シリコーン系樹脂またはフッ素系樹脂を主成分とする発泡スポンジから形成されていることが好ましい。

上記フィルムの製造装置の第１、２および３の態様のいずれかにおいて、
（１３−ａ）前記しわ伸ばしロールの外表面が、シリコーン系樹脂またはフッ素系樹脂を主成分とする発泡スポンジから形成されていることが好ましい。

本発明のフィルムの製造方法、あるいは、製造装置によれば、良好なパターン成形面を有するフィルムを製造することができる。

より具体的には、 本発明のフィルムの製造方法、あるいは、本発明のフィルムの製造装置によれば、パターンが成形されたフィルムが、金型表面の長手方向に沿って移動するフィルム把持手段により、金型表面の長手方向に沿って連続的に剥離されるので、フィルム表面における剥離跡、すなわち、離型跡の発生が抑制される。更に、金型表面に沿って、次に供給される新たな所定の長さの被処理フィルムの金型表面からの局所的な浮きやしわ発生が、被処理フィルムの供給とともに移動するしわ発生防止手段によって抑制される。従って、使用されるフィルムが、厚みの薄いフィルムや剛性の低いフィルムであっても、成形しわやうねりの少ない良好なパターン成形面を有するフィルムを製造することができる。

本発明のフィルムの製造方法の第１あるいは第２の実施態様、あるいは、本発明のフィルムの製造装置の第１あるいは第２の実施態様によれば、金型表面の長手方向の全長にわたって、回転しているロールが移動するとともに、フィルムが金型表面に沿って供給されるので、金型表面にフィルムを擦ることなく、フィルムの供給としわ伸ばしを行うことが可能となり、金型表面へのダメージを抑え、成形しわやうねりの発生を抑制することができる。

本発明のフィルムの製造方法の第３の実施態様、あるいは、本発明のフィルムの製造装置の第３の実施態様によれば、フィルム把持手段の移動により、フィルムの供給源からのフィルムの引き出しと同時に、金型表面に沿ってフィルムが供給され、かつ、前記フィルムの把持手段の移動に追従して、しわ伸ばしローラが回転しながら移動することにより、フィルムのしわ伸ばしも行われるので、複数の所定の長さのフィルムへのパターン成形のサイクルタイムの短縮化が図られるとともに、成形しわやうねりの発生を抑制することができる。

図１は、本発明のフィルムの製造装置の一例の概略側面図である。 図２は、図１におけるＸ−Ｘ断面矢視図である。 図３は、図１に示す装置を用いて、本発明のフィルムの製造方法の第１の実施態様を実施した場合における主要な作動要素の作動状態を説明する図であり、図３の（ａ）乃至（ｈ）は、当該作動状態の時系列的変化を説明する図である。 図４は、本発明のフィルムの製造装置の他の一例の部分概略側面である。 図５は、図４に示す装置を用いて、本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様を実施した場合における主要な作動要素の作動状態を説明する図であり、図５の（ａ）乃至（ｈ）は、当該作動状態の時系列的変化を説明する図である。 図６は、図４に示す装置を用いて、本発明のフィルムの製造方法の第３の実施態様を実施した場合における主要な作動要素の作動状態を説明する図であり、図６の（ａ）乃至（ｇ）は、当該作動状態の時系列的変化を説明する図である。 図７は、本発明のフィルムの製造装置の更に他の一例の概略側面図である。 図８は、図７におけるＹ−Ｙ断面矢視図である。 図９は、図７に示す装置を用いて、本発明のフィルムの製造方法の第３の実施態様を実施した場合における主要な作動要素の作動状態を説明する図であり、図９の（ａ）乃至（ｈ）は、当該作動状態の時系列的変化を説明する図である。

符号の説明

１ フィルムの製造装置
２ フィルム（被処理フィルム）
２Ａ フィルム搬送路
２Ｆ フィルム収容源（処理済みフィルムロール）
２Ｆａ フィルムロール
２Ｓ フィルム供給源（被処理フィルムロール）
２Ｓａ フィルムロール
２ａ フィルムのパターンが成形される面（成形面）
２ｂ フィルムのパターンが成形される面（成形面）とは反対側の面
３ 金型
３ａ 金型表面
１０ フィルム押圧装置
１１ 支柱
１２ 押圧シリンダー
１４ａ 上加圧プレート
１４ｂ 下加圧プレート
１５ａ 上温調プレート
１５ｂ 下温調プレート
１６Ｓ 移動基台
１６ａ 上固定基台
１６ｂ 下固定基台
１７ 弾性板
２０ フィルム把持装置
２０Ａ フィルム剥離装置
２０Ｂ しわ発生防止装置
２１ 主ロール（剥離ロール）
２１Ａａ、２１Ａｂ 一対の主ロール支持アーム
２２ 補助ロール
２２Ａａ、２２Ａｂ 一対の補助ロール公転支持アーム
２２Ｂａ、２２Ｂｂ 一対の補助ロール公転駆動軸
２２Ｃａ、２２Ｃｂ 一対の補助ロール支持アーム
２２Ｄａ、２２Ｄｂ 一対のしわ伸ばしロール支持アーム
２２ｐ 待機位置（元の位置、初期位置）
２３ 主ロール（剥離ロール）回転駆動手段
２４ 補助ロール公転駆動手段
２５ａ、２５ｂ 一対の台座移動ガイド
２６ａ、２６ｂ 一対の台座
２８ 主ロール回転制御器
２９ フィルム把持装置移動駆動手段
３０ 加熱ユニット
４０ 冷却ユニット
５０ フィルム取出装置
５１ 巻出ロール回転駆動手段
５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ 搬送ロール
５３ 巻出バッファ部
５４ フィルム固定部
５５ ボックス
５６ 吸引排気手段
５７ａ、５７ｂ センサー
６０ フィルム引取装置
６１ 巻取ロール回転駆動手段
６２ａ、６２ｂ、６２ｃ 搬送ロール
６３ 巻取バッファ部
６４ 搬送駆動ロール
６４ａ ニップロール
６５ フィルム固定部
６６ ボックス
６７ 吸引排気手段
６８ａ、６８ｂ センサー
７０ フィルム張力調整手段
７１ ガイドロール
７２ 張力検知用ロール
７３ 張力検知手段
４０１ フィルムの製造装置
４２０Ｂ しわ発生防止装置
４２１ しわ伸ばしロール
７０１ フィルムの製造装置
Ａ 上流側
Ｂ 下流側
Ｃ 正回転方向
Ｄ 逆回転方向
Ｈ 主ロールあるいはしわ伸ばしロールと金型表面の距離（クリアランス）

本発明のフィルムの製造方法を実施するためのいくつかのフィルムの製造装置のそれぞれの実施態様を説明する。それぞれの製造装置の説明を読むことにより、本発明のフィルムの製造方法を理解することができる。

図１は、本発明のフィルムの製造装置の第１の実施態様の一例の概略側面図である。図２は、図１におけるＸ−Ｘ断面矢視図である。図３は、図１に示すフィルムの製造装置を用いて、本発明のフィルムの製造方法の第１の実施態様を実施した場合における主要な作動要素の作動状態を説明する図であり、図３の（ａ）乃至（ｈ）は、当該作動状態の時系列的変化を説明する図である。

図１に、本発明のフィルムの製造装置１が示される。フィルムの製造装置１には、表面（金型表面）３ａに微細な凹凸パターンを有する金型３が装備されている。金型３の上流側には、長尺のフィルム供給源（被処理フィルムロール）２Ｓからフィルム（被処理フィルム）２を取り出すフィルム取出装置５０が装備されている。

フィルムの製造装置１には、金型表面３ａに供給されたフィルム２を金型表面３ａに押圧するフィルム押圧装置１０が装備されている。

フィルムの製造装置１には、フィルム取出装置５０から取り出されたフィルム２を金型の表面に間欠的に供給し、かつ、フィルム押圧装置１０により、フィルム２が金型表面３ａに押圧されることにより、フィルム２の表面（成形面）２ａに金型表面３ａの微細な凹凸パターンが転写されて成形された微細な凹凸パターンを有するフィルム（処理済みフィルム）を、金型表面３ａから剥離するフィルム剥離装置２０Ａが装備されている。

フィルムの製造装置１には、フィルム剥離装置２０Ａにより、金型表面３ａから剥離され、下流側に送り出されたフィルム（処理済みフィルム）を、下流側に位置する長尺のフィルムの収容源（処理済みフィルムロール）２Ｆへと引き取るフィルム引取装置６０が装備されている。フィルム取出装置５０とフィルム引取装置６０との間に、フィルム搬送路２Ａが形成されている。フィルム取出装置５０とフィルム引取装置６０は、フィルム２の所定の長さ分を、フィルム搬送路２Ａに沿って、搬送するフィルム搬送装置を形成している。

フィルム剥離装置２０Ａには、フィルム把持装置２０が装備されている。フィルム把持装置２０は、フィルム２を把持した状態で、フィルム２の長手方向に沿って、移動する。フィルム把持装置２０が下流側から上流側へ移動する際に、パターンが成形された処理済みフィルムが金型表面３ａから剥離される。更に、フィルム把持装置２０には、しわ発生防止装置２０Ｂが装備されている。しわ発生防止装置２０Ｂは、金型３の長手方向に沿って、移動する。しわ発生防止装置２０Ｂが上流側から下流側へ、金型表面３ａに沿う被処理フィルムの供給とともに、移動する際に、金型表面３ａに沿う被処理フィルムにおけるしわの発生が防止される。

フィルム押圧装置１０は、下固定基台１６ｂを有し、下固定基台１６ｂには、上方に伸びる４本の支柱１１が設けられ、４本の支柱１１の上端に、上固定基台１６ａが取り付けられている。上固定基台１６ａの下側において、移動基台１６Ｓが、支柱１１に上下動可能に取り付けられている。移動基台１６Ｓの下面に、上加圧プレート１４ａが取り付けられ、上加圧プレート１４ａの下面には、上温調プレート１５ａが取り付けられている。下基台１６ｂの上面に、下加圧プレート１４ｂが取り付けられ、下加圧プレート１４ｂの上面には、下温調プレート１５ｂが取り付けられている。下温調プレート１５ｂの上面に、金型３が取り付けられている。金型表面３ａには、微細な凹凸パターンが形成されている。

上固定基台１６ａには、押圧シリンダー１２が装備され、押圧シリンダー１２から延びるピストンロッドが、移動基台１６Ｓに結合されている。押圧シリンダー１２の作動により、移動基台１６Ｓが下方に移動し、フィルム２を金型表面３ａに押圧する。また、押圧シリンダー１２の作動により、移動基台１６Ｓが上方に移動し、フィルム２の金型表面３ａへの押圧が解放される。

上温調プレート１５ａは、金型表面３ａへのフィルム２の押圧時のフィルム２の加熱あるいは冷却のために用いられ、その温度制御は、加熱ユニット３０あるいは冷却ユニット４０により行われる。また、下温調プレート１５ｂは、金型表面３ａへのフィルム２の押圧時の金型３の加熱あるいは冷却のために用いられ、その温度制御は、加熱ユニット３０あるいは冷却ユニット４０により行われる。

金型３は、上温調プレート１５ａの下面に取り付けられても良い。上温調プレート１５ａおよび下温調プレート１５ｂのフィルム押圧面側の平面度は、１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましい。パターンの成形加工は、加熱成形方式だけに限定されず、例えば、光を利用した成形方式によっても行うことができる。加熱成形方式によらない場合は、上下の温調プレート、ならびに、これらに接続される加熱ユニットおよび冷却ユニットは、不要である。

押圧シリンダー１２は、図示が省略されている油圧ポンプに接続されている。油圧ポンプにより、上加圧プレート１４ａの昇降動作、および、加圧力の制御が行われる。押圧機構は、油圧方式の押圧シリンダー以外の加圧力が制御できる加圧機構であっても良い。

パターン成形のための圧力は、０．１ＭＰａ乃至２０ＭＰａであることが好ましい。１ＭＰａ乃至１０ＭＰａであることがより好ましい。圧力が２０ＭＰａを超える場合は、金型を破損あるいは変形させる場合がある。圧力が０．１ＭＰａ未満の場合は、フィルムを形成している樹脂が、成形時に、十分に流動せず、金型表面のパターン通りのパターンをフィルム表面に成形することができない場合がある。

押圧シリンダーの昇圧速度は、０．０１ＭＰａ／秒乃至１０ＭＰａ／秒であることが好ましい。０．０５ＭＰａ／秒乃至５ＭＰａ／秒であることがより好ましい。昇圧速度が１０ＭＰａ／秒を超える場合は、昇圧時にフィルムを形成している樹脂の変形が、昇圧速度に追従できず、金型表面のパターン通りパターンをフィルム表面に成形することができない場合がある。昇圧速度が０．０１ＭＰａ／秒未満の場合は、パターン成形に時間がかかり、生産性が低下する。

金型表面３ａの微細な凹凸パターンは、機械加工、レーザー加工、フォトリソグラフィ、電子線描画方法などにより形成される。微細な凹凸パターンにおける凹凸の高さは、通常、１０ｎｍ乃至１ｍｍの範囲であり、凹凸の周期は、通常、１０ｎｍ乃至１ｍｍの範囲である。凹凸の高さは、１μｍ乃至１００μｍであることが好ましい。凹凸の周期は、１μｍ乃至１００μｍであることが好ましい。凹凸における凸部としては、所望とする光学製品に応じて、種々の突起が用いられる。突起は、金型表面３ａに、通常、離散状、ドット状に配置される。突起の例としては、三角錐、円錐、四角柱、レンズ形状がある。他の突起の配置例として、断面が三角、四角、台形、半円、楕円などの突起がストライプ状に配置されたものがある。

金型を形成する材料は、押圧時の強度、パターンの加工精度、フィルムの離型性が考慮されて選定される。材料としては、例えば、ステンレス、ニッケル、銅などを含んだ金属材料、シリコーン、ガラス、セラミックス、樹脂がある。必要に応じて、離型性の向上を目的として、金型の表面に、有機膜が被覆される。

上温調プレート１５ａの下面に、１３０℃以上の耐熱温度を有する弾性板１７が取り付けられていることが好ましい。フィルム２がある程度の厚みムラを有していても、弾性板１７が介在することにより、フイルム２が、全面的に均一に金型表面３ａに押圧される。弾性板１７は、例えば、厚みが０．３ｍｍ乃至１．０ｍｍのエチレン・プロピレン・ジエンゴム（ＥＰＤＭ）、シリコーンゴム、あるいは、フッ素ゴムにより形成される。弾性板１７の表面は、フィルム２の表面に対して、滑り易くする処理が施されていることが好ましい。ここで、ある材料の耐熱温度とは、当該材料を２４時間放置したときの当該材料の引張り強さの変化率が１０％を超えるときの温度をいう。

図２において、フィルム剥離装置２０Ａにおけるフィルム把持装置２０は、フィルム２のパターンが成形される面（成形面）２ａとは反対側の面２ｂに接触可能な主ロール２１とフィルム２のパターンが成形される面２ａに接触可能な補助ロール２２の組み合わせからなる。主ロール２１のロール軸と補助ロール２２のロール軸は、それぞれフィルム２の幅方向を向き、主ロール２１と補助ロール２２は、フィルム２が通過可能な間隔をおいて平行に位置する。

主ロール２１の両端部は、一対の主ロール支持アーム２１Ａａ、２１Ａｂに回転可能に支持されている。補助ロール２２の両端部は、一対の補助ロール公転支持アーム２２Ａａ、２２Ａｂに回転可能に支持され、該一対の補助ロール公転支持アーム２２Ａａ、２２Ａｂは、一対の補助ロール公転駆動軸２２Ｂａ、２２Ｂｂに固定され、該一対の補助ロール公転駆動軸２２Ｂａ、２２Ｂｂは、一対の補助ロール支持アーム２２Ｃａ、２２Ｃｂに回転可能に支持され、一方の補助ロール公転駆動軸２２Ｂａに、補助ロール２２を、主ロール２１の周面に沿って、正および負方向に公転させる補助ロール公転駆動手段２４が結合されている。補助ロール公転駆動手段２４としては、例えば、電磁モーター、空圧を利用したアクチュエータが用いられる。

補助ロールを主ロールに対し公転可能に支持する上記態様は、主ロールと補助ロールとの間でフィルムをＳ字状に懸架する動作とその懸架状態を解放する動作を繰り返して行う場合の一例である。主ロールと補助ロールとの関係は、上記態様に限定されるものではない。両ロールの間でフィルムをＳ字状に懸架できるものであれば、補助ロールを主ロールの周面付近で移動させる手段は特に限定されない。主ロールと補助ロールとの間でフィルムをＳ字状に懸架することができれば良く、その懸架状態が保持されたままでも良く、すなわち、その懸架状態が解放されない構成であっても良い。

一対の主ロール支持アーム２１Ａａ、２１Ａｂの下端部は、金型３の長手方向に沿う両側に設けられた一対の台座２６ａ、２６ｂに固定され、また、一対の補助ロール支持アーム２２Ｃａ、２２Ｃｂの下端部も、一対の台座２６ａ、２６ｂに固定されている。

一対の台座２６ａ、２６ｂは、金型３の長手方向に沿う両側に設けられた一対の台座移動ガイド２５ａ、２５ｂに、金型３の長手方向に移動可能に、支持され、かつ、フィルム把持装置２０に対し、フィルム把持装置２０を一対の台座移動ガイド２５ａ、２５ｂに沿って移動させるフィルム把持装置移動駆動手段２９が装備されている。フィルム把持装置移動駆動手段２９としては、リニア駆動モーター（サーボモーター）が適しているが、電磁アクチュエータや空圧アクチュエータなどでも良い。

フィルム把持装置２０において、補助ロール２２が、補助ロール公転駆動手段２４により、主ロール２１に対し公転し、処理済みフィルムが、主ロール２１と補助ロール２２に、Ｓ字状に懸架されることにより、主ロール２１と補助ロール２２による処理済みフィルムの把持状態が形成され、該把持状態が形成された後、フィルム把持装置２０が、フィルム把持装置移動手段２９により、下流側から上流側へ移動せしめられることにより、処理済みフィルムの金型表面３ａからの剥離が行われる。

その後、フィルム把持装置２０が、上流側に移動した位置で停止している間に、主ロール２１と補助ロール２２の回転により、新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が、主ロール２１と補助ロール２２を経て下流側へと行われる。

次いで、この実施態様では、しわ発生防止装置２０Ｂとして、主ロール２１が用いられ、フィルム把持装置２０が、フィルム把持装置移動手段２９により、金型表面３ａに沿って、上流側から下流側へ移動せしめられる間に、主ロール２１が回転しながら移動することにより、主ロール２１と補助ロール２２を経て下流側へと既に供給されている被処理フィルムにおけるしわ発生を防止しながら、金型表面３ａに沿って、新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われる。

この実施態様においては、主ロール２１のロール軸に結合された主ロール回転駆動手段２３と、主ロール回転駆動手段２３に結合され、主ロール２１の回転方向および回転数（ロールの周速度）を制御する主ロール回転制御器２８が、装備されている。主ロール回転駆動手段２３として、サーボモーターが、主ロール回転制御器２８として、サーボアンプが用いられることが好ましい。主ロール回転駆動手段２３により、主ロール２１が回転駆動される場合は、主ロール回転駆動手段２３による主ロール２１の回転移動速度（周速度）とフィルム把持装置移動駆動手段２９によるフィルム把持手段２０の一対の台座移動ガイド２５ａ、２５ｂに沿って移動する移動速度とが、同期するように、それぞれが駆動されることが好ましい。

フィルム２を剥離する場合は、主ロール２１を回転させながら、フィルム把持装置移動駆動手段２９により、フィルム把持手段２０を上流側へ移動させながら剥離を行うことが好ましい。フィルム把持装置移動駆動手段２９で、フィルム把持手段２０を往復移動させることにより、フィルム２を下流側から強制的に引張ることなく、処理済みフィルムの金型表面３ａからの剥離、および、被処理フィルムの金型表面３ａに沿った供給が可能になる。これにより、金型表面３ａでのしわ発生が防止されるだけでなく、被処理フィルムの金型表面３ａにおいて熱負荷を受けた部分における局所的な伸びが抑えられ、パターン成形後の処理済みフィルムにおけるうねりの発生が抑制される。また、剥離直後のフィルムの搬送におけるしわの発生も抑制される。

フィルム２の表面と主ロール２１の周面との間の摩擦力が十分に高い場合は、当該摩擦力とフィルム２に作用している張力のみで、フィルム把持手段２０の一対の台座移動ガイド２５ａ、２５ｂに沿った移動力が得られる。この場合は、フィルム把持装置移動駆動手段２９による一対の台座２６ａ、２６ｂの積極的移動は、不要である。

主ロール２１の周面の少なくともフィルム２が接触する周面は、金型表面３ａにフィルム２が接触もしくは押圧されながら供給されても、金型表面３ａの微細な凹凸パターンが破損されないように、また、高温の金型表面３ａにより主ロール２１の表面が劣化することがないように、シリコーン系樹脂またはフッ素系樹脂を主成分とする発泡スポンジで形成されていることが好ましい。主ロール２１が、フィルム２を金型表面３ａに接触、または、押圧しながら移動することにより、更に高いしわ伸ばし効果が得られる。

主ロール２１の周面は、一定の弾性および粘着性のあるゴムで形成されていても良い。この場合、当該ゴムのゴム硬度（ＪＩＳ Ｋ６２５３）は、４０乃至７０であることが好ましく、５０乃至６０であることが更に好ましい。主ロール２１の周面の中心線平均粗さ（ＪＩＳ Ｂ０６０１）は、０．０１μｍ乃至１．０μｍであることが好ましい。０．０１μｍ乃至０．５μｍであることが更に好ましい。好適なゴムとしては、エチレン・プロピレン・ジエンゴム（ＥＰＤＭ）、シリコーンゴム、フッ素ゴムがある。

ゴム硬度が７０よりも大きかったり、中心線平均粗さが１．０μｍよりも大きい場合、フィルム２と主ロール２１との間の密着性が十分でない場合がある。この場合、フィルムの剥離時に、フィルム２と主ロール２１の間で滑りが生じて、フィルム２の張力の低下による剥離力の低下が生じる場合がある。ゴム硬度が４０未満では、剥離動作時のゴムの変形が大きくなるため、剥離動作が不安定になる場合がある。この場合、フィルム面に剥離跡が発生する場合がある。中心線平均粗さが０．０１μｍ未満の主ロールは、製作するのが困難な場合がある。

フィルムの金型表面からの剥離時や金型表面への供給時において、主ロールは、金型表面に位置している状態のフィルムの金型表面に接触している表面とは反対側の表面に接触しても良い。このように、主ロールが金型表面に位置するフィルムの表面に接触する状態で、剥離動作や供給動作が行われる場合、主ロールがもたらすフィルムの金型表面への押圧力の制御を可能にすることが好ましい。例えば、主ロールのロール軸の両端部に、エアシリンダーやバネなどの弾性部材などからなる主ロール押圧調整手段を付設して、主ロールの金型表面方向への押圧力を制御できるようにすることが好ましい。主ロールが、金型表面に位置するフィルムの表面に、適度な接圧力をもって接触することにより、剥離効果としわ伸ばし効果を増大させることができる。

フィルムが極めて薄く、あるいは、厚み方向に変形し易く、かつ、金型表面の微細な凹凸パターンが極めて微細な場合で、主ロールが金型表面に接触したとき、金型表面を損傷する可能性がある場合には、図２に示すように、主ロールの周面と金型表面の距離（クリアランス）Ｈを、０．１ｍｍ乃至５ｍｍの範囲に選定するのが好ましい。０．１ｍｍ乃至１ｍｍの範囲がより好ましい。

フィルムの剥離動作および供給動作の観点から、クリアランスＨが５ｍｍ以下であることが好ましい。すなわち、フィルムの剥離動作において、クリアランスＨが５ｍｍ以下の場合、金型表面からのフィルムの剥離点が主ロールのほぼ直下になり、主ロールの移動とともに剥離点が連続的に移動するので好ましい。フィルムの供給動作において、クリアランスＨが５ｍｍ以下の場合、金型表面に沿って平面性の高い状態でフィルムの供給ができるので、しわ発生を防止する観点から好ましい。

クリアランスＨが５ｍｍを超える場合、フィルムの剥離動作においては、剥離点の移動が止まったり、上流側へ主ロールの周速度以上の速度で剥離点が移動したりと、剥離点の移動が断続的になる場合がある。剥離点の移動が止まった箇所で、フィルムの幅方向にわたって線状の剥離跡が出現する場合がある。フィルムの供給動作においては、金型表面でのフィルムの平面性が不良な状態となる場合がある。

クリアランスＨが０．１ｍｍ未満では、金型表面と主ロールが接触する可能性があり、接触した場合、金型表面の微細な凹凸パターンの形状が破損する場合がある。主ロールと金型表面の平行度は、０．５ｍｍ以下が好ましく、０．１ｍｍ以下がより好ましい。

主ロールと金型表面の平行度は、金型表面を基準面として、フィルム幅方向の両端面に取り付けた変位センサーによって測定することができる。すなわち、主ロールを当該変位センサーの真上に位置させたときに測定される金型表面とロール外表面との距離の両端での差を測定し、その値を平行度とする。

主ロールおよび補助ロールの双方あるいはいずれか一方に、冷却水を循環させて、当該ロールを一定温度に温調しても良い。フィルムは金型表面から剥離される状態では温度が高いため、剥離時フィルムに接触する主ロールや補助ロールの温度が極力一定に維持されるように、当該ロールに温調手段が設けられていることが好ましい。このようにすることにより、剥離時および剥離直後のフィルムの温度を下げることが可能となる。また、成形後のフィルムの搬送や巻取の安定化にも役立つ。

フィルムの剥離時に、主ロールが、その軸方向に微細に振動するように、主ロールのロール軸に、振動付与手段が付設されていても良い。振動付与手段における振動駆動要素としては、例えば、電磁アクチュエータ、リニアアクチュエータあるいは超音波振動子を利用することができる。主ロールの外表面のみを振動させる振動付与手段を設けても良い。主ロール全体、あるいは、主ロールの外表面が振動することにより、振動が、主ロールに巻き付いているフィルムを介して、剥離点に伝わり、フィルムに円滑な剥離効果がもたらされる。

フィルムの金型表面からの剥離動作が安定して行われるようにするために、主ロールとフィルムとの間で、剥離に適正な摩擦力が得られるようにすることが好ましい。そのためには、フィルムと主ロールとのフィルム長手方向の接触長さが、３０ｍｍ乃至３００ｍｍの範囲に設定できることが好ましい。具体的には、主ロールの直径が、５０ｍｍ乃至２００ｍｍの範囲であることが好ましい。補助ロールの主ロールに対する公転位置にもよるが、概ね、主ロールの直径が５０ｍｍ未満では、主ロール表面におけるフィルムの抱き角が小さいために、接触面で十分な摩擦力が得られない場合がある。この場合、十分な剥離力が作り出せず、あるいは、主ロールが空回りする可能性がある。主ロールの直径が５０ｍｍ未満では、離型直後のフィルムを主ロールの周面に沿わせた場合、フィルムの曲率が大きくなり過ぎて、フィルムにカールなどの変形をもたらす可能性がある。主ロールの直径が２００ｍｍより大きくなると、剥離動作を遂行するために、より広いスペースが要求される。フィルム押圧装置内で、このような広いスペースを確保することは、装置設計上困難な場合がある。

フィルムの生産性を向上させるためには、剥離動作を高速化するのが良い。しかし、剥離動作を高速化すると、剥離中に、主ロールとフィルムとの間にエアーの噛み込みが発生し、両者間にスリップが発生し易くなる。スリップが発生すると、金型表面でのフィルムの剥離点が断続的に移動し、剥離跡が発生する。高速の剥離動作において、スリップが発生しないようにするには、スリップ限界速度を上げるのが良い。スリップ限界速度を上げるためには、主ロールへのフィルムの抱き角を適正に維持しつつ、主ロールを小径化し、主ロールの表面粗さを大きくすることが有効である。

剥離速度は、フィルムの材質や成形するパターンの形状などにもよるが、概ね、１０ｍ／分乃至１００ｍ／分であることが好ましい。２０ｍ／分乃至６０ｍ／分であることがより好ましい。剥離速度が１０ｍ／分未満では、生産性が極端に低く、剥離速度が１００ｍ／分を超えると、主ロールの表面とフィルムとの間に、エアーの噛み込みが発生し易くなり、その結果、スリップが発生し易くなる。

補助ロール２２の周面の少なくともフィルム２が接触する周面は、上述の主ロール２１の周面を形成する材料と同じで形成されていても良い。補助ロールとフィルムの間の摩擦抵抗が高い場合は、補助ロールの表面で、フィルムにしわを誘発する可能性がある。その場合は、補助ロールの周面を、すべり性の高いフッ素樹脂や金属で形成することが好ましい。

剥離動作時にフィルムにかかる張力は、フィルムの材質やフィルムの温度にもよるが、概ね、１乃至１００Ｎの範囲であることが好ましい。５乃至５０Ｎであることが更に好ましい。

主ロールならびに補助ロールの周面を形成する材料の耐熱温度は、１００℃以上であることが好ましく、１３０℃以上であることがより好ましい。各ロールは、高温のフィルムと接触するため、高温による経時的な寸法変化や強度低下を来す場合があるため、周面を形成する材料は、前記の耐熱温度の値を有していることが好ましい。これにより、剥離動作不良を防止することができる。ここに云う耐熱温度の定義は、前述の通りである。

上温調プレート１５ａおよび下温調プレート１５ｂは、アルミ合金で形成され、それぞれのプレート内には、電熱ヒーターが鋳込まれている。各電熱ヒーターの温度は、加熱ユニット３０により制御される。各温調プレート内に熱媒流通路を設け、熱媒を流通させることにより、各プレートの温度制御を行っても良い。

熱媒体としては、例えば、バーレルサーム（松村石油（株））、ＮｅｏＳＫ−ＯＩＬ（綜研テクニックス（株））あるいは１００℃以上に加熱された水が用いられる。効率良く伝熱できるように、熱媒流路内部のレイノズル数は、１．０×１０^４乃至１２×１０^４の範囲であることが好ましい。

温調プレートの加熱手段として、例えば、複数個の鋳込みヒーターあるいはカートリッジヒーターが用いられる場合は、温調プレートの複数の部分の温度を分割制御することが可能となる。

温調プレートは、昇温、降温、および、定温維持段階において、プレートの複数個所における温度差が、１０℃以内であることが好ましく、５℃以内であることが更に好ましい。

金型３の温度調整に、温調プレートを用いる代わりに、あるいは、温調プレートともに、金型に熱媒流通路を設け、熱媒により金型を直接温調するようにしても良い。

上温調プレート１５ａおよび下温調プレート１５ｂ内には、冷媒流通路が設けられ、冷媒を流通させることにより、各プレートの温度制御が行われる。冷媒による各プレートの温度は、冷却ユニット４０により制御される。

冷媒としては、水が最適であるが、エチレングリコール溶液などでも良い。冷媒の温度は、１０℃乃至５０℃の範囲であることが好ましい。効率良く伝熱できるように、冷媒流通路内部のレイノズル数は、１．０×１０^４乃至１２×１０^４の範囲であることが好ましい。

フィルム取出装置５０は、フィルム供給源２Ｓを含む。フィルム供給源２Ｓは、通常、フィルム（被処理フィルム）が巻き上げられたフィルムロール２Ｓａからなる。フィルムロール２Ｓａは、基台から伸びる一対の支持アームに取り付けられたロール回転軸により、回転可能に支持されている。ロール回転軸の一方の端部に、巻出ロール回転駆動手段５１が設けられている。フィルム取出装置５０は、更に、搬送ロール５２ａ、５２ｂ、５２ｃおよび５２ｄ、巻出バッファ部５３、ならびに、フィルム固定部５４を含む。

フィルム引取装置６０は、フィルム収容源２Ｆを含む。フィルム収容源２Ｆは、通常、フィルム（処理済みフィルム）が巻き上げられたフィルムロール２Ｆａからなる。フィルムロール２Ｆａは、基台から伸びる一対の支持アームに取り付けられたロール回転軸により、回転可能に支持されている。ロール回転軸の一方の端部に、巻取ロール回転駆動手段６１が設けられている。フィルム引取装置６０は、更に、搬送ロール６２ａ、６２ｂおよび６２ｃと、巻取バッファ部６３、搬送駆動ロール６４、ならびに、フィルム固定部６５を含む。

巻出バッファ部５３は、ボックス５５とこれに接続された吸引排気手段５６から構成されている。巻取バッファ部６３は、ボックス６６とこれに接続された吸引排気手段６７から構成されている。各吸引排気手段５６、６７は、真空ポンプなど、エアーを吸引、排気できるものであれば良い。各ボックス５５、６６内のエアーを排気することにより、ボックス内に挿入されたフィルムの表裏面で圧力差を与え、フィルムに一定の張力を付与するとともに、ボックス内でフィルムをＵ字状の状態に保持する。

ボックス内に存在させるフィルムの長さは、フィルムを成形する前後で間欠的に搬送するフィルムの長さ分が適当である。ボックス５５内には、センサー５７ａ、５７ｂが取り付けられている。ボックス６６内には、センサー６８ａ、６８ｂが取り付けられている。これらのセンサーにより、ボックス内に存在するフィルムの位置が検知される。

フィルム剥離装置２０Ａによりフィルムが剥離された後、新たな被処理フィルムが金型３に向かい供給される段階、および、剥離された処理済みフィルムが金型３から引き取られる段階において、フィルムの搬送が行われる。このフィルムの搬送の際に、ボックス内のセンサーが、フィルムが所定の位置から外れていることを検知したときに、巻出ロール回転駆動手段５１、あるいは、巻取ロール回転駆動手段６１が駆動される。巻出ロール回転駆動手段５１の駆動により、被処理フィルムがボックス５５へと供給され、ボックス５５内に所定の長さの被処理フィルムが位置する状態が形成される。また、巻取ロール回転駆動手段６１の駆動により、処理済みフィルムがボックス６６へと供給され、ボックス６６内に所定の長さの処理済みフィルムが位置する状態が形成される。

フィルム固定部５４は、フィルム搬送路２Ａに面して位置し、フィルムの長手方向への移動の停止および許容を行う。フィルム固定部６５は、金型３と搬送ロール６２ａとの間のフィルム搬送路２Ａに面して位置し、フィルムの長手方向への移動の停止および許容を行う。フィルム固定部５４、６５のそれぞれは、通常、上面が、多数の吸引孔を有する平板で形成されているエアー吸引ボックスからなる。このエアー吸引方式の代わりに、機械的なクリップ方式を用い、フィルムの移動の停止および許容を行っても良い。

フィルム押圧装置１０の作動により、フィルムが押圧され、パターンの成形が行われる工程においては、双方のフィルム固定部５４、６５がフィルムの移動を拘束するように作動する。フィルムが金型表面から剥離される工程においては、フィルム固定部５４が作動し、フィルムを固定し、フィルム固定部６５が開放される。フィルムが上流側から下流側に搬送されるときは、双方のフィルム固定部５４、６５は開放される。

搬送駆動ロール６４は、モーターなどの回転駆動手段（図示は省略されている）に連結されている。フィルム搬送時には、ニップロール６４ａが搬送駆動ロール６４に近接し、フィルムを挟み、搬送駆動ロール６４にてトルク制御が行われながら、フィルムが、一定張力のもとで搬送される。

次に、前述の本発明のフィルムの製造方法の第１の実施態様を、それを実施するための図１乃至３に示されるフィルムの製造装置１を用いて説明する。一連のフィルムの製造工程は、以下の各工程（Ａ）乃至（Ｋ）を含む。

（Ａ）先ず、金型３が、下温調プレート１５ｂの上面に取り付けられる。次いで、フィルムロール（被処理フィルムロール）２Ｓａが、フィルム取出装置５０にセットされる。その後、フィルム取出装置５０からフィルム引取装置６０に至るフィルム搬送路２Ａに沿って、初期フィルム通しが行われる。すなわち、フィルム取出装置５０におけるフィルムロール２Ｓａから巻き出されたフィルム２は、搬送ロール５２ａ、巻出バッファー部５３のボックス５５内、搬送ロール５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ、フィルム固定部５４、金型表面３ａ、フィルム把持装置２０、フィルム固定部６５、搬送駆動ロール６４、搬送ロール６２ａ、６２ｂ、巻取バッファー部６３のボックス６６内、および、搬送ロール６２ｃを順次通過し、フィルム引取装置６０において、フィルムロール２Ｆａとして巻き取られ、フィルム搬送路２Ａへのフィルム通しが、完了する。

（Ｂ）次に、加熱ユニット３０が作動し、上温調プレート１５ａおよび下温調プレート１５ｂのそれぞれの温度が、成形温度まで上昇する。

（Ｃ）その後、フィルム押圧装置１０が作動し、上温調プレート１５ａが下降し、金型表面３ａと上温調プレート１５ａとの間において、フィルム２がプレスされる。このとき、フィルム固定部５４およびフィルム固定部６５は、それぞれ作動状態とされ、これらにより、フィルム２の移動が拘束される。フィルム面に凹凸パターンを成形するための温度、プレス圧力、昇圧速度、加圧時間などの条件は、フィルムの材質や凹凸パターン形状、特に凹凸パターンにおける凹凸のアスペクト比などに依存する。通常、成形温度は１００℃乃至１８０℃、プレス圧力は１ＭＰａ乃至１０ＭＰａ、加圧時間は１秒乃至６０秒、昇圧速度は０．０５ＭＰａ／秒乃至１ＭＰａ／秒の範囲に、それぞれ設定される。

（Ｄ）加熱しながらのプレスが完了した後、冷却ユニット４０が作動し、上温調プレート１５ａおよび下温調プレート１５ｂが降温する。なお、冷却中もプレスは、継続されていることが好ましい。冷却は、金型表面３ａの温度がフィルムの剥離に適する温度になるまで、進められる。例えば、金型表面３ａの温度が、フィルムのガラス転移温度以下になるまで、金型表面３ａが冷却されるのが好ましい。

（Ｅ）冷却完了後、プレス圧力が開放される。その後、上温調プレート１５ａは、フィルム把持装置２０がフィルム押圧装置１０内を金型３の長手方向に移動可能なスペースが確保される位置まで、上昇せしめられる。

（Ｆ）上温調プレート１５ａの上昇が完了した後、フィルム固定部６５が開放され、補助ロール公転駆動手段２４が駆動され、補助ロール２２が、主ロール２１の上部まで旋回せしめられる。この補助ロール２１の主ロール２１に対する公転により、フィルム２が、主ロール２１と補助ロール２２にＳ字状に懸架され、両ロールによるフィルム２の把持状態が形成される。フィルム２の主ロール２１と補助ロール２２へのＳ字状の懸架状態は、フィルム２の両ロールへの抱きつき状態と云うこともできる。

主ロール２１と補助ロール２２の待機位置２２Ｐからこの抱きつき状態に至る補助ロール２２の移動過程が、図３（ａ）乃至（ｃ）に模式的に示される。待機位置２２Ｐからの補助ロール２２の公転開始の際には、フィルム固定部６５のフィルム２の拘束が開放される。すなわち、フィルム固定部６５の作動が停止される。このフィルム固定部６５の作動停止の状態が、図３（ｂ）において、フィルム固定部６５を示す長方形が黒塗りとされることにより、示される。図３（ｆ）に示されるように、フィルム固定部５４の作動停止の状態が、同様に、フィルム固定部５４を示す長方形が黒塗りとされることにより、示される。

（Ｇ）その後、主ロール回転駆動手段２３により、主ロール２１が、正回転方向（図３（ｄ）における矢印Ｃの方向）に回転差占められると同時に、フィルム把持装置移動駆動手段２９により、主ロール２１と補助ロール２２が、両ロールの相対位置が維持されたまま、すなわち、フィルム２の抱きつき状態が維持されたまま、上流側（図３（ｄ）における矢印Ａの方向）へ移動せしめられる。

このとき、フィルム２が主ロール２１の表面で滑らないようにするため、主ロール２１の周速とフィルム把持装置２０の移動速度が同じとなるように、主ロール回転駆動手段２３とフィルム把持装置移動駆動手段２９との間で、それぞれの速度の同期を取ることが好ましい。フィルム把持装置２０は、一対の台座移動ガイド２５ａ、２５ｂに案内されながら移動する。このフィルム把持装置２０の移動により、金型表面３ａに密着したフィルム（処理済みフィルム）２が、図３（ｄ）に示されるように、金型表面３ａから剥離される。

（Ｈ）金型３の上流側端部までのフィルム２の剥離が完了すると、図３（ｅ）に示されるように、主ロール２１の回転は、停止する。

（Ｉ）その後、図３（ｆ）に示されるように、フィルム固定部５４におけるフィルム２の拘束が開放されるとともに、フィルム把持装置移動駆動手段２９の作動が停止され、フィルム把持装置２０が一対の台座移動ガイド２５ａ、２５ｂに沿って移動しないように保持された状態とされる。この状態から、主ロール回転駆動手段２３により、主ロール２１が正回転方向（前記矢印Ｃの方向）に回転し、新たな所定の長さのフィルム（被処理フィルム）２が、下流側へ送給される。この新たな所定の長さのフィルム２の送りが、フィルム２の間欠的な送り分に相当する。

このとき、フィルム２が、補助ロール２２より下流側で、弛まず、また、しわの発生を抑制するために、搬送駆動ロール６４により、フィルム２に適度な張力を付加することが好ましい。この間欠的なフィルムの送りの動作は、主ロール２１を主ロール回転駆動手段２３から開放し、主ロール２１を駆動回転から従動回転に切り替えて、主ロール２１が回転自在の状態にせしめ、下流側にある搬送駆動ロール６４を回転せしめることにより、行うことも可能である。

（Ｊ）その後、フィルム固定部５４が作動状態とされる。このフィルム固定部５４あるいはフィルム固定部６５の作動状態は、図３において、それぞれを表示する長方形がその枠の描画のみで示されることにより、示される。次いで、主ロール回転駆動手段２３により、主ロール２１が逆回転方向（図３（ｇ）における矢印Ｄの方向）に回転せしめられると同時に、フィルム把持装置移動駆動手段２９により、主ロール２１と補助ロール２２が、両ロールの相対位置が維持されたまま、すなわち、フィルム２の抱きつき状態が維持されたまま、下流側（図３（ｇ）における矢印Ｂの方向）へ移動し、金型表面３ａに沿って、新たな所定の長さのフィルム（被処理フィルム）２が供給される。

このとき、フィルム２が主ロール２１の表面で滑らないようにするため、主ロール２１の周速とフィルム把持装置２０の移動速度が同じとなるように、主ロール回転駆動手段２３とフィルム把持装置移動駆動手段２９との間で、それぞれの速度の同期を取ることが好ましい。このとき、金型３の上流側端部から上流側に位置するフィルム２に張力がかかり過ぎることがないように、上流側における張力調整機能を有する巻出バッファー部５３、搬送ロール５２ｂ、５２ｃ、５２ｄのいずれかにより、フィルムに作用する張力が調節されることが好ましい。

フィルム２に張力がかかり過ぎると、金型３の端部で、フィルム２が熱負荷を受け易くなる。熱負荷を受けると、熱負荷を受けた部分で、フィルムの弾性率が低下し、その部分で、フィルムが局所的に伸ばされる場合が生じる。この問題は、フィルム２の厚みが考慮された上で、主ロール２１の周面と金型表面３ａとの間に、僅かなクリアランスが保たれるようにすることで、解決される。

（Ｋ）金型表面３ａへの新たな所定の長さのフィルム（被処理フィルム）２の供給が完了し、フィルム把持装置２０の主ロール２１および補助ロール２２が、金型３の下流側端より下流側の位置に到達すると、図３（ｈ）に示されるように、補助ロール２２が、補助ロール公転駆動手段２４の作動により、旋回し、元の位置（待機位置２２Ｐ）に戻る。この時点で、フィルム２は、主ロール２１と補助ロール２２への抱きつき状態から開放される。この開放状態が形成されるのとほぼ同時に、フィルム固定部６５により、フィルム２が固定される。

このとき、金型３の下流側端から下流側に位置するフィルムに張力がかかり過ぎることがないように、下流側における張力調整機能を有する搬送駆動ロール６４、搬送ロール６２ａ、６２ｂ、巻取バッファー部６３のいずれかにより、フィルムに作用する張力が調節されることが好ましい。このフィルムに作用する張力の調整は、補助ロール２２の旋回下降とフィルム固定６５の作動のタイミングを調節することにより、行うこともできる。フィルム２に張力がかかり過ぎると、金型３の端部で、フィルム２が熱負荷を受け易くなる。熱負荷を受けると、熱負荷を受けた部分で、フィルムの弾性率が低下し、その部分で、フィルムが局所的に伸ばされる場合が生じる。

（Ｌ）新たな所定の長さのフィルムが金型表面３ａに供給されることにより、巻出バッファ部５３のボックス５５内にＵ字状に位置していたフィルムは、下流側に引き出される。このフィルムの引き出し状態が、センサー５７ａにより検知され、この検知に基づき、巻出ロール回転駆動手段５１が作動し、フィルムロール２Ｓａからフィルム２が引き出されて、引き出されたフィルム２が、巻出バッファ部５３のボックス５５内に供給される。

このボックス５５内へのフィルム２の供給状態は、センサー５７ｂにより検知され、この検知に基づき、巻出ロール回転駆動手段５１の作動が停止せしめられ、フィルムロール２Ｓａからのボックス５５内へのフィルムの供給が停止する。一方、上流側から搬送されて来たパターンの成形が完了した所定の長さの処理済みフィルムは、巻取バッファ部６３のボックス６６内にＵ字状に、一時的に収容される。この収容状態は、センサー６８ｂにより検知される。

次いで、センサー６８ａがフィルム２を検知しなくなるまで、すなわち、新たに溜まった分の長さに相当する長さのフィルムが、巻取ロール回転駆動手段６１の作動により引き取られる。引き取られたフィルムは、巻き上げられ、処理済みロール２Ｆａを形成する。

（Ｍ）次の新たな被処理フィルムの成形加工の準備として、フィルムの金型表面３ａからの剥離が完了すると同時に、または、その直前から、上温調プレート１５ａと下温調プレート１５ｂの加熱が開始される。フィルム押圧装置１０が作動せしめられ、上温調プレート１５ａが、フィルム２の表面付近まで下降せしめられる。準備が完了した段階で、上述の工程（Ｃ）からの動作が繰り返される。

上述の工程（Ｆ）乃至（Ｈ）における動作により、金型表面３ａからの円滑なフィルムの剥離動作を、間欠式フィルムの成形加工サイクルに組み込むことが可能となり、剥離跡の少ない成形フィルムの製造が可能となる。

上述の工程（Ｉ）における動作により、円滑なフィルム送り動作を、間欠式フィルムの成形加工サイクルに組み込むことが可能となり、搬送しわの少ない成形フィルムの製造が可能となる。

上述の工程（Ｊ）における動作により、金型表面への円滑なフィルム供給が行われ、しわのない状態での金型表面へのフィルム供給が可能となる。この工程（Ｊ）において、下流側から金型表面に位置するフィルムに、剥離を目的とした張力は作用しない上、金型表面へのフィルムの供給の際のフィルムのしわ発生防止も、フィルムにしわが発生するような張力が作用しない状態で行われるので、成形加工後のフィルムにおけるうねりも抑制された成形フィルムの製造が可能となる。

上述の工程（Ｃ）乃至（Ｍ）の一連のフィルムの剥離動作およびフィルムの供給動作を組み合わせた成形サイクルにより、次サイクルで成形するフィルムを素早く、フィルム押圧装置内に供給することができるので、高い生産性を有する間欠式の成形フィルムの製造方法が可能となる。

図４は、本発明のフィルム製造装置の第２の実施態様の一例の部分概略側面図である。図５は、図４に示す装置を用いて、本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様を実施した場合における主要な動作要素の作動状態を説明する図であり、図５の（ａ）乃至（ｈ）は、当該作動状態の時系列的変化を説明する図である。図６は、図４に示す装置を用いて、本発明のフィルムの製造方法の第３の実施態様を実施した場合における主要な動作要素の作動状態を説明する図であり、図６の（ａ）乃至（ｇ）は、当該作動状態の時系列的変化を説明する図である。

図４に、本発明のフィルムの製造装置４０１が示される。フィルムの製造装置４０１が、図１に示されるフィルムの製造装置１と異なる部分は、しわ発生防止装置の部分のみである。従って、ここでは、主として、フィルムの製造装置４０１におけるしわ発生防止装置の構造とその作用の説明がなされる。また、従って、図４において、フィルムの製造装置４０１における各装置要素で、フィルムの製造装置１における各装置要素と共通する装置要素は、フィルムの製造装置１における装置要素と同じ符号をもって図示されている。

フィルムの製造装置４０１は、フィルムの製造装置１におけるフィルム剥離装置２０Ａを有する。すなわち、フィルムの製造装置４０１は、主ロール２１と補助ロール２２を含むフィルム把持装置２０を有する。主ロール２１は一対の主ロール支持アーム２１Ａａ、２１Ａｂにより、また、補助ロール２２は、一対の補助ロール支持アーム２２Ｃａ、２２Ｃｂにより、一対の台座２６ａ、２６ｂに取り付けられている。一対の台座２２Ｃａ、２２Ｃｂは、一対の台座移動ガイド２５ａ、２５ｂに沿って移動可能とされている。また、一対の台座２２Ｃａ、２２Ｃｂを、必要に応じて、一対の台座移動ガイド２５ａ、２５ｂに沿って積極的に移動させるためのフィルム把持装置移動駆動手段２９が、設けられている。

フィルムの製造装置４０１には、主ロール２１とは別に、主ロール２１の上流側において、主ロール２１に対し間隔をおいて平行に位置し、フィルム２のパターンが形成される面とは反対側の面に接触するしわ伸ばしロール４２１が装備されている。しわ伸ばしロール４２１は、その両端部において、一対のしわ伸ばしロール支持アーム２２Ｄａ、２２Ｄｂに回転可能に支持されている。一対のしわ伸ばしロール支持アーム２２Ｄａ、２２Ｄｂの下端部は、それぞれ、一対の台座２６ａ、２６ｂに固定されている。従って、しわ伸ばしロール４２１は、一対の台座２６ａ、２６ｂの移動に従い、フィルム２の長手方向に移動可能とされている。これにより、フィルムの製造装置４０１におけるしわ発生防止装置４２０Ｂが、形成されている。

フィルムの製造装置１においては、前述の通り、主ロール２１が、金型表面からのフィルムの剥離、金型表面へのフィルムの供給、および、金型表面へのフィルムの供給ともにフィルムのしわ発生防止を行う役目を有している。これに対し、フィルムの製造装置４０１においては、金型表面からのフィルムの剥離、金型表面へのフィルムの供給は、主ロール２１により行われるが、主ロール２１による金型表面へのフィルムの供給ともに行われるフィルムのしわ発生防止は、主ロール２１とは別に設けられたしわ伸ばしロール４２１により行われる。

フィルムの製造装置４０１において、金型表面３ａからフィルム２を剥離する場合、主ロール回転駆動手段２３に一定トルクを保持させながら、フィルム把持装置移動駆動手段２９を駆動して、フィルム剥離装置２０Ａを上流側へ移動させながら、金型表面３ａからフィルム２の剥離が行われる。フィルム２の表面と主ロール２１の周面との間の摩擦力が十分に高い場合は、当該摩擦力とフィルム２に作用している張力のみで、フィルム把持装置２０の一対の台座移動ガイド２５ａ、２５ｂに沿った移動力が得られる。この場合は、フィルム把持装置移動駆動手段２９による一対の台座２６ａ、２６ｂの積極的移動は、不要である。

しわ伸ばしロール４２１の周面の少なくともフィルム２が接触する周面は、金型表面３ａにフィルム２が接触もしくは押圧されながら供給されても、金型表面３ａの微細な凹凸パターンが破損されないように、また、高温の金型表面３ａによりしわ伸ばしロール４２１の表面が劣化することがないように、シリコーン系樹脂またはフッ素系樹脂を主成分とする発泡スポンジで形成されていることが好ましい。しわ伸ばしロール４２１が、フィルム２を金型表面３ａに接触、または、押圧しながら移動することにより、更に高いしわ伸ばし効果が得られる。

しわ伸ばしロール４２１の周面は、金属、樹脂、あるいは、ゴムで形成されていてもの良い。樹脂やゴムの好適な例としては、フッ素系樹脂、エチレン・プロピレン・ジエンゴム（ＥＰＤＭ）、シリコーンゴム、フッ素ゴムがあり、高温の金型表面に接してもあるいは接近しても、熱による劣化を受け難いものが好ましい。フィルム２としわ伸ばしロール４２１の周面とが密着しないように、しわ伸ばしロール４２１の周面に滑り処理を施すことも好ましい。滑り処理としては、例えば、周面の表面粗さを大きくしたり、ダイヤモンドライクカーボンを主成分とした表面コート処理が好適に用いられる。表面粗さを大きくする場合は、しわ伸ばしロール４２１の周面の中心線平均粗さ（ＪＩＳ Ｂ０６０１）を、１．０μｍ乃至１００μｍの範囲に選定することが、適度な滑り性を確保することができるので、好ましい。

フィルムが極めて薄く、かつ、金型表面の微細な凹凸パターンが極めて微細な場合で、しわ伸ばしロールが金型表面に接触したとき、金型表面を損傷する可能性がある場合には、しわ伸ばしロールの周面と金型表面の距離（クリアランス）Ｈを、０．１ｍｍ乃至５ｍｍの範囲に選定するのが好ましい。０．１ｍｍ乃至１ｍｍの範囲がより好ましい。しわ伸ばしロールの周面と金型表面の距離（クリアランス）Ｈは、図２に示す主ロールの周面と金型表面の距離（クリアランス）Ｈにおいて、主ロールをしわ伸ばしロールに置き換えた場合の距離（クリアランス）Ｈである。

このクリアランスＨが５ｍｍを超える場合、しわ伸ばしロールによるしわ伸ばし効果が不十分となる。このクリアランスＨが０．１ｍｍ未満の場合、金型表面としわ伸ばしロールとが接触する可能性が高まり、接触した場合、金型表面の微細な凹凸パターンが破損される場合が生じる。しわ伸ばしロールと金型表面の平行度は、０．５ｍｍ以下が好ましく、０．１ｍｍ以下がより好ましい。

しわ伸ばしロール４２１の周面は、一定の弾性および粘着性のあるゴムで形成されていることが好ましい。この場合、当該ゴムのゴム硬度（ＪＩＳ Ｋ６２５３）は、４０乃至７０であることが好ましく、５０乃至６０であることが更に好ましい。しわ伸ばしロール４２１の周面の中心線平均粗さが（ＪＩＳ Ｂ０６０１）は、０．０１μｍ乃至１．０μｍであることが好ましい。０．０１μｍ乃至０．５μｍであることが更に好ましい。好適なゴムとしては、エチレン・プロピレン・ジエンゴム（ＥＰＤＭ）、シリコーンゴム、フッ素ゴムがある。

ゴム硬度が７０よりも大きかったり、中心線平均粗さが１．０μｍよりも大きい場合、フィルム２としわ伸ばしロール４２１との間の密着性が十分でない場合がある。この場合、しわ発生防止時に、フィルム２としわ伸ばしロール４２１の間で滑りが生じて、フィルム２の張力の低下によるしわ発生防止力の低下が生じる場合がある。ゴム硬度が４０未満では、しわ発生防止動作時のゴムの変形が大きくなるため、しわ発生防止動作が不安定になる場合がある。この場合、フィルム面にしわ伸ばし跡が発生する場合がある。中心線平均粗さが０．０１μｍ未満のしわ伸ばしロールは、製作するのが困難な場合がある。

次に、前述の本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様を、図４に示されるフィルムの製造装置４０１を用いて説明する。

本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様において、金型表面３ａからのフィルム２の剥離は、主ロール２１と補助ロール２２の両方のロールを回転させながら、フィルム２を両ロールに抱きつかせた状態で、金型表面３ａの近傍を、主ロール２１を金型表面３ａに平行に、下流側から上流側に移動させることにより行われる。この金型表面３ａからのフィルム２を剥離する動作は、前述の本発明のフィルムの製造方法の第１の実施態様の場合と同じである。

次に、フィルム２の送りが、両ロールのフィルムの長手方向への移動を停止させた状態で、両ロールの回転下に行われる。このフィルムの送り動作は、前述の本発明のフィルムの製造方法の第１の実施態様の場合と同じである。

次に、金型表面３ａに沿ってフィルム２の供給が行われるとともに、当該フィルムの供給におけるしわ発生防止が、しわ伸ばしロール４２１が回転しながら、金型表面３ａに沿って上流側から下流側へ移動することにより行われる。このしわ発生防止動作は、前述の本発明のフィルムの製造方法の第１の実施態様の場合は、前述の通り、主ロール２１の移動により行われるが、本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様の場合は、しわ伸ばしロール４２１の移動により行われる。この点において、双方の実施態様は、相違する。

本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様における主要な動作を、図４および図５を用いて説明する。

フィルム２の金型表面３ａからの剥離動作前は、図５（ａ）に示す待機位置２２ｐで、フィルム把持装置２０は待機している。図５において、矢印Ａは、上流側（フィルムの巻出側）を示し、矢印Ｂは、下流側（フィルムの巻取り側）を示す。剥離動作を開始するに際して、図５（ｂ）、（ｃ）に示すように、補助ロール公転駆動手段２４を駆動して、補助ロール２２を主ロール２１のほぼ上方まで移動させる。

その後、図５（ｄ）に示すように、主ロール回転駆動手段２３により、主ロール２１を正回転方向（矢印Ｃ方向）に回転させつつ、フィルム把持装置移動駆動手段２９により、フィルム把持装置２０を上流側（矢印Ａ方向）へ移動させる。主ロール２１は、正回転（矢印Ｃ方向）しながら、金型表面３ａに沿って、上流側へ移動する。この移動につれて、金型表面３ａに貼り付いたフィルム２が、主ロール２１にフィルム２が抱きついた状態が維持されながら、連続的に剥離される。

図５（ｅ）に示すように、金型表面３ａの全領域でフィルム２の剥離が完了すると、図５（ｆ）に示すように、主ロール２１が上流側および下流側へ移動しない状態とする。すなわち、フィルム把持装置２０が移動しないように、フィルム把持手段移動駆動手段２９が作動し、フィルム把持装置２０にブレーキがかかった状態とする。この状態において、主ロール回転駆動手段２３により、主ロール２１を正回転方向（矢印Ｃ方向）に回転させて、間欠送り長さ分のフィルム２を下流側に送り出す。

このフィルム送りを行う間は、下流側にある搬送駆動ロール６４が回転し、フィルム２に張力が付与されるようにすることが好ましい。この張力付与により、金型表面３ａに向かうフィルム２の弛みが防止できる上、フィルム２へのフィルム搬送時に生じ易いしわ発生が防止できる。

他方、間欠送り長さ分のフィルム２を下流側への送り出しは、主ロール２１を、主ロール回転駆動手段２３を操作して、自由回転できる状態にして、かつ、搬送駆動ロール６４を回転させることにより行うこともできる。

次に、図５（ｇ）に示すように、主ロール回転駆動手段２３により、主ロール２１を逆回転方向（矢印Ｄ方向）に回転させて、金型表面３ａにフィルム２を供給するように、先に送り出された間欠送り長さ分のフィルム２を巻き戻しつつ、フィルム把持装置移動駆動手段２９により、フィルム把持装置２０を下流側（矢印Ｂ方向）へ移動させる。この移動により、フィルム把持装置２０と同じ台座２６ａ、２６ｂに取り付けられているしわ伸ばしロール４２１が、主ロール２０の移動に追従して、フィルム２の表面に沿って、下流側へと回転しながら移動する。

このとき、主ロール２１およびしわ伸ばしロール４２１は、金型表面に位置している状態のフィルムの金型表面に接触している表面とは反対側の表面に接触しても良いし、当該表面との間にわずかなクリアランスを保って位置していても良い。

次いで、図５（ｈ）に示すように、金型表面３ａのへのフィルム２の供給が完了し、フィルム把持装置２０がその移動範囲の下流端に到達すると、補助ロール公転駆動手段２４により、補助ロール２２が主ロール２１のほぼ下方に旋回移動され、フィルム２が、主ロール２１と補助ロール２２による把持から開放される。

金型表面からのフィルムの剥離動作および金型表面へのフィルムの供給動作において、主ロール回転駆動手段２３とフィルム把持装置移動駆動手段２９との間で、作動および作動の程度の同期をとり、主ロール２１の周速とフィルム把持装置２０の移動速度が一致するようにして、主ロール２１の表面とフィルム２の間で、スリップが生じないようにすることが好ましい。

フィルムの金型表面からの剥離時や金型表面への供給時において、しわ伸ばしロール４２１は、金型表面に位置している状態のフィルムの金型表面に接触している表面とは反対側の表面に接触しても良い。このように、しわ伸ばしロールが金型表面に位置するフィルムの表面に接触する状態で、しわ発生防止動作が行われる場合、しわ伸ばしロールがもたらすフィルムの金型表面への押圧力の制御が可能にすることが好ましい。例えば、しわ伸ばしロールのロール軸の両端部に、エアシリンダーやバネなどの弾性部材などからなるしわ伸ばしロール押圧調整手段を付設して、しわ伸ばしロールの金型表面方向への押圧力を制御できるようにすることが好ましい。しわ伸ばしロールが、金型表面に位置するフィルムの表面に、適度な接圧力をもって接触することにより、しわ伸ばし効果を増大させることができる。

次に、前述の本発明のフィルムの製造方法の第３の実施態様を、図４に示されるフィルムの製造装置４０１を用いて説明する。前述の本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様と前述の本発明のフィルムの製造方法の第３の実施態様とは、共に、図４に示されるフィルムの製造装置４０１を用いて実施することができるが、それぞれの実施態様において、フィルムの製造装置４０１におけるいくつかの要素装置の作動のさせ方が異なる。この異なる点を、次に説明する。

本発明のフィルムの製造方法の第３の実施態様において、金型表面３ａからのフィルム２の剥離は、主ロール２１と補助ロール２２の両方のロールを回転させながら、フィルム２を両ロールに抱きつかせた状態で、金型表面３ａの近傍を、主ロール２１を金型表面３ａに平行に、下流側から上流側に移動させることにより行われる。この金型表面３ａからのフィルム２を剥離する動作は、前述の本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様の場合と同じである。

次に、フィルム２の金型表面への供給が、両ロールの回転を停止させた状態で、かつ、フィルム２が両ロールに抱きついた状態で、金型表面３ａの近傍において、主ロール２１を金型表面３ａに平行に、上流側から下流側へ移動させることにより行われる。すなわち、フィルム２の金型表面３ａへの供給は、主ロール２１と補助ロール２２の回転が阻止されている状態のフィルム把持装置２０が上流側から下流側へ移動することにより行われる。

この金型表面３ａへのフィルム２の供給動作は、前述の本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様の場合と異なる。本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様の場合は、両ロールの回転により、間欠送り長さ分のフィルム２を金型３の上方空間に一旦送り込み、次いで、一旦送り込まれたフィルム２が、両ロールの逆方向への回転と共に両ロールが金型表面３ａに沿って移動することにより行われる。これに対し、本発明のフィルムの製造方法の第３の実施態様の場合は、事前にフィルム２が送り込まれる動作がなく、フィルム２は、両ロールの回転が阻止されている状態で、両ロールが金型表面３ａに沿って移動することにより、直接、金型表面３ａに沿って供給される。

金型表面３ａに供給されるフィルム２のしわ発生防止は、前記のフィルム２の供給を行いながら、回転しながら金型表面３ａに沿って移動するしわ伸ばしロール４２１により行われる。このしわ伸ばしロール４２１によるしわ発生防止の動作は、前述の本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様の場合と同じである。

本発明のフィルムの製造方法の第３の実施態様における主要な動作を図４および図６を用いて説明する。

図６の（ａ）乃至（ｅ）に示される動作は、図５の（ａ）乃至（ｅ）を用いて説明した上述の動作と同じであるので、ここでの説明を省略する。

図６（ｆ）は、上流側のフィルム固定部５４が開放され、主ロール２１の回転にブレーキがかかっている状態を示している。この状態において、主ロール２１と補助ロール２２にフィルム２が巻き付いている状態のまま、両ロール、すなわち、フィルム把持装置２０を、フィルム把持装置移動駆動手段２９により、下流側に移動させて、間欠送り長さ分のフィルム２を巻出バッファ部５３から引き出し、引き出されたフィルム２を、金型表面３ａに沿って供給する。この金型表面３ａに沿ってのフィルム２の供給と共に、しわ伸ばしロール４２１が金型表面３ａに沿って回転しながら移動することにより、フィルム２におけるしわ発生が防止される。

このとき、下流側にある搬送駆動ロール６４が回転し、フィルム２に張力が付与されるようにすることが好ましい。この張力付与により、金型表面３ａに向かうにフィルム２の弛みが防止できる上、フィルム２へのフィルム搬送時に生じ易いしわ発生が防止できる。

次いで、図６（ｇ）に示すように、金型表面３ａへのフィルム２の供給が完了し、フィルム把持装置２０がその移動範囲の下流端に到達すると、補助ロール公転駆動手段２４により、補助ロール２２が主ロール２１のほぼ下方に旋回移動され、フィルム２が、主ロール２１と補助ロール２２による把持から開放される。

図７は、本発明のフィルム製造装置の第３の実施態様の一例の概略側面図である。図８は、図７におけるＹ−Ｙ断面矢視図である。図９は、図７に示す装置を用いて、本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様を実施した場合における主要な動作要素の作動状態を説明する図である。図９の（ａ）乃至（ｈ）は、当該作動状態の時系列的な変化を説明する図である。他方、図７示す装置を用いて、当該装置におけるいくつかの装置要素の作動を異ならしめることにより、本発明のフィルムの製造方法の第３の実施態様を実施することも可能である。

図７に、本発明のフィルムの製造装置７０１が示される。図４に示すフィルムの製造装置４０１においては、主ロール２１に対し主ロール回転駆動手段２３が装備されているが、フィルムの製造装置７０１は、主ロール２１は有しているが、当該主ロール２１に対し主ロール回転駆動手段は装備されていない。更に、フィルムの製造装置７０１は、金型３と金型３より下流側に設けられている搬送駆動ロール６４との間のフィルム搬送路２Ａに、フィルムの張力を調整するためのフィルム張力調整手段を有する。しかし、フィルムの製造装置４０１は、このフィルム張力調整手段を有していない。

これらの点において、フィルムの製造装置７０１とフィルムの製造装置４０１は、異なる。他の装置要素は、フィルムの製造装置７０１とフィルムの製造装置４０１とで共通している。従って、共通している装置要素については、図７において、図１、図２、および、図４と同じ符号が用いられている。双方の装置に共通している装置要素については、既に説明済みのため、ここでの説明は省略する。

フィルムの製造装置７０１においては、図８に示す通り、主ロール２１は、図４に見られる主ロール２１に係合する主ロール回転駆動手段２３を有していない。図８において、主ロール２１は、その両端部において、一対の主ロール支持アーム２１Ａａ、２１Ａｂに、回転可能に支持されている。すなわち、主ロール２１は、移動する物体（例えば、走行フィルム）の接触により従動回転可能に、一対の主ロール支持アーム２１Ａａ、２１Ａｂに支持されている。

主ロール２１よりもフィルム搬送方向の下流側には、フィルム２に張力を適宜に付与するためのフィルム張力調整手段７０が設けられている。フィルム張力調整手段７０は、例えば、図７に示すように、フィルム搬送路２Ａに沿って、上流側から下流側に向かい配列されたガイドロール７１、張力検知用ロール７２、搬送駆動ロール６４、および、張力検知用ロール７２の作動に基づき張力を検知する張力検知手段７３から構成される。フィルム張力検知手段７３で検知されたフィルムの張力の値に基づき、搬送駆動ロール６４の駆動が調整され、フィルム張力調整手段７０によるフィルムへの張力の付加の程度が制御される。

フィルムの製造装置７０１を用いれば、フィルムの製造装置４０１と同様に、前述の本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様、ならびに、前述の本発明のフィルムの製造方法の第３の実施態様のそれぞれを実施することが可能である。次に、フィルムの製造装置７０１を用いて、本発明のフィルムの製造方法の第２の実施態様の実施の状態を説明する。

金型表面３ａからのフィルム２の剥離動作前は、図９（ａ）に示すように、主ロール２１と補助ロール２２は、待機位置２２ｐで待機している。すなわち、フィルム把持装置２０は、主ロール２１と補助ロール２２が待機位置２２ｐに位置する状態で、待機している。図９において、矢印Ａは上流側を示し、矢印Ｂは下流側を示す。金型表面３ａからのフィルム２の剥離動作を開始する場合、図９（ｂ）、（ｃ）に示すように、補助ロール公転駆動手段２４が作動して、補助ロール２２を主ロール２１のほぼ上方まで移動させる。その後、図９（ｄ）に示すように、フィルム把持装置移動駆動手段２９が作動して、フィルム把持装置２０が上流側へと移動する。すなわち、主ロール２１が上流側へと移動する。その際、同時に下流側の搬送駆動ロール６４が作動し、フィルム２に張力が付加される。主ロール２１は、上流側へと移動しつつ、金型表面３ａ上のパターン成形が終了したフィルム２に沿って回転し、金型表面３ａからフィルム２を下流側から上流側に向かい剥離する。

図９（ｅ）に示すように、金型表面３ａの全領域でフィルム２の剥離が完了すると、図９（ｆ）に示すように、上流側のフィルム固定部５４が開放された状態となる。この状態において、主ロール２１が上流側および下流側へと移動しないように、すなわち、フィルム把持装置２０が一対の台座移動ガイド２５ａ、２５ｂに沿って移動しないように、フィルム把持装置移動駆動手段２９により、フィルム把持装置２０が移動停止の状態とされる。この状態において、回転自在な主ロール２１と回転自在な補助ロール２２に抱きついているフィルム２が、間欠送り長さ分、搬送駆動ロール６４の駆動により、引き取られる。このとき、フィルム２の移動により、主ロール２１と補助ロール２２は、フィルムとの摩擦力により、従動回転する。

次に、図９（ｇ）に示すように、上流側のフィルム固定部５４が作動状態、すなわち、閉じられ、フィルム把持装置移動駆動手段２９が作動し、主ロール２１が下流側へ移動する。それと同時に、搬送駆動ロール６４の作動により、フィルム２に一定の張力が付加されることにより、金型表面３ａに沿ってフィルム２が供給される。このときも、回転自在な主ロール２１と回転自在な補助ロール２２は、フィルム２との摩擦力により、従動回転する。これと同時に回転しながらフィルム２に沿って移動するしわ伸ばしロール４２１により、金型表面３ａに沿って供給されるフィルム２へのしわの発生が防止される。

そして、図９（ｈ）に示すように、金型表面３ａのへのフィルム２の供給が完了し、フィルム把持装置２０が、その移動範囲の下流端に到達すると、補助ロール公転駆動手段２４により、補助ロール２２が主ロール２１のほぼ下方に移動し、両ロールによるフィルム２の把持が開放される。

本発明のフィルムの製造方法および製造装置が用いられ、表面に微細な凹凸パターンを成形するために用いられるフィルムは、熱可塑性樹脂を主たる成分とするフィルムであることが好ましい。そのガラス転移温度Ｔｇが、４０℃乃至１８０℃の範囲にあるものが好ましい。この範囲は、５０℃乃至１６０℃であることがより好ましく、５０℃乃至１２０℃であることが更に好ましい。

ガラス転移温度Ｔｇが４０℃未満の場合、成形品の耐熱性が低くなり、また、その形状が経時変化する場合がある。また、ガラス転移温度Ｔｇが１８０℃を超える場合、成形温度を高くせざるを得ない。高い成形温度は、エネルギー的に非効率ある。また、フィルムの加熱／冷却時の体積変動が大きくなり、フィルムが金型表面に噛み込んで、剥離が困難になる場合がある。剥離ができたとしても、パターンの転写精度が低下したり、部分的にパターンが欠けて欠点となる場合がある。

前記熱可塑性樹脂を主たる成分とするフィルムの成分としては、例えば、次のものが好ましく用いられる。ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２、６−ナフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブテン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリエステルアミド系樹脂、ポリエーテルエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、あるいは、ポリ塩化ビニル系樹脂。

これらの中で共重合するモノマー種が多様であり、かつ、そのことによって材料物性の調整が容易であるとの理由から、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂、または、これらの混合物が好ましい。用いられるフィルムは、上述の熱可塑性樹脂を５０重量％以上含んでいることが好ましい。

本発明のフィルムの製造方法および製造装置が用いられてパターンが成形される元のフィルム、すなわち、被加工フィルム（被処理フイルム）は、上に列挙した樹脂の単体からなる単層フィルムであってもかまわないし、複数の樹脂層からなる積層フィルムであっても良い。積層フィルムの場合、単層フィルムと比べて、易滑性や耐摩擦性などの表面特性、強度などの機械的特性、あるいは、耐熱性などの熱的特性を、フィルムに付与し易い。積層フィルムの場合は、フィルム全体が前述の要件を満たしていることが好ましいが、フィルム全体としては前述の要件を満たしていなくても、少なくとも前述の要件を満たす層が表層に形成されていれば、容易に所望のパターンをその表面に成形することができる。

被加工フィルム（被処理フイルム）の厚さ（膜厚）は、０．０１ｍｍ乃至１ｍｍの範囲であることが好ましい。厚さが０．０１ｍｍ未満では、成形するのに十分な厚みがなく、また、厚さが１ｍｍを超える場合は、フィルムの剛性により、製造装置におけるフィルムの搬送が難しくなる場合がある。

被加工フィルム（被処理フイルム）は、例えば、有機微粒子、無機微粒子、分散剤、染料、蛍光増白剤、酸化防止剤、耐候剤、帯電防止剤、離型剤、増粘剤、可塑剤、ｐＨ調整剤および塩などを含んでいても良い。特に、金型表面からの剥離性を良くするための離型剤として、長鎖カルボン酸、もしくは長鎖カルボン酸塩、などの低表面張力のカルボン酸やその誘導体、および、長鎖アルコールやその誘導体、変性シリコーンオイルなどの低表面張力のアルコール化合物などの少量が、被加工フィルム（被処理フイルム）含まれていることが好ましい。

被加工フィルム（被処理フイルム）のパターン成形が行われる面に、離型層が積層されていることが好ましい。被加工フィルム（被処理フイルム）の最表面、すなわち、金型表面と接する面に離型層が予め設けられていることによって、金型表面に付与されている離型コートの耐久性（繰り返し使用回数）を向上することができる。例え部分的に離型効果が失われた金型を用いた場合でも、フィルム側に離型層が存在することにより、フィルムの金型表面からの剥離が均一になされる。金型表面に全く離型処理が施されていなくても、フィルム側に離型層が存在することにより、フィルムの金型表面からの剥離が、円滑に行われる。この場合、金型の離型処理コストの削減が可能となる。

フィルム側に離型層が存在することにより、金型表面からフィルムを剥離する際の樹脂粘着による成形パターン崩れを防止できる。また、より高温でのフィルムの剥離が可能となり、サイクルタイムの短縮が可能となる。また、更に、フィルム表面の滑り性が向上することによって、耐スクラッチ性が向上し、製造工程などで生じる欠点を低減させることができる。

被加工フィルム（被処理フイルム）の両最外層にパターン成形が行われる場合、どちらか片方のパターン成形が予定される表面に、離型層が設けられていても良いし、両最外層に離型層が設けられていても良い。

離型層を構成する樹脂は、特に限定されないが、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、脂肪酸系樹脂、ポリエステル系樹脂、オレフィン系樹脂、メラミン系樹脂、を主成分とする樹脂であることが好ましい。これらのうちでは、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、脂肪酸系樹脂がより好ましい。離型層には、上述の樹脂以外にも、例えば、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂などが配合されても良い。また、各種の添加剤、例えば、帯電防止剤、界面活性剤、酸化防止剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、紫外線吸収剤、顔料、染料、有機または無機の微粒子、充填剤、核剤、架橋剤などが配合されても良い。離型層の厚みは、特に限定されないが、０．０１μｍ乃至５μｍの範囲であることが好ましい。該離型層の厚みが０．０１μｍ未満であると、上述の離型性向上効果が低下する場合がある。

被加工フィルム（被処理フイルム）の表面に離型層を形成する方法としては、特に限定されないが、各種の塗布方法、例えば、リバースコート法、グラビアコート法、ロッドコート法、バーコート法、ダイコート法またはスプレーコート法を用いることができる。離型層の形成は、被加工フィルム（被処理フイルム）の製膜と同時に行うインラインコーティングにより行われることが、生産性、塗布均一性の観点から、好ましい。

微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造に、図１に示すフィルムの製造装置１を用いた。

（１）使用した金型３：
金型３のサイズ：５００ｍｍ（フィルム２の幅方向）×８００ｍｍ（フィルム２の走行方向）×２０ｍｍ（厚み）。

金型３の材質：銅。

金型表面３ａに形成された微細な凹凸パターン：金型表面３ａの長手方向を向き、金型表面３ａの幅方向に間隔をおいて位置する多数本のストライプからなり、各ストライプの横断面形状が、直角三角形であり、当該直角三角形の高さが、１０μｍ、底辺の長さが、５μｍであり、隣り合う直角三角形の底辺は、互いに隣接している。

（２）使用したフィルム押圧装置１０：
最大加圧力が３０００ｋＮの油圧ポンプ加圧形式の押圧装置。上温調プレート１５ａおよび下温調プレート１５ｂは、いずれも、アルミ合金製でサイズが７００ｍｍ（フィルム２の幅方向）×１０００ｍｍ（フィルム２の走行方向）。各温調プレートは、それぞれ、加熱ユニット３０ならびに冷却ユニット４０に係合されている。加熱ユニット３０は、熱媒循環方式。熱媒は、バーレルサーム＃４００（松村石油株式会社製）熱媒の温度は、１５０℃、その流量は、１００Ｌ／ｍｉｎ。冷却ユニット４０は、冷却水循環方式。冷却水の温度は、２０℃、その流量は、１５０Ｌ／ｍｉｎ。

（３）使用したフィルム把持装置２０：
主ロール２１と補助ロール２２の組み合わせからなる。主ロール２１の外径は、１５０ｍｍ。その最外層は、ゴム硬度が６０（ＪＩＳ Ｋ６２５３）、表面の中心線平均粗さが０．５μｍ（ＪＩＳ Ｂ０６０１）のシリコーンゴム。主ロール回転駆動手段２３は、主ロール２１の回転方向の切り替えが可能なサーボモーターとサーボアンプの組み合わせからなる。補助ロール２２の外径は、５０ｍｍ。その最外層は、フッ素樹脂。主ロール２１と金型表面３ａとの距離（クリアランスＨ）は、０．５ｍｍ。主ロール２１と補助ロール２２を含むフィルム把持装置２０を金型表面３ａに沿って往復移動させるフィルム把持装置移動駆動手段２９は、サーボモーターからなる。

（４）使用したフィルム２：
フィルム２の形成材料は、ポリエチレンテレフタレート。フィルム２の厚みは、３８μｍ（厚みむら：±３μｍ）、幅は、５２０ｍｍ。フィルム２は、フィルム押圧装置１０の上流側に設置したフィルム取出装置５０から送り出され、フィルム押圧装置１０の下流側に設置したフィルム引取装置６０によって巻き取った。

（５）フィルムの製造装置１において使用した主要な装置要素の作動方法：
予め、フィルム２を、フィルム取出装置５０からフィルム引取装置６０まで、フィルム押圧装置１０を経由して、フィルム搬送路２Ａに沿って、通した。次に、上温調プレート１５ａと下温調プレート１５ｂがともに温度１２０℃となるまで加熱した後、上温調プレート１５ａを下降させて、フィルム２のプレスを開始した。プレスは、金型表面３ａで、押圧力５ＭＰａ、押圧時間３０秒で実施した。その後、プレスを継続したまま、上温調プレート１５ａおよび下温調プレート１５ｂをともに冷却した。各温調プレートが温度７０℃になったときに冷却を停止した。各温調プレートの冷却が完了した後、プレスを開放した。上温調プレート１５ａを上限まで上昇させ、その後、フィルム剥離装置２０Ａを作動させた。

フィルム搬送方向の下流側のフィルム固定部６５を開放した後、補助ロール２２を主ロール２１の上側まで移動させて、フィルム２を双方のロールにＳ字状に巻き付かせた（図３（ｃ）に示す状態）。主ロール２１を周速が２０ｍ／分となるように正回転させながらフィルム把持装置移動駆動手段２９のサーボモーターを作動させた。主ロール２１の正回転とともに、主ロール２１が上流側に移動しつつ、フィルム２を金型表面３ａから剥離した。

金型表面３ａに位置していたフィルム２の全てが金型表面３ａから剥離された後、上流側のフィルム固定部５４を開放し、かつ、主ロール２１と補助ロール２２を含むフィルム把持装置２０がフィルム２の搬送方向に移動しないようにブレーキをかけた状態とした。その後、主ロール２１を周速２０ｍ／分で正回転させ、長さ８５０ｍｍの間欠送り長さ分のフィルム２を、主ロール２１と補助ロール２２を通過させ、金型３の上方の空間に、送り込んだ。これにより、フィルムの製造装置１への間欠送り長さ分のフィルム２の供給を行った（図３（ｆ）に示す状態）。このとき、金型３の上方の空間に送り込んだフィルム２が弛んで金型表面３ａに接触しないように、下流側の搬送駆動ロール６４により、フィルム２に一定の張力を付与した。

次に、主ロール２１を、周速２０ｍ／分で逆回転させながら、当該周速と同じ速度でフィルム把持装置２０を移動させるため、フィルム把持装置移動駆動手段２９のサーボモーターを作動させた。これにより、主ロール２１と補助ロール２２を含むフィルム把持装置２０が、下流側へ移動した（図３（ｇ）に示す状態）。この移動により、先に金型３の上方の空間に送り込んだフィルム２が、金型表面３ａに供給され、かつ、このフィルム２の供給とともに移動する主ロール２１により、供給されるフィルム２におけるしわの発生が防止された。この間に、フィルム２が弛んで金型表面３ａに接触しないように、下流側の搬送駆動ロール６４により、フィルム２に一定の張力を付与しておいた。その後、補助ロール公転駆動手段２４を作動せしめて、補助ロール２２を待機位置２２Ｐに戻した（図３（ｈ）から図３（ａ）に至る状態）。

上記の動作を１０回繰り返し、１０枚の成形フィルムを作成した。なお、フィルムの間欠送り長さと成形フィルムの長さとは、必ずしも一致している必要はなく、それぞれの端部の間にパターンが成形されていない部分があっても良く、あるいは、それぞれ端部においてパターンの成形が重複してなされている部分があっても良い。これらの部分は、所望とする長さの１枚の成形フィルムを最終的に製品化するときに、適宜、切断除去される。

得られた成形フィルムのパターン成形面を目視で評価した結果、剥離跡が全く見られず、かつ、成形しわ、搬送しわ、うねりのない全面均一な成形面が得られていることが確認された。フィルム（処理済みフィルム）２の金型表面３ａからの剥離動作の開始から新しいフィルム（被処理フィルム）２の供給が完了するまでの時間は、２０秒であった。

微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造に、図４に示すフィルムの製造装置４０１を用いた。

（１）使用した金型３：実施例１のそれと同じ。

（２）使用したフィルム押圧装置１０：実施例１のそれと同じ。

（３）使用したフィルム把持装置２０：
主ロール２１と補助ロール２２の組み合わせからなる。主ロール２１の外径は、１５０ｍｍ。その最外層は、ゴム硬度が６０（ＪＩＳ Ｋ６２５３）、表面の中心線平均粗さが０．５μｍ（ＪＩＳ Ｂ０６０１）のシリコーンゴム。主ロール回転駆動手段２３は、サーボモーター。補助ロール２２の外径は、５０ｍｍ。その最外層は、フッ素樹脂。主ロール２１と金型表面３ａとの距離（クリアランスＨ）は、１０ｍｍ。主ロール２１と補助ロール２２を含むフィルム把持装置２０を金型表面３ａに沿って往復移動させるフィルム把持装置移動駆動手段２９は、サーボモーターからなる。

（４）使用したしわ発生防止装置４２０Ｂ：
しわ伸ばしロール４２１の外径は、５０ｍｍ。その最外層は、シリコーンスポンジ。しわ伸ばしロール４２１と金型表面３ａとの距離（クリアランスＨ）は、ほぼ０ｍｍ。すなわち、しわ伸ばしロール４２１は、フィルム２の表面２ｂに接触している状態とした。

（５）使用したフィルム２：実施例１のそれと同じ。

（６）フィルムの製造装置４０１において使用した主要な装置要素の動作方法：
予め、フィルム２を、フィルム取出装置５０からフィルム引取装置６０まで、フィルム押圧装置１０を経由して、フイルム搬送路２Ａに沿って、通した。次に、上温調プレート１５ａと下温調プレート１５ｂがともに温度１２０℃となるまで加熱した後、上温調プレート１５ａを下降させて、フィルム２のプレスを開始した。プレスは、金型表面３ａで、押圧力５ＭＰａ、押圧時間３０秒で実施した。その後、プレスを継続したまま、上温調プレート１５ａおよび下温調プレート１５ｂをともに冷却した。各温調プレートが温度７０℃になったときに冷却を停止した。各温調プレートの冷却が完了した後、プレスを開放した。上温調プレート１５ａを上限まで上昇させ、その後、フィルム剥離装置２０Ａを作動させた。

フィルム搬送方向の下流側のフィルム固定部６５を開放した後、補助ロール２２を主ロール２１の上側まで移動させて、フィルム２を双方のロールにＳ字状に巻き付かせた（図５（ｃ）に示す状態）。主ロール２１を周速が２０ｍ／分となるように正回転させながらフィルム把持装置移動駆動手段２９のサーボモーターを作動させた。主ロール２１の正回転とともに、主ロール２１が上流側に移動しつつ、フィルム２を金型表面３ａから剥離した。

金型表面３ａに位置していたフィルム２の全てが金型表面３ａから剥離された後、上流側のフィルム固定部５４を開放し、かつ、主ロール２１と補助ロール２２を含むフィルム把持装置２０がフィルム２の搬送方向に移動しないようにブレーキをかけた状態とした。その後、主ロール２１を周速２０ｍ／分で正回転させ、長さ８５０ｍｍの間欠送り長さ分のフィルム２を、主ロール２１と補助ロール２２を通過させ、金型３の上方の空間に、送り込んだ。これにより、フィルムの製造装置４０１への間欠送り長さ分のフィルム２の供給を行った（図５（ｆ）に示す状態）。このとき、金型３の上方の空間に送り込んだフィルム２が弛んで金型表面３ａに接触しないように、下流側の搬送駆動ロール６４により、フィルム２に一定の張力を付与した。

次に、主ロール２１を、周速２０ｍ／分で逆回転させながら、当該周速と同じ速度でフィルム把持装置２０を移動させるため、フィルム把持装置移動駆動手段２９のサーボモーターを作動させた。これにより、主ロール２１と補助ロール２２を含むフィルム把持装置２０が、下流側へ移動した（図５（ｇ）に示す状態）。この移動により、先に金型３の上方の空間に送り込んだフィルム２が、金型表面３ａに供給される。一方、このフィルム把持装置２０の移動とともに移動するしわ伸ばしロール４２１より、金型表面３ａに供給されるフィルム２におけるしわの発生が防止された。この間に、フィルム２が弛んで金型表面３ａに接触しないように、下流側の搬送駆動ロール６４により、フィルム２に一定の張力を付与しておいた。その後、補助ロール公転駆動手段２４を作動せしめて、補助ロール２２を待機位置２２Ｐに戻した（図５（ｈ）から図５（ａ）に至る状態）。

上記の動作を１０回繰り返し、１０枚の成形フィルムを作成した。得られた成形フィルムの成形面を目視で評価した結果、剥離跡が全く見られず、かつ、成形しわ、搬送しわ、うねりのない全面均一な成形面が得られていることが確認された。フィルム（処理済みフィルム）２の金型表面３ａからの剥離動作の開始から新しいフィルム（被処理フィルム）２の供給を完了するまでの時間は、２０秒であった。

微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造に、図４に示すフィルムの製造装置４０１を用いた。

（１）使用した金型３：実施例１のそれと同じ。

（２）使用した押圧装置１０：実施例１のそれと同じ。

（３）使用したフィルム把持装置２０：実施例２のそれと同じ。

（４）使用したしわ発生防止装置４２０Ｂ：実施例２のそれと同じ。

（５）使用したフィルム２：実施例１のそれと同じ。

（６）フィルムの製造装置４０１において使用した主要な装置要素の動作方法：
予め、フィルム２を、フィルム取出装置５０からフィルム引取装置６０まで、フィルム押圧装置１０を経由して、フィルム搬送路２Ａに沿って、通した。次に、上温調プレート１５ａと下温調プレート１５ｂがともに温度１２０℃となるまで加熱した後、上温調プレート１５ａを下降させて、フィルム２のプレスを開始した。プレスは、金型表面３ａで、押圧力５ＭＰａ、押圧時間３０秒で実施した。その後、プレスを継続したまま、上温調プレート１５ａおよび下温調プレート１５ｂをともに冷却した。各温調プレートが温度７０℃になったときに冷却を停止した。各温調プレートの冷却が完了した後、プレスを開放した。上温調プレート１５ａを上限まで上昇させ、その後、フィルム剥離装置２０Ａを作動させた。

フィルムの搬送方向の下流側のフィルム固定部６５を開放した後、補助ロール２２を主ロール２１の上側まで移動させて、フィルム２を双方のロールにＳ字状に巻き付かせた（図６（ｃ）に示す状態）。主ロール２１を周速が２０ｍ／分となるように正回転させながらフィルム把持装置移動駆動手段２９のサーボモーターを作動させた。主ロール２１の正回転とともに、主ロール２１が上流側に移動しつつ、フィルム２を金型表面３ａから剥離した（図６（ｄ）から図６（ｅ）に至る状態）。

金型表面３ａに位置していたフィルム２の全てが金型表面３ａから剥離された後、上流側のフィルム固定部５４を開放し、かつ、主ロール回転駆動手段２３により、主ロール２１の回転を阻止した状態で、フィルム把持装置移動駆動手段２９を作動させ、フィルム把持装置２０を速度２０ｍ／分で、下流側へと移動させた。この間に、フィルム把持装置２０の移動とともに移動するしわ伸ばしロール４２１により、金型表面３ａに供給されるフィルム２におけるしわの発生が防止された（図６（ｆ）に示す状態）。このとき、フィルム２が弛んで金型表面３ａに接触しないように、下流側の搬送駆動ロール６４により、フィルム２に一定の張力を付与しておいた。その後、補助ロール公転駆動手段２４を作動せしめて、補助ロール２２を待機位置２２Ｐに戻した（図６（ｇ）から図６（ａ）に至る状態）。

上記の動作を１０回繰り返し、１０枚の成形フィルムを作成した。得られた成形フィルムの成形面を目視で評価した結果、剥離跡が全く見られず、かつ、成形しわ、搬送しわ、うねりのない全面均一な成形面が得られていることが確認された。フィルム（処理済みフィルム）２の金型表面３ａからの剥離動作の開始から新しいフィルム（被処理フイルム）２の供給を完了するまでの時間は、１５秒であった。

微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造に、図７に示すフィルムの製造装置７０１を用いた。

（１）使用した金型３：実施例１のそれと同じ。

（２）使用した押圧装置１０：実施例１のそれと同じ。

（３）使用したフィルム把持装置２０：
主ロール２１と補助ロール２２の組み合わせからなる。主ロール２１の外径は、１５０ｍｍ。その最外層は、ゴム硬度が６０（ＪＩＳ Ｋ６２５３）、表面の中心線平均粗さが０．５μｍ（ＪＩＳ Ｂ０６０１）のシリコーンゴム。主ロール２１は、一対の主ロール支持アーム２１Ａａ、２１Ａｂに回転自在に取り付けられている。補助ロール２２の外径は、５０ｍｍ。その最外層は、フッ素樹脂。補助ロール２２は、一対の補助ロール公転支持アーム２２Ａａ、２２Ａｂに回転自在に取り付けられている。主ロール２１と金型表面３ａとの距離（クリアランスＨ）は、１０ｍｍ。主ロール２１と補助ロール２２を含むフィルム把持装置２０を金型表面３ａに沿って往復移動させるフィルム把持装置移動駆動手段２９は、サーボモーターからなる。

（４）使用したしわ発生防止装置４２０Ｂ：
しわ伸ばしロール４２１の外径は、５０ｍｍ。その最外層は、シリコーンスポンジ。しわ伸ばしロール４２１は、一対のしわ伸ばしロール支持アーム２２Ｄａ、２２Ｄｂに回転自在に取り付けられている。しわ伸ばしロール４２１と金型表面３ａとの距離（クリアランスＨ）は、ほぼ０ｍｍ。すなわち、しわ伸ばしロール４２１は、フィルム２の表面２ｂに接触している状態とした。

（５）使用したフィルム張力調整手段７０：
フィルム張力調整手段７０は、フィルム把持装置２０と搬送駆動ロール６４との間のフィルム搬送路２Ａに設けられている。搬送駆動ロール６４に対して、フィルム２を挟んで、ニップロール６４ａが設けられていても良い。図７において、フィルム張力調整手段７０は、ガイドロール７１と、搬送駆動ロール６４と、ガイドロール７１から搬送駆動ロール６４に至るフィルム２の表面に接する張力検知用ロール７２と、この張力検知用ロール７２に係合した張力検知手段（張力計）７３からなる。フィルム２が剥離されている間、張力計７３で検知される張力値が一定になるように、搬送駆動ロール６４の駆動が制御される。この張力計７３は、回転自在に支持されている張力検知用ロール７２の両端の軸受の支持部に設けられたロードセルにより、フィルム２に作用している張力を検知する。

（６）使用したフィルム２：実施例１のそれと同じ。

（７）フィルムの製造装置７０１において使用した主要な装置要素の動作方法：
予め、フィルム２を、フィルム取出装置５０からフィルム引取装置６０まで、フィルム押圧装置１０を経由して、フィルム搬送路２Ａに沿って、通した。次に、上温調プレート１５ａと下温調プレート１５ｂがともに温度１２０℃となるまで加熱した後、上温調プレート１５ａを下降させて、フィルム２のプレスを開始した。プレスは、金型表面３ａで、押圧力５ＭＰａ、押圧時間３０秒で実施した。その後、プレスを継続したまま、上温調プレート１５ａおよび下温調プレート１５ｂをともに冷却した。各温調プレートが温度７０℃になったときに冷却を停止した。各温調プレートの冷却が完了した後、プレスを開放した。上温調プレート１５ａを上限まで上昇させ、その後、フィルム離型装置２０Ａを作動させた。

フィルムの搬送方向の下流側のフィルム固定部６５を開放した後、補助ロール２２を主ロール２１の上側まで移動させて、フィルム２双方のロールにＳ字状に巻き付かせ（図９（ｃ）に示す状態）。主ロール２１を周速が２０ｍ／分となる状態で、上流側に移動させて、フィルム２を金型表面３ａから剥離した。

金型表面３ａに位置していたフィルム２の全てが金型表面３ａから剥離された後、上流側のフィルム固定部５４を開放し、かつ、主ロール２１と補助ロール２２を含むフイルム把持装置２０がフィルム２の搬送方向に移動しないようにブレーキをかけた状態とした。その後、搬送駆動ロール６４により、２０ｍ／分の速度で、間欠送り分の長さとして、長さ１０００ｍｍのフィルム２を、引き取った（図９（ｆ）に示す状態）。

次に、フィルム把持装置移動駆動手段２９のサーボモーターを作動させて、フィルム把持装置２０を、２０ｍ／分の速度で、下流側へ移動させた。この間に、しわ伸ばしロール４２１が供給されるフィルム２の表面に沿って移動し、金型表面３ａに供給されるフィルム２におけるしわの発生が防止される（図９（ｇ）に示す状態）。このとき、フィルム張力調整手段７０の作動により、フィルム２の全幅に均等に９．８Ｎの張力が付与されるようにした。その後、補助ロール公転駆動手段２４を作動せしめて、補助ロール２２を待機位置２２Ｐに戻した（図９（ｈ）から図９（ａ）に至る状態）。

上記の動作を１０回繰り返し、１０枚の成形フィルムを作成した。得られた成形フィルムの成形面を目視で評価した結果、剥離跡が全く見られず、かつ、成形しわ、搬送しわ、うねりのない全面均一な成形面が得られていることが確認された。フィルム（処理済みフィルム）２の金型表面３ａからの離型動作の開始から新しいフィルム（被処理フイルム）２の供給を完了するまでの時間は、２０秒であった。

比較例１

微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造に、図１に示すフィルムの製造装置１において、フィルム剥離装置２０Ａを撤去したフィルムの製造装置を用いた。

（１）使用した金型３：実施例１のそれと同じ。

（２）使用したフィルム押圧装置１０：実施例１のそれと同じ。

（３）使用した金型表面３ａからのフィルム２の剥離手法：
搬送駆動ロール６４によりフィルム２を金型表面３ａから下流側に送り出すことにより、金型表面３ａからのフィルム２の剥離を行った。また、このフィルムの送り出しに応じて、新たなフィルム２が金型表面３ａに供給された。これらフィルムの剥離方法および新たなフィルムの供給方法に関係する装置要素および製造条件以外の装置要素および製造条件は、実施例１の場合と同じとした。

金型表面３ａからのフィルム２の剥離および金型表面３ａへのフィルム２の供給は、搬送駆動ロール６４によるフィルム２に作用する張力で行われた。この操作を１０回繰り返し、１０枚の成形フィルムを作成した。

得られた成形フィルムのパターン成形面を目視で評価した結果、１０枚の内２枚については、金型表面３ａからの剥離時に生じたフィルム破れが認められた。残りの８枚については、フィルムの幅方向を向く線状の多数の剥離跡が認められた。フィルム破れがなかったフィルムには、成形しわ、搬送しわ、うねりが多数認められた。フィルムの剥離動作の開始から新しいフィルムの供給を完了するまでの時間は、３５秒であった。この時間が３５秒未満となるように剥離動作を実施するため、フィルムに作用する張力を大きくすると、剥離時のフィルム破れが多発することが判明した。

本発明の表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造方法および製造装置は、光学媒体あるいは光学製品の形成材料として用いられる表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造に用いられる。

Claims (10)

1. （１−ａ）上流側に位置する長尺のフィルムの供給源から取り出された被処理フィルムを、微細な凹凸パターンを有する金型表面に所定の長さ分間欠的に供給するフィルム供給工程、
   （１−ｂ）前記フィルム供給工程において前記金型表面に供給された前記被処理フィルムを、前記金型表面に押圧することにより、前記金型表面の前記パターンを前記被処理フィルムの表面に転写し、前記被処理フィルムの表面に微細な凹凸パターンを成形するパターン成形工程、
   （１−ｃ）前記パターン成形工程において表面に前記パターンが成形された処理済みフィルムを、前記金型表面から剥離するフィルム剥離工程、および、
   （１−ｄ）前記フィルム剥離工程において前記金型表面から剥離された前記処理済みフィルムを、下流側に位置する長尺のフイルムの収容源へと送給するフィルム送出工程、
   からなり、前記パターン成形工程において成形された処理済みフィルムが、前記フィルム剥離工程において前記金型表面から剥離され、その後、次に処理されるフィルムが、前記フィルム供給工程において所定の長さ分間欠的に前記金型表面に供給されることに対応して、前記処理済みフィルムが、前記フィルム送出工程において前記フィルムの収容源へと送給されることにより、前記処理済みフィルムが所定の長さ分順次繰り返されて製造される表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造方法であって、
   （１−ｅ）前記フィルム剥離工程における前記処理済みフィルムの剥離が、前記処理済みフィルムを把持したフィルム把持手段の前記処理済みフィルムの長手方向の下流側から上流側への移動により行われ、かつ、
   （１−ｆ）前記フィルム供給工程における前記被処理フィルムの供給が、前記金型表面に供給される前記被処理フィルムにおけるしわ発生を防止するしわ発生防止手段の前記被処理フィルムの長手方向の上流側から下流側への移動とともに行われる表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造方法。
2. （２−ａ）前記フィルム把持手段が、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触する主ロールと前記フィルムの前記パターンが成形される面に接触する補助ロールの組み合わせからなり、該組み合わせにおいて、前記主ロールと前記補助ロールのそれぞれのロール軸は、前記フィルムの幅方向を向き、前記主ロールと前記補助ロールは、前記フィルムが通過可能な間隔をもって、互いに平行に位置し、かつ、前記主ロールと前記補助ロールのそれぞれは、回転可能なロールであり、
   （２−ｂ）前記処理済みフィルムが前記主ロールと前記補助ロールにＳ字状に懸架されることにより、前記主ロールと前記補助ロールによる前記処理済みフイルムの把持状態が形成され、該把持状態が形成された後、前記フィルム把持手段が、前記金型表面に沿って前記下流側から前記上流側へ移動することにより、前記処理済みフィルムが、前記金型表面から剥離され、
   （２−ｃ）前記フィルム把持手段が、前記上流側へ移動した位置で停止している間に、前記主ロールと前記補助ロールが回転することにより、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が、前記主ロールと前記補助ロールを経て前記下流側へと行われ、当該新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が完了した後、
   （２−ｄ）前記しわ発生防止手段として、前記主ロールが用いられ、
   （２−ｅ）前記フィルム把持手段が、前記金型表面に沿って前記上流側から前記下流側へ移動する間に、前記主ロールが回転しながら移動することにより、前記被処理フィルムのしわ発生を防止しながら、前記金型表面に前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われる請求項１に記載のフィルムの製造方法。
3. （３−ａ）前記フィルム把持手段が、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触する主ロールと前記フィルムの前記パターンが成形される面に接触する補助ロールの組み合わせからなり、該組み合わせにおいて、前記主ロールと前記補助ロールのそれぞれのロール軸は、前記フィルムの幅方向を向き、前記主ロールと前記補助ロールは、前記フィルムが通過可能な間隔をもって、互いに平行に位置し、かつ、前記主ロールと前記補助ロールのそれぞれは、回転可能なロールであり、
   （３−ｂ）前記処理済みフィルムが前記主ロールと前記補助ロールにＳ字状に懸架されることにより、前記主ロールと前記補助ロールによる前記処理済みフィルムの把持状態が形成され、該把持状態が形成された後、前記フィルム把持手段が、前記金型表面に沿って前記下流側から前記上流側へ移動することにより、前記処理済みフィルムが、前記金型表面から剥離され、
   （３−ｃ）前記フィルム把持手段が、前記上流側へ移動した位置で停止している間に、前記主ロールと前記補助ロールが回転することにより、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が、前記主ロールと前記補助ロールを経て前記下流側へと行われ、当該新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が完了した後、
   （３−ｄ）前記しわ発生防止手段として、前記主ロールの前記上流側において、前記主ロールに対し間隔をおいて平行に位置し、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触する回転可能なしわ伸ばしロールが用いられ、
   （３−ｅ）前記フィルム把持手段が、前記金型表面に沿って前記上流側から前記下流側へ移動する間に、前記しわ伸ばしロールが、前記フィルム把持手段の移動に追従して回転しながら移動することにより、前記被処理フィルムのしわ発生を防止しながら、前記金型表面に前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われる請求項１に記載のフィルムの製造方法。
4. （５−ａ）表面に微細な凹凸パターンを有する金型と、
   （５−ｂ）上流側に位置する長尺のフィルムの供給源から被処理フィルムを取り出すフィルム取出装置と、
   （５−ｃ）前記被処理フィルムを前記金型の表面に押圧するフィルム押圧装置と、
   （５−ｄ）前記フィルム取出装置により取り出され、かつ、前記金型の表面に間欠的に供給された被処理フィルムが前記フィルム押圧装置により前記金型の表面に押圧されることにより、前記被処理フィルムの表面に前記金型の表面の前記微細な凹凸パターンが転写されて成形された微細な凹凸パターンを有する処理済みフィルムを、前記金型の表面から剥離するフィルム剥離装置と、
   （５−ｅ）該フィルム剥離装置により前記金型の表面から剥離され、下流側に送り出された前記処理済みフィルムを、下流側に位置する前記長尺のフィルムの収容源へと引き取るフィルム引取装置、
   からなり、前記フィルム押圧装置により処理された処理済みフィルムを、前記フィルム剥離装置により前記金型表面から剥離し、前記フィルム取出装置により取り出された被処理フィルムを、前記フィルム剥離装置により前記金型表面に所定の長さ供給することに対応して、前記フィルム引取装置に前記処理済みフィルムを送り出すことにより、前記所定の長さの処理済みフィルムが順次繰り返されて製造される表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造装置であって、
   （５−ｆ）前記フィルム剥離装置が、前記処理済みフィルムを把持した状態で、前記処理済みフィルムの長手方向に沿って、下流側から上流側へと移動するフィルム把持装置を含み、かつ、
   （５−ｇ）前記フィルム把持装置が、前記金型の表面に供給される前記被処理フィルムにおけるしわ発生を防止するしわ発生防止装置を含み、前記被処理フィルムの供給が、該しわ発生防止装置の前記被処理フィルムの長手方向の上流側から下流側への移動とともに行われる表面に微細な凹凸パターンを有するフィルムの製造装置。
5. （６−ａ）前記フィルム把持装置が、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触可能な主ロールと前記フィルムの前記パターンが成形される面に接触可能な補助ロールの組み合わせからなり、
   （６−ｂ）前記主ロールのロール軸と前記補助ロールのロール軸は、それぞれ前記フィルムの幅方向を向き、前記主ロールと前記補助ロールは、前記フィルムが通過可能な間隔をおいて平行に位置し、
   （６−ｃ）前記主ロールは、主ロール支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、
   （６−ｄ）前記補助ロールは、補助ロール公転支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、さらに、前記補助ロール公転支持アームは、補助ロール公転駆動軸を介して補助ロール支持アームに公転可能に支持され、
   （６−ｅ）前記主ロール支持アームと前記補助ロール支持アームは、台座に固定され、
   （６−ｆ）該台座は、前記フィルムの長手方向に沿って設けられた台座移動ガイドに、前記フィルムの長手方向に移動可能に、支持され、かつ、
   （６−ｇ）前記フィルム把持装置に対し、該フィルム把持装置を前記台座移動ガイドに沿って移動させるフィルム把持装置移動手段が装備され、
   （６−ｈ）前記フィルム把持装置において、前記処理済みフィルムが、前記主ロールと前記補助ロールに、Ｓ字状に懸架されることにより、前記主ロールと前記補助ロールによる前記処理済みフィルムの把持状態が形成された状態で、前記フィルム把持装置が、前記フィルム把持装置移動手段により、下流側から上流側へ移動せしめられることにより、前記処理済みフィルムの前記金型の表面からの剥離が行われ、
   （６−ｉ）前記フィルム把持装置が、前記上流側に移動した位置で停止している間に、前記主ロールと前記補助ロールの回転により、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が、前記主ロールと前記補助ロールを経て前記下流側へと行われ、
   （６−ｊ）前記しわ発生防止装置として、前記主ロールが用いられ、
   （６−ｋ）前記フィルム把持装置が、前記フィルム把持装置移動手段により、前記金型の表面に沿って、前記上流側から下流側へ移動せしめられる間に、前記主ロールが回転しながら移動することにより、前記主ロールと前記補助ロールを経て前記下流側へと既に供給されている前記被処理フィルムにおけるしわ発生を防止しながら、前記金型の表面に、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われる請求項４に記載のフィルムの製造装置。
6. 前記フィルム把持装置移動手段が、前記主ロールと該主ロールを積極的に回転駆動する主ロール回転駆動手段との組み合わせ、および、前記台座と前記台座移動ガイドに沿って前記台座を積極的に移動せしめる台座駆動手段との組み合わせのいずれか一方、あるいは、これらの双方からなる請求項５に記載のフィルムの製造装置。
7. （８−ａ）前記フィルム把持装置が、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触可能な主ロールと前記フィルムの前記パターンが成形される面に接触可能な補助ロールの組み合わせからなり、
   （８−ｂ）前記主ロールのロール軸と前記補助ロールのロール軸は、それぞれ前記フィルムの幅方向を向き、前記主ロールと前記補助ロールは、前記フィルムが通過可能な間隔をおいて平行に位置し、
   （８−ｃ）前記主ロールは、主ロール支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、
   （８−ｄ）前記補助ロールは、補助ロール公転支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、さらに、前記補助ロール公転支持アームは、補助ロール公転駆動軸を介して補助ロール支持アームに公転可能に支持され、
   （８−ｅ）前記主ロール支持アームと前記補助ロール支持アームは、台座に固定され、
   （８−ｆ）該台座は、前記フィルムの長手方向に沿って設けられた台座移動ガイドに、前記フィルムの長手方向に移動可能に、支持され、かつ、
   （８−ｇ）前記フィルム把持装置に対し、該フィルム把持装置を前記台座移動ガイドに沿って移動させるフィルム把持装置移動手段が装備され、
   （８−ｈ）前記フィルム把持装置において、前記処理済みフィルムが、前記主ロールと前記補助ロールに、Ｓ字状に懸架されることにより、前記主ロールと前記補助ロールによる前記処理済みフィルムの把持状態が形成された状態で、前記フィルム把持装置が、前記フィルム把持装置移動手段により、下流側から上流側へ移動せしめられることにより、前記処理済みフィルムの前記金型の表面からの剥離が行われ、
   （８−ｉ）前記フィルム把持装置が、前記上流側に移動した位置で停止している間に、前記主ロールと前記補助ロールの回転により、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が、前記主ロールと前記補助ロールを経て前記下流側へと行われ、
   （８−ｊ）前記しわ発生防止装置として、前記主ロールの前記上流側において、前記主ロールに対し間隔をおいて平行に位置し、前記フィルムの前記パターンが成形される面とは反対側の面に接触するしわ伸ばしロールが用いられ、
   （８−ｋ）該しわ伸ばしロールは、しわ伸ばしロール支持アームに、そのロール軸を中心として回転可能に支持され、該しわ伸ばしロール支持アームは、前記台座に固定され、
   （８−ｌ）前記フィルム把持装置が、前記フィルム把持装置移動手段により、前記金型の表面に沿って、前記上流側から下流側へ移動せしめられる間に、前記しわ伸ばしロールが、前記フィルム把持装置の移動に追従して、回転しながら移動することにより、前記主ロールと前記補助ロールを経て前記下流側へと既に供給されている前記被処理フィルムにおけるしわ発生を防止しながら、前記金型の表面に、前記新たな所定の長さの被処理フィルムの供給が行われる請求項４に記載のフィルムの製造装置。
8. 前記フィルム把持装置移動手段が、前記主ロールと該主ロールを積極的に回転駆動する主ロール回転駆動手段との組み合わせ、および、前記台座と前記台座移動ガイドに沿って前記台座を積極的に移動せしめる台座駆動手段との組み合わせのいずれか一方、あるいは、これらの双方からなる請求項７に記載のフィルムの製造装置。
9. 前記主ロールの外表面が、シリコーン系樹脂またはフッ素系樹脂を主成分とする発泡スポンジから形成されている請求項５または７のいずれかに記載のフィルムの製造装置。
10. 前記しわ伸ばしロールの外表面が、シリコーン系樹脂またはフッ素系樹脂を主成分とする発泡スポンジから形成されている請求項７に記載のフィルムの製造装置。
    

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