JP5473873B2 - 能動型液封入式防振装置 - Google Patents

Description

本発明は、能動型液封入式防振装置に関し、特に、軸方向一方および軸方向他方の両方向への駆動軸の変位を規制できる能動型液封入式防振装置に関するものである。

防振すべき振動の周波数に対応した周期の加振力を、アクチュエータの駆動力を利用して発生させ、振動を積極的に低減させる能動型液封入式防振装置が知られている。例えば、特許文献１には、電磁式アクチュエータ６８の駆動力を利用して、加振板１１２を受圧室４２，４８内で加振する能動型液封入式防振装置が開示されている。

この特許文献１に開示される能動型液封入式防振装置は、エンジン側に取り付けられる第１の取付金具１２と、車体側に取り付けられる第２の取付金具１４とが本体ゴム弾性体１６によって連結され、第２の取付金具１４に取り付けられたダイヤフラム２６と本体ゴム弾性体１６との間に液封入室が形成されると共に、この液封入室は、仕切金具４０によって受圧室４２，４８と平衡室４４とに仕切られている。加振板１１２は、仕切金具４０に形成された透孔１１０に嵌め入れられており、かかる加振板１１２が電磁式アクチュエータ６８により入力振動と逆位相で加振されることで、振動が低減される。

ところで、特許文献１に開示される能動型液封入式防振装置には、加振板１１２の変位を規制する手段が設けられていない。そのため、大振幅の振動が入力され、加振板１１２の変位が電磁式アクチュエータ６８の許容変位を越えた場合には、電磁式アクチュエータ６８の損傷を招く恐れがある。また、電磁式アクチュエータ６８が制御不能となり暴走した場合には、加振板１１２の変位が過大となり、ダイヤフラム２６等の損傷を招く恐れがある。

この変位規制に関し、特許文献２には、電磁加振器９０の駆動ロッド１６８（駆動軸）に弾性ストッパ１３４を当接させて変位を規制する技術が開示されている。即ち、電磁加振器９０の下方底部を蓋部材１３２で覆い、その蓋部材１３２の上面に弾性ストッパ１３４を重ね合わせることで、電磁加振器９０の駆動ロッド１６８が軸方向下方へ過大に変位された場合には、その軸方向下方への変位が弾性ストッパ１３４の当接により受け止められ、駆動ロッド１６８の変位が規制される。

特開２００５−２９１２７６号公報（図１、段落［００３５，００５３〜００５６］など） 特開２００７−２５２０１７号公報（図１、段落［００４６〜００４９］など）

しかしながら、上述した特許文献２の技術では、電磁加振器９０の下方底部に設けた弾性ストッパ１３４が駆動ロッド１６８（駆動軸）を受け止めることで、かかる駆動ロッド１６８の変位を規制する構造であるため、駆動ロッド１６８の変位を規制できる方向は、軸方向下方への変位に限られる。即ち、駆動ロッド１６８の軸方向上方への変位は規制できないという問題点があった。

本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、軸方向一方および軸方向他方の両方向への駆動軸の変位を規制できる能動型液封入式防振装置を提供することを目的としている。

課題を解決するための手段および発明の効果

請求項１記載の能動型液封入式防振装置によれば、アクチュエータの駆動力により駆動軸が軸方向へ駆動されると、ピストン部材が軸方向へ加振変位され、第１液室の液圧制御が行われる。

この場合、請求項１によれば、ピストン部材の外周面から径方向外方へ張り出すと共に第１液室に配設される第１張出部材と、ピストン部材の外周面から径方向外方へ張り出すと共に第２液室に配設され仕切り部材を挟んで第１張出部材と反対側に配設される第２張出部材とを備えるので、ピストン部材の軸方向一方への変位が所定量以上となった場合には、第１張出部材が仕切り部材に当接されると共に、ピストン部材の軸方向他方への変位が所定量以上となった場合には、第２張出部材が仕切り部材に当接されることで、ピストン部材の変位を規制することができる。即ち、駆動軸の変位を、軸方向一方および軸方向他方の両方向において、規制することができるという効果がある。

これにより、アクチュエータが制御不能となり暴走した場合、軸方向一方および軸方向他方のいずれの方向に対しても、駆動軸の変位を所定範囲内に規制することができるので、ダイヤフラム等の損傷を確実に防止することができる。同様に、大振幅の振動が入力された場合、軸方向一方および軸方向他方のいずれの方向に対しても、駆動軸の変位をアクチュエータの許容変位内に規制することができるので、アクチュエータの損傷を確実に防止することができる。

このように、請求項１は、第１張出部材および第２張出部材を、ピストン部材の外周面から張り出させると共に仕切り部材を挟む位置に配設することで、液封入室を仕切るための仕切り部材を利用して、ピストン部材（駆動軸）の変位を規制する構成である。即ち、既存の構成を利用することで、新たな部材の追加を抑制できるので、その分、製品コストの削減を図ることができる。

請求項２記載の能動型液封入式防振装置によれば、請求項１記載の能動型液封入式防振装置の奏する効果に加え、ピストン部材がゴム状弾性体からダイヤフラムと一体に形成されているので、これらピストン部材とダイヤフラムとを別部品とする場合と比較して、これら両部品をかしめ加工などにより連結する必要がない。また、一体であれば、これら両部品を同時に加硫成形することができる。よって、部品点数および製造工数を低減して、その分、製品コストの削減を図ることができるという効果がある。

更に、第１張出部材および第２張出部材がピストン部材と一体に形成されているので、加硫成形時にピストン部材と同時に第１張出部材および第２張出部材も形成することができる。また、第１張出部材および第２張出部材をピストン部材の外周面に接着等により固着する作業の必要もない。よって、部品点数および製造工数を低減して、製品コストの削減を図ることができるという効果がある。また、ピストン部材と第１張出部材および第２張出部材との間の固着を強固として、第１張出部材および第２張出部材による変位規制機能の信頼性を向上することができるという効果がある。

また、このように、ピストン部材に第１張出部材および第２張出部材が一体とされていれば、仕切り部材へピストン部材を組み付ける作業は、ピストン部材を第１張出部材側から仕切り部材の挿通孔へ挿入し、第１張出部材を挿通孔の反対側へ飛び出させれば、組み付け作業を完了させることができる。よって、ピストン部材を挿通孔内に配置させつつ別体の第１張出部材をピストン部材に装着するなどの作業が不要なので、その分、組み付け作業における作業工数の低減を図ることができるという効果がある。

一方で、このように、仕切り部材の挿通孔へピストン部材を挿入して組み付ける場合に、挿通孔を第１張出部材が通過する必要のある構成であると、その分、挿通孔の内径を大きくする必要がある。そのため、ピストン部材の外周面と挿通孔の内周面との間の隙間が大きくなり、隙間から液圧が逃げやすくなるため、発生力の低下を招く。これに対し、請求項２では、周方向に連続すると共に第１張出部材に連接される凹部がピストン部材の外周面に凹設されるので、仕切り部材の挿通孔へピストン部材を挿入し、挿通孔の出口側まで第１張出部材を通過させる場合には、凹部により形成された空間内に第１張出部材を収納することができる。その結果、第１張出部材を挿通孔の出口側まで通過させる作業を容易として、組み付け作業の作業性の向上を図りつつ、ピストン部材の外周面と挿通孔の内周面との間の隙間を小さくすることで、ピストン部材の加振変位による発生力の向上を図ることができる。

請求項３記載の能動型液封入式防振装置によれば、請求項１記載の能動型液封入式防振装置の奏する効果に加え、ピストン部材が、外周面から径方向外方へ第１張出部材が張り出す第１液室側ピストンと、外周面から径方向外方へ第２張出部材が張り出す第２液室側ピストンと、第１液室側ピストンのねじ穴に挿通され駆動軸のねじ締結穴に螺合されることで第１液室側ピストンを第２液室側ピストンに締結固定する締結ねじとを備えるので、仕切り部材の挿通孔を挟んだ両側に第１液室側ピストンと第２液室側ピストンとをそれぞれ配設し、これら第１液室側ピストンと第２液室側ピストンとを締結ねじで締結固定することで、仕切り部材を挟んで第１張出部材と反対側に第２張出部材が配設された状態を得ることができる。

即ち、ピストン部材を第１張出部材側から仕切り部材の挿通孔へ挿入し、第１張出部材を挿通孔の反対側へ飛び出させることで、仕切り部材にピストン部材を組み付ける場合のように、挿通孔の内径を第１張出部材が通過可能な寸法とする必要がなく、かかる挿通孔の内径を第１液室側ピストン又は（及び）第２液室側ピストンの外径のみに基づいて設定することができるので、挿通孔の内径をより小さな寸法に設定することができる。よって、ピストン部材の外周面と挿通孔の内周面との間の隙間から液圧が逃げることを抑制できるので、ピストン部材の加振変位による発生力の向上を図り、その結果、第１液室の液圧制御を確実に行うことができるという効果がある。

また、第２液室側ピストンがダイヤフラムとゴム状弾性体から一体に形成されると共に、第２張出部材が第２液室側ピストンとゴム状弾性体から一体に形成されるので、加硫成形時には、これらダイヤフラム、第２液室側ピストン及び第２張出部材を同時に形成することができる。また、第２張出部材を第２液室側ピストンの外周面に接着等により固着する作業の必要もない。よって、部品点数および製造工数を低減して、製品コストの削減を図ることができるという効果がある。また、第２液室側ピストンと第２張出部材との間の固着を強固として、第２張出部材による変位規制機能の信頼性を向上することができるという効果がある。

請求項４記載の能動型液封入式防振装置によれば、請求項３記載の能動型液封入式防振装置の奏する効果に加え、第１液室側ピストン及び第１張出部材がゴム状弾性体から形成されるので、第１液室側ピストンが樹脂材料や金属材料から形成される場合と比較して、軽量化を図ることができるという効果がある。一方、加硫成形時には、これら第１液室側ピストン及び第１張出部材を同時に形成することができる。また、第１張出部材を第１液室側ピストンの外周面に接着等により固着する作業の必要もない。よって、部品点数および製造工数を低減して、製品コストの削減を図ることができるという効果がある。また、第１液室側ピストンと第１張出部材との間の固着を強固として、第１張出部材による変位規制機能の信頼性を向上することができるという効果がある。

この場合、第１液室側ピストンがゴム状弾性体から形成されると、加振変位時に受ける液圧により第１液室側ピストンが弾性変形して、力の伝達ロスが発生する。そのため、第１液室側ピストンの加振変位による発生力が低下して、第１液室の液圧制御が不十分となる。これに対し、請求項４では、金属材料から形成される締結ねじの頭部が、駆動軸よりも大径に形成されるので、加振変位時に受ける液圧を締結ねじの頭部に受け止めさせて、力の伝達ロスを低減することができる。これにより、発生力を確保して、第１液室の液圧制御を確実に行うことができるという効果がある。

本発明の第１実施の形態における能動型液封入式防振装置の断面図である。 図１の一部を拡大して図示した能動型液封入式防振装置の部分拡大断面図である。 （ａ）は、仕切り板の上面図であり、（ｂ）は、図３（ａ）のＩＩＩｂ−ＩＩＩｂ線における仕切り板の断面図である。 （ａ）は、ダイヤフラム及びピストン部材の上面図であり、（ｂ）は、図４（ａ）のＩＶｂ−ＩＶｂ線におけるダイヤフラム及びピストン部材の断面図である。 第２実施の形態における能動型液封入式防振装置の部分拡大断面図である。 第３実施の形態における能動型液封入式防振装置の断面図である。 図６の一部を拡大して図示した能動型液封入式防振装置の部分拡大断面図である。 （ａ）は、ダイヤフラム及び第２液室側ピストンの上面図であり、（ｂ）は、図８（ａ）のＶＩＩＩｂ−ＶＩＩＩｂ線におけるダイヤフラム及び第２液室側ピストンの断面図である。 （ａ）は、第１液室側ピストンの底面図であり、（ｂ）は、図９（ａ）のＩＸｂ−ＩＸｂ線における第１液室側ピストンの断面図である。 第４実施の形態における能動型液封入式防振装置の部分拡大断面図である。 第５実施の形態における能動型液封入式防振装置の断面図である。 （ａ）は、第１仕切り板の上面図であり、（ｂ）は、図１２（ａ）のＸＩＩｂ−ＸＩＩｂ線における第１仕切り板の断面図である。 （ａ）は、第２仕切り板の上面図であり、（ｂ）は、図１３（ａ）のＸＩＩＩｂ−ＸＩＩＩｂ線における第２仕切り板の断面図である。 （ａ）は、ダイヤフラム及びピストン部材の上面図であり、（ｂ）は、図１４（ａ）のＸＩＶｂ−ＸＩＶｂ線におけるダイヤフラム及びピストン部材の断面図である。 （ａ）は、逃げ凹部と張出部材との位相が一致した状態を示す模式図であり、（ｂ）は、図１５（ａ）の状態からピストン部材が９０度回転した状態を示す模式図である。

以下、本発明の好ましい実施の形態について、添付図面を参照して説明する。図１は、本発明の第１実施の形態における能動型液封入式防振装置１００の断面図であり、図２は、図１の一部を拡大して図示した能動型液封入式防振装置１００の部分拡大断面図である。また、図１及び図２では、エンジンを支持する前の状態（即ち、エンジンの重量が負荷される前の状態）を図示している。

この能動型液封入式防振装置１００は、自動車のエンジンを支持固定しつつ、そのエンジン振動を車体フレームへ伝達させないようにするための防振装置であり、図１及び図２に示すように、エンジン側に取り付けられる第１取付け金具１と、エンジン下方の車体フレーム側に取付けられる筒状の第２取付け金具２と、これらを連結すると共にゴム状弾性体から構成される防振基体３と、第２取付け金具２に取付けられて防振基体３との間に液封入室８を形成すると共にゴム状弾性体から構成されるダイヤフラム７と、そのダイヤフラム７に連結され金属材料から形成される駆動軸２３を有すると共にダイヤフラム７を挟んで液封入室８と反対側に配設されるアクチュエータ２０と、そのアクチュエータ２０の駆動軸２３により軸方向へ加振変位されるピストン部材９と、そのピストン部材９が挿通される挿通孔１５を有する仕切り板１１とを備えている。

第１取付け金具１は、アルミニウム合金などの金属材料から略円柱状に形成され、その上端面には、内周面にめねじが螺刻されためねじ部１ａが凹設されている。また、第１取付け部１の外周部には、径方向外方へ略フランジ状に張り出す張出部１ｂが形成されており、この張出部１ｂがストッパ金具６と当接することで、大変位時のストッパ作用が得られるように構成されている。

第２取付け金具２は、防振基体３が加硫成形される筒状金具４と、その筒状金具４の下方にかしめ加工により固着される底金具５とを備えている。筒状金具４は上広がりの開口を有する筒状に、底金具５は底部を有するカップ状に、それぞれ鉄鋼材料などから形成されている。なお、筒状金具４の開口周縁には、第１取付け金具１における張出部１ｂの外周側および上面側を囲うストッパ金具６がかしめ加工により固着されている。また、底金具５の底部には、取付けボルト５ａが突設されている。

防振基体３は、ゴム状弾性体から円錐台形状に形成され、第１取付け金具１の下面側と筒状金具４の上端開口部との間に加硫接着されている。また、防振基体３の下端部には、筒状金具４の内周面を覆うゴム膜３ａが連なっており、このゴム膜３ａには、仕切り板１１の外周縁が密着されることで、仕切り板１１とゴム膜３ａとの間にオリフィス１３が形成される。

ダイヤフラム７は、ゴム状弾性体から蛇腹状に屈曲したゴム膜として形成され上面視円環状の取付け板１０に加硫接着されている。このダイヤフラム７は、取付け板１０が、筒状金具４の下方に底金具５がかしめ加工により固着されるかしめ部に、狭持固定されることで、第２取付け金具２に取着される。その結果、このダイヤフラム７の上面側と防振基体３の下面側との間に液封入室８が形成される。なお、液封入室８には、エチレングリコールなどの不凍性の液体（図示せず）が封入される。

ピストン部材９は、ゴム状弾性体から円柱状に形成される部材であり、ダイヤフラム７と一体に形成される。ピストン部材９の外周面からは、第１張出部材４１及び第２張出部材４２が径方向外方へ向けて張り出し形成されている。また、ピストン部材９の内部には、軸状の埋設部材１２が加硫接着されている。これらピストン部材９と埋設部材１２とは、第２取付け金具２の軸心Ｏに沿って（本実施の形態では同軸に）縦姿勢に配設されている。ピストン部材９は、駆動軸２３を介して、アクチュエータ２０の駆動力が伝達されることで、液封入室８内で軸心Ｏ方向に加振変位される。これにより、液封入室８の液圧制御が行われる。なお、埋設部材１２は、駆動軸２３の一部をなす部材であり、後述する可動子２２と共に駆動軸２３を構成する。

仕切り板１１は、樹脂材料から円板状に形成され、この仕切り板１１が防振基体３とダイヤフラム７との間に配設されることで、液封入室８が防振基体３側の第１液室８ａとダイヤフラム７側の第２液室８ｂとの２室に仕切られる。なお、仕切り板１１は、軸心Ｏ方向に沿って穿設された挿通孔１５を備える。挿通孔１５には、ピストン部材９が挿通され、ピストン部材９が第１液室８ａ及び第２液室８ｂを仕切る区画壁の一部を形成している。また、仕切り板１１は、ダイヤフラム７の取付け板１０と防振基体３の膜部３ａに形成された段部との間で挟圧保持される。

アクチュエータ２０は、鉄心可動形の電磁石式のリニアアクチュエータであり、ダイヤフラム７を挟んで液封入室８と反対側に配設され、底金具５により形成される収納空間に外部から密閉された状態で収納保持されている。

アクチュエータ２０は、第２取付け金具２に固定された固定子２１と、その固定子２１に対して往復動可能に支持されるとともにピストン部材９に連結されてこれを加振変位させる可動子２２とを備える。

可動子２２は、第２取付け金具２の軸心Ｏに沿って（本実施の形態では同軸に）縦姿勢に配設された軸状部材であり、その先端部が、ピストン部材９に埋設された埋設部材１２に同軸に連結され、これら可動子２２と埋設部材１２とが一体となってピストン部材９を軸心Ｏ方向に沿って上下に加振変位（往復動）させる。

可動子２２は、上述したように、埋設部材１２と共に駆動軸２３を構成する。即ち、駆動軸２３は、可動子２２と、埋設部材１２と、ボルトとを備えて構成される。具体的には、可動子２２は、軸心Ｏに沿って貫通孔を有する筒状に形成される一方、埋設部材１２は、基端側に開口し内周面にめねじが螺刻されためねじ部を備え、可動子２２の基端側から挿通されたボルトの先端を埋設部材１２のめねじ部に螺合することで、可動子２２と埋設部材１２とが一体に連結され、駆動軸２３が構成される。

可動子２２の外周面には、電磁鋼板等の磁性金属よりなる多数の金属板を積層してなる可動子鉄心としての磁性材部２４が固設される。磁性材部２４は、軸心Ｏ方向に所定間隔を隔てつつ複数個（本実施の形態では２個）が設けられている。また、可動子２２は、上下一対の弾性支持材である板バネ２５を介して、固定子２１に対して、軸心Ｏ方向に往復動可能に、かつ、軸心Ｏ方向位置および軸心Ｏの直交方向位置を位置決めした状態に支持されている。

固定子２１は、可動子２２の外周を同軸に取り囲む環状をなし、その中空部において可動子２２を軸心Ｏ方向に往復動可能に支持しており、取付け板５０によって底金具５内に吊り下げ状態に保持されている。取付け板５０は、筒状金具４の下方に底金具５がかしめ加工により固着されるかしめ部に、ダイヤフラム７の取付け板１０と共に狭持固定されている。

固定子２１は、電磁鋼板等の磁性金属よりなる多数の環状の金属板を積層してなるヨーク２６と、ヨーク２６の中央部において磁性材部２４を挟んで相対向するように両側より径方向内方に向かって突出する一対の磁極部２８を備える。

磁性材部２４に対向する固定子２１の磁極部２８の先端（即ち、磁極部２８の内端）には、可動子２２の往復動方向（軸心Ｏ方向）に沿って隣り合った状態に並設されつつ可動子２２に対向する上下一対の円弧板状をなす永久磁石３０，３１が、それらの磁極が互いにＮＳ交互の異極をなすように、可動子２２の往復移動方向と直交する方向に磁極を並べて、かつ、互いの磁極（Ｎ極とＳ極）の並びが逆となる状態に配設されている。なお、本実施の形態では、上下一対の永久磁石３０，３１が、磁性材部２４に対応させて、軸心Ｏ方向に２組が並設されている。

固定子２１の一対の磁極部２８には、それぞれその周りにコイル３２が、可動子２２の往復動方向（軸心Ｏ方向）と直交する方向の軸心周りに巻回され、一対の永久磁石３０，３１を通る磁束が発生可能に構成されている。本実施の形態では、一対の永久磁石３０，３１が、磁性材部２４を挟んで対向する固定子２１の一対の磁極部２８の内端部にそれぞれ設けられており、両磁極部２８それぞれの永久磁石３０，３１は、可動子２２の往復動方向と直交する方向で可動子２２を挟んで対向すると共に、この対向する磁極が互いに異極をなすように磁極の並びを左右（図１左右）で逆にして配設されている。

これにより、コイル３２に正方向の電流を流すと、コイル３２に発生する起磁力の向きと上側の永久磁石３０の起磁力の向きとが同一となって、起磁力が強まる。一方、下側の永久磁石３１の起磁力の向きとコイル３２の起磁力の向きが反対になって、両者の起磁力が相殺されて弱まる。その結果、磁性材部２４に上向きの力が作用して、可動子２２が上昇する。一方、コイル３２に逆方向の電流を流すと、上記とは反対に、磁性材部２４に下向きの力が作用して、可動子２２が下降する。よって、コイル３２の電流の向きを正逆に交互に切り替えることで、可動子２２を上下に往復動変位させることができる。

次いで、図３を参照して、仕切り板１１の詳細構成について説明する。図３（ａ）は、仕切り板１１の上面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＩＩＩｂ−ＩＩＩｂ線における仕切り板１１の断面図である。

仕切り板１１は、樹脂材料から軸心Ｏ周りに対称な円板形状に形成され、外周側には、径方向外向きに開かれた断面コの字状をなすオリフィス形成部１４が形成される。即ち、仕切り板１１は、上面視円形の板状体の下面から軸心Ｏに沿って筒状体が垂下されると共に、その筒状体の外周面から壁部が径方向外方へ張り出し形成されることで、その外周側にオリフィス形成部１４が形成される。また、仕切り板１１は、オリフィス形成部１４の内周側（軸心Ｏ側）に、ダイヤフラム７及びピストン部材９を収納するための、下方に開かれた空間が形成されている。

オリフィス形成部１４は、筒状金具４の内周を覆うゴム膜３ａに密着することで、断面略矩形状のオリフィス１３を形成する（図１参照）。オリフィス形成部１４は、そのオリフィス形成部１４の上側の壁部に凹欠形成される切欠き部１４ａと、オリフィス形成部１４の胴部に開口形成される開口部１４ｂと、オリフィス形成部１４の上下の壁部および胴部を接続する縦壁１４ｃとを備える。オリフィス１３は、縦壁１４ｃにより周方向に分断され、切欠き部１４ａを介して第１液室８ａに連通されると共に、開口部１４ｂを介して第２液室８ｂに連通される（図１参照）。即ち、本実施の形態では、切欠き部１４ａから開口部１４ｂまで約半周の流路長を持つオリフィス流路として、オリフィス１３が形成される。

仕切り板１１の中央部には、挿通孔１５が穿設される。挿通孔１５は、軸心Ｏに同軸で内径が直径Ｄ１の孔として形成され、ピストン部材９が挿通される（図２参照）。なお、挿通孔１５には、図３（ｂ）下拡がりの抜き勾配（例えば、３度）が付与されている。この場合、直径Ｄ１は、挿通孔１５の最小径に対応する。

次いで、図４を参照して、ダイヤフラム７及びピストン部材９の詳細構成について説明する。図４（ａ）は、ダイヤフラム７及びピストン部材９の上面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＩＶｂ−ＩＶｂ線におけるダイヤフラム７及びピストン部材９の断面図である。

ダイヤフラム７は、上述したように、防振基体３との間に液封入室８を形成するゴム膜状の部材であり、取付け板１０とピストン部材９との間で、断面視蛇腹状に屈曲されている。これにより、限られたスペース内において、ダイヤフラム７の自由長が確保されている。

なお、本実施の形態では、ダイヤフラム７の中央側がピストン部材９の下面（図４（ｂ）下側面）及び第２張出部材４２と略平行に形成されている。よって、ゴム加硫金型からのダイヤフラム７及びピストン部材９等の脱型性が確保される。

ピストン部材９は、上述したように、ゴム状弾性体からダイヤフラム７と一体に形成される部材であり、軸心Ｏに同軸で外径が直径Ｄ２の円柱状体に形成され、仕切り板１１の挿通孔１５に挿通される（図２参照）。なお、ピストン部材９の直径Ｄ２は、挿通孔１５の直径Ｄ１（図３参照）よりも小さく（例えば、２ｍｍ小さく）されている（Ｄ２＜Ｄ１）。また、ピストン部材９の外径は、本実施の形態では、軸心Ｏに沿って一定の大きさに設定されている。但し、軸心Ｏに沿って所定の勾配が一部または全部に付与されていても良い。

ピストン部材９の軸心Ｏ方向上端および下端（図４（ｂ）上側および下側）における外周面からは、第１張出部材４１及び第２張出部材４２が径方向外方へ向けてフランジ状に張り出して形成される。第１張出部材４１は、第１液室８ａ側に配設される部材であり（図２参照）、第１張出部材４１の直径Ｄ３は、挿通孔１５の直径Ｄ１（図３参照）よりも大きくされている（Ｄ１＜Ｄ３）。よって、ピストン部材９のアクチュエータ２０へ近接する方向への変位が所定量以上に達した場合には、第１張出部材４１が仕切り板１１の上面（図２参照）に当接することで、ピストン部材９の変位が規制され、ストッパ作用を得ることができる。

第２張出部材４２は、第２液室８ｂ側に配設される部材であり（図２参照）、第１張出部材４１の直径Ｄ３と同径に設定されている。よって、ピストン部材９の防振基体３へ近接する方向への変位が所定量以上に達した場合には、第２張出部材４１が仕切り板１１の下面（図２参照）に当接することで、ピストン部材９の変位が規制され、ストッパ作用を得ることができる。

また、ピストン部材９の外周面には、径方向内方へ向けて断面Ｕ字状に延びる凹部９ａが凹設されている。凹部９ａは、周方向に連続すると共に第１張出部材４１の下面（図４下側面）に連接される。これにより、仕切り板１１の挿通孔１５へピストン部材９を挿入し、挿通孔１５の出口側まで第１張出部材４１を通過させる場合には（図２参照）、凹部９ａにより形成された空間内に第１張出部材４１を収納することができるので、第１張出部材４１を挿通孔１５の出口側まで通過させる作業を容易とすることができる。その結果、仕切り板１１へピストン部材９を組み付ける組み付け作業の作業性を向上させることができる。また、挿通孔１５の直径Ｄ１（図３参照）をより小径として、ピストン部材９の直径Ｄ２との差を小さくすることができるので、その分、発生力の向上を図ることができる。

なお、第１張出部材４１と第２張出部材４２とは、厚み寸法（図４（ｂ）上下方向寸法）が同一の寸法に設定されている。また、第１張出部材４１の外周縁部は、径方向外方へ向かうほど厚み寸法が小さくなる断面先細形状に形成される。これにより、上述した第１張出部材４１を挿通孔１５の出口側まで通過させる作業をより容易として、組み付け作業の作業性の向上を図ることができる。

ここで、ピストン部材９は、ゴム状弾性体から構成されるので、加振変位時に受ける液圧によりピストン部材９が弾性変形して、力の伝達ロスが発生する。そのため、ピストン部材９の加振変位による発生力が低下して、第１液室８ａの液圧制御が不十分となる。

これに対し、本実施の形態では、金属材料から形成される埋設部材１２（駆動軸２３）がピストン部材９の内部に埋設されるので、加振変位時に受ける液圧を埋設部材１２に受け止めさせることができる。よって、力の伝達ロスを低減して、発生力を確保できるので、第１液室８ａの液圧制御を確実に行うことができる。

一方で、埋設部材１２の軸方向先端（図４（ｂ）上側）は、凹部９ａよりも下方に位置するので、仕切り板１１にピストン部材９を組み付ける作業時には、ピストン部材９の第１張出部材４１側の変形性が埋設部材１２により阻害されることを抑制することができる。即ち、挿通孔１５の内周面により軸心Ｏ側へ向けて第１張出部材４１が押圧される場合に、凹部９ａにより形成される空間へ第１張出部材４１を押し込むと共に、その押し込みに伴ってピストン部材９の上端面側（図４（ｂ）上側）を盛り上がらせる（ピストン部材９を軸心Ｏ方向へ伸ばす）ことで、ピストン部材９の外径をより小径として、挿通孔１５を通過し易くすることができる。その結果、第１張出部材４１を挿通孔１５の出口側まで通過させる作業をより容易として、組み付け作業の作業性の向上を図ることができる。

なお、埋設部材１２の軸方向先端から凹部９ａの下面（図４（ｂ）下側面）までの軸心Ｏ方向寸法は、第１張出部材４１の厚み寸法および凹部９ａの幅寸法（軸心Ｏ方向寸法）の合計値よりも大きく、その合計値の１．５倍よりも小さいことが好ましい。埋設部材１２に液圧を受け止めさせる効果と、第１張出部材４１を挿通孔１５の出口側まで通過させやすくする効果との両立を図るためである。

図１及び図２に戻って、以上のように構成された能動型液封入式防振装置１００の製造方法について説明する。第１取付け金具１と第２取付け金具２とが防振基体３により連結された第１成形体と、ダイヤフラム７、ピストン部材９、第１張出部材４１及び第２張出部材４２が一体に形成されると共に取付け板１０及び埋設部材１２が加硫接着された第２成形体とを、ゴム加硫金型によりそれぞれ加硫成形する。

この場合、能動型液封入式防振装置１００は、ピストン部材９がゴム状弾性体からダイヤフラム７と一体に形成されるので、ピストン部材９とダイヤフラム７とを別部品として形成する従来品のように、これら両部品をかしめ加工などにより連結する必要がない。

更に、第１張出部材４１及び第２張出部材４２がゴム状弾性体からピストン部材９と一体に形成されるので、第１張出部材４１及び第２張出部材４２を別部品として準備する必要や、第１張出部材４１及び第２張出部材４２をピストン部材９の外周面に接着等により固着する作業も必要がない。よって、組立工数を低減して、製品コストの削減を図ることができる。また、ピストン部材９を樹脂材料から構成する場合と比較して、材料コストを削減できるので、その分、製品コストの削減を図ることができる。また、ピストン部材９と第１張出部材４１及び第２張出部材４２との間の固着を強固として、耐久性の向上を図ることができる。

ゴム加硫金型による加硫成型の後は、まず、仕切り板１１に第２成形体を組み付けて、中間組立体を組み立てる。具体的には、仕切り板１１と第２成形体とを液体中に沈め、仕切り板１１の挿通孔１５へ第２成形体のピストン部材９を挿入し、挿通孔１５の出口側まで第１張出部材４１を通過させる（図２参照）。

次いで、第１成形体も液体中に沈め、第１成形体の下方開口から中間組立体を仕切り板１１側から筒状金具４内へ挿入し、第１組立体を液体中で組み立てる。その後、この第１組立体を第１取付け金具１が下方となる姿勢で液体外へ取り出し、この姿勢を維持しつつ、アクチュエータ２０をダイヤフラム７の下面側から重ね、埋設部材１２と可動子２２とをボルトにより締結固定する。そして、底金具５をアクチュエータ２０に被せ、筒状金具４の下方開口に底金具５をかしめ加工により固着する。また、ストッパ金具６を筒状金具４の上方開口にかしめ加工により固着する。これにより、能動型液封入式防振装置１００の製造が完了する。

このように、第２成形体は、ピストン部材９に第１張出部材４１及び第２張出部材４２が一体とされているので、仕切り板１１へ第２成形体を組み付ける場合には、ピストン部材９を第１張出部材４１側から仕切り板１１の挿通孔１５へ挿入し、第１張出部材４１を挿通孔１５の反対側へ飛び出させれば、組み付け作業を完了させることができる。よって、ピストン部材を挿通孔１５内に配置させつつ別体の第１張出部材をピストン部材に装着するなどの作業が不要なので、その分、組み付け作業における作業工数の低減を図ることができる。

一方で、このように、仕切り板１１の挿通孔１５へピストン部材９を挿入して組み付ける場合に、挿通孔１５を第１張出部材４１が通過する必要がある構成であると、その分、挿通孔１５の内径を大きくする必要がある。そのため、ピストン部材９の外周面と挿通孔１５の内周面との間の隙間が大きくなり、隙間から液圧が逃げやすくなるため、発生力の低下を招く。これに対し、本実施の形態では、周方向に連続すると共に第１張出部材４１に連接される凹部９ａがピストン部材９ａの外周面に凹設されるので、第１張出部材４１を挿通孔１５の出口側まで通過させる作業を容易として、組み付け作業の作業性の向上を図りつつ、ピストン部材９の外周面と挿通孔１５の内周面との間の隙間を小さくすることで、ピストン部材９の加振変位による発生力の向上を図ることができる。

次いで、能動型液封入式防振装置１００の動作について説明する。比較的大振幅の低周波振動が入力される場合には、仕切り板１１に形成されたオリフィス１３を介して、第１液室８ａと第２液室８ｂとの間で液体が流通することで、その液体流動効果によって振動を減衰することができる。なお、本実施の形態では、比較的大振幅の低周波振動が入力される場合、アクチュエータ２０の動作が停止されている。

比較的小振幅の高周波振動が入力される場合には、制御部（図示せず）によって、アクチュエータ２０のコイル３２に正弦波交流電圧が印加されることで、可動子２２（即ち、埋設部材１２と共に構成される駆動軸２３）を上下に往復動変位させる。これにより、駆動軸２３に連結されたピストン部材９が入力振動に対して逆位相で加振変位される。

即ち、振動入力により、第１取付け金具１（図１参照）が仕切り板１１へ向けて近接する方向へ変位されると、ピストン部材９が第１取付け金具１へ近接する方向へ変位され、第１取付け金具１が仕切り板１１から離間する方向へ変位されると、ピストン部材９が第１取付け金具１から離間する方向へ変位される。その結果、第１液室８ａの液圧を制御し、振動を低減することができる。

なお、ピストン部材９には、金属材料から形成される埋設部材１２（駆動軸２３）が埋設されるので、加振変位時に受ける液圧を埋設部材１２に受け止めさせることができる。よって、力の伝達ロスを低減して、発生力を確保できるので、第１液室８ａの液圧制御を確実に行うことができる。

この場合、本実施の形態によれば、第１張出部材４１と第２張出部材４２とが仕切り板１１を挟みつつピストン部材９から張り出し形成されているので、ピストン部材９の第１取付け金具１から離間する方向への変位が所定量以上となった場合には、第１張出部材４１が仕切り板１１に当接されることで、ピストン部材９の変位を規制すると共に、ピストン部材９の第１取付け金具１へ近接する方向への変位が所定量以上となった場合には、第２張出部材４１が仕切り板１１に当接されることで、ピストン部材９の変位を規制することができる。即ち、駆動軸２３の変位を、軸心Ｏ方向一方および軸心Ｏ方向他方の両方向において、規制することができる。

これにより、アクチュエータ２０が制御不能となり暴走した場合、軸心Ｏ方向一方および軸心Ｏ方向他方のいずれの方向に対しても、駆動軸２３の変位を所定範囲内に規制することができるので、ダイヤフラム７等の損傷を確実に防止することができる。同様に、大振幅の振動が入力された場合、軸心Ｏ方向一方および軸心Ｏ方向他方のいずれの方向に対しても、駆動軸２３の変位をアクチュエータ２０の許容変位内に規制することができるので、アクチュエータ２０の損傷を確実に防止することができる。

このように、能動型液封入式防振装置１００は、第１張出部材４１及び第２張出部材４２を、ピストン部材９の外周面から張り出させると共に仕切り部材１１を挟む位置に配設することで、液封入室８を仕切るための仕切り板１１を利用して、ピストン部材９（駆動軸２３）の変位を規制する構成である。即ち、既存の構成を利用することで、新たな部材の追加を抑制できるので、その分、製品コストの削減を図ることができる。

次いで、図５を参照して、第２実施の形態について説明する。第１実施の形態では、第１張出部材４１が平板状に形成される場合を説明したが、第２実施の形態の第１梁台部材２４１は、上面側が傾斜して形成される。なお、上述した第１実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して、その説明は省略する。また、各構成の説明は、第１実施の形態の場合と異なる部分についてのみ説明し、同一の部分についての説明は省略する。

図５は、第２実施の形態における能動型液封入式防振装置２００の部分拡大断面図であり、図２に対応する。なお、図５では、エンジンを支持する前の状態（即ち、エンジンの重量が負荷される前の状態）を図示している。

第２実施の形態における第１張出部材２４１は、第１実施の形態の場合と同様に、ピストン部材２０９の軸心Ｏ方向上端（図５上側）における外周面から径方向外方へ向けて張り出して形成される。この第１張出部材２４１は、下面（図５下側面）が軸心Ｏと直交する面として（即ち、第２張出部材４２の上下面と平行な面）として形成される一方、上面（図５上側面）が軸心Ｏ側から径方向外方へ向けて下降傾斜して形成される。なお、ピストン部材２０９の上面（図５上側面）の外周縁側も下降傾斜され、第１張出部材２４１の上面に滑らかに連なっている。

なお、第１張出部材２４１の直径は、第１実施の形態における第１張出部材２４１の直径Ｄ３と同一（即ち、第２張出部材４２の直径と同一）の寸法に設定されている。よって、ピストン部材２０９のアクチュエータ２０へ近接する方向（図５下方）への変位が所定量以上に達した場合には、第１張出部材２４１が仕切り板１１の上面に当接することで、ピストン部材２０９の変位が規制され、ストッパ作用を得ることができる。

また、第２実施の形態における凹部２０９ａは、周方向に連続すると共に第１張出部材２４１の下面（図５下側面）に連接されつつ軸心Ｏ側へ向けて上昇傾斜する凹部としてピストン部材２０９の外周面に凹設される。具体的には、凹部２０９ａの上面は、第１張出部材２４１の下面と平行に軸心Ｏ側へ向けて一端延設された後、第１張出部材２４１の上面よりも大きな角度で上昇傾斜され、凹部２０９ａの下面は、ピストン部材２０９の外周面から軸心Ｏ側へ向けてその凹部２０９の上面と同じ角度で上昇傾斜される。

第２実施の形態における能動型液封入式防振装置２００によれば、仕切り板１１の挿通孔１５へピストン部材２０９を挿入し、挿通孔１５の出口側まで第１張出部材２４１を通過させる場合には、凹部２０９ａにより形成された空間内に第１張出部材２４１を収納することができる。

この場合、凹部２０９ａが軸心Ｏ側へ向けて上昇傾斜しているので、挿通孔１５の内周面に第１張出部材２４１が押圧され、凹部２０９ａにより形成される空間へ第１張出部材２４１が押し込まれる際に、かかる空間を確実に埋めることができる。よって、その押し込みに伴ってピストン部材２０９の上端面側（図５上側）を盛り上がらせ易くして（ピストン部材２０９を軸心Ｏ方向へ伸ばし易くして）、ピストン部材９の外径をより小径とすることができるので、第１張出部材２４１を挿通孔１５の出口側まで通過させ易くすることができる。更に、第１張出部材２４１の上面側が下降傾斜しているので、この点においても、第１張出部材２４１を挿通孔１５の出口側まで通過させ易くすることができる。その結果、第１張出部材２４１を挿通孔１５の出口側まで通過させる作業をより容易とすることができるので、仕切り板１１にピストン部材２０９（第２成形体）を組み付ける組み付け作業の作業性の向上を図ることができる。

次いで、図６から図９を参照して、第３実施の形態について説明する。第１実施の形態では、ピストン部材９全体が一体に形成される場合を説明したが、第３実施の形態のピストン部材３０９は、２部材に分割され、締結ねじ３５１により２部材を連結するように構成されている。なお、上述した各実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して、その説明は省略する。また、各構成の説明は、上述した各実施の形態の場合と異なる部分についてのみ説明し、同一の部分についての説明は省略する。

図６は、第３実施の形態における能動型液封入式防振装置３００の断面図であり、図７は、図６の一部を拡大して図示した能動型液封入式防振装置３００の部分拡大断面図である。なお、図６及び図７では、エンジンを支持する前の状態（即ち、エンジンの重量が負荷される前の状態）を図示している。

ここで、第３実施の形態における仕切り板３１１と第１実施の形態における仕切り板１１との違いは、挿通孔１５，３１５の内径（直径Ｄ１）の設定値のみであり、その他の構成については同一であるので、その説明は省略する。なお、第３実施の形態における第１液室側ピストン３０９ａの外径が、第１実施の形態におけるピストン部材９の外径（直径Ｄ２）と同一寸法であれば、第３実施の形態における仕切り板３１１の挿通孔３１５は、少なくとも第１実施の形態における仕切り板１１の挿通孔１５よりも小さな内径に設定される。

図６及び図７に示すように、ピストン部材３０９は、第１液室側ピストン３０９ａと、第２液室側ピストン３０９ｂとの２部材に分割して形成されている。第１液室側ピストン３０９ａは、ゴム状弾性体から軸心Ｏに同軸の円柱状体に形成され、仕切り板３１１の挿通孔３１５に挿通される。第２液室側ピストン３０９ｂは、軸心Ｏに同軸の円盤状に形成され、ゴム状弾性体からダイヤフラム７と一体に形成される。これら第１液室側ピストン３０９ａ及び第２液室側ピストン３０９ｂは、軸心Ｏ方向に連結された状態（即ち、第１液室側ピストン３０９ａの底面側（図６及び図７下側面）に第２液室側ピストン３０９ｂが重ねあわされた状態）で、締結ねじ３５１により締結固定される。

第１液室側ピストン３０９ａの軸心Ｏ方向上端（図６及び図７上側）における外周面からは第１張出部材３４１が径方向外方へ向けてフランジ状に張り出しつつゴム状弾性体から一体に形成される。また、第２液室側ピストン３０９ｂの外周面からは、第２張出部材３４２が径方向外方へ向けてフランジ状に張り出しつつゴム状弾性体から一体に形成される。

埋設部材３１２の軸心Ｏ方向先端面（図６及び図７上側面）には、内周面にめねじが螺刻されたねじ締結穴３１２ａが凹設されると共に、埋設部材３１２の軸心Ｏ方向先端側の外周面には、断面Ｖ字状に形成される返し切欠き部３１２ｂが周方向に連続して凹設される。

ねじ締結穴３１２ａには、第１液室側ピストン３０９ａに加硫接着されたインサート部材３１０のねじ穴３１０ａ（図９参照)に挿通された締結ねじ３５１が螺合される。なお、締結ねじ３５１の頭部の下面と埋設部材３１２の先端面との間に金属材料からなるインサート部材３１０が介在することで、締結ねじ３５１と埋設部材３１２とを剛体接続として、第1液室側ピストン３０９ａと第２液室側ピストン３０９ｂとを強固に締結固定することができる。

返し切欠き部３１２ｂは、上面（図７上側面）が軸心Ｏに直交すると共に下面（図７下側面）が開口側へ向けて下降傾斜する断面形状に形成され、第１液室側ピストン３０９ａが埋設部材３１２から抜けることを防止している。

即ち、埋設部材３１２の外径は、第１液室側ピストン３０９ａの埋設凹部３０９ａ２（図９参照）の内径よりも大きくされているので、埋設部材３１２の軸心Ｏ方向先端側が第１液室側ピストン３０９ａの埋設凹部３０９ａ２に挿入され埋設されると、かかる埋設により余肉となった埋設凹部３０９ａ２周辺のゴム材料が、返し切欠き部３１２ｂ内に押し込まれる。その結果、仮に締結ねじ３５１の締結が緩んだとしても、第１液室側ピストン３０９ａが埋設部材３１２から抜けることを防止できる。

締結ねじ３５１は、フランジ状の頭部と、その頭部から垂下し軸状に形成されるおねじ部とを備える。頭部は、第１液室側ピストン３０９ａに加硫接着されるインサート部材３１０のねじ穴３１０ａ（図９参照）の内径よりも大きな外径を有すると共に少なくとも側面（図７左右側面）が軸心Ｏに水平な断面矩形に形成される。おねじ部は、埋設部材３１２のねじ締結穴３１２ａに螺合可能なおねじが外周面に螺刻される。よって、かかる締結ねじ３５１を、第１液室側ピストン３０９ａに加硫接着されたインサート部材３１０を間に介在させつつ、埋設部材３１２のねじ締結穴３１２ａに螺合させることで、第１液室側ピストン３０９ａと第２液室側ピストン３０９ｂとを締結固定できる。

なお、締結ねじ３５１は、頭部の上面に上面視六角形の凹部（即ち、六角レンチを係合させるための凹部）が凹設された六角穴付きボルトとして形成される。この締結ねじ３５１の頭部の外径は、埋設部材３１２の外径よりも大きな寸法に設定される。これにより、ピストン部材３０９の加振変位時には、かかる締結ねじ３５１の頭部に液圧を効率的に受け止めさせることができる。

次いで、図８及び図９を参照して、ピストン部材３０９の詳細構成について説明する。図８（ａ）は、ダイヤフラム７及び第２液室側ピストン３０９ｂの上面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）のＶＩＩＩｂ−ＶＩＩＩｂ線におけるダイヤフラム７及び第２液室側ピストン３０９ｂの断面図である。

第２液室側ピストン３０９ｂは、ゴム状弾性体からダイヤフラム７及び第２張出部材３４２と一体に形成される。即ち、第２液室側ピストン３０９ｂと第２張出部材３４２とによって一の円板状体が形成される。言い換えれば、第２液室側ピストン３０９ｂの外周面から第２張出部材３４２が径方向外方へ向けてフランジ状に張り出して形成される。

第２張出部材３４２は、第２液室８ｂ側に配設される部材であり（図７参照）、その外径は、仕切り板３１１の挿通孔３１５の内径よりも大きな直径Ｄ３とされている。よって、ピストン部材３０９の防振基体３へ近接する方向への変位が所定量以上に達した場合には、第２張出部材３４２が仕切り板３１１の下面に当接することで（図７参照）、ピストン部材３０９の変位が規制され、ストッパ作用を得ることができる。

なお、第２張出部材３４２の上面および下面（図８（ｂ）上側面および下側面）は、軸心Ｏと直交する面としてとして形成される。この第２張出部材３４２の上面（図８（ｂ）上側面）には、軸心Ｏを中心として放射直線状に延設される突条としての立設リブ３４２ａが複数（本実施の形態では５本）立設されている。複数の立設リブ３４２ａは、周方向等間隔に配設されると共に、各立設リブ３４２ａの軸心Ｏ側の側面は、第２液室側ピストン３０９ｂに締結ねじ３５１によって締結固定された第１液室側ピストン３０９ａの側面に密着される（図７参照）。

このように、第２張出部材３４２の上面には、複数の立設リブ３４２ａが立設されるので、第２張出部材３４２の上面が仕切り板３１１の下面に当接される際には、先に立設リブ３４２ａから当接させ、その変形を利用して衝突を緩やかとすることができる。よって、異音の発生を抑制することができる。

また、このように、立設リブ３４２ａが複数立設されると共に、それら各立設リブ３４２ａの軸心Ｏ側の側面が第１液室側ピストン３０９ａの側面に密着されることで、第２張出部材３４２の剛性を高めることができる。よって、ピストン部材３０９の変位を第２張出部材３４２と仕切り板３１１との当接によって規制する際には、そのストッパ作用をより確実に発揮させることができる。

図９（ａ）は、第１液室側ピストン３０９ａの底面図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）のＩＸｂ−ＩＸｂ線における第１液室側ピストン３０９ａの断面図である。

第１液室側ピストン３０９ａは、ゴム状弾性体からゴム状弾性体から軸心Ｏと同軸で外径が直径Ｄ２の円柱状体として形成され、第１液室側ピストン３０９ａの底面側（図９（ｂ）下側）に凹設される埋設凹部３０９ａ２と、第１液室側ピストン３０９ａの上面側（図９（ｂ）上側）に凹設される頭部収納凹部３０９ａ３とを備え、これら埋設凹部３０９ａ２と頭部収納凹部３０９ａ３とは、インサート部材３１０のねじ穴３１０ａを介して連通されている。

インサート部材３１０は、金属材料から円筒状に形成され、第１液室側ピストン３０９ａに加硫接着されると共に、軸心Ｏに沿って（本実施の形態では同軸に）縦姿勢に配設されている。インサート部材３１０には、締結ねじ２５１のおねじ部が挿通される軸心Ｏ方向視円形の穴であるねじ穴３１０ａが軸心Ｏに沿って貫通形成される。

埋設凹部３０９ａ２は、埋設部材３１２（図７参照）が挿入され埋設される軸心Ｏ方向視円形の凹部であり、軸心Ｏに沿って凹設される。埋設凹部３０９ａ２の内径は、上述したように、埋設部材３１２の外径よりも小さくされている。なお、埋設凹部３０９ａ２の凹部底面（図９（ｂ）上側面）は、インサート部材３１０の軸心Ｏ方向端面（図９（ｂ）下側面）により形成されている。

頭部収納凹部３０９ａ３は、締結ねじ３５１の頭部が収納される軸心Ｏ方向視円形の凹部であり（図７参照）、締結ねじ３５１の頭部の外径と略同一の（又は若干小さな）内径を有すると共に締結ねじ３５１の頭部の厚みと略同一の凹設深さ（図９（ｂ）上下方向寸法）を有して形成される。よって、締結ねじ３５１により第１液室側ピストン３０９ａと第２液室側ピストン３０９ｂとが締結固定されると、締結ねじ３５１の頭部の側面が、頭部収納凹部３０９ａ３の凹部の側面に密着される。

これにより、ストッパ部材３０９の変位が所定量に達し、第１張出部材３４１が仕切り板３１１に当接する場合には、その第１張出部材３４１の倒れ変形を締結ねじ３５１の頭部の側面で受け止めて規制することができるので、ピストン部材３０９の変位を第１張出部材３４１と仕切り板３１１との当接によって規制する際のストッパ作用をより確実に発揮させることができる。

なお、頭部収納凹部３０９ａ３の凹設深さ（即ち、締結ねじ３５１（図７参照）の頭部の厚み寸法）は、第１張出部材３４１の厚み寸法（図９上下方向寸法）よりも大きくされていることが好ましい。上述した第１張出部材３４１の倒れ変形を規制する効果を大きくすることができるからである。本実施の形態では、頭部収納凹部３０９ａ３の凹設深さ（締結ねじ３５１の頭部の厚み寸法）が、第１張出部材３４１の厚み寸法と立設リブ３４１ａの立設高さ（図９上下方向寸法）とを合わせた寸法よりも大きくされている。これにより、立設リブ３４１ａの変形も締結ねじ３５１の頭部の側面により規制することができるので、第１張出部材３４１の倒れ変形を規制する効果をより大きくすることができる。

また、頭部収納凹部３０９ａ３の凹部底面（図９（ｂ）下側面）の一部（軸心Ｏ近傍）は、インサート部材３１０の軸心Ｏ方向端面（図９（ｂ）上側面）により形成されている。即ち、頭部収納凹部３０９ａ３の凹部底面とインサート部材３１０の軸心Ｏ方向端面とは段差のない面一状に形成されている。これにより、締結ねじ３５１による締結固定時には、第１液室側ピストン３０９ａを弾性変形させることなく、締結ねじ３５１の頭部の下面をインサート部材３１０の軸心Ｏ方向端面に当接させることができる。

第１液室側ピストン３０９ａの軸心Ｏ方向上端（図９（ｂ）上側）における外周面からは、第１張出部材３４１が径方向外方へ向けて張り出して形成される。第１張出部材３４１は、第１液室８ａ側に配設される部材であり（図７参照）、その外径は、第２張出部材３４２（図８参照）の外径と同一に設定され、仕切り板３１１の挿通孔３１５の内径よりも大きい。よって、ピストン部材３０９のアクチュエータ２０（図１参照）へ近接する方向への変位が所定量以上に達した場合には、第１張出部材３４１が仕切り板３１１の上面に当接することで（図７参照）、ピストン部材３０９の変位が規制され、ストッパ作用を得ることができる。

第１張出部材３４１の上面および下面（図９（ｂ）上側面および下側面）は、軸心Ｏと直交する面としてとして形成される。この第１張出部材３４１の下面（図９（ｂ）下側面）には、軸心Ｏを中心として放射直線状に延設される突条としての立設リブ３４１ａが複数（本実施の形態では５本）立設されている。複数の立設リブ３４１ａは、周方向等間隔に配設されると共に、各立設リブ３４１ａの軸心Ｏ側は、第１液室側ピストン３０９ａの側面に一体に形成されている。

このように、第１張出部材３４１の下面には、複数の立設リブ３４１ａが立設されるので、第１張出部材３４１の下面が仕切り板３１１の上面に当接される際には、先に立設リブ３４１ａから当接させ、その変形を利用して衝突を緩やかとすることができる。よって、異音の発生を抑制することができる。

また、このように、立設リブ３４１ａが複数立設されると共に、それら各立設リブ３４２ａの軸心Ｏ側が第１液室側ピストン３０９ａの側面に一体に形成されることで、第１張出部材３４１の剛性を高めることができる。よって、ピストン部材３０９の変位を第１張出部材３４１と仕切り板３１１との当接によって規制する際には、上述した締結ねじ３５１の頭部の側面が第１張出部材３４１の倒れ変形を規制する構造による効果との相乗作用により、第１張出部材３４１によるストッパ作用をより確実に発揮させることができる。

図６及び図７に戻って、以上のように構成された能動型液封入式防振装置３００の製造方法について説明する。上述した第１成形体と、ダイヤフラム７、第２液室側ピストン３０９ｂ及び第２張出部材３４２が一体に形成されると共に取付け板１０及び埋設部材１２が加硫接着された第２成形体と、第１液室側ピストン３０９ａ及び第１張出部材３０９ａが一体に形成されると共にインサート部材３１０が加硫接着された第３成形体とを、ゴム加硫金型によりそれぞれ加硫成形する。

この場合、第２成形体は、第２液室側ピストン３０９ｂがダイヤフラム７とゴム状弾性体から一体に形成されると共に、第２張出部材３４２が第２液室側ピストン３０９ｂとゴム状弾性体から一体に形成されるので、加硫成形時には、これらダイヤフラム７、第２液室側ピストン３０９ｂ及び第２張出部材３４２を同時に形成することができる。また、第２張出部材３４２を第２液室側ピストン３０９ｂの外周面に接着等により固着する作業の必要もない。よって、部品点数および製造工数を低減して、製品コストの削減を図ることができる。また、第２液室側ピストン３０９ｂと第２張出部材３４２との間の固着を強固として、第２張出部材３４２による変位規制機能の信頼性を向上することができる。

同様に、第３成形体は、第１張出部材３４１が第１液室側ピストン３０９ａとゴム状弾性体から一体に形成されるので、加硫成形時には、これら第１液室側ピストン３０９ａ及び第１張出部材３４１を同時に形成することができる。また、第１張出部材３４１を第１液室側ピストン３０９ａの外周面に接着等により固着する作業の必要もない。よって、部品点数および製造工数を低減して、製品コストの削減を図ることができる。また、第１液室側ピストン３０９ａと第１張出部材３４１との間の固着を強固として、第１張出部材３４１による変位規制機能の信頼性を向上することができる。

ゴム加硫金型による加硫成型の後は、まず、仕切り板３１１に第２成形体および第３成形体を組み付けて、中間組立体を組み立てる。具体的には、仕切り板３１１と第２成形体と第３成形体とを液体中に沈め、仕切り板３１１の挿通孔３１５へ第３成形体の第１液室側ピストン３０９ａを挿通させると共に、その第１液室側ピストン３０９ａの埋設凹部３０９ａ２へ第２成形体の埋設部材３１２を挿入し、これら第２成形体の第２液室側ピストン３０９ｂと第３成形体の第１液室側ピストン３０９ａとを締結ねじ３５１により締結固定する。これにより、仕切り板３１１が第１張出部材３４１と第２張出部材３４２とに挟まれた状態となる。

次いで、第１成形体も液体中に沈め、第１成形体の下方開口から中間組立体を仕切り板１１側から筒状金具４内へ挿入し、第１組立体を液体中で組み立てる。その後、この第１組立体を第１取付け金具１が下方となる姿勢で液体外へ取り出し、この姿勢を維持しつつ、アクチュエータ２０をダイヤフラム７の下面側から重ね、埋設部材３１２と可動子２２とをボルトにより締結固定する。そして、第１実施の形態の場合と同様に、底金具５をアクチュエータ２０に被せ、筒状金具４の下方開口に底金具５をかしめ加工により固着する。また、ストッパ金具６を筒状金具４の上方開口にかしめ加工により固着する。これにより、能動型液封入式防振装置３００の製造が完了する。

このように、第１液室側ピストン３０９ａと第２液室側ピストン３０９ｂとを別体とし、締結ねじ３５１により締結固定する構造とすることで、仕切り板３１１の挿通孔３１５よりも大径の第１張出部材３４１を設けた場合であっても、かかる仕切り板３１１の挿通孔３１５の内径を第１液室側ピストン３０９ａの外径（直径Ｄ２）のみに基づいて設定することができる。よって、挿通孔３１５の内径をより小さな寸法に設定することができるので、第１液室側ピストン３０９ａの外周面と挿通孔３１５の内周面との間の隙間から液圧が逃げることを抑制できる。その結果、ピストン部材３０９の加振変位による発生力の向上を図り、第１液室８ａの液圧制御をより確実に行うことができる。

次いで、能動型液封入式防振装置３００の動作について説明する。第１実施の形態の場合と同様に、比較的小振幅の高周波振動が入力される場合に、ピストン部材３０９を入力振動に対して逆位相で加振変位させることで、第１液室８ａの液圧を制御して、振動を低減させる。

なお、本実施の形態では、金属材料から形成される締結ねじ３５１の頭部が、第１液室側ピストン３０９ａの頭部収納凹部３０９ａ３に収納され防振基体３に対面されると共に、埋設部材３１２よりもさらに大径に形成される。よって、加振変位時に受ける液圧を締結ねじ３５１の頭部に受け止めさせることができるので、かかる液圧により第１液室側ピストン３０９ａが弾性変形して、力の伝達ロスが発生することを抑制することができる。これにより、ピストン部材３０９の加振変位による発生力を確保して、第１液室８ａの液圧制御を確実に行うことができる。

この場合、第１実施の形態の場合と同様に、第１張出部材３４１と第２張出部材３４２とが仕切り板３１１を挟んで配設されるので、駆動軸２３の変位を、軸心Ｏ方向一方および軸心Ｏ方向他方の両方向において、規制することができる。これにより、アクチュエータ２０の暴走時におけるダイヤフラム７等の損傷を防止できる。また、大振幅の振動入力時におけるアクチュエータ２０の損傷を防止できる。

次いで、図１０を参照して、第４実施の形態について説明する。第１実施の形態では、ピストン部材９及び第１張出部材４１がゴム状弾性体から形成される場合を説明したが、第４実施の形態のピストン部材４０９の一部および第１張出部材４４１は、金属材料から形成されている。なお、上述した各実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して、その説明は省略する。また、各構成の説明は、上述した各実施の形態の場合と異なる部分についてのみ説明し、同一の部分についての説明は省略する。

ここで、第４実施の形態における埋設部材４１２と第３実施の形態における埋設部材３１２との違いは、返し切欠き部３１２ｂの有無とその軸心Ｏ方向長さのみであり、その他の構成については同一であるので、その説明は省略する。

図１０は、第４実施の形態における能動型液封入式防振装置４００の部分拡大断面図であり、図２に対応する。なお、図１０では、エンジンを支持する前の状態（即ち、エンジンの重量が負荷される前の状態）を図示している。

図１０に示すように、ピストン部材３０９は、第１液室側ピストン４０９ａと、第２液室側ピストン４０９ｂとの２部材に分割して形成されている。第１液室側ピストン４０９ａは、金属材料から第１張出部材４４１と一体に形成される。即ち、第１液室側ピストン４０９ａと第１張出部材４４１とによって一の円板状体が形成される。言い換えれば、第１液室側ピストン４０９ａの外周面から第１張出部材４４１が径方向外方へ向けてフランジ状に張り出して形成される。

第１液室側ピストン４０９ａには、軸心Ｏに沿って貫通形成されるねじ穴と、そのねじ穴に連通されると共に第１液室側ピストン４０９ａの上面側（図１０上側）に凹設され頭部収納凹部とを備える。第１張出部材４４１の外径は、第２張出部材４４２の外径と同一に設定され、仕切り板３１１の挿通孔３１５の内径よりも大きい。よって、ピストン部材４０９のアクチュエータ２０（図１参照）へ近接する方向への変位が所定量以上に達した場合には、第１張出部材４４１が仕切り板３１１の上面に当接することで、ピストン部材４０９の変位が規制され、ストッパ作用を得ることができる。

第２液室側ピストン４０９ｂは、ゴム状弾性体からダイヤフラム７と一体に形成されると共に、軸心Ｏに同軸で外径が直径Ｄ２（図示せず）の円柱状体に形成され、仕切り板３１１の挿通孔３１５に挿通される。この第２液室側ピストン４０９ｂは、埋設部材４１２のねじ締結穴３１２ａに連通するねじ挿通穴を備え、第１液室側ピストン４０９ａと軸心Ｏ方向に連結された状態（即ち、第１液室側ピストン４０９ａの底面側（図１０下側面）に第２液室側ピストン４０９ｂの上面が重ねあわされた状態）で、締結ねじ４５１により締結固定される。

第２張出部材４４２は、第２液室側ピストン４０９ｂの下端側（図１０下側）における外周面から径方向外方へ向けてフランジ状に張り出して形成され、その外径は、仕切り板３１１の挿通孔３１５の内径よりも大きくされている。よって、ピストン部材４０９の防振基体３へ近接する方向への変位が所定量以上に達した場合には、第２張出部材４４２が仕切り板４１１の下面に当接することで、ピストン部材４０９の変位が規制され、ストッパ作用を得ることができる。

なお、第２張出部材４４２の上面および下面（図１０上側面および下側面）は、軸心Ｏと直交する面としてとして形成される。この第２張出部材４４２の上面（１０上側面）には、軸心Ｏを中心として放射直線状に延設される突条としての立設リブ４４２ａが複数（本実施の形態では５本）立設されている。この立設リブ４４２ａは、軸心Ｏ側が第２液室側ピストン４０９ｂの側面に一体に形成されている。なお、立設リブ４４２ａのその他の構成は、立設リブ３４２ａと同様の構成であるので、その説明は省略する。

締結ねじ４５１は、頭部の上面に上面視六角形の凹部（即ち、六角レンチを係合させるための凹部）が凹設された六角穴付きボルトとして形成される。この締結ねじ４５１を、第１液室側ピストン４０９ａのねじ穴に挿通させつつ、埋設部材４１２のねじ締結穴３１２ａに螺合させることで、第１液室側ピストン４０９ａと第２液室側ピストン４０９ｂとを締結固定できる。

なお、埋設部材４１２は、その軸心Ｏ方向先端面（図１０上側面）の位置が第２液室側ピストン４０９ｂの上端面（図１０上側面）との間に段差がなく面一となる位置に設定されている。これにより、締結ねじ４５１により締結固定されると、第１液室側ピストン４０９ａが埋設部材４１２に剛体接続される。

以上のように構成された能動型液封入式防振装置４００の製造方法について説明する。上述した第１成形体と、ダイヤフラム７、第２液室側ピストン４０９ｂ及び第２張出部材３４２が一体に形成されると共に取付け板１０及び埋設部材４１２が加硫接着された第２成形体とを、ゴム加硫金型によりそれぞれ加硫成形する。

この場合、第２成形体は、第２液室側ピストン４０９ｂがダイヤフラム７とゴム状弾性体から一体に形成されると共に、第２張出部材４４２が第２液室側ピストン４０９ｂとゴム状弾性体から一体に形成されるので、加硫成形時には、これらダイヤフラム７、第２液室側ピストン４０９ｂ及び第２張出部材４４２を同時に形成することができる。また、第２張出部材４４２を第２液室側ピストン４０９ｂの外周面に接着等により固着する作業の必要もない。よって、部品点数および製造工数を低減して、製品コストの削減を図ることができる。また、第２液室側ピストン４０９ｂと第２張出部材４４２との間の固着を強固として、第２張出部材４４２による変位規制機能の信頼性を向上することができる。

ゴム加硫金型による加硫成型の後は、まず、仕切り板３１１に第２成形体および第１液室側ピストン４０９ａを組み付けて、中間組立体を組み立てる。具体的には、仕切り板３１１と第２成形体と第１液室側ピストン４０９ａとを液体中に沈め、仕切り板３１１の挿通孔３１５へ第２成形体の第２液室側ピストン４０９ｂを挿通させると共に、この第２成形体の第２液室側ピストン４０９ｂと第１液室側ピストン４０９ａとを締結ねじ４５１により締結固定する。これにより、仕切り板３１１が第１張出部材４４１と第２張出部材４４２とに挟まれた状態となる。

次いで、第１成形体も液体中に沈め、第３実施の形態の場合と同様に、第１組立体を液体中で組み立て、アクチュエータ２０を装着し、底金具５及びストッパ金具６をかしめ加工により固着する。これにより、能動型液封入式防振装置４００の製造が完了する。

このように、第１液室側ピストン４０９ａと第２液室側ピストン４０９ｂとを別体とし、締結ねじ４５１により締結固定する構造とすることで、第３実施の形態の場合と同様に、挿通孔３１５の内径をより小さな寸法に設定して、第２液室側ピストン４０９ｂの外周面と挿通孔３１５の内周面との間の隙間から液圧が逃げることを抑制できる。その結果、ピストン部材４０９の加振変位による発生力の向上を図り、第１液室８ａの液圧制御をより確実に行うことができる。

次いで、能動型液封入式防振装置４００の動作について説明する。第１実施の形態の場合と同様に、比較的小振幅の高周波振動が入力される場合に、ピストン部材４０９を入力振動に対して逆位相で加振変位させることで、第１液室８ａの液圧を制御して、振動を低減させる。

本実施の形態では、第１液室側ピストン４０９ａ及び第１張出部材４４１が金属材料から一体に形成され防振基体３に対面されるので、加振変位時に受ける液圧を第１液室側ピストン４０９ａ及び第１張出部材４４１の全体に受け止めさせることができる。また、第１液室側ピストン４０９ａ及び第１張出部材４４１は、埋設部材４１２に剛体接続されているので、これら第１液室側ピストン４０９ａ及び第１張出部材４４１が液圧を受けた場合に、第２液室側ピストン４０９ｂが弾性変形されることを回避できる。これにより、力の伝達ロスを低減して、ピストン部材４０９の加振変位による発生力の向上を図ることができる。

また、第１実施の形態の場合と同様に、第１張出部材４４１と第２張出部材４４２とが仕切り板３１１を挟んで配設されるので、駆動軸２３の変位を、軸心Ｏ方向一方および軸心Ｏ方向他方の両方向において、規制することができる。これにより、アクチュエータ２０の暴走時におけるダイヤフラム７等の損傷を防止できる。また、大振幅の振動入力時におけるアクチュエータ２０の損傷を防止できる。

次いで、図１１から図１５を参照して、第５実施の形態について説明する。第１実施の形態では、第１張出部材４１が軸心Ｏ方向一方への変位規制を、第２張出部材４２が軸心Ｏ方向他方への変位規制を、それぞれ分担して行う場合を説明したが、第５実施の形態の張出部材５４３は、軸心Ｏ方向一方および軸心Ｏ方向他方の両方向への変位規制をそれぞれ行う。なお、上述した第１実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して、その説明は省略する。また、各構成の説明は、上述した各実施の形態の場合と異なる部分についてのみ説明し、同一の部分についての説明は省略する。

図１１は、第５実施の形態における能動型液封入式防振装置５００の断面図である。なお、図１１では、エンジンを支持する前の状態（即ち、エンジンの重量が負荷される前の状態）を図示している。

図１１に示すように、能動型液封入式防振装置５００は、第１仕切り板５１１ａと、その第１仕切り板５１１ａの下方に重ねあわされる第２仕切り板５１１ｂとを備え、第１仕切り板５１１ａの挿通孔５１５にピストン部材５０９が挿通されると共に、そのピストン部材５０９から張り出して形成される張出部材５４３が、第１仕切り板５１１ａと第２仕切り板５１１ｂとの対向面間に配設されている。

ここで、図１２及び図１３を参照して、第１仕切り板５１１ａ及び第２仕切り板５１１ｂの詳細構成について説明する。図１２（ａ）は、第１仕切り板５１１ａの上面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＸＩＩｂ−ＸＩＩｂ線における第１仕切り板５１１ａの断面図である。また、図１３（ａ）は、第２仕切り板５１１ｂの上面図であり、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＸＩＩＩｂ−ＸＩＩＩｂ線における第２仕切り板５１１ｂの断面図である。

図１２及び図１３に示すように、第１仕切り板５１１ａ及び第２仕切り板５１１ｂは、樹脂材料から軸心Ｏ周りに対称な円板形状に形成され、その外径は同じ直径に設定されている。これら第１仕切り板５１１ａ及び第２仕切り板５１１ｂが重ね合わされた状態では、外周側に径方向外向きに開かれた断面コの字状をなすオリフィス形成部が形成される（図１１参照）。

即ち、第１仕切り板５１１ａには、上面視円形の板状体の下面から軸心Ｏに沿って筒状の筒部５１４が垂下されており、この筒部５１４の下端に第２仕切り板５１１ｂが重ね合わされることで、それらの外周側にオリフィス形成部が形成される。なお、オリフィス形成部は、筒状金具４の内周を覆うゴム膜３ａに密着することで、断面略矩形状のオリフィス１３を形成する（図１１参照）。

第１仕切り板５１１ａは、板状体の一部に凹欠形成される切欠き部５１４ａと、筒部５１４に開口形成される開口部５１４ｂと、板状体および筒部５１４を接続する縦壁５１４ｃとを備える。第１仕切り板５１１ａと第２仕切り板５１１ｂとが重ね合わされてオリフィス１３が形成されると、そのオリフィス１３は、縦壁５１４ｃにより周方向に分断され、切欠き部５１４ａを介して第１液室８ａに連通されると共に、開口部５１４ｂを介して第２液室８ｂに連通される（図１１参照）。

第１仕切り板５１１ａの中央部には、挿通孔５１５が穿設される。挿通孔５１５は、軸心Ｏに同軸で内径が直径Ｄ４の孔として形成され、ピストン部材５０９が挿通される（図１１参照）。なお、挿通孔５１５には、図１２（ｂ）下拡がりの抜き勾配（例えば、３度）が付与されている。この場合、直径Ｄ４は、挿通孔５１５の最小径に対応する。

第２仕切り板５１１ｂの中央部には、組立孔５１６が穿設される。組立孔５１６は、軸心Ｏに同軸で内径が直径Ｄ４（図示せず）の孔として形成される。なお、組立孔５１６からは、軸心Ｏを挟んだ両側（即ち、位相が１８０度ずれた位置）に、上面視略Ｕ字状の逃げ凹部５１６ａが径方向外方へ向けて延設される。これら一対の逃げ凹部５１６ａは、中間組立体を組み立てる際に、第２成形体の一対の張出部材５４３を通過させるための凹部であり、張出部材５４３よりも若干大きな形状に形成される。

次いで、図１４を参照して、ダイヤフラム５０７及びピストン部材５０９の詳細構成について説明する。図１４（ａ）は、ダイヤフラム５０７及びピストン部材５０９の上面図であり、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）のＸＩＶｂ−ＸＩＶｂ線におけるダイヤフラム５０７及びピストン部材５０９の断面図である。

ダイヤフラム５０７は、防振基体３との間に液封入室８を形成するゴム膜状の部材であり（図１１参照）、自由長が確保できるように、取付け板１０とピストン部材９との間で断面視蛇腹状に屈曲されている。

ピストン部材５０９は、ゴム状弾性体からダイヤフラム５０７と一体に形成される部材であり、軸心Ｏに同軸で外径が直径Ｄ２の円柱状体に形成され、第１仕切り板５１１ａの挿通孔５１５に挿通される（図１１参照）。なお、ピストン部材５０９の直径Ｄ２は、挿通孔５１５の直径Ｄ４（図１２参照）よりも小さく（例えば、０．５ｍｍ小さく）されている（Ｄ２＜Ｄ４）。

ピストン部材５０９の軸心Ｏ方向下端（図１４（ｂ）下側）における外周面からは、軸心Ｏを挟んだ両側（即ち、位相が１８０度ずれた位置）に、上面視略Ｕ字状の張出部材５４３が径方向外方へ向けて張り出して形成される。張出部材５４３は、第１仕切り板５１１ａと第２仕切り板５１１ｂとの対向面間に配設される部材であり（図１１参照）、挿通孔５１５の直径Ｄ４（図１２参照）及び組立孔５１６の直径よりも張り出し寸法が大きくされている。

よって、ピストン部材５０９のアクチュエータ２０へ近接する方向への変位が所定量以上に達した場合には、張出部材５４３が第２仕切り板５１１ｂの上面に当接されると共に、ピストン部材５０９の防振基体３へ近接する方向への変位が所定量以上に達した場合には、張出部材５４３が第１仕切り板５１１ａの下面に当接されることで、ピストン部材５０９の変位が規制され、ストッパ作用を得ることができる。

なお、張出部材５４３の上面および下面（図１４（ｂ）上側面および下側面）は、軸心Ｏと直交する面としてとして形成される。この張出部材５４３の上面および下面には、軸心Ｏを中心として放射直線状に延設される突条としての立設リブ５４３ａ，５４３ｂが複数（本実施の形態では上面に４本および下面に４本）立設されている。各立設リブ５４３ａ，５４３ｂの軸心Ｏ側は、ピストン部材５０９の側面に一体に形成されている。

このように、第１張出部材３４１の上面および下面には、複数の立設リブ５４３ａ，５４３ｂが立設されるので、張出部材５４３の上面または下面が第１仕切り板５１１ａの下面または第２仕切り板５１１ｂの上面に当接される際には、先に立設リブ５４３ａ，５４３ｂから当接させ、その変形を利用して衝突を緩やかとすることができる。よって、異音の発生を抑制することができる。

また、このように、立設リブ５４３ａ，５４３ｂが複数立設されると共に、それら各立設リブ５４３ａ，５４３ｂの軸心Ｏ側がピストン部材５０９の側面に一体に形成されることで、張出部材５４３の剛性を高めることができる。よって、ピストン部材５０９の変位を張出部材５４３と第１仕切り板５１１ａ又は第２仕切り板５１１ｂとの当接によって規制する際には、張出部材５４３によるストッパ作用をより確実に発揮させることができる。

図１１に戻って、以上のように構成された能動型液封入式防振装置５００の製造方法について説明する。なお、製造方法の説明においては、図１５を適宜参照する。図１５は、第２仕切り板５１１ｂとピストン部材５０９との位相の関係を説明するための模式図であり、図１５（ａ）は、逃げ凹部５１６ａと張出部材５４３との位相が一致した状態を示す模式図であり、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）の状態からピストン部材５０９が９０度回転した状態を示す模式図である。

まず、上述した第１成形体と、ダイヤフラム７、ピストン部材５０９及び張出部材５４３が一体に形成されると共に取付け板１０及び埋設部材１２が加硫接着された第２成形体とを、ゴム加硫金型によりそれぞれ加硫成形する。

この場合、第２成形体は、ピストン部材５０９がダイヤフラム７とゴム状弾性体から一体に形成されると共に、張出部材５４３がピストン部材５０９とゴム状弾性体から一体に形成されるので、加硫成形時には、これらダイヤフラム７、ピストン部材５０９及び張出部材５４３を同時に形成することができる。また、張出部材５４３をピストン部材５０９の外周面に接着等により固着する作業の必要もない。よって、部品点数および製造工数を低減して、製品コストの削減を図ることができる。また、ピストン部材５０９と張出部材５４３との間の固着を強固として、張出部材５４３による変位規制機能の信頼性を向上することができる。

ゴム加硫金型による加硫成型の後は、第１仕切り板５１１ａ及び第２仕切り板５１１ｂに第２成形体を組み付けて、中間組立体を組み立てる。具体的には、第１仕切り板５１１ａと第２仕切り板５１１ｂと第２成形体とを液体中に沈め、第２仕切り板５１１ｂの組立孔５１６に、図１５（ａ）に示すように逃げ凹部５１６ａと張出部材５４３との位相が一致した状態で、第２成形体のピストン部材５０９を挿入し、張出部材５４３が組立孔５１６を通過した状態とする。次いで、第２仕切り板５１１ｂに対して、図１５（ｂ）に示すようにピストン部材５０９が９０度回転した状態とした後、これに第１仕切り板５１１ａを重ね合わせる。なお、この重ね合わせる場合には、第２成形体のピストン部材５０９を第１仕切り板５１１ａの挿通孔５１５に挿通させる。これにより、これにより、張出部材５４３が第１仕切り板５１１ａと第２仕切り板５１１ｂとの対向面間に配置された状態となる。

中間組立体を組み立てた後は、第１成形体も液体中に沈め、第１成形体の下方開口から中間組立体を第１仕切り板５１１ａ側から筒状金具４内へ挿入し、第１組立体を液体中で組み立てる。その後、この第１組立体を第１取付け金具１が下方となる姿勢で液体外へ取り出し、この姿勢を維持しつつ、アクチュエータ２０をダイヤフラム７の下面側から重ね、埋設部材１２と可動子２２とをボルトにより締結固定する。そして、第１実施の形態の場合と同様に、底金具５及びストッパ金具６をかしめ加工により固着することで、能動型液封入式防振装置５００の製造が完了する。

このように、第１仕切り板５１１ａと第２仕切り板５１１ｂとを別体に構成すると共に、張出部材５４３が逃げ凹部５１６ａと通過した後に、ピストン部材５０９を９０度回転させる構造とすることで、張出部材５４３と第１仕切り板５１１ａ及び第２仕切り板５１１ｂとによってピストン部材５０９の軸心Ｏ方向一方および他方の両方向の変位を規制できるだけでなく、挿通孔５１５及び組立孔５１６の直径よりも大きく張り出す張出部材５４３を設けた場合であっても、第１仕切り板５１１ａの挿通孔５１５の内径をピストン部材５０９の外径（直径Ｄ２）のみに基づいて設定することができる。よって、挿通孔５１５の内径をより小さな寸法に設定することができるので、ピストン部材５０９の外周面と挿通孔５１５の内周面との間の隙間から液圧が逃げることを抑制できる。その結果、ピストン部材５０９の加振変位による発生力の向上を図り、第１液室８ａの液圧制御をより確実に行うことができる。

次いで、能動型液封入式防振装置５００の動作について説明する。第１実施の形態の場合と同様に、比較的小振幅の高周波振動が入力される場合に、ピストン部材５０９を入力振動に対して逆位相で加振変位させることで、第１液室８ａの液圧を制御して、振動を低減させる。

なお、本実施の形態では、金属材料から形成される埋設部材１２が、ピストン部材５０９に埋設される。よって、加振変位時に受ける液圧を埋設部材１２に受け止めさせることができるので、かかる液圧によりピストン部材５０９が弾性変形して、力の伝達ロスが発生することを抑制することができる。これにより、ピストン部材５０９の加振変位による発生力を確保して、第１液室８ａの液圧制御を確実に行うことができる。

この場合、第１仕切り板５１１ａと第２仕切り板５１１ｂとが張出部材５４３を挟んで配設されるので、駆動軸２３の変位を、軸心Ｏ方向一方および軸心Ｏ他方の両方向において、規制することができる。これにより、アクチュエータ２０の暴走時におけるダイヤフラム５０７等の損傷を防止できる。また、大振幅の振動入力時におけるアクチュエータ２０の損傷を防止できる。

以上、実施の形態に基づき本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変形が可能であることは容易に推察できるものである。

上記各実施の形態で挙げた数値は一例であり、他の数値を採用することは当然可能である。例えば、上記各実施の形態で説明した各部材の直径（内径または外径）やピストン部材９と挿通孔１５との間の隙間などの寸法値は一例であり、それら各寸法値を適宜変更することは当然可能である。

上記各実施の形態では、仕切り板１１，３１１、第１仕切り板５１１ａ及び第２仕切り板５１１ｂを樹脂材料から形成する場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、他の材料から形成することは当然可能である。他の材料としては、例えば、鉄鋼材料やアルミニウム合金などが例示される。

上記各実施の形態では、埋設部材１２，３１２，４１２が軸心Ｏ方向に一定の外径を有する軸状に形成される場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、埋設部材１２，３１２，４１２の外周面からフランジ状の部位を径方向外方へ張り出し形成し、かかるフランジ状の部位を第２張出部材４２，３４２，４４２又は張出部材５４３に埋設させても良い。これにより、埋設部材１２等の剛性を利用して、変位規制機能の信頼性を確保することができる。

上記各実施の形態では、説明を省略したが、埋設部材１２，３１２，４１２の軸心Ｏ方向長さを適宜設定することは当然可能である。例えば、第１、第２又は第５実施の形態の場合には、軸心Ｏ方向へ延長させ、その先端面をピストン部材９，２０９，５０９の上面に露出させても良い。その分、加振変位時における液圧を埋設部材１２等の先端面に受け止めさせ、ピストン部材９等の弾性変形を抑制できるので、力の伝達ロスを低減して、発生力を確保できる。また、第３又は第４実施の形態の場合には、第１液室側ピストン３０９ａ又は第２液室側ピストン４０９ｂの上面に先端面を露出させ、その先端面を締結ねじ３５１又は第１液室側ピストン４０９ａに直接当接させても良い。これにより、ゴム状弾性体が介在しないので、締結強度を確保して、使用時に締結ねじ３５１，４５１が緩むことを抑制できる。

上記第１実施の形態および第２実施の形態では、第１張出部材４１，２４１の下面および第２張出部材４２の上面に立設リブが設けられず、これら上面および下面が平滑面として形成される場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、これら上面および下面の一方または両方に立設リブを設けることは当然可能である。例えば、第３実施の形態における立設リブ３４１ａ，３４２ａのように、軸心Ｏを中心として放射直線状に設けても良い。異音の発生を抑制しつつ、第１張出部材４１，２４１及び第２張出部材４２の剛性を高め、変位規制機能の信頼性の向上を図ることができる。

また、この場合、突条状の立設リブには限定されず、突起状の突部を上記上面および下面に分散配置するようにしても良い。なお、第３実施の形態から第５実施の形態においても同様である。

上記第３実施の形態では、第１液室側ピストン３０９ａにインサート部材３１０を加硫接着し、そのインサート部材３１０を締結ねじ３５１と埋設部材３１２との間に介在させる場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、インサート部材３１０を省略すると共に、埋設部材３１２の軸心Ｏ方向先端面が頭部収納凹部３０９ａ３の底面と面一となる位置まで埋設部材３１２の長さを延長しても良い。これによっても、第３実施の形態の場合と同様に、第１液室側ピストン３０９ａを弾性変形させることなく、第1液室側ピストン３０９ａと第２液室側ピストン３０９ｂとを強固に締結固定することができる。

上記第４実施の形態では、第１液室側ピストン４０９ａが第１張出部材４４１と金属材料から一体に形成される場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、他の材料から構成することは当然可能である。他の材料は、ゴム状弾性体よりも剛性の高いものが好ましい。ピストン部材４０９の弾性変形による力の伝達ロスを抑制して、発生力の向上を図ることができるからである。他の材料としては、例えば、樹脂材料やアルミニウム合金などが例示される。

上記第４実施の形態では、第１液室側ピストン４０９ａ及び第１張出部材４４１から一体に形成される円盤状の部材と、かかる円盤状の部材を締結固定するための締結ねじ４５１とを備える場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、円盤状の部材と締結ねじ４５１とを一体に形成しても良い。即ち、円盤状の部材の上面に六角穴を凹設すると共に下面におねじ部を設けた部材として一体に形成しても良い。これにより、部品点数を削減して、製品コストの削減を図ることができる。

上記第４実施の形態では、第１液室側ピストン４０９ａ及び第１張出部材４４１から一体に形成される円盤状の部材が露出された状態で使用される場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、円盤状の部材の少なくとも下面にゴム状弾性体を覆設しても良い。これにより、仕切り板３１１の上面に当接される際の異音の発生を抑制することができる。なお、この場合、下面に突条状の突設リブや突起状の突部を設けても良い。

上記第５実施の形態では、説明を省略したが、第１仕切り板５１１ａと第２仕切り板５１１ｂとは、ダイヤフラム５０７の取付け板１０と防振基体３の膜部３ａに形成された段部との間で挟圧保持される。この場合、両仕切り板５１１ａ，５１１ｂの合わせ面の一方から凸部を突出させると共に他方に凹部を凹設し、これら凸部と凹部とを凹凸嵌合させることで、第１仕切り板５１１ａと第２仕切り板５１１ｂとを周方向に相対回転不能に接合することが好ましい。例えば、超音波溶着などを利用して接合する場合と比較して、製造コストを低減しつつ、ピストン部材５０９と組立孔５１６との位相がずれることを回避して、変位規制機能の信頼性を確保することができる。

上記第５実施の形態では、埋設部材１２が軸心Ｏ方向に一定の外径を有する軸状に形成される場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、埋設部材１２の軸心Ｏ方向先端における外周面から径方向外方へフランジ状の部位を張り出して形成しても良い。また、このフランジ状の部位をピストン部材５０９の上面に露出させても良い。加振変位時における液圧をフランジ状の部位に受け止めさせ、ピストン部材５０９の弾性変形を抑制できるので、力の伝達ロスを低減して、発生力を確保できる。なお、フランジ状の部位の外径は、ピストン部材５０９の外径よりも小さい又は同等の値であれば、任意に設定可能である。

１００，２００，３００，４００，５００ 能動型液封入式防振装置
１ 第１取付け金具（第１取付け具）
２ 第２取付け金具（第２取付け具）
３ 防振基体
４ 筒状金具（第２取付け具の一部）
５ 底金具（第２取付け具の一部）
７ ダイヤフラム
８ 液封入室
８ａ 第１液室
８ｂ 第２液室
９，２０９，３０９，４０９，５０９ ピストン部材
９ａ，２０９ａ 凹部
３０９ａ，４０９ａ 第１液室側ピストン
３０９ｂ，４０９ｂ 第２液室側ピストン
４１，２４１，３４１，４４１ 第１張出部材
４２，３４２，４４２ 第２張出部材
１１，３１１ 仕切り板（仕切り部材）
１５，３１５，５１５ 挿通孔
５１１ａ 第１仕切り板（仕切り部材の一部）
５１１ｂ 第２仕切り板（仕切り部材の一部）
１２、３１２，４１２ 埋設部材（駆動軸の一部）
１３ オリフィス
２０ アクチュエータ
２２ 可動子（駆動軸の一部）
２３ 駆動軸
３１２ａ ねじ締結穴
３１０ ねじ穴
３５１，４５１ 締結ねじ

Claims (4)

1. 第１取付け具と、第２取付け具と、前記第２取付け具と前記第１取付け具とを連結すると共にゴム状弾性体から構成される防振基体と、前記第２取付け具に取付けられて前記防振基体との間に液封入室を形成すると共にゴム状弾性体から構成されるダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに連結され金属材料から形成される駆動軸を有すると共に前記ダイヤフラムを挟んで前記液封入室と反対側に配設されるアクチュエータと、前記アクチュエータの駆動軸により軸方向へ加振されるピストン部材と、前記ピストン部材が挿通される挿通孔を有し前記挿通孔に挿通されたピストン部材と共に前記液封入室を前記防振基体側の第１液室と前記ダイヤフラム側の第２液室とに仕切る仕切り部材と、前記第１液室と第２液室とを連通させるオリフィスと、を備えた能動型液封入式防振装置において、
   前記ピストン部材の外周面から径方向外方へ張り出すと共に前記第１液室に配設される第１張出部材と、前記ピストン部材の外周面から径方向外方へ張り出すと共に前記第２液室に配設され前記仕切り部材を挟んで前記第１張出部材と反対側に配設される第２張出部材とを備え、
   前記ピストン部材の軸方向一方または軸方向他方への変位が所定量以上となった場合には、前記第１張出部材または第２張出部材が仕切り部材に当接されることで、前記ピストン部材の変位が規制されることを特徴とする能動型液封入式防振装置。
2. 前記ピストン部材がゴム状弾性体から前記ダイヤフラムと一体に形成されると共に、
   前記第１張出部材および第２張出部材がゴム状弾性体から前記ピストン部材と一体に形成され、
   前記ピストン部材の外周面には、周方向に連続すると共に前記第１張出部材に連接される凹部が凹設されることを特徴とする請求項１記載の能動型液封入式防振装置。
3. 前記駆動軸は、前記第１液室側の軸方向端面にねじ締結穴が形成され、
   前記ピストン部材は、
   ゴム状弾性体から前記ダイヤフラムと一体に形成されると共に前記駆動軸の少なくとも一部が埋設される第２液室側ピストンと、
   ねじ穴が貫通形成される第１液室側ピストンと、
   前記第１液室側ピストンのねじ穴に挿通されると共に前記駆動軸のねじ締結穴に螺合されることで前記第１液室側ピストンを前記第２液室側ピストンに締結固定する締結ねじと、を備え、
   前記第１張出部材は、前記第１液室側ピストンの外周面から径方向外方へ張り出され、
   前記第２張出部材は、前記第２液室側ピストンの外周面から径方向外方へ張り出しつつ前記第２液室側ピストンとゴム状弾性体から一体に形成され、
   前記締結ねじにより前記第１液室側ピストンが前記第２液室側ピストンに締結固定された場合には、前記第２張出部材が、前記仕切り部材を挟んで前記第１張出部材と反対側に配設されることを特徴とする請求項１記載の能動型液封入式防振装置。
4. 前記第１液室側ピストンがゴム状弾性体から形成されると共に、第１張出部材が第１液室側ピストンとゴム状弾性体から一体に形成され、
   前記締結ねじは、前記駆動軸のねじ締結穴に一端側が螺合されるおねじ部と、前記おねじ部の他端側から径方向外方へ張り出すと共に前記駆動軸よりも大径に形成される頭部とを備え、金属材料から形成されることを特徴とする請求項３記載の能動型液封入式防振装置。

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