JP5469012B2 - 撮像装置及び撮像装置の撮像方法 - Google Patents

Description

本発明は、凸部や凹部の形状部分が周期的に繰り返されて形成されたワークを外観検査等するために、ワークを回転させて各形状部分を撮像する撮像装置及びその撮像方法に関する。

搬送手段で搬送されたワークである歯車をカメラで撮像し、撮像画像から歯車の歯の欠損の有無を検出する外観検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この種の外観検査装置には、自動車用エンジンのターボチャージャーなどに用いられる羽根車（タービンホイール）をサーボモーターで回転自在に保持し、サーボモーターでステップ送りして撮像用の位置で回転停止させ、固定設置されたカメラで全ての各羽根を撮像できるようにしている（例えば、特許文献２参照）。

特開平５−２３１８４２号公報 特開２００９−５２９１７号公報

ところで、ワークに周期的に繰り替えられて形成された部分（歯車の歯や羽根車の羽根等）を撮像し、各撮像画像から外観検査する場合、各撮影画像を同条件（例えば、同じ位置）で撮像することが望まれる。
しかしながら、上記特許文献２の構成は、引用文献１に比して回転させれば多数の検査箇所を撮像できるメリットがあるものの、ワークをステップ送りして所定の回転角度で停止させるため、ワークを精度良く停止させるための構造及び制御が必要になってしまう。また、撮像毎に停止させるため、全ての撮像が終了するまでに時間を要してしまう。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、ワークを回転させるモーターと、ワークに周期的に繰り返されて形成された部分の撮像タイミングとの同期をとり、無停止撮影を実現できる撮像装置及び撮像装置の撮像方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は、凸部や凹部の形状部分が周期的に繰り返されて形成されたワークを回転させ、当該ワークの形状部分を撮像する撮像装置において、前記ワークを一定の回転速度で回転させるモーターと、このモーターの回転軸に配置され、基準パルスを一定の間隔で出力するエンコーダとを備えるワーク回転機構と、回転中の前記ワークに対し、前記基準パルスを基準にした撮像タイミングで撮像する撮像制御部と、回転中の前記ワークにおける前記形状部分に同期した間隔でワークパルスを出力するワークパルス出力機構と、前記ワークパルス間の間隔を、前記基準パルスで計数して前記間隔に対応するパルス数を得るパルス計数部とを備え、前記撮像制御部は、前記ワークパルスをトリガーとして、前記基準パルスを基準にした撮像タイミングで撮像し、この撮像タイミングから前記基準パルスが前記パルス数だけ出力される毎に、前記基準パルスを基準にした撮像タイミングで撮像することを特徴とする。

この構成によれば、回転中のワークにおける形状部分に同期した間隔で出力されるワークパルスをトリガーとして、基準パルスを基準にした撮像タイミングで撮像し、この撮像タイミングから基準パルスが、ワークパルス間のパルス数だけ出力される毎に、基準パルスを基準にした撮像タイミングで撮像するので、ワークを回転させるモーターと、ワークに周期的に繰り返されて形成された部分の撮像タイミングとの同期をとることができ、無停止撮影を実現できる。

上記構成において、前記ワークパルス出力機構は、前記ワークと一体に回転し、回転中心に対して前記ワークの形状部分と同じ角度間隔で被検出部を有する回転体と、この回転体の被検出部を検出する毎に、前記ワークパルスを出力する近接センサとを備えるようにしてもよい。この構成によれば、近接センサをワークから離して配置することができる。

上記構成において、前記ワークパルスのパルス幅中心を検出するパルス中心検出回路を備え、前記撮影制御部は、前記パルス中心検出回路で検出されたパルス幅中心に対応する撮像タイミングで撮像するようにしてもよい。この構成によれば、より高精度に同期をとることができる。

本発明では、回転中のワークにおける形状部分に同期した間隔で出力されるワークパルスをトリガーとして、基準パルスを基準にした撮像タイミングで撮像し、この撮像タイミングから基準パルスが、ワークパルス間のパルス数だけ出力される毎に、基準パルスを基準にした撮像タイミングで撮像するので、ワークを回転させるモーターと、ワークに周期的に繰り返されて形成された部分の撮像タイミングとの同期をとることができ、無停止撮影を実現できる。

本発明の一実施形態に係る外観検査用の撮像装置を示す図である。 ワークの製造工程を示す図である。 ワーク検出用治具を周辺構成と共に示す図である。 撮像装置の動作を示すフローチャートである。 パルス出力のタイムチャートである。

以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る外観検査用の撮像装置を示す図である。
この撮像装置１０は、ワーク（本構成では歯車）Ｗの製造工程に配置され、この製造工程で製造されたワークＷをカメラ（撮像部）１１で撮像し、外観検査に適した撮像画像を得る装置である。ここで、ワークＷの製造工程は、図２に示すように、ワークＷの加工工程（歯車の歯切り等）→研削工程→洗浄工程→検査工程と続き、最終工程である検査工程にてこの撮像装置１０が使用される。
より具体的には、ワークＷは研削工程の後に、作業者が段取り替えして洗浄工程に移行し、洗浄工程を経た後、エアブローにより洗浄液が落とされ、洗浄工程の段取り状態のまま、撮像装置での撮像処理を含む検査工程に移行するようになっている。つまり、洗浄工程と検査工程は同じ段取り状態（セッティング）で実施され、時間の短縮化を図っている。

図１に示すように、この撮像装置１０は、ワークＷを回転させるワーク回転機構２０と、回転中のワークＷを撮像する撮像機構３０と、ワークＷに周期的に繰り返されて形成された歯部Ｗ１（後述する図３）の位置を示すワークパルスＰＷを出力するパルス出力機構４０と、これらの制御や検査処理等の各種情報処理を行う情報処理装置５０と、作業者が操作する表示機能付き操作装置６０とを備えている。なお、情報処理装置５０は、パーソナルコンピューターに、各種回路を実装した実装基板を組み込むことによって構成される。

ワーク回転機構２０は、ワークＷが固定されるホルダ部２１と、ホルダ部２１を回転駆動するモーター２２と、モーター２２の回転軸２２Ａに配置されるエンコーダ２３と、モーター駆動部２４とを備えている。
ホルダ部２１は、モーター２２の回転軸２２Ａと連結され、回転軸２２Ａと同速で回転することにより、ワークＷを回転させる。このホルダ部２１は、ワークＷを軸方向に貫通する貫通孔に通される軸部２１Ａと、ワークＷを軸部２１Ａと同軸でクランプする公知のクランプ機構（不図示）とを有し、この軸部２１ＡがワークＷとキーＫ（図３参照）で結合される。これにより、軸部２１ＡとワークＷとが一体に回転するようにキー結合される。
ここで、本構成のワークＷは、自動車のトランスミッションに使用される歯車であり、この種の歯車にはキー溝が設けられており、このキー溝を利用してホルダ部２１に固定している。

図１に示すように、軸部２１Ａの基端側（モーター２２の回転軸２２Ａ側）には、パルス出力機構４０の一部を構成するワーク検出用治具（回転体）４１が取り付けられる。
図３は、このワーク検出用治具４１を周辺構成と共に示す図である。
ワーク検出用治具４１は、ホルダ部２１に取り付けられるワークＷを模した板部材であり、ワーク検出用治具４１に周期的に繰り返されて形成された疑似歯部（疑似形状部）４１Ａを近接センサ４２で検出可能にする形状を有している。
より具体的には、このワーク検出用治具４１は、軸部２１Ａの回転中心Ｏ１を中心として軸部２１Ａから拡径する拡径部品であって、ワークＷの歯部Ｗ１のピッチと同じ角度間隔で径方向外側に突出する凸部で形成された疑似歯部（被検出部）４１Ａを有する薄板形状に形成されており、言い換えれば、このワーク検出用治具４１は、ワークＷの側断面形状と相似形の断面形状を有する平歯車形状に形成されている。

このワーク検出用治具４１は、ワークＷの背面近傍位置で、軸部２１Ａと一体回転するように軸部２１Ａにキー結合されている。これによって、ワーク検出用治具４１は、ワークＷと軸方向にずれた近傍位置でワークＷと一体に回転する回転体として機能する。
また、ワーク検出用治具４１の疑似歯部４１ＡとワークＷの歯部Ｗ１とは、軸部２１Ａの回転中心Ｏ１に対して同じ角度間隔で配置されている。本構成では、図３に示すように、ワーク検出用治具４１と歯車Ｗとを共通のキーＫで結合することにより、ワーク検出用治具４１の疑似歯部４１Ａと歯車Ｗの歯部Ｗ１とを同一位相に揃えている。
また、図示のように、このワーク検出用治具４１は薄板部材で形成されるため、このワーク検出用治具４１をホルダ部２１におけるワークＷが装着されない基端側領域を利用して容易に配置することができる。

モーター２２は、速度制御に適したサーボモーターが使用され、情報処理装置５０の制御の下、モーター駆動部２４から出力されるモーター駆動信号ＳＭに基づいて一定の回転速度で回転駆動される。
エンコーダ２３は、モーター２２の回転軸２２Ａに配置され、この回転軸２２Ａの回転速度に応じた周波数の基準パルスＰＡを出力する。本構成では、モーター２２が一定の回転速度で駆動されるため、エンコーダ２３は、一定の周波数の基準パルスＰＡを出力する。
このエンコーダ２３には、同じ時間内に、ワークＷの歯部Ｗ１の位置で出力されるワークパルスＰＷよりも１０〜１００倍のパルス数を出力するエンコーダが用いられており、つまり、ワークＷの歯部Ｗ１の１ピッチ当たりの回転角度で１０〜１００個のパルス（例えば、１６パルス）を出力する分解能とされている。このエンコーダ２３には、ロータリーエンコーダが使用される。

このエンコーダ２３から出力される基準パルスＰＡは、モーター駆動部２４に入力される。モーター駆動部２４は、基準パルスＰＡに基づいてモーター２２をフィードバック制御することにより、モーター２２を一定の回転速度に精度良く制御する。また、基準パルスＰＡは、モーター駆動部２４を経由して情報処理装置５０にも入力される。
なお、モーター駆動部２４は、モーター制御機能付きのＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）で構成されているが、これに限らず、情報処理装置５０に内蔵されていてもよい。
このモーター駆動部２４には、表示機能付き操作装置６０が接続され、この操作装置６０が具備する操作盤が操作されることによって、作業者からの操作指示がモーター駆動部２４に入力され、その操作指示に従ってモーター駆動部２４や情報処理装置５０が各種処理を行う。また、表示機能付き操作装置６０は、モーター駆動部２４を介して入力した各種情報を表示する表示機を備えている。

パルス出力機構４０は、上記したワーク検出用治具４１と、ワーク検出用治具４１の疑似歯部４１Ａを非接触で検出する単一の近接センサ４２とを備えている。近接センサ４２は、図３に示すように、センサ部４２Ａがワーク検出用治具４１の外周面に向けて配置され、ワーク検出用治具４１の疑似歯部４１Ａを磁気的に検出する毎にワークパルスＰＷを出力する。
図１に示すように、ワークパルスＰＷは、情報処理装置５０内のパルス中心検出回路５１に入力され、このパルス中心検出回路５１によってワークパルスＰＷの中心（パルス幅中心に相当）を示す中心データＳＰが生成され、情報処理装置５０内のパルス計数部５２と撮像制御部５３とに入力される。
パルス計数部５２は、連続するワークパルスＰＷの中心間で基準パルスＰＡのパルス数Ｎ１（基準パルス数ＮＰと言う）を計数することにより、ワークパルスＰＷ間の基準パルス数ＮＰを取得し、撮像制御部５３に通知する。

撮像制御部５３は、基準パルスＰＡを基準にした撮像タイミングで撮像するようにカメラ１１の動作を制御するものであり、基準パルスＰＡが入力されるとともに、パルス中心検出回路５１が検出したワークパルスＰＷの中心、及び、パルス計数部５２が計数したワークパルスＰＷ間の基準パルス数ＮＰが通知される。
この撮像制御部５３には、ワーク撮像用のカメラ１１が配線接続され、カメラ１１に撮像指示を送るとともに、カメラ１１で撮像された画像データを取得する。
なお、図中、符号５４は、撮像データ、基準パルス数ＮＰ、ワークＷの歯数（形状部分の数）等のワーク情報等を記憶する記憶部である。この記憶部５４には、磁気記録媒体、光記録媒体、半導体記録媒体等のコンピューターが読み取り可能な記録媒体が適用される。

この撮像制御部５３及びカメラ１１が、撮像機構３０を構成しており、本構成では、カメラ１１として、ワークＷの歯部Ｗ１を異なる条件で撮影するための複数台（本構成では３台）のカメラを固定設置している。
具体的には、図１に示すように、歯面（歯部Ｗ１の表面全体）を撮影するための歯面撮影用カメラ（第１撮像部）１１Ａと、歯先（歯部Ｗ１の先端）を撮影するための歯先撮影用カメラ（第２撮像部）１１Ｂと、歯部Ｗ１の端面を撮影するための端面撮影カメラ（第３撮像部）１１Ｃとを備えている。
なお、これらカメラ１１には、静止画撮像用のデジタルカメラが用いられ、回転中のワークＷを撮像しても撮影画像がぶれないシャッター速度性能、外観検査に十分な画素数、各部の撮影に好適なレンズを具備している。このうち、歯面撮影用カメラ１１Ａにはいわゆるエリアカメラ（エリアセンサカメラとも称する）が使用され、歯先撮影用カメラ１１Ｂ及び端面撮影カメラ１１Ｃには、いわゆるラインカメラ（ラインセンサカメラとも称する）が使用されている。

次に、撮像装置１０が歯面撮影用カメラ１１Ａの撮像制御をする場合の動作を説明する。図４は、この場合の動作を示すフローチャートである。
まず、撮像装置１０は、モーター駆動部２４によりモーター２２の回転駆動を開始する（ステップＳ１：回転工程の開始）。この場合、モーター２２は予め設定された一定の回転速度で回転するように制御される。
モーター２２が回転駆動されると、エンコーダ２３から基準パルスＰＡが出力されるとともに、近接センサ４２からワークパルスＰＷが出力される（ワークパルス出力工程）。

このエンコーダ２３及び近接センサ４２からのパルス出力は、図５に示すタイムチャートとして得られる。この図に示すように、近接センサ４２では、ワークＷに周期的に繰り返されて形成された単一の歯部（形状部分）Ｗ１の範囲内において、中央部が山高となる出力信号電圧を発生し、この出力信号電圧がデジタル化される。なお、図５中、符号ＬＴは、ワークパルスＰＷをデジタル化する際のスレッショルドレベルを示している。そして、パルス中心検出回路５１では、デジタル化されたパルス幅Ｎを測定し、この測定されたパルス幅Ｎの半分のパルス幅（Ｎ／２）を、近接センサ４２による出力信号電圧を介して立ち上がる次のパルスに同期して生成し、歯先中心検出パルスＰＣとして出力する。

従って、生成されたパルス幅（Ｎ／２）のパルス（歯先中心検出パルスＰＣ）の終了エッジが、歯部Ｗ１の中心位置に対応している。このため、デジタル化されたパルス幅Ｎに対応して基準パルスＰＡのパルス数を計数し、この計数値の半分のパルス幅（Ｎ／２）のパルス幅を生成することにより、ワークパルスＰＷの中心（パルス幅中心）、つまり、ワークＷの歯部中心が検出される。

また、この回転中、パルス計数部５２によってワークパルスＰＷ間の基準パルス数ＮＰが計数されるとともに（ステップＳ２：パルス計数工程）、ステップＳ３以降の処理（撮像工程）が実施される。
この場合、撮像制御部５３は、まず、ワークパルスＰＷを撮像開始のトリガー（開始トリガー）として、基準パルスＰＡを基準にした撮像タイミングを検出し、この撮像タイミングで撮像トリガー信号を歯面撮影用カメラ１１Ａに出力することによって、歯面撮影用カメラ１１Ａで撮像させる。

この際、撮像制御部５３は、パルス中心検出回路５１で検出されるワークパルスＰＷの中心に相当する撮像タイミングを基準パルスＰＡから特定し、この特定したタイミングで撮像させるため、近接センサ４２がワークＷの歯部中心を検出したタイミングで正確に撮像させることができる。なお、本構成では、基準パルスＰＡの立ち下がりと立ち上がりとのいずれかを選択して、撮像タイミング（開始トリガー）とすることが可能な回路に構成されている。

本構成では、１回目の撮像については、歯先中心検出パルスＰＣを撮像開始のトリガーとする。つまり、基準パルスＰＡから撮像タイミングを特定するのではなく、歯先中心検出パルスＰＣの終了エッジのタイミングそのものを撮像タイミングとする。これによって、近接センサ４２がワークＷの歯部中心を検出したタイミングと撮像タイミングとの誤差を最小にしている。

続いて、撮像制御部５３は、この撮像タイミングから基準パルスＰＡが、基準パルス数ＮＰだけ出力されたか否かを判定し、基準パルス数ＮＰ出力される毎に、撮像トリガー信号を歯面撮影用カメラ１１Ａに出力し、歯面撮影用カメラ１１Ａで撮像させる（ステップＳ４）。
この場合、撮像制御部５３は、撮像回数を計数し、撮像回数がワークＷの歯数と一致するか否かを判定し、一致しない場合（ステップＳ５：ＮＯ）、ステップＳ４の撮像処理を再び行い、撮像回数がワークＷの歯数と一致すると（ステップＳ５：ＹＥＳ）、モーター２２の回転を停止させ（ステップＳ６）、撮像処理を終了する。
つまり、２回目以降の撮像は、エンコーダ２３からの基準パルスＰＡを基準にして撮像トリガー信号を歯面撮影用カメラ１１Ａに出力し、これによって、精度良く一定の間隔で撮像することができる。なお、本実施形態では、１回目の撮像については、基準パルスＰＡから撮像タイミングを特定していないが、本発明はこの態様に限らず、１回目の撮像についても、基準パルスＰＡから撮像タイミングを特定してもよい。

このようにしてワークパルスＰＷの間隔で撮像するので、実際のワークＷの歯部（形状部分）Ｗ１に同期して撮像することができる。従って、歯面撮影用カメラ１１Ａの視野の中に、同じ歯部Ｗ１の輪郭である歯面が連続して撮像され、各歯部Ｗ１を同じ条件（同じ位置）で撮像した画像を得ることができる。しかも、本構成では、撮像回数がワークＷの歯数分とされるので、全ての歯部Ｗ１を同じ位置で撮像すると、自動的に撮像を終了できる。また、１回目の撮像では、ワークパルスＰＷに基づき生成した歯先中心検出パルスＰＣをトリガーとして撮像し、２回目以降の撮像では、エンコーダ２３からの基準パルスＰＡをトリガーとして一定間隔の撮像を行うので、撮像タイミングの誤差を低減することができる。
なお、各歯部Ｗ１の撮影位置の微調整は、歯面撮影用カメラ１１Ａの位置の微調整、或いは、撮像トリガー信号の出力タイミングを微少時間だけ補正することによって可能である。

これら撮像画像のデータは、情報処理装置５０が具備する記憶部５４に蓄積され、この情報処理装置５０が具備する画像処理による公知の欠陥検出機能によって欠陥の有無が判定され、その判定結果が、情報処理装置５０や表示機能付き操作装置６０を介して外部に通知される。
この欠陥検出には、歯面の表面の欠陥（例えば、黒皮残りや傷）を、「予め撮像された歯面の良品の表面画像」や「今回撮像された隣の表面画像」との比較で探索する方法が適用される。これによって、ワークＷの外観検査が行われる。

以上説明したように、本実施の形成では、回転中のワークＷにおける歯部（形状部分）Ｗ１の位置を、ワーク検出用治具４１を介して近接センサ４２で検出し、この近接センサ４２から歯部Ｗ１に同期した間隔で出力されるワークパルスＰＷをトリガーとして、基準パルスＰＡを基準にした撮像タイミングで撮像し、この撮像タイミングから基準パルスＰＡが、ワークパルスＰＷ間の基準パルス数ＮＰだけ出力される毎に、基準パルスＰＡを基準にした撮像タイミングで撮像するので、実際のワークＷの歯部Ｗ１に合わせつつ、モーター２２側の基準パルスＰＡ基準で撮像することができる。
これにより、ワークＷを回転させるモーター２２と、ワークＷに周期的に繰り返されて形成された部分の撮像タイミングとの同期をとることができ、無停止撮影を実現できる。従って、外観検査用の撮像に要する時間を短縮化できる。

また、本構成では、回転中のワークＷにおける歯部Ｗ１の位置を、ワーク検出用治具４１を介して近接センサ４２で検出するので、近接センサ４２をワークＷから離して配置することができる。このため、近接センサ４２と、歯部Ｗ１を撮像するカメラ１１とを離して配置でき、これらの設置が容易になる。
しかも、この構成では、ワークＷを構成する歯車部品の種類が多い場合でも、同じ歯数のワークＷであれば、ワーク検出用治具４１を共用でき、また、歯数が違うワークＷであれば、ワーク検出用治具４１を取り替えることによって容易に対応することができる。
さらに、本構成では、ワークパルスＰＷのパルス幅中心を検出するパルス中心検出回路５１を備え、撮像制御部５３がパルス中心検出回路５１で検出されたパルス幅中心に対応する撮像タイミングで撮像する制御を行うので、より高精度に同期をとることができる。

なお、上述した実施形態は、あくまでも本発明の一態様を示すものであり、本発明の範囲内で任意に変形可能である。例えば、上述の実施形態では、ワーク検出用治具４１を設ける場合を説明したが、これに限らず、ワーク検出用治具４１を省略し、近接センサ４２が、ワークＷの歯部（形状部分）Ｗ１を直接検出するようにしてもよい。
また、上述の実施形態では、ワークＷに歯車を用いる場合を例に説明したが、これに限らず、羽根車（タービンホイール）、スクリュー等の歯車以外の部品でもよい。要は、歯や羽根（翼）等の凸部や、内側に凹む凹部といった形状部分が周期的に繰り返された形成されたワークＷの撮像装置に本発明を広く適用することが可能である。

１０ 撮像装置
１１ カメラ（撮像部）
２０ ワーク回転機構
２１ ホルダ部
２２ モーター
２３ エンコーダ
３０ 撮像機構
４０ パルス出力機構
４１ ワーク検出用治具（回転体）
４１Ａ 疑似歯部（被検出部）
５０ 情報処理装置
５１ パルス中心検出回路
５２ パルス計数部
５３ 撮像制御部
ＰＡ 基準パルス
ＰＷ ワークパルス
Ｗ ワーク
Ｗ１ 歯部（形状部分）

Claims (4)

1. 凸部や凹部の形状部分が周期的に繰り返されて形成されたワークを回転させ、当該ワークの形状部分を撮像する撮像装置において、
   前記ワークを一定の回転速度で回転させるモーターと、このモーターの回転軸に配置され、基準パルスを一定の間隔で出力するエンコーダとを備えるワーク回転機構と、
   回転中の前記ワークに対し、前記基準パルスを基準にした撮像タイミングで撮像する撮像制御部と、
   回転中の前記ワークにおける前記形状部分に同期した間隔でワークパルスを出力するワークパルス出力機構と、
   前記ワークパルス間の間隔を、前記基準パルスで計数して前記間隔に対応するパルス数を得るパルス計数部とを備え、
   前記撮像制御部は、前記ワークパルスをトリガーとして、前記基準パルスを基準にした撮像タイミングで撮像し、この撮像タイミングから前記基準パルスが前記パルス数だけ出力される毎に、前記基準パルスを基準にした撮像タイミングで撮像することを特徴とする撮像装置。
2. 前記ワークパルス出力機構は、前記ワークと一体に回転し、回転中心に対して前記ワークの形状部分と同じ角度間隔で被検出部を有する回転体と、この回転体の被検出部を検出する毎に、前記ワークパルスを出力する近接センサとを備えることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
3. 前記ワークパルスのパルス幅中心を検出するパルス中心検出回路を備え、
   前記撮影制御部は、前記パルス中心検出回路で検出されたパルス幅中心に対応する撮像タイミングで撮像することを特徴とする請求項１又は２に記載の撮像装置。
4. 凸部や凹部の形状部分が周期的に繰り返されて形成されたワークを回転させ、当該ワークの形状部分を撮像する撮像装置の撮像方法において、
   モーターによって前記ワークを一定の回転速度で回転し、前記モーターの回転軸に配置されたエンコーダから基準パルスを一定の間隔で出力する回転工程と、
   回転中の前記ワークにおける前記形状部分に同期した間隔でワークパルスを出力するワークパルス出力工程と、
   前記ワークパルス間の間隔を、前記基準パルスで計数して前記間隔に対応するパルス数を得るパルス計数工程と、
   前記ワークパルスをトリガーとして、前記基準パルスを基準にした撮像タイミングで撮像し、この撮像タイミングから前記基準パルスが前記パルス数だけ出力される毎に、前記基準パルスを基準にした撮像タイミングで撮像する撮像工程とを有することを特徴とする撮像装置の撮像方法。

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