JP5453335B2 - 静電容量圧力センサーのためのバッフル - Google Patents
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Description
Claims (8)
- 静電容量性圧力センサーであって、前記静電容量性圧力センサーは、
流体を受け入れるための導入口を有するハウジングと、
流体からの圧力に応答して撓むためのダイアフラムと、
前記ダイアフラムによる移動に応答して変化するキャパシタンスを規定する前記ダイアフラムから離間した電極と、
第1のバッフルと第2のバッフルを備えた複数のバッフルの組と、
を備え、
前記第1のバッフルは、前記導入口を横切る閉鎖された中央部分を有し、前記導入口の直後の第1の周囲の領域において複数の開口部を画定し、
前記第2のバッフルは、閉鎖された中央部分を有し、前記導入口から遠方の第2の周囲の領域において複数の開口部を画定し、
前記第2のバッフルは、前記第1のバッフルと前記ダイアフラムの間に位置付けられており、当該第2のバッフルは、前記第1のバッフルと前記ハウジングの部分と協同してチャンバーを画定するように形成されており、
前記チャンバーは、高さの寸法と半径方向の寸法を有し、
前記第1のバッフルによって規定されるどのような開口部と前記第2のバッフルによって規定されるどのような開口部との間の距離も、高さの寸法の少なくとも10倍以上であるように寸法が作成されている、
静電容量性圧力センサー。 - 前記高さの寸法と前記半径方向の寸法は、前記第1のバッフルによって規定されるどのような開口部と前記第2のバッフルによって規定されるどのような開口部との間の距離も高さの寸法の少なくとも50倍以上であるように寸法が作成されている、請求項1に記載のセンサー。
- 前記第2のバッフルは、前記ダイアフラムから0.1cm以下に離間される請求項1に記載のセンサー。
- 前記チャンバーの容積は1.6立方センチ以下である請求項1に記載のセンサー。
- 前記第2のバッフルは、等間隔に離間した複数のタブを備え、実質的に円形であり、周方向において前記タブ同士の間、および、径方向において前記第2のバッフルと前記ハウジングの間において、前記第2のバッフルによって画定される複数の開口部として複数の環状セクターを画定する、請求項1に記載のセンサー。
- 前記第1のバッフルによって規定されるどのような開口部と前記第2のバッフルによって規定されるどのような開口部との間の距離も、少なくとも1cmである請求項1に記載のセンサー。
- 前記第1のバッフルによって規定されるどのような開口部と前記第2のバッフルによって規定されるどのような開口部との間の距離も、1〜4cmの範囲にある請求項6に記載のセンサー。
- 前記第2のバッフルは、前記ダイアフラムから0.1cm以下に離間される請求項7に記載のセンサー。
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