JP2011149946A - 静電容量圧力センサーのためのバッフル - Google Patents
静電容量圧力センサーのためのバッフル Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011149946A JP2011149946A JP2011041671A JP2011041671A JP2011149946A JP 2011149946 A JP2011149946 A JP 2011149946A JP 2011041671 A JP2011041671 A JP 2011041671A JP 2011041671 A JP2011041671 A JP 2011041671A JP 2011149946 A JP2011149946 A JP 2011149946A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- baffle
- diaphragm
- sensor
- housing
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0636—Protection against aggressive medium in general using particle filters
Abstract
【解決手段】バッフル30が、小さな容量を有するように、静電容量圧力センサー10の近傍に配置される。このバッフルは高縦横比の径方向通路44を創り出し、ダイアフラム16に到達する前の分子の移動を創り出す。この通路は、汚染物がダイアフラムに到達する前に、バッフルまたはハウジング12に付着することを推進する。センサーは更に、導入部14とバッフルの間に粒子のトラップ28を含む。
【選択図】図1
Description
Claims (25)
- 流体を受け入れるための導入部を有するハウジングと、 流体からの圧力に応答して撓むためのダイアフラムと、 ダイアフラムによる移動に応答して変化するキャパシタンスを規定するキャパシターから離間した電極と、 導入部とダイアフラムとの間に配置され、分子がダイアフラムに到達する前に、分子が通過する1つまたは複数の開口部を規定するために形成されるバッフルとからなる静電容量性圧力センサーであって、 前記バッフルは、分子がダイアフラムに到達する前に、分子が導入部からハウジングとバッフルの間の通路に沿って開口部に移動しなければならないように配置され、形成されており、 通路の長さの、ハウジングとバッフルの間の間隙に対する比率が少なくとも10である静電容量圧力センサー。
- 前記比率が少なくとも50である請求項1記載のセンサー。
- バッフルは、ダイアフラムから0.1cm以下に離間される請求項1記載のセンサー。
- バッフルとダイアフラムの間の容積は1.6立方センチ以下である請求項1記載のセンサー。
- 導入部とバッフルの間に粒子トラップを更に備え、前記トラップは、周辺領域において導入部と開口部を横断する閉じた中心部分を有する請求項1記載のセンサー。
- バッフルは、等間隔に離間した複数のタブを備え、実質的に円形であり、周方向においてタブ同士の間、および、バッフルとハウジングの間において開口部として径方向に環状セクターを規定する請求項5記載のセンサー。
- 通路の長さは径方向であり、トラップの開口部からバッフル内のセクターに向かって延出する請求項6記載のセンサー。
- バッフルは実質的に円形で、等間隔に離間された複数のタブを備え、タブ同士の間のセクターを規定する請求項1記載のセンサー。
- 通路の長さが少なくとも1cmである請求項1記載のセンサー。
- 通路の長さが1〜4cmの範囲にある請求項9記載のセンサー。
- 間隙は、0.1cm以下である請求項9記載のセンサー。
- 間隙は、0.1cm以下である請求項1記載のセンサー。
- 平面内に第1の直径を有する導入部を備えるハウジングと、前記平面に平行な閉じた中心位置を備えるとともに、第1の直径よりも大きい第2の直径を有し、開口部よりも小さい粒子を通過させる周方向の開口部とを備える第1のバッフル部材と、 前記平面に平行してハウジングに接続された可撓性ダイアフラムと、 前記平面に平行な第2のバッフル部材とからなる静電容量圧力センサーであって、 前記第2のバッフルは、ダイアフラムと第1のバッフル部材の間に配置され、前記第2の直径よりも大きい第3の直径と、前記平面に垂直な方向に流体を通過させるハウジングから離間した周辺部とを有する静電容量圧力センサー。
- 第1のバッフル部材の開口部同士の間の径方向通路と周辺部とが、10よりも大きい縦横比を有する請求項13記載の圧力センサー。
- 縦横比が50よりも大きい請求項14記載の圧力センサー。
- ハウジングは、粒子が導入部から第1のバッフル部材の開口部に移動させる環状開口部を有する請求項13記載の圧力センサー。
- 第2のバッフル部材とダイアフラムの間の容積が1.6立方センチ以下である請求項13記載の圧力センサー。
- 第1のバッフル部材の開口部同士の間の径方向通路と周辺部は、10よりも大きい縦横比を有する請求項17記載の圧力センサー。
- 縦横比が50よりも大きい請求項18記載の圧力センサー。
- 流体を受け入れるための導入部を有するハウジングと、 流体からの圧力に応答して撓むためのダイアフラムと、 ダイアフラムによる移動に応答して変化するキャパシタンスを規定するキャパシターから離間した電極と、 導入部とダイアフラムとの間に配置され、分子がダイアフラムに到達する前に、分子が通過する1つまたは複数の開口部を規定するために形成されるバッフルとからなる静電容量性圧力センサーであって、 前記バッフルは、分子がダイアフラムに到達する前に、分子が導入部からハウジングとバッフルの間の通路に沿って開口部に移動しなければならないように配置され、形成されており、 通路の幾何学的構造が分子の流れを創り出す静電容量圧力センサー。
- バッフルとダイアフラムとの間の容積が1.6立方センチ以下である請求項20記載のセンサー。
- 導入部とバッフルの間に粒子トラップをさらに有し、前記トラップは、導入部と周辺領域内の開口部とを横断する閉じた中心部分を有する請求項20記載のセンサー。
- バッフルは、等間隔に離間した複数のタブを備え、実質的に円形であり、周方向においてタブ同士の間、および、バッフルとハウジングの間において開口部として径方向に環状セクターを規定する請求項22記載のセンサー。
- 通路の長さは径方向であり、トラップの開口部からバッフル内のセクターに向かって延出する請求項23記載のセンサー。
- バッフルは実質的に円形で、等間隔に離間された複数のタブを備え、タブ同士の間のセクターを規定する請求項20記載のセンサー。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/394,804 US6443015B1 (en) | 1999-09-10 | 1999-09-10 | Baffle for a capacitive pressure sensor |
US09/394,804 | 1999-09-10 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001522057A Division JP2003508780A (ja) | 1999-09-10 | 2000-09-08 | 静電容量圧力センサーのためのバッフル |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011149946A true JP2011149946A (ja) | 2011-08-04 |
JP2011149946A5 JP2011149946A5 (ja) | 2012-06-07 |
JP5453335B2 JP5453335B2 (ja) | 2014-03-26 |
Family
ID=23560493
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001522057A Pending JP2003508780A (ja) | 1999-09-10 | 2000-09-08 | 静電容量圧力センサーのためのバッフル |
JP2011041671A Expired - Lifetime JP5453335B2 (ja) | 1999-09-10 | 2011-02-28 | 静電容量圧力センサーのためのバッフル |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001522057A Pending JP2003508780A (ja) | 1999-09-10 | 2000-09-08 | 静電容量圧力センサーのためのバッフル |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6443015B1 (ja) |
EP (2) | EP1340971B1 (ja) |
JP (2) | JP2003508780A (ja) |
KR (1) | KR20020033173A (ja) |
DE (2) | DE60017954T2 (ja) |
TW (1) | TW463039B (ja) |
WO (1) | WO2001018516A1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014126504A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Azbil Corp | 静電容量型圧力センサ |
JP2019046286A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | アズビル株式会社 | 異常検知方法および異常検知装置 |
KR20200021885A (ko) | 2018-08-21 | 2020-03-02 | 아즈빌주식회사 | 압력 센서 |
KR20210018041A (ko) | 2019-08-08 | 2021-02-17 | 아즈빌주식회사 | 압력 센서 |
US11573142B2 (en) | 2020-02-19 | 2023-02-07 | Azbil Corporation | Capacitive diaphragm vacuum gauge including a pressure sensor with multiple recesses being formed in the diaphragm |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6901808B1 (en) * | 2002-02-12 | 2005-06-07 | Lam Research Corporation | Capacitive manometer having reduced process drift |
US7252011B2 (en) * | 2002-03-11 | 2007-08-07 | Mks Instruments, Inc. | Surface area deposition trap |
US6993973B2 (en) * | 2003-05-16 | 2006-02-07 | Mks Instruments, Inc. | Contaminant deposition control baffle for a capacitive pressure transducer |
JP4177294B2 (ja) * | 2004-06-07 | 2008-11-05 | 三菱電機株式会社 | 圧力センサ装置 |
DE102008025045A1 (de) * | 2007-06-02 | 2008-12-04 | Marquardt Gmbh | Sensor |
TWI532982B (zh) | 2011-10-11 | 2016-05-11 | Mks公司 | 壓力感測器 |
JP6002016B2 (ja) * | 2012-11-30 | 2016-10-05 | アズビル株式会社 | 静電容量型圧力センサ |
US10107315B2 (en) * | 2013-04-30 | 2018-10-23 | Mks Instruments, Inc. | MEMS pressure sensors with integrated baffles |
JP6231812B2 (ja) * | 2013-08-09 | 2017-11-15 | アズビル株式会社 | 静電容量型圧力センサ |
US9430925B2 (en) * | 2014-09-05 | 2016-08-30 | Google Inc. | Detector unit and sensing chamber therefor with matter retention member and method for making same |
EP3109612A1 (en) | 2015-06-26 | 2016-12-28 | Nina Wojtas | Mems deposition trap for vacuum transducer protection |
JP6815221B2 (ja) * | 2017-02-17 | 2021-01-20 | アズビル株式会社 | 静電容量型圧力センサ |
DK3737926T3 (da) * | 2018-01-09 | 2023-01-16 | Kistler Holding Ag | Beskyttelsesanordning |
JP7085898B2 (ja) * | 2018-05-25 | 2022-06-17 | 東京エレクトロン株式会社 | ラジカル失活部品及びこれを用いたプラズマ処理装置 |
US11287342B2 (en) | 2020-03-20 | 2022-03-29 | Mks Instruments, Inc. | Capacitance manometer with improved baffle for improved detection accuracy |
CN114264403A (zh) * | 2021-12-03 | 2022-04-01 | 北京晨晶精仪电子有限公司 | 真空规颗粒阻挡结构 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58101155U (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-09 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 真空計用ダストトラツプ |
JP3011583U (ja) * | 1994-11-25 | 1995-05-30 | エヌテーシー工業株式会社 | 半導体圧力センサを用いた水位検出器 |
WO1998026263A1 (en) * | 1996-12-11 | 1998-06-18 | Mks Instruments, Inc. | Fluid pressure sensor with contaminant exclusion system |
JPH11201847A (ja) * | 1998-01-19 | 1999-07-30 | Fuji Electric Co Ltd | 静電容量式圧力センサ |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3675072A (en) * | 1971-01-28 | 1972-07-04 | Atomic Energy Commission | Fast-closing valve system for cyclotrons |
US4020674A (en) * | 1976-05-19 | 1977-05-03 | Harry Robert Fechter | Pipeline leak detector with baffles |
JPH0812123B2 (ja) * | 1987-11-27 | 1996-02-07 | 日本碍子株式会社 | 圧力センサ |
JPH0311583A (ja) * | 1989-06-08 | 1991-01-18 | Showa Kogyo Kk | 面状発熱体およびその製造法 |
US5271277A (en) * | 1991-12-23 | 1993-12-21 | The Boc Group, Inc. | Capacitance pressure transducer |
US5808206A (en) * | 1996-01-16 | 1998-09-15 | Mks Instruments, Inc. | Heated pressure transducer assembly |
US5948169A (en) | 1998-03-11 | 1999-09-07 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Apparatus for preventing particle deposition in a capacitance diaphragm gauge |
-
1999
- 1999-09-10 US US09/394,804 patent/US6443015B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-09-08 KR KR1020027003157A patent/KR20020033173A/ko not_active Application Discontinuation
- 2000-09-08 WO PCT/US2000/024862 patent/WO2001018516A1/en active IP Right Grant
- 2000-09-08 DE DE60017954T patent/DE60017954T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-09-08 DE DE60007884T patent/DE60007884T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-09-08 JP JP2001522057A patent/JP2003508780A/ja active Pending
- 2000-09-08 EP EP03012375A patent/EP1340971B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-09-08 EP EP00961773A patent/EP1214573B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-09-08 TW TW089118384A patent/TW463039B/zh not_active IP Right Cessation
-
2011
- 2011-02-28 JP JP2011041671A patent/JP5453335B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58101155U (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-09 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 真空計用ダストトラツプ |
JP3011583U (ja) * | 1994-11-25 | 1995-05-30 | エヌテーシー工業株式会社 | 半導体圧力センサを用いた水位検出器 |
WO1998026263A1 (en) * | 1996-12-11 | 1998-06-18 | Mks Instruments, Inc. | Fluid pressure sensor with contaminant exclusion system |
JPH11201847A (ja) * | 1998-01-19 | 1999-07-30 | Fuji Electric Co Ltd | 静電容量式圧力センサ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014126504A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Azbil Corp | 静電容量型圧力センサ |
US9228913B2 (en) | 2012-12-27 | 2016-01-05 | Azbil Corporation | Electrostatic pressure sensor |
JP2019046286A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | アズビル株式会社 | 異常検知方法および異常検知装置 |
KR20200021885A (ko) | 2018-08-21 | 2020-03-02 | 아즈빌주식회사 | 압력 센서 |
KR20210018041A (ko) | 2019-08-08 | 2021-02-17 | 아즈빌주식회사 | 압력 센서 |
US11573142B2 (en) | 2020-02-19 | 2023-02-07 | Azbil Corporation | Capacitive diaphragm vacuum gauge including a pressure sensor with multiple recesses being formed in the diaphragm |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20020033173A (ko) | 2002-05-04 |
TW463039B (en) | 2001-11-11 |
EP1214573B1 (en) | 2004-01-21 |
JP2003508780A (ja) | 2003-03-04 |
DE60017954T2 (de) | 2006-01-12 |
DE60007884D1 (de) | 2004-02-26 |
EP1340971A2 (en) | 2003-09-03 |
JP5453335B2 (ja) | 2014-03-26 |
EP1340971A3 (en) | 2003-10-01 |
US6443015B1 (en) | 2002-09-03 |
DE60017954D1 (de) | 2005-03-10 |
WO2001018516A1 (en) | 2001-03-15 |
EP1214573A1 (en) | 2002-06-19 |
EP1340971B1 (en) | 2005-02-02 |
DE60007884T2 (de) | 2004-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5453335B2 (ja) | 静電容量圧力センサーのためのバッフル | |
JP4490108B2 (ja) | 表面領域付着トラップ | |
EP1839024B1 (en) | A flow defining structure for use with a capacitive pressure sensor | |
JP4607889B2 (ja) | 容量性差圧変換器を備えた汚染物質堆積制御バッフル | |
KR101539177B1 (ko) | 정전 용량형 압력 센서 | |
EP0944818B1 (en) | Fluid pressure sensor with contaminant exclusion system | |
KR101810729B1 (ko) | 압력 측정기 및 압력 측정기를 구비하는 기판 처리 장치 | |
JP4789157B2 (ja) | フローカーテンを形成する、近接センサのノズルシュラウド | |
WO2020239515A1 (en) | Duct sensor with duct probe for sampling a fluid from a duct and method of operation | |
KR102252221B1 (ko) | 축전 용량식 진공게이지 | |
CN117309226A (zh) | 一种抑制沉积管及压力检测装置 | |
CN117664429A (zh) | 一种真空规 | |
KR20170112424A (ko) | 자석 필터 및 이의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110330 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110330 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120710 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121001 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121004 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130226 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130521 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130524 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130624 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130627 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130710 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140106 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5453335 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |