JP5452864B2 - 熱的特性を有する積層体を備えた基材 - Google Patents

Description

本発明は、透明な基材、特にガラスなどの硬質な無機材料からできている基材であって、日射及び／又は長波長の赤外線に作用できる金属タイプの少なくとも１つの機能層を含む薄膜多層によりコーティングされている基材に関する。

本発明は、より詳細には、断熱及び／又は日射保護グレージングユニットを製造するためにそのような基材を使用することに関する。これらのグレージングユニットは、特に、空調負荷を減らすため、及び／又は過大な過熱を低減するため（「ソーラーコントロール」グレージング材と呼ばれるグレージング材）、及び／又は建築物及び輸送機関の客室におけるますます増加するガラス面の使用によりもたらされる外部への放散エネルギーの量を低減するため（「低ｅ（ｌｏｗ−ｅ）」又は「低放射率」グレージング材と呼ばれるグレージング材）に、建築物及び輸送機関の両方に備えられるように意図される。

そのような特性を基材に与えることで知られている多層の１つのタイプは、金属酸化物タイプの誘電材料でできた２つのコーティングの間に配置された、銀層などの少なくとも１つの金属層からなる。この多層は一般的に、スパッタリング、あるいは磁気増強スパッタリングなどの真空技術を利用して実施される連続した被着操作により得られる。２つの非常に薄い金属層を提供することもでき、これらは銀層の各面に配置され、すなわち、結合層、核形成層及び／又は、被着に続いて行われることがある熱処理の間の保護のための保護層としての下層と、上に載せられる酸化物層が酸素の存在下でのスパッタリングにより被着される場合及び／又は被着後に多層が熱処理を受ける場合に銀が損傷を受けるのを防ぐための「犠牲」又は保護層としての上層である。

例えば、銀を基礎材料とする１つ又は２つの層を有するこのタイプの多層は、欧州特許第０６１１２１３号、同第０６７８４８４号及び同第０６３８５２８号各明細書から知られている。

現在、この低放射率又は日射保護ガラスが、基材自体に固有な特性、特に美的特性（ガラスが湾曲可能なように）、機械的特性（より強くなるように）又は安全特性（破片による怪我をさせないように）を有することもますます求められている。このため、ガラス基材は、曲げ、徐冷又は強化タイプの、それ自体公知の熱処理、及び／又は積層グレージングの製造に関連する処理を受けることが必要である。

その場合、多層は、銀層タイプの機能層の完全性を保つため、特にその損傷を防ぐために、適合されなければならない。第１の解決法は、機能層を取り巻く上述の薄い金属層の厚さを有意に増すことにあり、従って、周囲雰囲気から拡散しがちであり及び／又は高温でガラス基材から移動しがちで、それらを酸化する酸素が、１又は複数の機能層に到達することなく、これらの金属層により「捕獲」されることを確実にする方策が講じられる。

これらの層は、「ブロッキング層」又は「ブロッカー層」と呼ばれることがある。

スズ層とニッケル−クロム層の間に配置された銀層を有する「強化可能な」多層の説明については、欧州特許出願第０５０６５０７号明細書を特に参照することができる。しかし、熱処理の前にコーティングされた基材が単に「半完成」製品と考えられることは明らかであり、光学的特性のためにそれはそのままでは使用不可能であることが多かった。従って、一方は非湾曲の「非強化」グレージング材用のものであり、他方は強化又は湾曲することを意図するグレージング材用のものであり、特に在庫管理及び製造の点で複雑になりかねない２種の多層を、並行して開発及び製造することが必要であった。

欧州特許第０７１８２５０号明細書に提案される改善によりこの制約を克服できるが、その明細書の教示は、多層でコーティングされた基材が熱処理を受けるかどうかにかかわらず、その光学的及び熱的性質が実質的に変わらないような薄膜多層を考え出すことにある。そのような結果は、以下の２つの特徴を組み合わせて得られる。
・一方においては、高温酸素拡散に対するバリアとして機能できる材料でできた層を、１又は複数の機能層の上に設け、その材料自体は高温で、その光学的性質を変えるような化学的又は構造的変化を被らない。例えば、前記材料は、窒化ケイ素Ｓｉ₃Ｎ₄又は窒化アルミニウムＡｌＮでよい。
・他方においては、１又は複数の機能層を、下にある誘電性の、特に酸化亜鉛（ＺｎＯ）のコーティングと直接接触させる。

単一のブロッカー層（又は単層ブロッカーコーティング）を、１又は複数の機能層の上に設けることも好ましい。このブロッカー層は、ニオブＮｂ、タンタルＴａ、チタンＴｉ、クロムＣｒ及びニッケルＮｉから選択される金属、又はこれらの金属の少なくとも２種に基づく合金、特にニオブ／タンタル（Ｎｂ／Ｔａ）合金、ニオブ／クロム（Ｎｂ／Ｃｒ）合金、あるいはタンタル／クロム（Ｔａ／Ｃｒ）合金又はニッケル／クロム（Ｎｉ／Ｃｒ）合金から選択されるものを基礎材料とする。

この解決法は、熱処理後の基材が、きわめて一定であるＴ_Lレベル及び外部反射の外観を維持するのを実際に可能にするとは言え、なお改良の余地がある。

これは、単層ブロッカーコーティング（１種又は複数の構成要素を含む層）に、次の欠点があるからである。
・Ｔｉを基礎材料とする金属層は、たいていの場合、特に熱処理後に、多層の機械的完全性に関する問題を起こし、特に、多層が基材上に被着される現場とこの基材がグレージングユニット、とりわけ複合グレージングユニット（二重グレージング材、積層グレージング材など）に一体化される現場の間の運搬中に、引掻き傷ができることがある。
・Ｎｉを基礎材料とする金属層は、たいていの場合、熱処理の間又はその後に現れる光学的な欠点の問題を起こす。

従って、本発明の目的は、上述のタイプの１又は複数の機能層を含む新規なタイプの多層を開発することにより、従来技術の欠点を改善することであり、前記多層は、その光学品質及びその機械的完全性を保ちながら、曲げ、強化又は徐冷タイプの高温熱処理を受けることができる。

従って、本発明の主題は、その最も広く受け入れられる範囲において、特許請求の範囲の請求項１に記載の基材である。この基材、特に透明ガラス基材は、赤外線及び／又は日射を反射する性質を有するｎ個の機能層、特に、銀又は銀を含む金属合金を基礎材料とする機能性金属層と、（ｎ＋１）個のコーティングを交互に配列したもの含む薄膜多層を備えており、ここにおいてｎ≧１であり、前記コーティングは、各機能層が少なくとも２つのコーティングの間に配置されるように、誘電材料でできたものを少なくとも１つ含む、１層又は複数の層から構成されている。前記多層を備えている基材に、強化、曲げ又は徐冷タイプの熱処理を施す場合に多層の光学的及び／又は機械的品質を維持するために、機能層の少なくとも１つは、
・一方において、前記機能層と直接接触して、機能層を酸化及び／又は窒化の攻撃から保護するのに役立つことのできる材料からできている「保護」層、及び
・他方において、前記「保護」層と直接接触し、接着を促進することのできる材料からできている少なくとも１つの「接着」層、
からなるブロッカーコーティングを含む。

本発明は、銀を基礎材料とするタイプの機能層に対して、少なくとも二重層を含むブロッカーコーティングを提供するものである。

機能層と直接接触して、機能層を酸化及び／又は窒化の攻撃から保護するのに役立つことのできる材料でできている少なくとも１つの「保護」層を、機能層と直接接触して引き続き設けることが重要である。これにより、機能層の熱的特性を低下させその光学品質を台なしにする、機能層の特に酸化／窒化による化学的又は形態的変化（デウェッティング）が防止されるが、この劣化現象は制御不可能である。

従って、「保護」層の構成材料又は少なくとも１つのそれは、元素の酸素及び／又は窒素に対し、及び／又は水に対し、強い親和性を持つことが好ましい。

本発明は、ブロッカーコーティング内のこの第１の保護に、ブロッカーコーティングの隣接層及び特に機能層への接着を促進でき、そして驚くことに保護層を通してそうすることができる材料でできている少なくとも１つの補強又は「接着」層を加える。

多層中のブロッカーコーティング（少なくとも二重層を含む）の位置は、それを機能層の下及び／又は上に被着させることができるので、いろいろでよいが、保護層は、特に機能層の材料の「クラスター」、とりわけ銀クラスターの形成により、光学的欠点ができる危険性、及び機能層へ酸素又は窒素が拡散する危険性を避けるために、常に機能層と直接接触する。

本発明は、２つのコーティングの間に配置される単一の「機能」層を含む多層にのみ適用されるものではない。それはまた、複数の機能層、特に３つのコーティングと交互になった２つの機能層、あるいは４つのコーティングと交互になった３つの機能層、あるいは更に５つのコーティングと交互になった４つの機能層、を有する多層にも適用される。

複数の機能層を有する多層の場合、少なくとも１つの機能層、好ましくは各機能層には、本発明によるアンダーブロッカーコーティング及び／又はオーバーブロッカーコーティング、すなわち少なくとも２つの別々な層を含むブロッカーコーティングが設けられる。

機能層、好ましくは各機能層は、本質的に金属製であり、銀又は銀を含む金属合金でできていることが好ましい。

実際のところ、保護層は、好ましくは次に述べる２つの特性の少なくとも一方を有するように選択されるべきであり、その特性とは、一方では、それを製作する材料が、機能層の材料に良好に濡れることが重要なことであり、及び／又は他方では、保護層の材料も、熱処理の間に拡散する妨害要素（酸素及び／又は窒素及び／又は水蒸気）に対して強い親和性を有することも重要なことである。

この保護層を形成するのに特に有利な材料は、基本的に金属製であり、特に、以下の金属、すなわちＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ａｌ、Ｎｂ、又はこれらの材料の少なくとも１つを基礎材料とする合金のうちの少なくとも１種から選択される材料製であることが見いだされた。

次に、接着層の多層中における位置と性質を検討する。
「接着」層は、Ｎｉ又はＮｉ系合金を基礎材料とすることが好ましい。「接着」層は、特に、ＮｉＣｒ合金を基礎材料とすることができる。それはまた、ＮｉＹ合金の形態でもよく、この式において、Ｙは金属、例えばＴｉ、Ｚｒ、Ａｌ、Ｎｂ、Ｈｆなどでよい。

この「接着」層は、部分的に酸化されていてもよい。

「接着」層は、「保護」層の厚さと少なくとも同程度の厚さを有することが好ましく、「保護」層の厚さより大きい厚さを有することが好ましい。

「接着」層は、好ましくは５ｎｍ未満、より好ましくは０．５ｎｍと２ｎｍの間の幾何学厚さを有し、「保護」層は、好ましくは５ｎｍ未満、より好ましくは０．５ｎｍと２ｎｍの間の幾何学厚さを有する。

本発明によるグレージング材は少なくとも、随意に少なくとも１つの他の基材と組み合わされた、本発明による多層を支持する基材を取り入れている。各基材は、透明でも着色されていてもよい。基材のうちの少なくとも１つは、特に、バルク着色ガラス製でもよい。着色タイプの選択は、製造が完了したならグレージング材に求められる光透過のレベル及び／又は測色分析の外観に依存する。

例えば、車両装備用のグレージング材については、フロントガラスは約７５％の光透過率Ｔ_Lを有することを標準規格が定めているが、そのような透過率のレベルは例えば側面窓又はサンルーフには求められない。使用可能な着色ガラスは、例えば、厚さ４ｍｍについて、Ｄ₆₅光源下で０．４％から６％の透過純度に関連して、６５％から９５％のＴ_L、４０％から８０％のエネルギー透過率Ｔ_E、４７０ｎｍから５２５ｎｍの透過主波長を有するものであるが、それらは（Ｌ，ａ^*，ｂ^*）測色系において、それぞれ−９と０の間及び８と＋２の間の透過におけるａ^*及びｂ^*値を「もたらす」ことができる。

建築物に装備するためのグレージング材については、「低放射率」用途の場合において少なくとも７５％又はそれ以上の光透過率Ｔ_Lを有し、「ソーラーコントロール」用途では少なくとも４０％又はそれ以上の光透過率Ｔ_Lを有することが好ましい。

本発明によるグレージング材は、積層構造を有することができ、特にガラス／薄膜多層／シート（１つ又は複数）／ガラスタイプの構造を有するように、ガラスタイプの少なくとも２つの硬質基材を少なくとも１つの熱可塑性ポリマーのシートと組み合わせたものを有することができる。ポリマーは、特に、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、エチレン／酢酸ビニル（ＥＶＡ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）又はポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）を基礎材料とすることができる。

グレージング材は、非対称積層グレージング構造と呼ばれるものを有してもよく、それは、ガラスタイプの硬質構造体を、エネルギー吸収特性を有するポリウレタンタイプのポリマーの少なくとも１つのシートと組み合わせ、随意に「自己回復」特性を有するポリマーの別の層と組み合わせたものである。このタイプのグレージング材の詳細については、特に欧州特許第０１３２１９８号、同第０１３１５２３号及び同第０３８９３５４号各明細書を参照することができる。従って、グレージング材は、ガラス／薄膜多層／ポリマーシート（１つ又は複数）タイプの構造を有することができる。

積層構造においては、多層を支持する基材はポリマーのシートと接触することが好ましい。

本発明によるグレージング材は、薄膜多層を損傷することなく熱処理を受けることができる。従って、グレージング材は、湾曲及び／又は強化することが可能である。

グレージング材は、多層を備えている単一基材からなる場合、湾曲及び／又は強化することができる。その場合、そのようなグレージング材は「一体式（モノリシック）」グレージング材と呼ばれる。特に車両用の窓を製作する目的で湾曲する場合、薄膜多層は、少なくとも部分的に非平面的な面にあることが好ましい。

グレージング材はまた、複合グレージングユニット、特に二重グレージングユニットであってもよく、少なくとも多層を支持する基材は湾曲及び／又は強化されている。複合グレージング材の構成においては、多層を中間のガス充填空間に面するように配置することが好ましい。

グレージング材が一体式である場合、又は二重グレージング材又は積層グレージング材タイプの複合グレージング材の形態である場合、少なくとも多層を支持している基材は、湾曲又は強化ガラスで製作することができ、多層を被着させる前又はその後に基材を湾曲又は強化することが可能である。

本発明は、本発明による基材を製造する方法にも関し、この方法は、スパッタリング、随意に磁気増強スパッタリングタイプの真空技術により基材上に薄膜多層を被着させ、そして次にそのコーティングされた基材に対して、その光学的及び／又は機械的品質を低下させることなく、曲げ、強化又は徐冷タイプの熱処理を実施するものである。

しかし、最初の層又は複数の最初の層が、別の技術、例えば熱分解又はＣＶＤタイプの熱的な分解技術により被着できることは除外されない。

この方法の好ましい態様では、ブロッカーコーティングの各層は、少なくともブロッカーコーティングの隣接層の被着に使用されるターゲットとは異なる組成を有するターゲットを使用するスパッタリングにより被着される。

本発明の詳細及び有利な特徴は、図を用いて説明される、以下の非限定的な例から明らかになろう。

図１は機能性の単層を備えた多層を示すが、種々の材料の厚さの比率は、図を検討しやすいように一定の比率には描いていない。

以下の例１〜４においては、厚さ４ｍｍの透明なソーダ石灰シリカガラスでできた基材である基材１の上に、多層を被着させる。この多層は、銀を基礎材料とする単一の機能層３を含み、その上に薄いブロッカーコーティング４が配置される。

機能層３の下に、誘電材料を基礎材料とする参照符号２ａ及び２ｂの複数の重ね合わせた層からなるコーティング２があり、機能層３及びブロッカーコーティング４の上に、誘電材料を基礎材料とする参照符号５ａ及び５ｂの複数の重ね合わせた層からなるコーティング５がある。

例１〜４において、
・層２ａはＳｉ₃Ｎ₄でできており、
・層２ｂはＺｎＯでできており、
・層５ａはＺｎＯでできており、
・層５ｂはＳｉ₃Ｎ₄でできており、
・層３は銀でできており、
そしてこれらの層は同じ厚さである。

種々の例１〜４において、ブロッカーコーティング４の種類及び厚さのみを変更する。

これらの全ての例では、多層の各層を被着させる一連の作業を磁気増強スパッタリングにより実施したが、他のどのような被着技術も、被着すべき層の厚さの良好な制御を可能にするならば想定することができる。

被着装置は、適切な材料でできたターゲットを備えたカソードを設けた少なくとも１つのスパッタリングチャンバーを含み、ターゲットの下を基材１が連続して通過する。各層の被着条件は以下のとおりであった。
・銀を基礎材料とする層３は、アルゴン雰囲気中において０．８Ｐａの圧力で、銀ターゲットを使用して被着させた。
・ＺｎＯを基礎材料とする層２ｂ及び５ａは、アルゴン−酸素雰囲気中において０．３Ｐａの圧力で、亜鉛ターゲットを使用する反応性スパッタリングにより被着させた。
・Ｓｉ₃Ｎ₄を基礎材料とする層２ａ及び５ｂは、アルゴン／窒素雰囲気中において０．８Ｐａの圧力で、ホウ素をドープ又はアルミニウムをドープしたケイ素ターゲットを使用する反応性スパッタリングにより被着させた。

所望の層の厚さを得るように、給電密度及び基材１の移動速度を公知の方法で調整した。

（例１）
この例では、コーティング４はＴｉの単層であり、純アルゴンの雰囲気中において０．８Ｐａの圧力でＴｉターゲットを用いて反応性スパッタリングにより得た。
（例２）
本発明によるこの例では、コーティング４は二重層であり、例１と同条件で被着させたチタンの第１層と、その後純アルゴンの雰囲気中でＮｉＣｒターゲットを用いるスパッタリングにより得られるニッケル／クロム合金製の第２層からなっていた。

このブロッカーコーティングを製造するのには、組成の異なる２つのターゲットを使用し、これらの２つのターゲットはスパッタリング装置の全く同じ気密室の２つの異なる区画に配置した。
（例３）
本発明によるこの例では、コーティング４はやはり二重層であり、実施例１と同条件で被着させたチタンの第１層と、その後反応性スパッタリングにより得られるニッケル／クロム合金製の第２層からなっていたが、この例では、雰囲気はアルゴンと酸素からなっており、例２で被着したコーティングに比べ吸収を大幅に減らすためにアルゴンの量を調整した。

このブロッカーコーティングを製造するのには、組成の異なる２つのターゲットを使用し、これらの２つのターゲットは同じスパッタリング装置の２つの異なる気密室に配置し、第１の気密室への酸素の侵入を防ぐため２つの気密室をポートにより分離した。

（例４）
この例では、コーティング４は二重層であったが、例３のそれとは逆であった。それは、例３と同条件で被着させたニッケル／クロム合金の第１層と、その後例３と同条件で被着させたチタンの第２層からなっていた。

下記の表１は、ｎｍで表した種々の層の厚さを示している。

その後、これらのコーティングされた基材のそれぞれを３つの部分に切断し、最初の２つの部分には、６２０℃を超える温度で徐冷する前に異なる機械的強度試験を施し、第３の部分は６２０℃を超える温度で直接徐冷した。

下記の表２は、例１〜３のそれぞれについて、以下のものを示している。
・％で表した光透過率の値Ｔ_L（Ｄ₆₅光源）：
−基材の第１の部分及び第２の部分の場合における熱処理及び機械的試験前のＴ_Lb。 −基材の第３の部分の場合における熱処理後のＴ_La。
・５０回転で５００ｇの荷重で実施したテーバー試験後に残存する面積の％として表した、残存する多層の量Ｑ。
・エリクセン引掻き試験（ファンラール（ｖａｎ Ｌａａｒ）チップ又はスチールボール）を実施の際に多層に引掻き傷を付けるのに必要な力をニュートンで表した値Ｖ。

更に、例１の基材にエリクセン試験により徐冷前に形成した引掻き傷は、熱処理中に非常に腐食されたのに対し、例２及び３の基材にエリクセン試験により徐冷前に形成した引掻き傷は、熱処理中にほとんど腐食されなかったことを指摘すべきである。

これらの結果から以下の結論を引き出すことができる。

Ｔｉ／ＮｉＣｒ二重層のブロッカーコーティングを使用することにより、単一のＴｉブロッカーコーティングに比べ多層の機械的完全性を向上させることが可能である。Ｔｉ／酸化ＮｉＣｒブロッカーコーティングを使用することにより、許容できる機械的完全性を維持する（ＮｉＣｒが酸化されていないＴｉ／ＮｉＣｒを使用したものよりわずかに劣るにもかかわらず）ことが可能であるが、それは熱処理の結果としての光学的変化を低減するのを可能にする（光透過率の変化はこの場合わずか＋１．５％である）。

オーバーブロッカーコーティングにおける例３の接着層と保護層の反転を試験するために製造した例４に関しては、これらの層を反転した事実は、熱処理の結果として非常に著しい多層の劣化につながった（巨視的な腐食斑点の出現、かなりの赤色の曇り、面積抵抗の上昇をもたらす銀層の劣化など）を指摘すべきである。この解決法は、強化処理に耐えず、従って想定することができない。

いくつかの機能層を持つ例も製造した。それらは同じ結論を与えた。

ここまで、一例として本発明を説明してきた。もちろんながら、当業者は、特許請求の範囲により規定される特許の範囲から逸脱せずに、本発明の種々の別の形態を実現することが可能である。

機能性の単層を備えた多層を、図を検討しやすいように種々の材料の厚さの比率を一定にせずに示す図である。

Claims (15)

1. 基材（１）であり、赤外線及び／又は日射を反射する性質を有するｎ個の機能層（３）、及び（ｎ＋１）個のコーティング（２、５）を交互に配列したものを含み、ｎ≧１である薄膜多層を備えており、前記コーティングが、各機能層（３）が少なくとも２つのコーティング（２、５）の間に配置されるように、誘電材料でできたものを少なくとも１つ含む、１層又は複数の層（２ａ、２ｂ、５ａ、５ｂ）から構成されている基材であって、前記多層を備えている基材（１）に、強化、曲げ又は徐冷タイプの熱処理を施す場合に多層の光学的及び／又は機械的品質を維持するために、機能層（３）の少なくとも１つが、
   ・一方において、前記機能層と直接接触して、機能層を酸化及び／又は窒化の攻撃から保護するのに役立つことのできる材料からできている「保護」層であって、前記「保護」層は基本的に金属製であり、以下の金属、すなわちＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ａｌのうちの少なくとも１種から選択される材料、又はこれらの材料のうちの少なくとも１種を基礎材料とする合金でできている「保護」層、及び
   ・他方において、前記「保護」層と直接接触して、接着を促進することのできる材料からできている少なくとも１つの「接着」層であって、前記「接着」層はＮｉ又はＮｉ系合金を基礎材料とする「接着」層、
   からなるブロッカーコーティング（４）を含む、薄膜多層を備えた基材（１）。
2. 前記基材（１）が透明ガラス基材であり、前記機能層（３）が銀又は銀を含む金属合金を基礎材料とする金属機能層である、請求項１に記載の基材（１）。
3. 前記多層が、３つのコーティングと交互になった２つの機能層を含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の基材（１）。
4. 前記「接着」層がＮｉＣｒ合金を基礎材料とすることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１つに記載の基材（１）。
5. 前記「接着」層が部分的に酸化されていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１つに記載の基材（１）。
6. 前記「接着」層が前記「保護」層の厚さと少なくとも同程度の厚さを有することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１つに記載の基材（１）。
7. 前記「接着」層が前記「保護」層の厚さより大きい厚さを有することを特徴とする、請求項６に記載の基材（１）。
8. 前記「接着」層が５ｎｍ未満の幾何学厚さを有することを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１つに記載の基材（１）。
9. 前記「接着」層が０．５ｎｍと２ｎｍの間の幾何学厚さを有することを特徴とする、請求項８に記載の基材（１）。
10. 前記「保護」層が５ｎｍ未満の幾何学厚さを有することを特徴とする、請求項１〜９のいずれか１つに記載の基材（１）。
11. 前記「保護」層が０．５ｎｍと２ｎｍの間の幾何学厚さを有することを特徴とする、請求項１０に記載の基材（１）。
12. 少なくとも１つの他の基材と随意に組み合わせた、請求項１〜１１のいずれか１つに記載の基材（１）を少なくとも１つ取り入れてなるグレージングユニット。
13. 少なくとも多層を支持する基材が、湾曲又は強化ガラス製であることを特徴とする、一体式の形態で、あるいは二重グレージング材又は積層グレージング材タイプの複合グレージング材として取り付けられる、請求項１２に記載のグレージングユニット。
14. スパッタリング、随意に磁気増強スパッタリングタイプの真空技術により基材上に薄膜多層を被着させること、そして次に前記基材に対して、その光学的及び／又は機械的品質を低下させることなく、曲げ、強化又は徐冷タイプの熱処理を行うことを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか１つに記載の基材（１）の製造方法。
15. 各ブロッカーコーティング層（４）を、少なくとも隣接層の被着に使用するターゲットとは異なる組成を有するターゲットを使用してスパッタリングにより被着することを特徴とする、請求項１４に記載の方法。

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