JP5446601B2 - ガラス基板の加工装置、ガラス基板の加工方法、その方法により製造された磁気ディスク用ガラス基板またはフォトマスク用ガラス基板、及び繰り返しガラス基板を加工する方法 - Google Patents
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Description
また、前記加工装置において、前記被覆材は樹脂であることが好ましく、さらに前記樹脂がポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリエチレンテレフタラート、ポリトリメチレンテレフタラート、ポリブチレンテレフタラートおよびポリアクリルからなる群から選ばれる1種以上の樹脂であることが好ましい。
また、前記加工装置において、前記磁石が永久磁石であることが好ましい。
また、前記加工装置において、前記永久磁石の磁束密度が1000ガウス以上、14000ガウス以下であることが好ましく、さらに9000ガウス以上、14000ガウス以下であることが好ましい。
また、前記加工装置において、スラリーがシリカ砥粒、セリア砥粒、アルミナ砥粒、ジルコニア砥粒、炭化ケイ素砥粒、ダイヤモンド砥粒のいずれかを含み水を分散媒とするスラリーであることが好ましい。
また、前記加工装置が前記ガラス基板の上下面を同時に加工可能な両面加工装置であることが好ましい。
また、前記加工装置において、前記上定盤と前記下定盤が鋳鉄からなることが好ましい。
剥離可能な被覆材で被覆された磁石が配設された循環経路を循環するスラリーまたはクーラントを前記上定盤と前記下定盤との間に供給することを特徴とするガラス基板の加工方法を提供する。
また、前記加工方法において、前記被覆材は樹脂であることが好ましく、さらに前記樹脂がポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリエチレンテレフタラート、ポリトリメチレンテレフタラート、ポリブチレンテレフタラートおよびポリアクリルからなる群から選ばれる1種以上の樹脂であることが好ましい。
また、前記加工方法において、前記磁石が永久磁石であることが好ましい。
また、前記加工方法において、前記永久磁石の磁束密度が1000ガウス以上、14000ガウス以下であることが好ましく、さらに9000ガウス以上、14000ガウス以下であることが好ましい。
また、前記加工方法において、前記スラリーがシリカ砥粒、セリア砥粒、アルミナ砥粒、ジルコニア砥粒、炭化ケイ素砥粒、ダイヤモンド砥粒のいずれかを含み水を分散媒とするスラリーであることが好ましい。
また、前記加工方法において、前記ガラス基板の上下面を同時に加工することが好ましい。
また、前記上定盤と前記下定盤が鋳鉄からなることが好ましい。
このとき、循環するスラリー又はクーラントは貯留室11と第2配管14との接続部に配設され樹脂18により被覆された永久磁石16近傍を通過するため、スラリー又はクーラント内に混入した金属屑が永久磁石16の磁力により樹脂18表面に付着する。そして、定期的に、又は、金属屑が溜まったときに随時樹脂18を剥がして交換することにより、スラリー又はクーラント内に混入した金属屑が除去され、スラリー又はクーラント内に金属屑が混入することによりガラス基板105に発生する傷を低減することができる。
(1)形状加工工程(S1)と、
(2)ラップ工程(S2)と、
(3)第1洗浄工程(S3)と、
(4)第1ポリッシング工程(S4)と、
(5)第2洗浄工程(S5)と、
(6)第2ポリッシング工程(S6)と、
(7)第3洗浄工程(S7)と、を有している。
[磁性異物捕集性能確認試験]
磁性異物の捕集性能を確認するために大型の両面加工装置(22B:22インチのキャリアを搭載可能な両面加工装置)を用いて以下の磁性異物捕集性能確認試験を行った。試験には直径2.5インチ、厚み約800μmの磁気ディスク用ガラス基板を用意した。またスラリーには平均径7μm程度のアルミナ砥粒を水に分散させたスラリーを用い、上下定盤は溝加工が施された鋳鉄定盤を用いた。加工圧力は7kPaとし、厚みが670μm程度になるようラップ加工を行った。
16 永久磁石(磁石)
18 樹脂(被覆材)
103 上定盤
104 下定盤
105 ガラス基板
Claims (9)
- 上定盤と下定盤との間にガラス基板を保持してスラリーまたはクーラントを供給しながらガラス基板を加工するに際し、内部に攪拌翼を有し前記スラリーまたは前記クーラントを貯留する貯留室に貯留した前記スラリーまたは前記クーラントを該貯留室に設けられたポンプにより第1配管を介して加工部に供給し、該加工部から第2配管を介して前記貯留室に排出させる、ガラス基板の加工方法を用いて繰り返しガラス基板を加工する方法であって、
前記加工方法では、剥離可能な被覆材で被覆された磁石を、前記第2配管と前記貯留室との間に設け、
前記被覆材で被覆された磁石が配設された循環経路を循環する前記スラリーまたは前記クーラントを前記上定盤と前記下定盤との間に供給し、
前記加工方法を用いてガラス基板を加工した後に、磁性異物が付着した前記被覆材を磁石から剥離し、磁性異物が付着していない剥離可能な被覆材でその磁石を被覆し、この剥離可能な被覆材で被覆された磁石を用いて前記加工方法によりガラス基板を加工することを特徴とする繰り返しガラス基板を加工する方法。 - 前記被覆材は樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の繰り返しガラス基板を加工する方法。
- 前記樹脂がポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリエチレンテレフタラート、ポリトリメチレンテレフタラート、ポリブチレンテレフタラートおよびポリアクリルからなる群から選ばれる1種以上の樹脂であることを特徴とする請求項2に記載の繰り返しガラス基板を加工する方法。
- 前記磁石が永久磁石であることを特徴とする請求項1、2または3に記載の繰り返しガラス基板を加工する方法。
- 前記永久磁石の磁束密度が1000ガウス以上、14000ガウス以下であることを特徴とする請求項4に記載の繰り返しガラス基板を加工する方法。
- 前記永久磁石の磁束密度が9000ガウス以上、14000ガウス以下であることを特徴とする請求項5に記載の繰り返しガラス基板を加工する方法。
- 前記スラリーがシリカ砥粒、セリア砥粒、アルミナ砥粒、ジルコニア砥粒、炭化ケイ素砥粒、ダイヤモンド砥粒のいずれかを含み水を分散媒とするスラリーであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の繰り返しガラス基板を加工する方法。
- 前記ガラス基板の上下面を同時に加工することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の繰り返しガラス基板を加工する方法。
- 前記上定盤と前記下定盤が鋳鉄からなることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の繰り返しガラス基板を加工する方法。
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